JP2021141281A - Gmr素子および検知装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第1の態様に係るGMR素子は、基材と、巨大磁気抵抗効果を示す検出層と、を有するGMR素子であって、前記検出層は、前記基材の表面における複数の領域であって、当該領域における前記表面の法線方向が異なる。
なお、検出層15の最外層を非磁性層17、例えばCu層とすることにより、GMRワイヤセンサ10の検出層15から出力される検出信号を取り出すための電極(電気配線)の取付けを容易とすることができる。
検知装置50は磁場の下で機能する機器に対して用いられ、磁場の変動を検知する装置である。例えば、極低温下で強磁場を発生させる超伝導磁石を用いた機器70に対して用いられる装置である。極低温としては液体ヘリウム温度(約−269℃)などを例示することができる。更に、高温超伝導体材料で作製した超伝導磁石を用いた機器では極低温としては液体窒素温度(約−196℃)などを例示することができる。強磁場としては0.5T以上の磁場などを例示することができる。
図5は、磁界(H)が−1.5T以上1.5T以下の範囲におけるGMRワイヤセンサ10の磁気抵抗比(%)の変化を示すグラフである。図5では、磁性層16が2nmの厚さの鉄(Fe)であり、非磁性層17が1nmの厚さのクロム(Cr)であり、磁性層16および非磁性層17を合計20層積層した例が示されている。
例えば、上記の実施の形態においては、検出層15が線状に形成されたワイヤコア11に設けられている例に適用して説明したが、薄膜状に形成された基材に検出層15が設けられてもよい。直方体状や球体状などの立体的な形状を有する基材に検出層15が設けられてもよい。
Claims (7)
- 基材と、巨大磁気抵抗効果を示す検出層と、を有するGMR素子であって、
前記検出層は、前記基材の表面における複数の領域であって、当該領域における前記表面の法線方向が異なるGMR素子。 - 前記検出層は、前記基材の表面の全てに設けられている請求項1記載のGMR素子。
- 前記基材は、長尺状の形状を有している請求項1または2に記載のGMR素子。
- 前記検出層は、磁性材料から形成された磁性層、および、非磁性材料から形成された非磁性層を交互に重ねた層である請求項1から3のいずれか1項に記載のGMR素子。
- 前記基材が磁性材料から形成された場合、前記検出層における前記基材と隣接する層は前記非磁性層である請求項4記載のGMR素子。
- 前記基材が非磁性材料から形成された場合、前記検出層における前記基材と隣接する層は前記磁性層である請求項4記載のGMR素子。
- 請求項1から6のいずれかに記載のGMR素子と、
前記GMR素子における前記検出層から出力される検出信号を取得し、前記検出信号を予め定められた形式の出力信号に変換する変換部と、
を有する検知装置。
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