JP2003515733A - 内部鏡面反射を軽減する同心分光計 - Google Patents
内部鏡面反射を軽減する同心分光計Info
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Abstract
Description
および分光写真器に関する。より詳細には、本発明は、ダイソン光学系が適用さ
れる同心分光計および同心分光写真器を含むダイソンシステム「ザイデル収差の
ない1倍光学系」に関する。
ion」(JSOA、Vol.49、No.7、pp.713〜716)により
説明されている同心光学系は、ザイデル収差のない大きな視野を提供し、従って
、高い品質および解像力の画像を形成できる。この光学装置は、L.Mertz
著「Concentric Spectrographs」(Apllied
Optics、Vol.16、No.12、pp.3122〜3124)および
W.SlutterのEP0 862050 A2;1998により分光計およ
び分光写真器に有利に適用され、光エネルギーの高品質なスペクトル分散を提供
する。
能性がある。画像は、内部反射の結果として無数の光学現象で劣化し得る。劣化
の一例は、画像開口における物体の多重像の形成によるものである。内部反射に
より引き起こされる劣化の別の例は、画像開口における干渉縞の形成である。画
像品質が劣化し得るさらに別の例は、光学表面からの反射光が画像開口で焦点が
合わずに入射し、物体の画像の形成に貢献しないとき、コントラストまたは検出
限界(detection limit)が失われることにある。分光計の対象
は、一般的に、分析すべき光エネルギーが入射する入射スリットまたは入射開口
である。
を引き起こす2つの鏡面反射が存在する。両方の反射は、凹状回折格子に対して
同心で位置する、平凸レンズの凸状表面で生ずる。第1の反射は、物体平面(o
bject plane)から送られた光がレンズの凸状表面に入射する時に生
じ、第2の反射は、格子からの回折光が前記凸状表面に当たる時に生ずる。これ
ら反射の1つまたは両方のいずれかが分光計の画像品質を劣化させ得る。
止被覆を堆積させることにより低減されてきた。反射防止被覆(単数および複数
)は、光学表面に塗布され、光線が1つの光学媒体(空気など)から異なる屈折
率を有する第2の光学媒体(ガラスなど)に伝播する時に屈折率の差の変動を減
じ、従って、鏡面反射の大きさを減ずる。光学表面上の反射の大きさを減ずる、
光学表面上の多くの被覆(コーティング)の例が存在している。実際に、非常に
多くの論文が、光学表面上で反射を減ずる単層または多層の堆積の研究にささげ
られてきた。
層誘電体被覆は固有の欠点を有している。欠点は、高い製造コスト、反射損失が
低い狭い波長範囲、光線が低反射で伝播するであろう制限された入射角度を含み
、また、欠点は特別な扱いを要する脆性、洗浄および環境についての考慮である
。実際に、これら高性能被覆は、設計波長範囲を超えて使用された時に、反射防
止被覆のない表面よりも大きな反射をもたらし得る。使用される被覆(単数およ
び複数)によらず、内部反射は、広い波長範囲にわたっては、画像品質の劣化の
レベルが同心光学系における前述の光学現象の1つまたは複数により生じないレ
ベルまで減じない。
NA)を減らすことによる。分光計のNAが減ぜられる一方法は、分光計内に光
学絞りを配置することによる。これは、検出可能信号の損失、光学系の性能(e
tendue)または処理能力の減少をもたらし、また、より多くのエネルギー
が分光計の境界内に吸収されなければならないために分光写真器内に迷光を付加
または増やす。
、それでも、高い性能が保たれるように、同心分光計内で内部反射された光を軽
減する必要が存在している。
、同心分光器光学系の内部反射の制限を克服する。結果として、高い処理能力を
維持しながら、検出面または画像面での画像品質が保たれる。
学放射または光が分光計に入射し、前記対物開口の、波長により空間的に分散さ
れた画像が前記画像開口で形成される。光学系のF数に加えて、対物開口および
画像開口の視野または大きさが、光が光学系を伝播するであろう限界を画定する
。光学系を開口視野の境界で伝播する光線は周縁光線である。
面からの入射光を反射および回折させ、画像平面にて波長により空間的に分散さ
れた物体(単数および複数)の画像を形成するのに関与する。平凸レンズが備わ
り、そこを通って、物体平面からの光が回折格子へ伝播し、回折格子で光は回折
および反射され、その後、光は同じ平凸レンズを通って再び伝播し、画像平面内
に空間的に分散された物体の画像を形成する。レンズの凸状表面および回折格子
の凹状表面は、湾曲の共通中心について同軸か、または、ほぼそれに近い。光軸
も備わり、光軸は、光学要素の湾曲の中心を含み、レンズおよび回折格子の両方
の機械的軸を通して延びる。半径方向距離は、対物開口および画像開口の両方を
含む光軸から画定される。
定され、回折光線は格子からレンズの凸状表面へ伝播する。レンズの凸状レンズ
表面に入射する回折された光線は、鏡面反射を生ずるであろう。光線が子午線平
面を交差する前に凸状レンズ表面に入射する光線は、鏡面反射を生じ、再度格子
に入射するように向けて送られる。この光線は、さらに、ゼロ次の回折により光
学系を伝播し、関心スペクトルと関係しない、画像開口内のスペクトルまたはス
ペクトルの一部を形成する。その結果、迷光が増加する。凸状レンズ表面に入射
する前に光線の子午線平面を横切る回折光は、鏡面反射を引き起こし、鏡面反射
は、2回目の反射または回折の可能性なしで、回折格子および画像平面からそれ
る。したがって、1つまたは一連のバッフルおよび/または光吸収媒体を含む表
面は、分光計の光学経路と干渉することなく、分光計内のさらなる伝播を防止す
るために使用され得る。本発明は、回折光が、子午線平面を事前に交差すること
なく、凸状レンズの表面に入射する可能性を排除し、したがって、内部鏡面反射
がさらに伝播することを排除する。
は反射が起こらないため、バッフルは、一方向からの光の伝播を防ぐことのみ必
要である。バッフルは、したがって、吸収媒体またはバッフル上で反射した光が
多数入射することによる迷光をより完全に軽減するために、最適化され、分光計
内の全迷光をさらに減じ得る。
部反射が生じるため、レンズの凸状表面の前の光軸を横切ることを許されない。
さらに、光軸から離れて延びる周縁光線は、光学系の明確な開口を画定する。
。この開口マスクは、分光計のNAを制限し、さらに、分光計の迷光を減ずる。
格子の端部または周辺近傍は、通常、光学品質を有しない。格子の端部は、通常
、格子のもろさを減らすために面取りをされるが、画像開口へ向かう散乱光の望
ましくない効果を有し得る。また、格子の明確な開口を超えた光学表面は、複製
または製造工程からの欠点を含む。したがって、開口マスクは、光に対して吸収
性のある表面を提供し、分光計のNAを制限するのに役立ち、格子の明確な開口
を超える領域をマスクし、画像開口へ向かう光の散乱を防止する。
に近接しているか、または、その表面内に含まれている並行な、または、一致す
る平面内に存在する。平凸レンズの厚みおよびレンズ半径、レンズの凸状表面と
回折格子の凹状表面の分離および格子溝密度は、同時に調整され、分光計の開口
内の収差を最小にし、所望の空間分散を提供する。さらに、対物開口と画像開口
が存在する光学軸からの半径方向距離およびレンズ、格子および開口マスクの直
径は、本発明により調整され、内部反射を除去しながら、分光計に対する所望の
開口数を提供する。
射を軽減するダイソン光学構成の同心分光計が示されている。分光計の設計に関
係する従来技術のシステムは図1から図9に示されている。
正された同心分光計200が示されている。平坦表面216と凸状表面217を
有する平凸状レンズ215が示されている。分散表面221を有する回折ゲート
220は、レンズ215の凸状表面217が同心かまたはそれに近くなるように
、光軸203に沿ったある距離に配置される。対物開口205は物体平面202
と一致し、物体平面を通って光が分光計200に入射し、そこで光がレンズ21
5により屈折し、格子表面221を実質的に満す。光は、公知の格子の式knλ
=sinα+sinβに従って格子表面221により回折する。ここで、kは格
子の溝密度、nは回折次数、λは入射光の波長、αは入射角度およびβは回折角
度である。回折光は、レンズ215を通して画像平面201に伝播し、画像平面
にて、スペクトル画像が画像開口211内に形成され、画像開口において、スペ
クトル206が図3における波長に対する光の空間分散として検出され得る。回
折次数がゼロ、すなわち、n=0の時、入射角度は、分散角度に等しく、反射が
起こる。所定の分散に対して、正、負およびゼロの数個の回折次数が存在する。
対物開口205のゼロ次210画像は、n=1の回折次数の参照として光学軸2
03に関して示されている。光学軸203を含む子午線平面225は、格子表面
221の格子溝に垂直に画定され、対物開口205を画像開口211から分離す
る。対物開口205は、子午線平面225から距離272の位置に配置され、画
像開口211による回折光の再入射を防止する。
その品質がスペクトルの純度を劣化させ、迷光により分光計の検出範囲を制限す
る。この性能劣化の原因は、レンズ215の凸状表面217と格子表面221の
間の内部反射による。画像開口211内の迷光の一因となることが知られている
内部反射は、反射の形成と経路を示す図6で説明される。解析される光は、対物
開口205を通して分光計に入射し、光線経路250に沿ってレンズ215の平
坦表面216に伝播する。光線は、経路251、252に沿って進み、格子表面
221に入射する。格子表面221で、光線は、波長に対して角度によって回折
する。所定の波長に対して、光線260は、レンズ表面217に進み、そこで、
光の一部が経路265に沿って反射し、残りの光が画像開口211へ向かう光線
経路268としてレンズ215を通して伝播する。反射光線265のある部分は
、再度、格子に入射し、回折式によるゼロ次の回折に従って光線266として反
射する。回折格子表面221上への2回目の入射のゼロ次の光線266は、レン
ズ215を通って光線経路267に沿って進み、画像開口211内に入射し、主
スペクトル206の第2の部分画像を生成する。この部分スペクトルは、主スペ
クトル206と空間的に相関を有せず、原子吸収分光計の分野における分光計の
有用性を与える特定波長の検出を妨げる。格子表面221からの回折光線260
は、凸状レンズ表面217へ向かうx−y経路に従い、領域250内のレンズ表
面217に入射する。所定のx−y光線経路に対して、子午線平面、すなわち、
反射平面236は、光学軸203を含み、図3に示す伝播のx−y線に垂直にな
るように画定される。反射平面236が、凸状レンズ表面217の表面領域25
0を切り込む時、鏡面反射は、図3の領域251として特定される、不要な部分
スペクトル画像の一因となる。
5に示されるように、2以上の対物開口および画像開口を含み得る。光は、対物
開口405(505)および475(575)を通って分光計に入射し、レンズ
415(515)を通って格子420(520)の凹状格子表面421(521
)に伝播する。画像開口411および481は、子午線平面425の同じ側に配
置され、そこを通って対物開口405および475の主スペクトル406および
476が画像形成される。対物開口405(505)および475(575)の
ゼロ次の画像は、光軸に対して、それぞれ410(510)および480(58
0)として示される。スペクトル406および476に対する分散軸435およ
び445は、両スペクトルが単一検出器に入射することが可能なように一致し得
る。スペクトル506の分散軸535およびスペクトル576の分散軸545は
、子午線平面525の異なる側に配置され、さらに空間独立した検出手段を提供
するために、2つのスペクトルのより大幅な分離を提供する。物体平面または画
像平面または空間配置の数に関わらず、レンズ415(515)の表面領域45
0(550)、460(560)がそれぞれ反射平面436(536)、446
(546)によって切り込まれる時、内部反射が起こり得る。部分451(55
1)および461(561)内の凸状レンズ表面からの鏡面反射は、分光計の性
能を劣化させる不要な部分スペクトル画像の形成の一因となる。従来技術の2重
配置の別の欠点は、対物開口405(505)および475(575)が画像開
口411(511)および481(581)より光軸403から異なった距離に
配置されていることである。光軸403に関する開口の非対称配置は、スペクト
ル406(506)および476(576)の画像品質を劣化させる。
く使用されてきた。従来技術の修正された同心分光計において使用される開口絞
り290の例は、図3および図6に示される。図6の開口絞り290は、分光計
のNAを制限するが、内部反射が格子220に入射するのを防がないため、その
後、図3における主スペクトル206の品質劣化を生じる。光が通過を許される
、図7の開口絞り390の大きさは、修正された同心分光計では小さくでき、レ
ンズ315の凸状表面317からの内部反射が格子320の格子表面321に入
射するのを妨げる。光は、光線経路350に沿って物体平面302の対物開口3
05を通って修正された分光計に入射する。光線経路350は、光線経路351
に沿ってレンズ315の平坦表面316を通って凸状レンズ表面317に伝播す
る。光は、レンズ315により屈折し、凹状格子表面321に入射し、格子表面
にて、前記光はレンズ表面317の方へ回折する。画像開口311内の主スペク
トル306の形成の一因となるであろう、使用可能な光353のかなりの部分は
、開口絞り390により、主スペクトルの形成を妨げられる。この掩蔽の結果、
スペクトルの輝度の低下を補うために、検出手段の利得を増加しなければならな
い状況が生まれる。分光計内で入射多色光を掩蔽することによってもまた、開口
絞り390からの光の散乱により生ずる迷光の量が増える。このことにより、不
要なコントラスト低下または信号対雑音比の増加が生じ、したがって、反射36
5が開口絞り390により除去されるが、検出範囲が制限される。分光計の、減
少したNAは、図8および図9に最もよく説明されている。格子320は、開口
絞り390により掩蔽され、光は、開いている開口絞り390内の格子表面32
1に入射可能となる。回折光は、全部が反射平面336の側にある領域350内
のレンズ表面317に入射し、そのレンズ表面は、図3の同じ領域250と比較
すると、性能がかなり低下するという犠牲を払うが、内部反射の要因とはならな
い。
による迷光、明確な開口を超えた格子表面の欠陥による迷光、部分的無相関スペ
クトル、減少した性能)は、本発明において、内部反射を軽減する同心分光計に
おいて解決されてきた。光は、図10および図11の物体平面102の対物開口
105を通って、鏡面反射を軽減する同心分光計100に入射する。対物開口1
05内に、複数の入射光線経路が配置され、それぞれが分散され、画像平面10
1の画像開口111内にそれぞれの多色入射光線経路の個別スペクトルを形成し
得る。本発明によれば、物体平面102および画像平面101は、一致した空間
に存在する必要はなく、平凸レンズ115の平坦表面116からずれていてもよ
い。さらに本発明によれば、レンズ115の凸状表面117および回折格子12
0の凹状表面121を含むダイソン光学構成は、3次収差を最小にする距離で光
軸103に沿って分離される。開口マスク190は、格子120の凹状表面12
1に近接するか、または、その上に含まれるように導入される。開口マスク19
0は、入射光より大きなNAに分光計のNAを制限する。想像されるように、開
口マスク190は、物体平面102または画像平面101にそれぞれ向かう、ス
テイ多色入射光線の伝播を吸収により妨げる。さらに、開口マスク190は、前
記迷走する多色入射光線が、格子120の明確な開口を超えた、表面欠陥および
端面が存在する凹状格子表面121に入射するのを防ぎ、したがって、迷光の伝
播または生成を防ぐ。開口マスク190のさらに別の態様は、凸状表面117上
への入射光線160による鏡面反射した光線165が物体平面102および画像
平面101へそれぞれ伝播するのを妨ぐことである。対物開口105および画像
開口111は、画像品質が最適となる、図12に示す光軸103から半径方向距
離137に配置される。したがって、画像開口111を交差する半径137のコ
ード(cord)長を最大にして、画像開口111内で最高の画像品質を提供す
るという要望が存在する。対物開口105内の所定の入射光線経路に対して、分
散軸135は、高画像品質の半径137を交差する。対称性により、対物開口1
05のゼロ次の画像110はまた、光軸103から半径方向距離137で入射す
る。したがって、本発明によりゼロ次の画像110、対物開口105および画像
開口111は、光軸103からほとんど同じ半径方向距離137にある。この幾
何学的構成の独特の態様は、対物開口105の多色入射光線がレンズ115の内
部凹状表面117から反射し、図10の反射光線166として画像開口111か
らそらされる手段を提供する。この幾何学的構成により、画像開口111上に入
射する迷光が低減する。レンズ115の半径方向距離137および直径は、対物
開口105から生ずる周縁光線が光軸103を横切らないが、凸状表面117を
通って伝播できるように選択される。このことにより、半径方向距離137に対
する最小直径がレンズ115の直径のほぼ半分に決められる。さらに、周縁光線
は、格子120の所望の明確な開口、したがって、開口マスク190の内径を決
定する。したがって、当業者により、光学パラメータの賢明な選択が行われ、光
の所望のスペクトル分散および空間分散および動作開口数が得られる必要がある
。光学パラメータは、制限しないが、本開示の内容により、格子120の溝密度
、部品の空間位置と同様に光学部品の材料、寸法および半径を含む。このように
して選択された光学パラメータは、図10および図11で開示されているように
、鏡面反射光線165が、鏡面反射を軽減する同心分光計100の光学システム
を伝播するのを低減する同心分光計を提供する。
外観図13は、ファイバ・コネクタ158およびひずみ除去器159を含む一体
型光ファイバ組み立て品において光が光ファイバ118を通って分光計100に
入射する部分を示す。光ファイバ118は、エポキシ接着剤119によりファイ
バ・コネクタ158に取り付けられている。ファイバ・コネクタ158はファイ
バ・コレット157により取り付けられ、ねじ192を用いてクランプ191に
より所定位置に保持される。分光計本体150は、光学部品を取り付け、整列さ
せ、この整列状態を広い動作温度範囲にわたって維持する手段を提供する。計量
棒(metering rod)153は、本体150を貫通し、固定ナット1
54により一端で固定される。計量棒153の他端は、分光計本体150内の、
調節ナット155が固定されるフランジを通過する。スロット152は、分光計
本体150、優先的には分光計の格子端が、3自由度、すなわち、x軸まわりの
ピッチ、y軸まわりのヨーおよびz軸に沿う平行移動で曲がることを可能にする
。このことは、画像開口111内にスペクトル画像106のx−y位置決めおよ
び焦点合わせを達成する、本実施形態の全ての他の固定された要素に関して、格
子120を位置決めする手段を提供する。スロット152は、分光計150の熱
膨張継ぎ手としてさらに有用性を提供する。Invarなどの十分に低い熱膨張
係数CTEを有する計量棒153は、格子表面121に対するレンズ115の相
対的位置を維持する一方で、本体150が、ある温度にわたってスロット152
において線形な寸法だけ変化することを可能にする。当業者により分光計本体1
50に対する計量棒153の取り付け点が適切に選択されることにより、焦点の
変動は、広い動作温度範囲にわたって十分に除去される。分光計本体150のス
ロット151は、図14の格子保持リング193と連結して使用され、分光計本
体150との接触を維持しながら、格子120に制御された負荷をかけ、格子1
20の回転アライメントを可能にする。屈曲部151はまた、格子120と本体
150の間の接触が分光計の動作温度範囲にわたって維持されることを保証する
。好ましい実施形態の一特徴は、全てのアライメント調整が分光計の一端から利
用でき、分光計の随時(in situ)アライメントを可能にすることである
。平凸レンズ115は、ハウジング156により分光計本体150内に保持され
る。回路基板195は、ファイバ・コレット157に関して検出器112を配置
し、検出器112に対して電力を供給し、信号を引き出す手段を提供する。対物
開口105は、優先的には、光ファイバ118が隣接する、SCHOTT GL
ASS TECHNOLOGIES B270ガラスなどの光学的に透明な基板
上に、ニッケルなどの不透明金属を堆積させることにより形成される光学スリッ
トの形をとる。基板104は、ファイバ・コレット157の端部に取り付けられ
、光学スリット105に対してファイバ・コネクタ158を光ファイバ118に
整列した状態に維持する。スリット105に関して検出器112およびファイバ
・コレット157を取り付けた状態の回路基板195は、保持リング194によ
り、レンズ115の平坦表面に押し付けられる。基板とほぼ等しい屈折率を有し
、検出器112および平凸レンズ115の検出窓を有する光学接着剤107は、
検出器112および基板104をレンズ115に接着し、この光学的界面での鏡
面反射による損失なしで、機械的安定性を提供する。EPOXY TECHNO
LOGIES EPO−TEK 301−2などの光学接着剤107、または、
所望の光学特性および物理特性を有する他の接着剤が使用され得る。光ファイバ
118と基板104の間の表面反射は、108に配置される前記同じ光学接着剤
を使用して、同様に除去される。バッフル構造180は、光吸収材で作られるか
、または、光吸収材で被覆されたバッフル181などの一連の個々のバッフルで
構成されており、それの一体の部分として開口マスク190を含んでよい。個々
のバッフル間の間隔および各バッフルの開口またはその両方は、凸レンズ表面1
17から反射した迷光または光が、最初に181などのバッフルに入射し、その
後、バッフル壁182に入射するように、調整され得る。このように配置された
バッフル構造は、迷光の吸収に対して2つのもの機会を提供し、バッフル構造1
80の材料または吸収媒体の吸収性を効果的に2倍にする。バッフル構造180
は、分光計本体150にゆるく取り付けられ、シリコーン接着剤196などの可
撓性接着剤により所定の位置に保持される。シリコーン接着剤196は、調整ナ
ット155により格子120のピッチおよびヨーの調整がなされる時に、バッフ
ル構造180が、分光計本体150からはずれることなく、分光計本体150に
対して内側に片寄ることを可能にする。バッフル構造180はまた、スロット1
52により生成される光経路を遮ることにより、周辺光が、本体150内のスロ
ット152を通って分光計本体150に入射するのを防ぐ。
ラーまたはプリズムなどの平面反射表面を導入することにより、光軸が変更され
てもよいことは、当業者にとって、明らかになるであろう。反射表面の角度また
は数にかかわらず、光軸が直線となる時、光学トンネル図(optical t
unnel diagram)として、光軸に関して分光計を通る光線経路は、
変化せず、本発明の範囲内であることを示し得る。
限されない、高品質のスペクトル画像を提供する、内部鏡面反射を軽減する同心
分光計が実現される。本明細書に記載された詳細な実施形態は、当業者により、
本発明の範囲または意図から逸脱することなく種々の形態で実施されてよく、開
示された実施形態に限定するものではなく、前掲の請求項により規定されるべき
である。
写真器の平面図(x−z平面)である。
)である。
平面)である。
軸(x−y平面)である。
面)である。
平面)である。
Claims (20)
- 【請求項1】 内部鏡面反射を軽減する同心分光計であって、 (a)光軸と、 (b)前記光軸に垂直な半径方向距離と、 (c)光軸から実質的に前記半径方向距離に配置されている対物開口(obje
ct aperture)と、 (d)光軸から実質的に前記半径方向距離に配置されている画像開口(imag
e aperture)と、 (e)前記光軸上で実質的に共通である曲率中心を有し、ゼロ次回折に対して無
球面収差である(aplanatic)少なくとも1つの回折格子表面を含み、
少なくとも1つの凸屈折表面を含む複数の光学表面と、 (f)前記複数の光学表面の湾曲の中心と実質的に一致し、前記光軸に実質的に
垂直な複数の平面光学表面とを備える同心分光計。 - 【請求項2】 前記回折格子表面に配置されている開口マスクをさらに備え
る、請求項1に記載の分光計。 - 【請求項3】 前記屈折表面と前記回折格子表面の間に複数の光吸収バッフ
ルをさらに備える、請求項1に記載の分光計。 - 【請求項4】 前記光軸に関して斜めの角度で光線経路に配置されている少
なくとも1つの平面反射光学表面をさらに備える、請求項1に記載の分光計。 - 【請求項5】 前記表面の少なくとも1つは前記対物開口に実質的に一致し
ている、請求項1に記載の分光計。 - 【請求項6】 前記平面光学表面の少なくとも1つは、前記画像開口に実質
的に一致している、請求項1に記載の分光計。 - 【請求項7】 前記対物開口は、多色光が前記分光計に入射する1つまたは
複数の開口を含んでいる、請求項1に記載の分光計。 - 【請求項8】 前記対物開口の画像は、前記回折格子表面の溝に実質的に垂
直な分散軸に沿って、波長により空間的に分散され、前記画像開口内に形成され
ている、請求項1に記載の分光計。 - 【請求項9】 1つの前記平面光学表面および1つの前記非平面光学表面は
、前記レンズの前記凸表面と前記回折格子表面を分離する媒体の屈折率より大き
な屈折率を有する平凸レンズを形成する、請求項1に記載の分光計。 - 【請求項10】 前記平凸レンズの前記凸レンズ表面および前記回折格子表
面は、前記光軸に沿って空間的に分離して、前記光軸から前記半径方向距離にあ
る前記画像開口内において、回折した物体の最良の画像を形成するのに役立つ、
請求項9に記載の分光計。 - 【請求項11】 前記平凸レンズの前記平坦平面は、対物開口または画像開
口またはその両方のいずれかを含み得る、請求項9に記載の分光計。 - 【請求項12】 前記半径方向距離の半径は、前記回折格子表面から回折し
た光が前記屈折表面の鏡面から反射し、前記回折格子表面上への入射を排除する
のに十分である、請求項1に記載の分光計。 - 【請求項13】 前記半径方向距離は、前記対物開口と前記画像開口とゼロ
次回折を実質的に含む、請求項12に記載の分光計。 - 【請求項14】 前記開口マスクは、前記回折格子表面の明確な(clea
r)開口を超えた光の伝搬を防ぐ、請求項2に記載の分光計。 - 【請求項15】 前記平凸レンズの前記凸状表面の鏡面から反射する回折光
の伝搬を防ぐ開口マスクをさらに備える、請求項7に記載の分光計。 - 【請求項16】 前記開口マスクは、前記画像開口でスペクトルの形成の一
因となるであろう伝搬光を妨げない、請求項14に記載の分光計。 - 【請求項17】 非平面光学表面は実質的に球面である、請求項1に記載の
分光計。 - 【請求項18】 前記光吸収バッフルは、スペクトルの形成の一因とならな
い光を2回以上前記バッフルへの衝突によって吸収する、請求項3に記載の分光
計。 - 【請求項19】 平凸レンズの前記凸状表面の鏡面から反射した回折光を吸
収する光吸収バッフルをさらに備える、請求項10に記載の分光計。 - 【請求項20】 前記光吸収バッフルは、前記回折格子表面の明確な開口を
超えた光を吸収する、請求項19に記載の分光計。
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