CN102538962B - 一种低杂散光多色仪 - Google Patents

一种低杂散光多色仪 Download PDF

Info

Publication number
CN102538962B
CN102538962B CN201210015681.XA CN201210015681A CN102538962B CN 102538962 B CN102538962 B CN 102538962B CN 201210015681 A CN201210015681 A CN 201210015681A CN 102538962 B CN102538962 B CN 102538962B
Authority
CN
China
Prior art keywords
light
grating
polychromator
detector array
stray light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201210015681.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN102538962A (zh
Inventor
潘建根
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hangzhou Everfine Photo E Info Co Ltd
Original Assignee
Hangzhou Everfine Photo E Info Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hangzhou Everfine Photo E Info Co Ltd filed Critical Hangzhou Everfine Photo E Info Co Ltd
Priority to CN201210015681.XA priority Critical patent/CN102538962B/zh
Priority to PCT/CN2012/071093 priority patent/WO2013107064A1/zh
Priority to US14/119,031 priority patent/US20140111802A1/en
Priority to DE112012002013.8T priority patent/DE112012002013T5/de
Publication of CN102538962A publication Critical patent/CN102538962A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102538962B publication Critical patent/CN102538962B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
    • G01J3/36—Investigating two or more bands of a spectrum by separate detectors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/021—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or particular reflectors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/0216—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using light concentrators or collectors or condensers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/0237—Adjustable, e.g. focussing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0262—Constructional arrangements for removing stray light
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明公开了一种低杂散光多色仪，包括光学腔、入射狭缝、色散系统和阵列探测器，色散系统的色散元件为光栅，阵列探测器的光敏面与光栅的主截面倾斜相交。本发明通过改变多色仪内光学器件的相对位置，使阵列探测器的光敏面上因发生非期望反射而产生的杂散光刚好被反射出期望光路，并在光学腔内壁，反射光斑投影的平面上安装消光的小光阑，从而大幅降低了杂散光。

Description

一种低杂散光多色仪
技术领域
本发明涉及一种光谱辐射测量和光谱分析装置，具体涉及一种低杂散光多色仪。
背景技术
多色仪一般包括光学腔、入射狭缝、色散系统和阵列探测器，光束从入射狭缝进入多色仪的光学腔，经色散元件被分光，形成不同波长的色散光线投射到阵列探测器的光敏面上，以检测光谱功率分布。杂散光是光学系统中非正常传输光的总称，多色仪的杂散光包括不同衍射级次间的重叠和非预期的反射，杂散光强度是衡量其性能的一个重要技术指标。
不同衍射级次间的重叠所引起的杂散光可通过滤色镜滤除，而非期望的反射光线所带来的杂散光却难以消除。非期望的反射光产生于光学腔内的各个光学元件之间以及光学元件与光学腔之间，特别是在阵列探测器的光敏面，由于色散光的入射角度小，一次反射光很容易重新进入色散系统，从而带来可观的杂散光；此外，非期望的反射光经过光学腔内壁的反射，也有可能进入期望光路，带来杂散光。
发明内容
针对上述现有技术的不足，本发明旨在提供一种多色仪，解决现有技术中所存在的部分杂散光难以消除的问题。
为达到上述目的，本发明采用下列技术方案：
一种低杂散光多色仪，包括光学腔、入射狭缝、色散系统和阵列探测器，其特征在于，色散系统中的色散元件为光栅，阵列探测器的光敏面与光栅的主截面倾斜相交。
上述的光栅的主截面为垂直于光栅刻痕的平面。
在现有多色仪中，阵列探测器的光敏面垂直于光栅的主截面，因此光线在阵列探测器的光敏面上极易发生非期望反射，并进入期望光路，引入杂散光，针对此类杂散光问题，本发明通过改变多色仪内光学器件的相对位置，使二维阵列探测器的光敏面偏离光栅主截面的垂直面，将原本会产生杂散光的非期望光路的光线反射出期望光路，降低杂散光。
本发明可通过以下技术特征进一步限定和完善：
上述的阵列探测器的光敏面偏离光栅主截面的垂直面一定角度，根据光学器件的相对位置，该角度可设置在2-12°之间，使阵列探测器光敏面上因发生镜面反射而产生的反射光斑刚好偏离多色仪内的光学器件，并落在光学腔内壁的一平面上，避免阵列探测器的一次反射光线进入色散系统，降低杂散光。作为优选，阵列探测器的光敏面偏离光栅主截面的垂直面在3-10°之间，角度太大，多色仪内的光学器件的摆放不够紧凑，角度太小，对于机械工艺的精度要求较高。
上述的色散系统与阵列探测器之间的光路中设置与光栅的主截面倾斜相交的滤色片。滤色片对各种光线起着通过、限制和阻止的作用，可选择性地导通某一波长范围的波段，并可以消除光栅光谱级次的重叠。滤色片与光栅的主截面倾斜相交。滤色片偏离光栅主截面的垂直平面2-12°之间，使在其表面因反射而产生的非期望光线刚好被反射出期望光路，从而减小杂散光的影响。作为优选，滤色片偏离光栅主截面的垂直平面3-10°之间，该角度范围内，多色仪光学腔内的光学器件刚好被摆放得紧凑适宜。
上述的反射光斑在光学腔内壁投影的平面上安装等间距的小光阑，光学腔的内壁和小光阑表面均匀地涂上反射率较低的漫反射材料，小光阑的安装可以增加非期望光线在光学腔表面的反射次数，从而大幅减小非期望光线的强度，达到吸光的作用，以降低或消除反射光斑在光学腔内壁上因反射而产生的杂散光。
上述的光学腔内壁上安装小光阑的一面以及小光阑的表面也可以均匀地涂上具有一定镜面反射率的漫反射材料。此时，在色散系统和阵列探测器之间的光路上，探测器光敏面的前面放置一大光阑，以消除光学腔内壁和小光阑上因反射而产生的杂散光。小光阑和大光阑的搭配使用可以很好地消除因阵列探测器光敏面产生的反射光斑所造成的杂散光。
上述的色散系统包括准直元件、色散元件和会聚元件。准直元件将入射光线转变为平行光。色散元件具有分光功能，可将入射光束分光形成不同波长的光线，如棱镜、光栅等。会聚元件将来自于色散元件的平行期望光束会聚到二维阵列探测器的光敏面上。
上述的色散元件可以是平面光栅，此时准直元件、平面光栅和会聚元件构成色散系统；色散元件也可以是凹面光栅，凹面光栅是在高反射金属凹面上刻划一系列平行线构成的反射式衍射光栅，同时具有分光和聚光能力，与入射狭缝和阵列探测器构成多色仪。
上述的阵列探测器可以是一维阵列探测器，也可以是二维阵列探测器，二维阵列探测器可以更加精确地实现光谱的测量和分析，并提高光谱的绘制效率。
本发明的有益效果在于：本发明通过调整光学器件的相对位置，使探测器的光敏面偏离光栅主截面的垂直面，将原本会产生杂散光的光辐射刚好被反射出期望光路，并在光学腔内壁，反射光斑投影的平面上安装消光的小光阑，从而大幅降低杂散光。
附图说明
附图1为本发明的实施例1的结构示意图。
附图2为本发明的实施例1的结构示意图。
附图3为本发明的实施例2的结构示意图。
附图4为本发明的实施例1和2的结构示意图。
具体实施方式
实施例1
如图1和图2所示，一种低杂散光多色仪，包括光学腔、入射狭缝1、色散系统2和阵列探测器3，本实施例中的色散元件2为凹面光栅，阵列探测器3为二维阵列探测器。在本实施例中定义x轴和z轴：二维阵列探测器3的光敏面垂直于光栅2的主截面时，经过二维阵列探测器3的中心，与光栅2主截面和二维阵列探测器3光敏面的相交线相平行的轴线为z轴；经过二维阵列探测器3的中心，与光栅2主截面和二维阵列探测器3光敏面的相交线相垂直的轴线为x轴。
光线由入射狭缝1射入，经色散系统2分光会聚，投射到二维阵列探测器3的光敏面上。二维阵列探测器3的光敏面绕z轴旋转一角度α，偏离光栅2主截面的垂直面，夹角α为10°，如图1和图2所示，虚线为探测器旋转之前的位置，实线为探测器旋转之后的位置，探测器旋转之前，由色散系统2到达二维阵列探测器3上的光线在其光敏面上产生的一次反射光线重新进入光路，经色散系统2重新投射到二维阵列探测器的光敏面上，从而引入杂散光，杂散光路径如图2带箭头虚线所示；探测器旋转之后，由色散系统2到达二维阵列探测器3上的光线在其光敏面上发生反射而产生的反射光斑偏离光学腔内的光学器件，投影在光学腔内壁上。如图4所示，反射光斑投影平面上安装等间距的消光小光阑4，光学腔的内壁和小光阑4表面均匀地涂上反射率低的漫反射材料。如图2所示，反射光斑经光学腔内壁和小光阑4的多次反射后，光辐射能量大幅降低，其所造成的杂散光也因此降低。
实施例2
如图3所示，一种低杂散光多色仪，包括光学腔、入射狭缝1、色散系统2和阵列探测器3，本实施例中的色散系统2包括准直元件2-1、色散元件2-2和会聚元件2-3，色散元件2-2为平面光栅，阵列探测器3为二维阵列探测器，在本实施例中定义x轴和z轴：二维阵列探测器3的光敏面垂直于光栅2的主截面时，经过二维阵列探测器3的中心，与光栅2主截面和二维阵列探测器3光敏面的相交线相平行的轴线为z轴；经过二维阵列探测器3的中心，与光栅2主截面和二维阵列探测器3光敏面的相交线相垂直的轴线为x轴。
光线由入射狭缝1射入，准直元件2-1将入射光线转变为平行光，色散元件2-2将入射光束分光形成不同波长的光线，会聚元件2-3将来自于色散元件2-2的平行期望光束会聚到二维阵列探测器3的光敏面上。二维阵列探测器3的光敏面绕z轴旋转一角度α，偏离光栅2主截面的垂直面，夹角α为10°。由色散系统2到达二维阵列探测器3上的光线在其光敏面上发生反射而产生的反射光斑投影在光学腔内壁的平面上，如图4所示，反射光斑投影平面上安装等间距的消光小光阑4。

Claims (8)

1.一种低杂散光多色仪，包括光学腔、入射狭缝(1)、色散系统(2)和阵列探测器(3)，其特征在于，色散系统(2)中的色散元件为光栅(2-2)，阵列探测器(3)的光敏面与光栅(2-2)的主截面倾斜相交；经色散系统(2)分光到达阵列探测器(3)的光线，在阵列探测器(3)的光敏面上发生镜面反射而产生的反射光斑偏离多色仪光学腔内的光学器件；在光学腔内，所述阵列探测器(3)的反射光斑的投影平面上安装小光阑(4)。
2.根据权利要求1所述的一种低杂散光多色仪，其特征在于，所述的色散系统(2)和阵列探测器(3)之间的光路上设置滤色片，滤色片与光栅(2-2)的主截面倾斜相交。
3.根据权利要求1所述的一种低杂散光多色仪，其特征在于，所述的阵列探测器(3)的光敏面与光栅主截面的垂直面偏离2-12°。
4.根据权利要求1所述的一种低杂散光多色仪，其特征在于，所述的光学腔内壁安装小光阑(4)。
5.根据权利要求1所述的一种低杂散光多色仪，其特征在于，所述的光学腔内壁均匀地涂上反射率较低的漫反射材料。
6.根据权利要求1所述的一种低杂散光多色仪，其特征在于，所述的光学腔内安装小光阑(4)的平面以及小光阑(4)上均匀地涂上具有一定镜面反射率的漫反射材料。
7.根据权利要求1所述的一种低杂散光多色仪，其特征在于，所述的色散元件(2-2)是凹面光栅或平面光栅。
8.根据权利要求1所述的一种低杂散光多色仪，其特征在于，所述的阵列探测器(3)是一维阵列探测器或二维阵列探测器。
CN201210015681.XA 2012-01-19 2012-01-19 一种低杂散光多色仪 Active CN102538962B (zh)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210015681.XA CN102538962B (zh) 2012-01-19 2012-01-19 一种低杂散光多色仪
PCT/CN2012/071093 WO2013107064A1 (zh) 2012-01-19 2012-02-14 一种低杂散光多色仪
US14/119,031 US20140111802A1 (en) 2012-01-19 2012-02-14 Low stray light polychromator
DE112012002013.8T DE112012002013T5 (de) 2012-01-19 2012-02-14 Polychromator mit geringem Streulicht

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210015681.XA CN102538962B (zh) 2012-01-19 2012-01-19 一种低杂散光多色仪

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102538962A CN102538962A (zh) 2012-07-04
CN102538962B true CN102538962B (zh) 2015-11-18

Family

ID=46346423

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210015681.XA Active CN102538962B (zh) 2012-01-19 2012-01-19 一种低杂散光多色仪

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20140111802A1 (zh)
CN (1) CN102538962B (zh)
DE (1) DE112012002013T5 (zh)
WO (1) WO2013107064A1 (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104457984A (zh) * 2014-12-30 2015-03-25 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种低杂散光小型单色仪
JP6743500B2 (ja) * 2016-06-14 2020-08-19 株式会社島津製作所 分光器及びこれに用いられる入射光制限部材

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0167750A2 (en) * 1984-06-13 1986-01-15 Abbott Laboratories Spectrophotometer
US5926272A (en) * 1997-04-08 1999-07-20 Curtiss; Lawrence E. Spectroscopy
US6538736B1 (en) * 1999-12-01 2003-03-25 Hach Company Concentric spectrometer with mitigation of internal specular reflections
CN2704031Y (zh) * 2003-03-31 2005-06-08 中国科学院安徽光学精密机械研究所 低杂光单色仪
CN1844866A (zh) * 2005-04-08 2006-10-11 中国科学院半导体研究所 一种降低光谱仪器中杂散光的结构
CN201051012Y (zh) * 2007-06-15 2008-04-23 杭州远方光电信息有限公司 低杂散光快速光谱仪
CN101813519A (zh) * 2010-02-02 2010-08-25 杭州远方光电信息有限公司 光谱仪杂散光校正方法
CN101907491A (zh) * 2010-07-26 2010-12-08 杭州远方光电信息有限公司 一种低杂散光单色仪
CN202048986U (zh) * 2011-04-07 2011-11-23 江阴市嘉臣光电科技有限公司 紫外增强微型光纤光谱仪
CN202433089U (zh) * 2012-01-19 2012-09-12 杭州远方光电信息股份有限公司 一种低杂散光多色仪

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004333407A (ja) * 2003-05-12 2004-11-25 Shimadzu Corp 発光分析装置用分光器
FR2913112B1 (fr) * 2007-02-28 2009-05-22 Horiba Jobin Yvon Sas Soc Par Spectrographe a fenetre de detecteur inclinee.
FR2913113B1 (fr) * 2007-02-28 2009-06-05 Horiba Jobin Yvon Sas Soc Par Spectrographe a fente inclinee.
CN201311326Y (zh) * 2008-12-03 2009-09-16 江苏惠通集团有限责任公司 一种基于步进电机的微型光谱仪
CN102141440A (zh) * 2010-12-30 2011-08-03 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 高分辨、微小型、宽光谱反射式光谱仪光学系统
CN102175324B (zh) * 2011-01-26 2012-09-19 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 基于面阵探测器的多通道低杂散光光谱仪

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0167750A2 (en) * 1984-06-13 1986-01-15 Abbott Laboratories Spectrophotometer
US5926272A (en) * 1997-04-08 1999-07-20 Curtiss; Lawrence E. Spectroscopy
US6538736B1 (en) * 1999-12-01 2003-03-25 Hach Company Concentric spectrometer with mitigation of internal specular reflections
CN2704031Y (zh) * 2003-03-31 2005-06-08 中国科学院安徽光学精密机械研究所 低杂光单色仪
CN1844866A (zh) * 2005-04-08 2006-10-11 中国科学院半导体研究所 一种降低光谱仪器中杂散光的结构
CN201051012Y (zh) * 2007-06-15 2008-04-23 杭州远方光电信息有限公司 低杂散光快速光谱仪
CN101813519A (zh) * 2010-02-02 2010-08-25 杭州远方光电信息有限公司 光谱仪杂散光校正方法
CN101907491A (zh) * 2010-07-26 2010-12-08 杭州远方光电信息有限公司 一种低杂散光单色仪
CN202048986U (zh) * 2011-04-07 2011-11-23 江阴市嘉臣光电科技有限公司 紫外增强微型光纤光谱仪
CN202433089U (zh) * 2012-01-19 2012-09-12 杭州远方光电信息股份有限公司 一种低杂散光多色仪

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
（美）沃伦·J.史密斯.消除杂散光光阑、冷光阑和挡光板.《现代光学工程 原著第4版》.化学工业出版社,2011,第143-146页. *
屈军乐 译.单色仪和多色仪.《高级时间相关单光子计数技术》.北京市：科学出版社,2009,275-277. *
曾庆勇.多色仪.《微弱信号检测 第2版》.杭州市：浙江大学出版社,1986, *

Also Published As

Publication number Publication date
US20140111802A1 (en) 2014-04-24
DE112012002013T5 (de) 2014-02-06
CN102538962A (zh) 2012-07-04
WO2013107064A1 (zh) 2013-07-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9841496B2 (en) Multiple pattern illumination optics for time of flight system
EP3176601B1 (en) Illumination light projection for a depth camera
EP3052907B1 (en) Monolithic spectrometer
CN103528679B (zh) 一种微型混合分光装置
CN109781257B (zh) 一种自由曲面棱镜光谱仪光学系统
CN103674243B (zh) 长波红外空间调制干涉小型化方法
CN203519165U (zh) 一种光谱仪
CN103557940A (zh) 一种光谱仪
CN108458787B (zh) 中阶梯光栅型空间外差拉曼光谱仪光路结构
CN208270077U (zh) 高通量宽谱段高分辨率的相干色散光谱成像装置
CN103616074B (zh) 数字微镜光栅光谱仪的波长标定方法
CN203881441U (zh) 基于自由曲面的成像光谱仪分光系统
CN103900688A (zh) 一种基于自由曲面的成像光谱仪分光系统
TW200947815A (en) Conversion device with multi-faceted output face and laser projection system incorporating the same
CN102538962B (zh) 一种低杂散光多色仪
US10838361B2 (en) Holographic grating lithography system and a method for adjusting the self-collimation of the interference optical path thereof
CN202433089U (zh) 一种低杂散光多色仪
CN203465002U (zh) 一种透射式光栅光谱仪
CN104457984A (zh) 一种低杂散光小型单色仪
US9140883B2 (en) Optical component
CN102213585A (zh) 单光源双光路并行共焦测量系统
CN103604498A (zh) 一种宽光谱Offner成像光谱仪分光系统
CN212008328U (zh) Icp-aes光路系统
CN103575230B (zh) 光学无色差聚焦系统
CN106918393A (zh) 一种双通道空间外差光谱仪

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant