JP2021152535A - 光学構成要素マウント、光学構成要素の温度依存性移動を提供するための装置、及び、光学機器 - Google Patents

光学構成要素マウント、光学構成要素の温度依存性移動を提供するための装置、及び、光学機器 Download PDF

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Abstract

【課題】学要素(130)の温度依存性の移動を提供するための装置(180)が提供される。【解決手段】光装置は、光学構成要素(130)のための移動可能なマウント(182)と、移動可能なマウント(182)に取り付けられたマウント可動構成要素(184−1)と、マウント可動構成要素(184−1)に取り付けられ、移動可能なマウント(182)の移動をガイドするように構成されたガイド(186)とを備える。装置(180)は、装置(180)の温度の変化に応答して、マウント移動構成要素(184−1)とガイド(186)との間の熱収縮又は熱膨張の差によって、マウント移動構成要素(184−1)がガイド(186)に対して移動可能なマウント(182)を移動させるように構成される。【選択図】図2

Description

本明細書における例示的な態様は、一般に、光学系の分野に関し、より詳細には、レンズ、ミラー、光検出器等の光学構成要素を実装するためのマウント(取り付け台)に関する。
光学機器は、典型的には、フレームまたは基部上に実装された多数の光学構成要素を備える。例として、分光計は、図1aに模式的に示されるように、コリメートレンズ10の焦点面30に位置する光ファイバまたは他の光導波路20から受け取るコリメート光に配置されたコリメートレンズ10、コリメート光を受け取り、光の空間的に分離されたスペクトル成分を含む分散光を提供するように配置された回折格子40、および分散光を受け取り、集束レンズ50の焦点面70に位置する光検出器60上のスポット上に分散光を集束するように配置された集束レンズ50を含む。従来の分光計では、これらの光学構成要素は、通常、アルミニウム又は他の金属から作られている、分光計のフレーム上に取り付けられている。光導波路20の端部をコリメートレンズ10及び光検出器60の焦点面内に精密に配置することにより、集束レンズ50の焦点面内に精密に配置することにより、センサ上のスポットの大きさを最小限に抑え、分光計の性能を向上させることができる。光学機器のこのような正確な配置の必要性は、例えば、見たり又は記録したりするために画像を強調するように光を処理することにおいて、光学機器の性能を最適化するため、又は、光を分析し且つその特徴的な特性(例えば、スペクトル含量又は極性化)の一つ又はそれ以上を決定するために、分光計だけでなく、多くの他の光学機器においても、生じる。
従来の光学機器の温度が変化した場合(例えば、光学機器の周囲温度の変化および/またはその構成要素の操作によって引き起こされる光学機器の加熱または冷却による)、光学機器のフレームは熱膨張または熱収縮を起こし、その結果、機器のフレームに搭載された光学機器間の距離が最適値から逸脱する。これは、光学機器の性能を低下させる可能性がある。例えば、上述した種類の従来の分光計では、光導波路20の端部とコリメートレンズ10との間の距離(及び/又は集束レンズ50と光検出器60との間の距離)が、温度の変化に伴ってその最適値からずれると、温度の変化に伴ってスポットサイズが増大し、したがって、分光計の性能が劣化する可能性がある。例えば、図1bに例示されているように、時間T1から時間T2までのフレームの温度の上昇を伴う分光計フレームの熱膨張により、光波ガイド20とコリメートレンズ10との距離が距離D1(T)から距離D(T)まで増大し、一方、集束レンズ50と光検出器60との距離が距離D2(T)から距離D(T)まで増大し、その結果、スポットサイズが増大する。分光計または他の光学機器を断熱化する従来のアプローチは、典型的には、機器のフレームに非常に低い熱膨張係数を有する材料を使用することに依存する。しかしながら、Invar(FeNi36)などのようなこの特性を有する材料は、典型的には高価であり、このようにして断熱化された光学機器を製造するためにコストがかかる。
光学機器を断熱化させる従来のアプローチの上記の欠点を考慮して、本発明者は、本明細書の実施の形態の少なくともいくつかに従って、光学機器中に光学構成要素をマウントするために使用できる光学構成要素の温度依存的な移動を提供する装置を考案した。装置は、光学機器のフレームに固定され得る機器内の他の光学構成要素の少なくとも一部の熱誘起相対移動を補償する光学構成要素の温度依存性の移動を提供するように調整されてもよく、これにより、光学機器が動作する温度の範囲にわたって、例えば、(上述した従来の分光計の場合には、実質的に一定のスポットサイズを介して)光学機器の性能を保存する。
より詳細には、本明細書の第1の例の態様に従って、光学構成要素の温度依存性の移動を提供するための装置が提供され、装置は、光学構成要素のための移動可能なマウントと、移動可能なマウントに取り付けられたマウント可動構成要素と、マウント可動構成要素に取り付けられ、移動可能なマウントの移動をガイドするように構成されたガイドとを含む。装置は、装置の温度の変化に応じて、マウント移動構成要素とガイドとの間の熱収縮又は熱膨張の差によって、マウント移動構成要素がガイドに対して移動可能なマウントを移動させるように構成される。
また、本明細書の第2の例示の態様によると、複数の光学構成要素が搭載されるフレームを含む光学機器と、上述した第1の例の態様による装置とが提供される。複数の光学構成要素の光学構成要素は、装置の移動可能なマウントに取り付けられ、装置のマウント可動構成要素は、変化する温度に伴う他の光学構成要素の第1の光学構成要素と第2の光学構成要素との間のフレーム上の光路距離の変化を補償するように、光学器具の温度を変化させながら、移動可能なマウント上に取り付けられた光学構成要素を移動させるように構成される。
また、本明細書の第3の例の態様によると、光学構成要素の温度依存性の移動を提供するための装置であって、基部と、光学構成要素のための移動可能なマウントと、移動可能なマウントおよび基部に取り付けられたマウント可動構成要素とを備え、マウント可動構成要素は、マウント可動構成要素の熱膨張または熱収縮によって、装置の温度を変化させながら、基部に対して移動可能なマウントを移動させるように構成されている装置も提供される。
また、本明細書の第4の例の態様によれば、複数の光学構成要素が搭載されたフレームを備える光学機器と、上記第3の例の態様による光学構成要素の温度依存性の移動を提供するための装置であって、該装置は、該装置の基部を介して該フレームに搭載される、装置も提供される。複数の光学構成要素の光学構成要素が装置の移動可能なマウントに搭載されており、装置のマウント移動構成要素は、温度変化に伴う他の光学構成要素の第1の光学構成要素と他の光学構成要素の第2の光学構成要素との間のフレーム上の光経路距離の変化を温度の変化に伴って補償するように、マウント移動構成要素の熱膨張または熱収縮により、光学機器の温度を変化させながらフレームに対して移動可能マウントに搭載された光学構成要素を移動させるように構成されている。
例示の実施の形態は、以下に記載される添付図を参照して、非限定的な例のみにより、今度は詳細に説明されるであろう。図の異なるものに現れる参照番号のように、特に指定がない限り、同一または機能的に類似した要素を示すことができる。
従来の分光計における光学構成要素の配置の概略図である。 図1aの従来の分光計における光学構成要素の配置が温度上昇に応じてどのように変化するかの概略図である。 本明細書に記載された第1の実施の形態による分光計を例示する。 本明細書に記載された第1の実施の形態による分光計における屈曲マウントの概略図である。 本明細書に記載される第2の実施の形態による、光学構成要素の温度依存性の移動を提供するための装置の断面図である。 本明細書に記載される第3の実施の形態による、光学構成要素の温度依存性の移動を提供するための装置の断面図である。 図5aの装置を含む、本明細書に記載された実施の形態による分光計の模式図である。
ここでの実施の形態は、添付の図を参照して、より詳細に記述されるであろう。
[第1の実施の形態]
図2は、第1の実施の形態例に従った、分光計100の形態における光学機器の模式図である。
分光計100は、分光計フレーム(本体)110を備え、その上には、光導波路(図示せず)用のレセプタクル120、コリメートレンズ130、回折格子140、集束レンズ150、(任意選択)ミラー160および光検出器170が取り付けられている。分光計100は、さらに、コリメートレンズ130の温度依存性移動を提供するための装置180を備える。より詳細には、コリメートレンズ130は、装置180の移動可能なマウント上に取り付けられ、その実施の形態は、以下により詳細に説明される。装置180のマウント移動構成要素は、温度変化によって生じるフレーム110の膨張によるフォーカシングレンズ150と光検出器170との間の光路長の変化を補償するように、分光計100の温度変化に応じて、移動可能なマウントおよびコリメートレンズ130をその上で移動させるように構成されており、したがって、光検出器170上のスポットの大きさ(例えば、光検出器アレイなどの光検出器の光記録面)を、温度から実質的に独立に保つ(すなわち、温度変化に伴うスポットの大きさの変化を補償する、または別の方法で、温度によってスポットの大きさが変化することを防止する)。
しかしながら、実施の形態の装置180は、レセプタクル120、集束レンズ150または光検出器170の温度依存性の移動を提供するように、選択肢的に配置されてもよいことに注意すべきである。さらに、分光計100のこれらの光学構成要素のうち2つ以上を、実施の形態の各装置180の移動可能なマウントに取り付けてもよい。分光計100に含まれる1つまたは複数の装置180のそれぞれのマウント移動構成要素は、温度を変化させて、光検出器170上のスポットの大きさを温度から実質的に独立に保つように、それぞれの移動可能なマウント上に取り付けられたそれぞれの光学構成要素を移動させるように構成されてもよい。
より一般的には、本明細書の例示の実施の形態による装置は、光学機器の温度の変化に応答して生じる光学機器の任意の他の光学構成要素間の光路距離の変化、およびこの光路距離の変化の結果として劣化する可能性のある光学機器の性能の任意の態様を補償し得る、光学機器の任意の光学構成要素の温度依存の移動を提供するように構成されてもよい。本明細書に記載される光学構成要素の温度依存性移動を提供するための装置の実施の形態の例は、それに応じて、分光計だけでなく、レーザー源、ファイバ結合システム、および光学ビームの視準および/または焦点合わせの正確な制御を必要とする任意の他の装置など、様々な他の光学機器にも使用され得る。
装置180は、コリメートレンズ130のための移動可能なマウント182、第1のロッド184−1a及び第2のロッド184−1bを備えるマウント移動構成要素184−1、及び移動可能なマウント182に、且つマウント移動構成要素184−1に取り付けられ、移動可能なマウント182の移動をガイドするように構成されたガイド186を備える。ガイド186は、本実施の形態のように、マウント移動構成要素184−1と移動可能なマウント182の両方を支持する支持体として働くことができる。装置180は、周囲温度の変化に応じて、マウント移動構成要素184−1とガイド186との間の熱収縮または熱膨張の差によって、マウント移動構成要素184−1がガイド186に対して移動可能なマウント182を移動させるように構成される。言い換えれば、装置180の温度変化に応じて、装置180自体の加温(または場合によっては冷却)をもたらし、その結果として生じるマウント移動構成要素184−1の熱膨張(または場合によっては熱収縮)と、その結果生じるガイド186の熱膨張(または場合によっては熱収縮)との差によって、マウント移動構成要素がガイド186に対して移動可能なマウント182を移動させる。したがって、温度変化の結果として、装置180を通る光路の方向におけるマウント移動構成要素184−1およびガイド186の長さが変化する異なる量によって、移動可能なマウント182をガイド186に対して移動させる。
マウント移動構成要素184−1は、ガイド186が形成される第2の(異なる)物質(または2つ以上の物質の異なる組成)よりも熱膨張係数が大きい第1の物質(または2つ以上の物質の組成)で形成されてもよい。一例を挙げると、本実施の形態において、第1の材料はプラスチック(具体的にはポリエーテルエーテルケトン(PEEK)であるが、別の種類のプラスチックを代替的に使用することができ、第2の材料は金属(具体的には、アルミニウム、ただし別の金属または金属合金(例えば、Invar)を代替的に使用することができる)である。しかし、他の実施の形態において、マウント移動構成要素184−1は、ガイド186が形成される材料(または2つ以上の材料の組成)よりも熱膨張係数が小さい材料(または2つ以上の材料の組成)で形成されてもよい。
本実施の形態の移動可能なマウント182およびガイド186は、今回、図3を参照してより詳細に説明する。
移動可能なマウント182は、図3の実施の形態によって例示されるように、屈曲マウント200の第1部分210を形成することができる。ガイド186は、屈曲マウント200の第2部分220を形成することができ、屈曲マウント200の第1部分210が、屈曲マウント200の第2部分220に、屈曲マウント200の変形可能部分230−1及び230−2で結合される。屈曲マウント200は、本実施の形態のように、アルミニウム片を機械化することによって作られたシングル片品目であってもよい。屈曲マウントは、可移動可能なマウント182を遊びまたはヒステリシスがほとんどまたはまったくない状態で移動させることを可能にする利点を提供し、従って、コリメートレンズ130を正確かつ一貫して移動させることを可能にする。マウント移動構成要素184−1は、装置180の周囲温度の所与の変化に対して、ガイド186よりも大きな熱収縮または熱膨張を受けるマウント移動構成要素184−1によって、屈曲マウント200の第1の部分210を屈曲マウント200の第2の部分220に対して移動させるように構成される。換言すれば、温度の変化に応じて、マウント移動構成要素184−1の熱収縮または熱膨張が大きくなると、屈曲マウント200の変形可能部分の変形が生じ、それによって、屈曲マウント200の第1の部分210が、屈曲マウント200の第2の部分220に対して移動する。本実施の形態のように、第1の材料が第2の材料よりも熱膨張の係数がはるかに大きい実施の形態では、ガイド186の熱膨張/収縮は、マウント移動構成要素184−1の熱膨張/収縮と比較して無視できる可能性がある。
上述のように、他の実施の形態では、マウント移動構成要素184−1は、ガイド186が形成される材料(または2つ以上の材料の組成)よりも熱膨張係数が小さい材料(または2つ以上の材料の組成)で形成されてもよい。これらの実施の形態においても、装置180の温度の変化に応じて、マウント移動構成要素184−1およびガイド186の熱収縮または熱膨張の差は、屈曲マウント200の変形可能部分の変形を引き起こし、それによって、屈曲マウント200の第1の部分210を屈曲マウント200の第2の部分220に対して移動させる。これらの別の実施の形態では、第1の材料は、第2の材料よりもはるかに小さい熱膨張係数を有してもよく、その結果、マウント移動構成要素184−1の熱膨張/収縮は、ガイド186の熱膨張/収縮と比較して無視することができる。これらの場合、マウント移動構成要素184−1は、ガイド186を、その端部から(長さの増加のみではなく)内側に少なくとも部分的に熱膨張させ、屈曲マウント200を圧縮し、したがって、移動可能なマウント182をガイド186に近づけ、ガイド186を、移動可能なマウント182の近傍で、分光計100のフレーム110に取り付けて、移動可能なマウント182のフレーム110に対する移動を最大化してもよい。
屈曲マウント200は、本実施の形態のように、第2部分220に対して第1部分210を回転させることなく、屈曲マウント200の第1部分210が、屈曲マウント200の第2部分220に対して移動できるように構成されてもよい。言い換えると、屈曲マウント200は、屈曲マウント200の第2部分220に対して、屈曲マウント200の第1部分210の並進のみを可能にするように構成されてもよい。本実施の形態では、これは、屈曲マウント200の第2の部分220が、第1のアーム部222と第2のアーム部224とを有し、第1のアーム部222と第2のアーム部224のそれぞれが、第2の部分220のそれぞれの変形可能部分240−1および240−2を介して第2の部分220の残りの部分に接合され、変形可能部分240−1の変形によって第1のアーム部222が変形可能部分240−1の周りに回転可能であり、変形可能部分240−2の変形によって第2のアーム部224が変形可能部分240−2の周りに回転可能であるように構成されることによって達成される。第1のアーム部222および第2のアーム部224のそれぞれは、第1のアーム部222および第2のアーム部224のそれぞれが、第2の変形可能部分230−1および230−2のそれぞれの1つの変形によって第2の変形可能部分230−1および230−2のそれぞれの1つの回りにさらに回転可能であるように、第2の部分220の第2の変形可能部分230−1および230−2のそれぞれの1つを介して、屈曲マウント200の第1の部分210に接合される。変形可能部分240−1と第2の変形可能部分230−1との間の第1のアーム部222の長さは、変形可能部分240−2と第2の変形可能部分230−2との間の第2のアーム部224の長さに等しく、これにより、変形可能部分240−1および240−2、ならびに第2の変形可能部分230−1および230−2は、屈曲マウント200の第1の部分210が、マウント移動構成要素184−1の熱収縮または熱膨張によって、屈曲マウント200の第2の部分220に対して移動するときに、平行四辺形の配置のままである。
しかしながら、本実施の形態の屈曲マウント200は、コリメートレンズ130の光軸に沿って、第2部分220に対して第1部分210の移動を可能にし、第2部分220に対して第1部分210を回転させずに行うように構成されているが、他の光学機器の光学的構成要素をマウントするために代替の形態の屈曲マウントを使用することができ、ここで、例えば、機器温度を変化させることで、温度を変化させたときに別の方法で生じる性能劣化を補償するために、回転の1つ以上の軸に沿って光学的構成要素の所定の回転が必要となる場合があることに注意すべきである。
図2に再び言及すると、マウント移動構成要素184−1は、上述のように、第1材料(本実施の形態ではPEEK)の第1ロッド184−1aを含み、第1ロッド184−1aの少なくとも一部の第1端が屈曲マウント220の第1部分210に接続され、第1ロッド184−1aの少なくとも一部の第2端が屈曲マウント200の第2部分220に接続され、第1ロッド184−1aの熱膨張が屈曲マウント200の第1部分210と屈曲マウント200の第2部分220を互いに移動させるようになっている。マウント移動構成要素184−1は、本実施の形態では、第1ロッド184−1aと同じ方法で屈曲マウント200に接続されている第1材料の第2ロッド184−1bを有し、一般に、1つ以上のそのようなロッドを有する。ロッド184−1aおよび184−1bは、均一で円形の断面を有するように図2に図示されているが、最初の物質のロッドの断面はロッドの長さに沿って均一である必要はなく、円形である必要はない。ロッドは、さらに、フレーム110の熱膨張/収縮によって引き起こされる他の光学構成要素の1つまたは複数の移動と一致するコリメートレンズ130の移動を提供するように、少なくとも分光計が作動する温度範囲(例えば、0〜50℃)にわたって、温度を変化させながら、光検出器170上のスポットの大きさの変化を減少させるかまたは好ましくは最小限にするために、第2材料の熱膨張係数とは十分に異なる熱膨張係数を有する任意の材料を含み得る。
図2の例では、マウント移動構成要素184−1は、移動機構184の一部を形成し、ロッド184−1aおよび184−1bの少なくとも一部の第1の端部は、第1のコネクタを介して屈曲マウント220の第1の部分210に接続され、ロッド184−1aおよび184−1bの少なくとも一部の第2の端部は、ロッド184−1aおよび184−1bの熱膨張によって、屈曲マウント200の第1の部分210と屈曲マウント200の第2の部分220とが互いに向かって移動するように、第2のコネクタを介して屈曲マウント200の第2の部分220に接続される。第1のコネクタは、本実施の形態のように、第1のカップリング片184−5によってロッド184−1aおよび184−1bに接続され、かつ第2のカップリング片184−7の開口部を通過する、低熱膨張係数(例えば、Invar)を有する材料で作られたロッド184−3を含むことができる。第2のコネクタは、本実施の形態のように、第2のカップリング片184−7、および第3のカップリング片184−6を介して第2のカップリング片184−7および屈曲マウント200の第2部分220に、図2に示すように、低い熱膨張係数を有するInvarまたは他の材料で作られた2つのさらなるロッド184−2および184−4を含むことができる。カップリング片184−5〜184−7の材料は限定されず、例えばアルミニウムまたはスチールを含み得る。
ロッド184−2、184−3および184−4、ならびに図2に示されるカップリング片184−5〜184−7の配置は、装置180の温度の上昇に伴ってロッド184−1aおよび184−1bの膨張によってもたらされる逆の移動に機能し、その結果、この膨張によって、屈曲マウント200の第1の部分210および第2の部分220が互いに向かって移動し、したがって、集束レンズ150と光検出器170との間の光路距離の増加を少なくとも部分的に補償するために、光導波路のためにコリメートレンズ130をレセプタクル120に近づけさせる。移動機構184は、図2に例示される対称配置が好ましいが、ロッド184−1aおよび184−1bのうちの1つ、および/またはロッド184−2および184−4のうちの1つを有するように改変されてもよいことに注意すべきである。また、このような移動を逆転させる機械的配置を採用する必要はなく、熱膨張または収縮が屈曲マウント200の第1部分および第2部分の相対的な移動を引き起こすことである第1材料のロッドの1つまたは複数が、その末端を屈曲マウント200のそれぞれの第1部分および第2部分に直接取り付け、その結果、ロッドの熱膨張が、屈曲マウント200の第1部分210を屈曲マウント200の第2部分220から遠ざけるようにすることができることも理解されるであろう。熱膨張または収縮が、当該技術分野で精通されているであろう屈曲マウント200の第1および第2部分(210および220)の必要な相対的な移動を達成するように、屈曲マウント200の第1および第2部分の相対的な移動を引き起こすことである第1材料のロッド(複数)をカップリングするための他のタイプの機構が、他の実施の形態において採用され得る。
[第2の実施の形態]
移動可能なマウント182およびガイド186は、第1の実施の形態において、屈曲マウント200の一部として提供されるが、実施の形態による光学構成要素の温度依存性移動を提供するための装置のこれらの構成要素は、他の形態で実装されてもよい。例えば、移動可能なマウントは、マウント移動構成要素によってガイドに対して移動されたときにガイドに対してスライドするようにガイド内で摺動可能に係合されてもよい。このような代替構成の一例として、ガイドは、分光計または他の光学機器のフレーム内の溝の形成で設けられてもよく、移動可能なマウントは、溝の長さに沿って移動可能なマウントの移動をガイドするように、溝と摺動可能に係合するように構成されたガイド部を含んでもよい。
図4は、第2の実施の形態例による光学構成要素の温度依存性移動を提供するための装置280の断面の模式図である。本実施の形態では、移動可能なマウント282は第1管状部分282−1を含み、ガイド286は第2管状部分286−1を含み、ここで第1管状部分282−1は第2管状部分286−1の内側に伸びている。第1管状部分282−1および第2管状部分286−1は、本実施の形態では円筒形であるが、非円形断面を有する管状部分を代替的に使用してもよい。
図4に示されるように、移動可能なマウント282の第1の管状部分282−1は、コリメートレンズ130を保持するように構成されるが、代替的に、任意の他の光学構成要素を保持してもよい。コリメートレンズ130は、移動可能なマウント282の第1の管状部分282−1の端部に取り付けられているが、コリメートレンズ130は、代替的に、第1の管状部分282−1の任意の他の部分内に取り付けられてもよいことが理解されよう。装置280は、ネジまたは任意の他の適切な取付手段によって光学機器のフレームに取り付け可能な基部287を備え、好ましくは、第1の管状部分286−1内に取り付けられたコリメートレンズ130と光学機器の1つ以上の他の光学構成要素との適切な位置合わせを可能にするために、フレームに対するガイド286の位置決めを調整するための調整機構289を備える。
本実施の形態では、マウント移動構成要素は、移動可能なマウント282のフランジ部分282−2を介して第1の管状部分282−1に接続された第1の端部を有する第1の材料(または異なる材料の第1の組合せ)の片284と、ガイド286のフランジ部分286−2を介して第2の管状部分286−1に接続された第2の端部とを含む。第1管状部分282−1および第2管状部分286−1は、いずれも本実施の形態のように第1材料/組み合わせの熱膨張係数よりも低い熱膨張係数を有する可能性がある第2材料(または異なる材料の第2組み合わせ)で形成される。第1の管状部分282−1および第2の管状部分286−1は、同じ物質で形成される必要がないことに注意が必要である。
一例を挙げると、第1の材料は、本実施の形態のように、PEEKのようなプラスチックであってもよく、第2の材料は、第1の材料よりも熱膨張係数が低い任意の材料、好ましくはアルミニウムのような金属、または熱膨張係数が第1の材料よりもはるかに低いInvarのような金属合金であってもよい。本実施の形態における材料の選択は、装置280の温度の変化に応じて、第1の管状部分282−1および第2の管状部分286−1の熱膨張/収縮よりもはるかに大きい片284の熱膨張/収縮をもたらす。結局、温度が上昇すると、例えば、第1の材料の熱膨張のために、図4に示す軸に沿った片284の長さが増大し、それによって、第1の管状部分282−1(したがって、その中に取り付けられたコリメートレンズ130)が、第2の管状部分286−1、具体的には図4の左側に対して移動する。
第1の実施の形態と同様に、マウント移動成分の熱膨張係数は、ガイドの熱膨張係数よりもはるかに大きくなるか、はるかに小さくなる必要はなく、そして、これら2つの係数の間の任意の差、および/または、移動可能なマウントの移動方向に沿った、マウント移動構成要素とガイドとの長さの差は、結果として、温度が変化したときの上記方法の、マウント移動構成要素とガイドとの間の熱膨張または収縮の差となり、十分である。
片284の形状は制限されておらず、片284は、例えば、管状(例えば、円筒状)であってよく、第2管状部分286−1内で第1管状部分282−1を支持するために十分に硬いことが好ましい。
第2の実施の形態の変形例では、一方の管状部分182−1および186−1と他方の片284とに対する材料の選択は、温度の上昇に応じた片284の熱膨張が、管状部分182−1および186−1の熱膨張よりもかなり小さくなるように、反転されてもよい。これは、第2の実施の形態と比較して、装置温度の上昇に応じてコリメートレンズ130の移動方向が反転し、温度の上昇に伴って管状部分182−1及び186−1が膨張し、コリメートレンズ130が図4の右側に移動することになる。
要約すると、以上に述べた実施の形態およびその変形例に従って、光学構成要素130の温度依存的な移動を提供する装置180および280、光学構成要素130の移動可能なマウント182および282を備える装置、移動可能なマウントの移動をガイドするように構成されたガイド186および286、および移動可能なマウント上の第1の取り付け位置191および283で移動可能なマウントに取り付けられた第1の端部と、ガイド上の第2の取り付け位置192および285でガイドに取り付けられた第2の端部とを有するマウント移動構成要素184−1が記述されている。装置は、装置の温度の変化に応じて、マウント移動構成要素とガイドとの間の熱収縮又は熱膨張の差によって、マウント移動構成要素がガイドに対して移動可能なマウントを移動させるように構成される。さらに、装置の温度の変化に応じた第1の取り付け位置と第2の取り付け位置との間の距離の変化が、装置の温度の変化に応じたガイドの熱収縮または熱膨張とは無関係になるように、マウント移動構成要素はマウント移動可能なマウントに取り付けられる。さらにまたはその代替として、移動可能なマウントに取り付けられた時の光学構成要素と、装置の温度変化に応じたガイドの第2の取り付け位置との間の距離の変化が装置の温度変化に応じたガイドの熱収縮または熱膨張とは無関係であるように、マウント移動構成要素は移動可能なマウントに取り付けられている。
[第3の実施の形態]
上記した第2の実施の形態の変形例の構造は、片284および第1の管状部分282−1と共に分配し、第2の管状部分286−1の反対側の端部にコリメートレンズ130を、第2の管状部分286−1が光学機器に固定されている第2の管状部分286−1の端部に装着することによって、単純化することができる。
本明細書の第3の実施の形態によるこのような簡略化された装置の例は、図5aにおいて模式的に(断面図において)示される。第3の実施の形態による光学構成要素の温度依存性の移動を提供するための装置380は、光学構成要素330のための移動可能なマウント382と、移動可能なマウント382に取り付けられ、光学機器のフレーム310に取り付け可能なマウント可動構成要素384とを備える。図5aの実施の形態におけるマウント移動構成要素384は、プラスチック(好ましくはPEEK)のような材料の形態または円筒状の片をとる。マウント移動構成要素384の断面は、環に限定されず、別の形態をとることができる。マウント移動構成要素384は、ネジまたは任意の他の適切な取り付け手段によって光学機器のフレーム310に取り付け可能な基部387によって支持され、基部387は、好ましくは、フレーム310に対するマウント移動構成要素384の位置決めを調整するための調整機構389を含み、移動可能なマウント382内に取り付けられた光学構成要素330の、光学機器の1つ以上の他の光学構成要素との適切な位置合わせを可能にする。マウント移動構成要素384は、移動可能なマウント382を移動させるだけでなく、装置380の温度が変化するにつれて、それを支持し、その移動をガイドするように構成される。
装置380は、上述のように光学機器を断熱化するために、多くの種類の光学機器における光学構成要素の温度依存性の移動を提供するために使用されてもよい。一例として、分光計300内への装置380の設置が、図5bに概略的に示されている。分光計380は、図1aの従来の分光計と同様の光学構成要素の配置を有し、分光計フレーム(本体)310を備え、その上には、光導波路(図示せず)用のレセプタクル320、コリメートレンズ330、回折格子340、集束レンズ350、および光検出器370が取り付けられている。分光計300は、図5aを参照して上記したように、コリメートレンズ330の温度依存性移動を提供するための装置380をさらに備える。装置380のマウント移動構成要素384は、分光計300の温度の変化に応じて、移動可能なマウント382およびコリメートレンズ330を移動させるように構成されており、温度変化によって生じるフレーム310の拡大によって、集束レンズ350と光検出器370との間の光路長の変化を補償し、したがって、光検出器370上のスポットの大きさ(例えば、光検出器アレイなどの光検出器の光記録面)を、温度から実質的に独立に保つ(すなわち、温度変化に伴うスポットの大きさの変化を補償するか、または別の方法で、温度と共にスポットの大きさが変化することを防止する)。
しかしながら、第3の実施の形態の装置380は、レセプタクル320、集束レンズ350または光検出器370の温度依存性の移動を提供するように、選択肢的に配置されてもよいことに注意すべきである。さらに、分光計300のこれらの光学構成要素のうち2つ以上を、それぞれの装置380の移動可能なマウント382に搭載することができる。分光計300に含まれる1つまたは複数の装置380のそれぞれのマウント移動構成要素384は、温度を変化させて、光検出器370上のスポットの大きさを温度から実質的に独立に保つように、それぞれの移動可能なマウント382上に取り付けられたそれぞれの光学構成要素を移動させるように構成されてもよい。
要約すると、第3の実施の形態による光学構成要素(例えば330)の温度依存性移動を提供する装置380は、基部387、光学構成要素用の移動可能なマウント382、および移動可能なマウント382と基部387に取り付けられたマウント移動構成要素384を含み、マウント移動構成要素384は、マウント移動構成要素384の熱膨張または熱収縮によって装置380の温度を変化させて、基部387に対して移動可能なマウント382を移動させるように構成されている。
光学機器300は、概して、複数の光学構成要素が実装されたフレーム310と、上述したように少なくとも1つの装置380とを備える。光学機器300では、装置380の移動可能なマウント382に複数の光学構成要素の光学構成要素が搭載されており、装置380のマウント移動構成要素384は、温度の変化に伴って第1の光学構成要素と他の光学構成要素の第2の光学構成要素との間のフレーム310上の光学経路距離の変化を補償するように、光学機器300の温度を変化させながら、マウント移動構成要素384の熱膨張または熱収縮によって、フレーム310に対して移動可能なマウント382に搭載の光学構成要素330を移動させるように構成されている。
上述の説明では、実施の形態のいくつかの実施の形態を参照して例示的な側面を記述する。したがって、明細書は、限定的なものではなく、例証的なものとみなすべきである。同様に、実施の形態の機能性および利点を強調する、図面に図示された図は、例えば目的のみを提示する。実施の形態の構造は、十分に柔軟で構成可能であり、そのため、添付の図に示された方法以外の方法で利用されることがある。
本発明の様々な実施の形態例は上記に記載されているが、それらが例によって提示されており、限定されていないことが理解されるべきである。形態および詳細における様々な変化がその中でなされ得ることは、関連技術の熟練者に明らかであろう。従って、本発明は、上記実施の形態のいずれかによって限定されるべきではなく、以下の主張及びそれらの同等物に従ってのみ定義されるべきである。
さらに、要約書の目的は、特許庁及び一般の人々、特に特許用語又は法用語又は表現法に精通していない当該技術分野の科学者、技術者及び実務者が、出願の技術的開示の性質及び本質を、カーソル検査から迅速に決定することを可能にすることである。要約書は、ここに示された実施の形態の範囲に関して、いかなる方法においても限定されることを意図しているわけではない。また、請求項に記載されたいずれの手順も、提示された順序で実施する必要はないことが理解されること。
この明細書は多くの具体的な実施の形態の詳細を含むが、これらは、いかなる発明の範囲またはクレームされるかもしれないものの制限として解釈されるべきではなく、むしろ、本明細書に記載される特定の実施の形態に特異的な特徴の記述として解釈されるべきである。別個の実施の形態との関連でこの明細書に記載されている特定の特徴もまた、単一の実施の形態において組み合わせて実装することができる。逆に、単一の実施の形態との関連で記載されている様々な特徴は、複数の実施の形態においても、別々に、または任意の適切なサブ組み合わせにおいて実装することも可能である。さらに、特徴は、上記のように、ある組合せで作用し、当初主張されていたとしても、クレームされた組合せからの1以上の特徴は、ある場合には組合せから切り出すことができ、クレームされた組合せは、サブ組合せまたはサブ組合せのバリエーションに向けることができる。
現在いくつかの例示的な実施の形態および実施の形態を記載しているならば、前記は例示的であり、例によって提示されているが、限定的ではないことが明らかである。
本明細書に記載される装置は、その特徴から逸脱することなく、他の特定の形態で具体化され得る。上述の実施の形態は、記載されたシステムおよび方法の限定ではなく例示的である。本明細書に記載された装置の範囲は、このようにして、上述の記載ではなく、特許請求範囲によって示され、クレームの同等性の意味および範囲内にもたらされる変化がその中に包含される。

Claims (15)

  1. 光学構成要素(130)の温度依存性移動を提供するための装置(180、280)であって、
    前記光学構成要素(130)用の移動可能なマウント(182、282)と、
    前記移動可能なマウント(182、282)に取り付けられたマウント移動構成要素(184−1)と、
    前記マウント移動構成要素(184−1)に取り付けられ且つ前記移動可能なマウント(182、282)の移動をガイドするように構成されたガイド(186、286)と、
    を備え、
    前記装置(180、280)は、前記装置(180、280)の温度の変化に応じて、前記マウント移動構成要素(184−1)と前記ガイド(186、286)との間の熱収縮又は熱膨張の差が、前記マウント移動構成要素(184−1)が、前記移動可能なマウント(182、282)を前記ガイド(186、286)に対して移動させるように構成される、
    装置。
  2. 前記移動可能なマウント(182)が屈曲マウント(200)の第1部分(210)を形成し、
    前記ガイド(186)が前記屈曲マウント(200)の第2部分(220)を形成し、
    前記装置(180)の温度変化に応じて、前記マウント移動構成要素(184−1)と前記ガイド(186、286)との間の熱収縮または熱膨張の差により、前記マウント移動構成要素(184−1)が、前記屈曲マウント(200)の前記第2部分(220)に対して前記屈曲マウント(200)の前記第1部分(210)を移動させるように、前記装置(180)が構成される、請求項1に記載の装置。
  3. 前記屈曲マウント(200)が、前記屈曲マウント(200)の前記第2部分(220)に対して、前記屈曲マウント(200)の前記第1部分(210)を回転させることなく、前記屈曲マウント(200)の前記第1部分(210)が前記屈曲マウント(200)の前記第2部分(220)に対して移動できる、ように構成されている、請求項2に記載の装置。
  4. 前記屈曲マウント(200)の第2の部分(220)は、第1のアーム部(222)と第2のアーム部(224)を備え、前記第1のアーム部(222)及び前記第2のアーム部(224)の各々は、前記第1のアーム部(222)及び前記第2のアーム部(224)の各々が、変形可能部分(240−1、240―2)の各々の変形によって前記変形可能部分(240−1、240−2)の各々に対して回転可能であるように、前記第2の部分(220)の前記変形可能部分(240−1、240―2)の各々を介して前記第2の部分(220)の残りの部分に接合され、
    前記第1のアーム部(222)及び前記第2のアーム部(224)の各々は、前記第1のアーム部(222)及び前記第2のアーム部(224)が第2の変形可能部分(230−1、230−2)の各々の変形によって、前記第2の変形可能部分(230−1、230−2)の各々に対して更に回転可能であるように、前記第2の部分(220)の前記第2の変形可能部分(230−1、230−2)の各々を介して前記屈曲マウント(200)の第1の部分(210)に接合され、
    前記屈曲マウント(200)の前記第1の部分(210)が前記屈曲マウント(200)の前記第2の部分(220)に対して移動する際に前記変形可能部分(240−1、240−2、230−1、230−2)が平行四辺形の配置のままであるように、各変形可能部分(240−1)と前記第2の変形可能部分(230−1)との間の前記第1のアーム部(222)の長さが、前記変形可能部分(240−2)と前記第2の変形可能部分(230−2)との間の前記第2のアーム部(224)の長さと等しい、
    請求項3に記載の装置。
  5. 前記マウント移動構成要素(184−1)は、第1のロッド(184−1a、184−1b)を備え、
    前記第1のロッド(184−1a、184−1b)の熱膨張により、前記屈曲マウント(200)の第1の部分(210)と前記屈曲マウント(200)の第2の部分(220)が互いに遠ざかり又は近づくように、前記第1のロッド(184−1a、184−1b)の少なくとも一部分の第1の端が前記屈曲マウント(200)の前記第1の部分(210)に接続され、且つ、前記第1のロッド(184−1a、184−1b)の前記少なくとも一部分の第2の端が前記屈曲マウント(200)の前記第2の部分(220)に接続されている、
    請求項2〜請求項4の何れか1項に記載の装置。
  6. 前記第1のロッド(184−1a、184−1b)の熱膨張により前記屈曲マウント(200)の前記第1の部分(210)と前記屈曲マウント(200)の前記第2の部分(220)が互いに近づくように、前記第1のロッド(184−1a、184−1b)の前記少なくとも一部分の前記第1の端が第1のコネクタ(184−3、184−5)を介して前記屈曲マウント(200)の前記第1の部分(210)に接合され且つ前記第1のロッド(184−1a、184−1b)の前記少なくとも一部分の前記第2の端が第2のコネクタ(184−2、184−4、188−7、188−6)を介して前記屈曲マウント(200)の前記第2の部分(220)に接合されている、請求項5に記載の装置。
  7. 前記ガイド(286)は第1の筒状部分(286−1)を備え、前記移動可能なマウント(282)は、前記第1の筒状部分(286−1)の中で伸びる第2の筒状部分(282−1)を備え、
    材料(184)の片と、前記第1の筒状部分(286−1)及び前記第2の筒状部分(282−1)の少なくとも1つとの間の熱収縮または熱膨張での差が、温度の変化に応じて、前記材料(184)の前記片が前記第1の筒状部分(286−1)を通って前記第2の筒状部分(282−1)を動かすように、前記マウント移動構成要素は、前記第1の筒状部分(286−1)に接続された第1の端と前記第2の筒状部分(282−1)に接続された第2の端とを有する前記材料(284)の前記片を備える、
    請求項1に記載の装置。
  8. 前記マウント移動構成要素(184)は、第1の熱膨張係数を有する第1の材料により形成され、前記ガイド(186、286)は、前記第1の熱膨張係数より小さい第2の熱膨張係数を有する第2の材料により形成される、請求項1〜請求項7の何れか1項に記載の装置。
  9. 前記第1の材料は、プラスチックであり、前記第2の材料は、金属及び金属合金のうちの1つである、請求項8に記載の装置。
  10. 前記第1の材料はポリエステルエーテルケトンである、請求項9に記載の装置。
  11. 複数の光学構成要素と請求項1〜請求項10の何れか1項の装置(180、280)が取り付けられたフレーム(110)を備える光学機器であって、
    前記複数の光学構成要素の光学構成要素は、前記装置(180、280)の前記移動可能なマウント(182、282)に取り付けられ、
    温度変化に伴って他の光学構成要素の第1の光学構成要素と、第2の光学構成要素との間の前記フレームの光路距離の変化を補償するように、前記装置(180、280)の前記マウント移動構成要素(184―1、284)は、前記光学機器の温度が変化することに伴って前記移動可能なマウント(182、282)に取り付けられた前記光学構成要素を移動するように構成されている、
    光学機器。
  12. 前記光学機器は、複数の光学構成要素が取り付けられた分光計フレーム(110)を備える分光計(100)であり、
    前記複数の光学構成要素は、
    光導波路のためのレセプタクル(120)、
    コリメートレンズ(130)、
    回折格子(140)、
    集束レンズ(150)、及び
    光検出器(170)、
    であり、
    前記レセプタクル(120)、前記コリメートレンズ(130)、前記集束レンズ(150)、及び前記光検出器(170)の1つである光学構成要素は、前記装置(180、280)の前記移動可能なマウント(182)に取り付けられ、
    前記分光計の利用では、前記コリメートレンズ(130)は、前記光導波路からの光をコリメートするように配置され、前記回折格子(140)は、前記コリメートされた光を受け取り且つ空間的に分離された前記光のスペクトル成分を備える分散光を提供するように配置され、前記集束レンズ(150)は、前記分散光を受け取り且つ前記受け取った分散光を、前記光検出器(170)のスポットに収束させるように配置され、
    前記装置(180、280)の前記マウント移動構成要素(184―1、284)は、前記温度とは実質的に独立して前記スポットのサイズを維持するように、前記温度の変化に伴って前記移動可能なマウント(182、282)に取り付けられた前記光学構成要素が移動するように構成されている、
    請求項11に記載の光学機器。
  13. 光学構成要素(330)の温度依存移動を提供するための装置(380)であって、
    基部(387)、
    前記光学構成要素(330)のための移動可能なマウント(382)、
    前記移動可能なマウント(382)と前記基部(387)に取り付けられたマウント移動構成要素(384)と、
    を備え、
    前記マウント移動構成要素(384)は、前記マウント移動構成要素(384)の熱膨張または熱収縮により前記装置(380)の温度の変化に伴って前記基部(387)に対して前記移動可能なマウント(382)を移動させるように構成されている、
    装置。
  14. フレーム(310)を備える光学機器(300)であって、前記フレームには、
    複数の光学構成要素(320、330、340、350、370)と、請求項13の光学構成要素(330)の温度依存移動を提供するための装置(380)と、
    が取り付けられ、
    前記装置(380)は、前記基部(387)を介して前記フレーム(310)に取り付けられ、前記複数の光学構成要素(320、330、340、350、370)の光学構成要素(330)は、前記装置(380)の前記移動可能なマウント(382)に取り付けられ、
    前記温度の変化に伴って他の光学構成要素の第1の光学構成要素と第2の光学構成要素との間の前記フレーム(310)の光路距離の変化を補償するように前記装置(380)の前記マウント移動構成要素(384)は、前記光学機器(300)の温度の変化に伴って、前記フレーム(310)に対して前記移動可能なマウント(382)に取り付けられた前記光学構成要素(330)を移動させるように構成されている、
    光学機器。
  15. 前記光学機器は、複数の光学構成要素が取り付けられた分光計フレーム(310)を備える分光計(300)であり、
    前記複数の光学構成要素は、
    光導波路のためのレセプタクル(320)、
    コリメートレンズ(330)、
    回折格子(340)、
    集束レンズ(350)、及び
    光検出器(370)、
    であり、
    前記レセプタクル(320)、前記コリメートレンズ(330)、前記集束レンズ(350)、及び前記光検出器(370)の1つである光学構成要素は、前記装置(380)の前記移動可能なマウント(382)に取り付けられ、
    前記分光計の利用では、前記コリメートレンズ(330)は、前記光導波路からの光をコリメートするように配置され、前記回折格子(340)は、前記コリメートされた光を受け取り且つ空間的に分離された前記光のスペクトル成分を備える分散光を提供するように配置され、前記集束レンズ(350)は、前記分散光を受け取り且つ前記受け取った分散光を、前記光検出器(370)のスポットに収束させるように配置され、
    前記装置(380)の前記マウント移動構成要素(384)は、前記温度とは実質的に独立して前記スポットのサイズを維持するように、前記温度の変化に伴って前記移動可能なマウント(182、282)に取り付けられた前記光学構成要素が移動するように構成されている、
    請求項14に記載の光学機器。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3977188A1 (en) * 2019-05-29 2022-04-06 Alcon Inc. Optical component mounting system
CN116184572B (zh) * 2023-04-26 2023-07-04 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 准直器块、准直组件及激光器

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0675150A (ja) * 1992-03-31 1994-03-18 Eastman Kodak Co 温度補償光学アセンブリ
JPH10325754A (ja) * 1991-11-06 1998-12-08 Hewlett Packard Co <Hp> 走査モノクロメータ
JP2003515733A (ja) * 1999-12-01 2003-05-07 ハッチ カンパニー 内部鏡面反射を軽減する同心分光計
JP2005308779A (ja) * 2004-04-16 2005-11-04 Fujinon Corp レンズ装置の温度補償構造
JP2017083816A (ja) * 2015-10-26 2017-05-18 カンタツ株式会社 レンズアセンブリおよび撮像装置
JP2017083667A (ja) * 2015-10-28 2017-05-18 京セラ株式会社 レンズユニット、撮像装置、および車両
US20170227523A1 (en) * 2016-02-04 2017-08-10 Nova Biomedical Corporation Analyte system and method for determining hemoglobin parameters in whole blood

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2117903A (en) * 1982-04-01 1983-10-19 British Aerospace Thermally responsive means
US5313333A (en) * 1992-12-23 1994-05-17 Estman Kodak Company Method and apparatus for combined active and passive athermalization of an optical assembly
JPH07113974A (ja) 1993-10-20 1995-05-02 Seiko Epson Corp 光走査装置
US7180590B2 (en) * 2003-07-09 2007-02-20 Ibsen Photonics A/S Transmission spectrometer with improved spectral and temperature characteristics
JP6351486B2 (ja) 2014-11-11 2018-07-04 Juki株式会社 電子部品搬送ノズル及びこれを有する電子部品実装装置
US20160291283A1 (en) * 2015-04-01 2016-10-06 Sensors Unlimited, Inc. Lens array passive athermalization
US10996419B2 (en) 2017-07-31 2021-05-04 Newport Corporation Thermal compensating optical component mount and related devices

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10325754A (ja) * 1991-11-06 1998-12-08 Hewlett Packard Co <Hp> 走査モノクロメータ
JPH0675150A (ja) * 1992-03-31 1994-03-18 Eastman Kodak Co 温度補償光学アセンブリ
JP2003515733A (ja) * 1999-12-01 2003-05-07 ハッチ カンパニー 内部鏡面反射を軽減する同心分光計
JP2005308779A (ja) * 2004-04-16 2005-11-04 Fujinon Corp レンズ装置の温度補償構造
JP2017083816A (ja) * 2015-10-26 2017-05-18 カンタツ株式会社 レンズアセンブリおよび撮像装置
JP2017083667A (ja) * 2015-10-28 2017-05-18 京セラ株式会社 レンズユニット、撮像装置、および車両
US20170227523A1 (en) * 2016-02-04 2017-08-10 Nova Biomedical Corporation Analyte system and method for determining hemoglobin parameters in whole blood

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