JP2021143935A - 物理量検出回路、物理量センサー、電子機器、移動体および物理量検出回路の動作方法 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 117
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 179
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 170
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 21
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 31
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000006870 function Effects 0.000 description 10
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 9
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 8
- 238000003491 array Methods 0.000 description 6
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 3
- -1 Metal Oxide Nitride Chemical class 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 1
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 1
- 235000015842 Hesperis Nutrition 0.000 description 1
- 235000012633 Iberis amara Nutrition 0.000 description 1
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 230000036772 blood pressure Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- JPJZHBHNQJPGSG-UHFFFAOYSA-N titanium;zirconium;tetrahydrate Chemical compound O.O.O.O.[Ti].[Zr] JPJZHBHNQJPGSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5776—Signal processing not specific to any of the devices covered by groups G01C19/5607 - G01C19/5719
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5607—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks
- G01C19/5614—Signal processing
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/14—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of gyroscopes
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
- G01C19/5656—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams the devices involving a micromechanical structure
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Remote Sensing (AREA)
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Abstract
Description
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成条件であるとは限らない。
図1は、本実施形態の物理量センサー1の機能ブロック図である。本実施形態の物理量センサー1は、物理量に関わるアナログ信号を出力する物理量検出素子100と、物理量検出回路200とを含んで構成されている。
、Z軸は水晶の軸を示す。
次に、駆動回路20について説明する。図6は、駆動回路20の構成例を示す図である。図6に示すように、本実施形態の駆動回路20は、I/V変換回路21、ハイパスフィルター22、コンパレーター23、全波整流回路24、積分器25およびコンパレーター26を含む。なお、本実施形態の駆動回路20は、これらの要素の一部を省略又は変更し、あるいは他の要素を追加した構成であってもよい。
次に、検出回路30およびアナログ/デジタル変換回路32について説明する。図7は、検出回路30およびアナログ/デジタル変換回路32の構成例を示す図である。図7に示すように、本実施形態の検出回路30は、Q−V変換回路210、可変ゲインアンプ220、ミキサー230、パッシブフィルター240を含む。なお、本実施形態の検出回路30は、これらの要素の一部を省略又は変更し、あるいは他の要素を追加した構成であってもよい。
次に、アナログ/デジタル変換回路32について説明する。アナログ/デジタル変換回路32は、クロック発生回路32aを備える。クロック発生回路32aは、クロック信号ADCLKを発生させる回路である。
本実施形態にかかるアナログ/デジタル変換回路32は、レギュレーター回路10が生成した電源電圧を利用して動作し、コンパレーター276による比較に基づいてアナログ信号をデジタル信号に変換する。従って、電源電圧が変動するとアナログ/デジタル変換の精度が低下し得る。上述のように、本実施形態においては、アナログ/デジタル変換回路32およびデータ処理回路40が同一のレギュレーター回路10によって電力供給を受けて駆動される。このため、データ処理回路40での消費電力が急変した場合には、アナログ/デジタル変換回路32に対して供給される電圧が変動し得る。この場合、アナログ/デジタル変換回路32で使用する電源電圧が変動し得る。そして、電源電圧が変動すると、アナログ/デジタル変換回路32から出力されるデジタル信号VDOが本来の値と異なる値になり得る。
上記の実施形態または後述の実施形態では、アナログ/デジタル変換回路32の入力信号は差動信号であるが、シングルエンド信号であってもよい。この場合、物理量検出素子100から出力される差動信号は、検出回路30のQ−V変換回路210、可変ゲインアンプ220、ミキサー230、パッシブフィルター240のいずれかにおいてシングルエンド信号に変換される。例えば、可変ゲインアンプ220が、Q−V変換回路210から出力される差動信号をシングルエンド信号に変換し、ミキサー230、パッシブフィルター240が、シングルエンド信号に対して前述した各処理を行ってもよい。
レギュレーター回路10における電圧変動によってアナログ/デジタル変換回路32の変換精度を低下させないようにするための構成は、第1実施形態に限定されない。すなわち、アナログ/デジタル変換が行われるアナログ/デジタル変換期間において、デジタル演算回路41が演算処理開始動作および演算処理終了動作を行わないように構成されていれば良い。
図13は、本実施形態の電子機器の構成の一例を示す機能ブロック図である。図13に示すように、本実施形態の電子機器300は、物理量センサー310、制御装置320、操作部330、ROM(Read Only Memory)340、RAM(Random Access Memory)350、通信部360、表示部370を含む。なお、本実施形態の電子機器300は、図13の構成要素の一部を省略又は変更し、あるいは、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
図15は、本実施形態の移動体の一例を示す図である。図15に示す移動体400は、物理量センサー410、コントローラー440,450,460、バッテリー470、ナビゲーション装置480を含んで構成されている。なお、本実施形態の移動体400は、図15の構成要素の一部を省略し、あるいは、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
。
アナログ/デジタル変換回路は、物理量検出素子の出力信号に基づくアナログ信号に対してアナログ/デジタル変換処理を行って第1デジタル信号を出力することができればよく、変換方式は限定されない。すなわち、レギュレーター回路から供給される電源電圧によってアナログ信号をデジタル信号に変換することに起因して、レギュレーター回路の出力電圧の変動に応じてデジタル信号の出力精度が低下し得る、あらゆるアナログ/デジタル変換回路が対象となる。従って、上述の実施形態のようなSAR型のアナログ/デジタル変換回路以外の回路、例えば、コンパレーターを有するデルタシグマ型の回路等であってもよい。
Claims (14)
- 物理量検出素子の出力信号に基づくアナログ信号に対してアナログ/デジタル変換処理を行って第1デジタル信号を出力するアナログ/デジタル変換回路と、
前記第1デジタル信号が入力され、前記第1デジタル信号に対して演算処理を行って第2デジタル信号を出力するデジタル演算回路と、
前記アナログ/デジタル変換回路と、前記デジタル演算回路と、に電源電圧を供給するレギュレーター回路と、を備え、
前記デジタル演算回路は、
前記アナログ/デジタル変換処理が行われるアナログ/デジタル変換期間において、演算処理を開始する演算処理開始動作および演算処理を終了する演算処理終了動作を行わない、物理量検出回路。 - 前記アナログ/デジタル変換回路の動作クロックと、前記デジタル演算回路の動作クロックとは、異なるクロック発生回路によって生成される、
請求項1に記載の物理量検出回路。 - 前記デジタル演算回路は、
少なくとも前記アナログ/デジタル変換期間において演算処理を行う、
請求項1または請求項2に記載の物理量検出回路。 - 前記デジタル演算回路は、
前記第1デジタル信号に対する演算処理である第1演算処理と、前記第2デジタル信号の出力に用いられない第2演算処理と、を交互に繰り返す、
請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の物理量検出回路。 - 前記第2演算処理の少なくとも一部は前記第1演算処理と同一である、
請求項4に記載の物理量検出回路。 - 前記第2演算処理の消費電力は前記第1演算処理の消費電力と実質的に同一である、
請求項4または請求項5に記載の物理量検出回路。 - 前記第2演算処理の消費電力は前記第1演算処理の消費電力より少ない、
請求項4または請求項5に記載の物理量検出回路。 - 前記デジタル演算回路は、
前記アナログ/デジタル変換期間以外の期間に前記演算処理開始動作および前記演算処理終了動作を行う、
請求項1または請求項2に記載の物理量検出回路。 - 前記演算処理開始動作のタイミングおよび前記演算処理終了動作のタイミングを調整する調整回路を備える、
請求項8に記載の物理量検出回路。 - 調整値を記憶する記憶部を備え、
前記調整回路は、
前記記憶部に記憶された前記調整値に基づいて、前記演算処理開始動作のタイミングおよび前記演算処理終了動作のタイミングを調整する、
請求項9に記載の物理量検出回路。 - 請求項1〜請求項10のいずれか一項に記載の物理量検出回路と、前記物理量検出素子と、を備えた物理量センサー。
- 請求項11に記載の物理量センサーを備えた電子機器。
- 請求項11に記載の物理量センサーを備えた移動体。
- 物理量検出素子の出力信号に基づくアナログ信号に対してアナログ/デジタル変換処理を行って第1デジタル信号を出力するアナログ/デジタル変換回路と、
前記第1デジタル信号が入力され、前記第1デジタル信号に対して演算処理を行って第2デジタル信号を出力するデジタル演算回路と、
前記アナログ/デジタル変換回路と、前記デジタル演算回路と、に電源電圧を供給するレギュレーター回路と、を備えた物理量検出回路の動作方法であって、
前記デジタル演算回路は、
前記アナログ/デジタル変換処理が行われるアナログ/デジタル変換期間において、演算処理を開始する演算処理開始動作および演算処理を終了する演算処理終了動作を行わない、物理量検出回路の動作方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020042698A JP7447571B2 (ja) | 2020-03-12 | 2020-03-12 | 物理量検出回路、物理量センサー、電子機器、移動体および物理量検出回路の動作方法 |
CN202110264054.9A CN113390401B (zh) | 2020-03-12 | 2021-03-10 | 物理量检测电路、物理量传感器及物理量检测电路的工作方法 |
US17/198,305 US11976923B2 (en) | 2020-03-12 | 2021-03-11 | Physical quantity detection circuit, physical quantity sensor, and operating method for physical quantity detection circuit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020042698A JP7447571B2 (ja) | 2020-03-12 | 2020-03-12 | 物理量検出回路、物理量センサー、電子機器、移動体および物理量検出回路の動作方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021143935A true JP2021143935A (ja) | 2021-09-24 |
JP7447571B2 JP7447571B2 (ja) | 2024-03-12 |
Family
ID=77617427
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020042698A Active JP7447571B2 (ja) | 2020-03-12 | 2020-03-12 | 物理量検出回路、物理量センサー、電子機器、移動体および物理量検出回路の動作方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11976923B2 (ja) |
JP (1) | JP7447571B2 (ja) |
CN (1) | CN113390401B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7251385B2 (ja) * | 2019-07-30 | 2023-04-04 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、電子機器および移動体 |
JP7322718B2 (ja) * | 2020-01-17 | 2023-08-08 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量検出回路、物理量センサー、電子機器、移動体及び物理量検出回路の動作方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0594423A (ja) * | 1991-10-01 | 1993-04-16 | Mitsubishi Electric Corp | レーダ信号処理装置 |
JP3639607B2 (ja) * | 1992-10-21 | 2005-04-20 | キヤノン株式会社 | 光磁気情報記録再生装置 |
JP2814963B2 (ja) | 1995-08-14 | 1998-10-27 | 日本電気株式会社 | Ad変換器 |
US6380874B1 (en) * | 1999-07-12 | 2002-04-30 | National Instruments Corporation | System and method for self-calibrating a multi-bit delta-sigma analog to digital converter using dynamic element matching |
US6934665B2 (en) | 2003-10-22 | 2005-08-23 | Motorola, Inc. | Electronic sensor with signal conditioning |
JP2005308865A (ja) * | 2004-04-19 | 2005-11-04 | Brother Ind Ltd | 光出射信号出力装置 |
US7272374B2 (en) * | 2004-06-30 | 2007-09-18 | Silicon Laboratories Inc. | Dynamic selection of local oscillator signal injection for image rejection in integrated receivers |
JP4639162B2 (ja) | 2006-04-04 | 2011-02-23 | Okiセミコンダクタ株式会社 | アナログ・ディジタル変換器 |
JP5051265B2 (ja) | 2010-04-15 | 2012-10-17 | 株式会社デンソー | A/d変換器および信号処理回路 |
CN102109345B (zh) * | 2010-12-13 | 2012-12-12 | 谢元平 | 微机械陀螺数字信号处理方法与装置 |
US8718948B2 (en) * | 2011-02-24 | 2014-05-06 | Gen-Probe Incorporated | Systems and methods for distinguishing optical signals of different modulation frequencies in an optical signal detector |
JP6222426B2 (ja) * | 2013-04-24 | 2017-11-01 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量検出回路、物理量検出装置、電子機器及び移動体 |
JP2015090638A (ja) | 2013-11-07 | 2015-05-11 | 富士電機株式会社 | センサ付無線タグ |
JP6277689B2 (ja) * | 2013-11-27 | 2018-02-14 | セイコーエプソン株式会社 | 検出装置、センサー、電子機器及び移動体 |
JP6834581B2 (ja) | 2017-02-23 | 2021-02-24 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、電子機器及び移動体 |
JP7139588B2 (ja) * | 2017-09-22 | 2022-09-21 | カシオ計算機株式会社 | 変換装置、電子楽器、情報処理装置、変換方法及びプログラム |
CN207832197U (zh) * | 2018-01-30 | 2018-09-07 | 湖南中部芯谷科技有限公司 | 一种三轴光纤陀螺的数据处理模组 |
-
2020
- 2020-03-12 JP JP2020042698A patent/JP7447571B2/ja active Active
-
2021
- 2021-03-10 CN CN202110264054.9A patent/CN113390401B/zh active Active
- 2021-03-11 US US17/198,305 patent/US11976923B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20210285769A1 (en) | 2021-09-16 |
US11976923B2 (en) | 2024-05-07 |
CN113390401B (zh) | 2024-05-14 |
CN113390401A (zh) | 2021-09-14 |
JP7447571B2 (ja) | 2024-03-12 |
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Date | Code | Title | Description |
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RD07 | Notification of extinguishment of power of attorney |
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|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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