JP2021132452A - 振動型モータ、レンズ装置、および、電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】摩耗粉が外へ出にくい振動型モータを提供する。【解決手段】振動型モータ（１００）は、圧電素子（１０３）により振動する振動板（１０２）と、振動板との接触面（１０１ａ）を有し、振動板の振動により振動板に対して移動する摩擦部材（１０１）と、摩擦部材の接触面に設けられた粘着部材（１２１）と、を有し、振動板は、圧電素子の反対側に向けて突出する突起部（１０２ａ）を有し、突起部は、側壁部（１０２ｄ）と、接触面と接触する少なくとも１つの接触部（１０２ｂ）と、接触部と側壁部との間に設けられた平坦部（１０２ｃ）とを有し、粘着部材には、接触部の移動範囲（１０１ｂ）を避ける開口部（１２１ａ）が設けられ、粘着部材の開口部は、側壁部よりも外側に設けられ、粘着部材の端部（１２１ｂ）は、摩擦部材よりも外側に設けられている。【選択図】図５

Description

本発明は、レンズ装置などに利用可能な振動型モータに関する。

振動型モータは、圧電素子が固着された弾性体の接触部と摩擦部材とが加圧接触状態となるように構成されている。このような加圧接触状態下で圧電素子に２相の電圧を印加し、弾性体に２相の超音波振動が励起されると、弾性体の接触部に楕円運動が生じ、摩擦部材が弾性体に対して相対的に移動する。弾性体の接触部と摩擦部材とは摺動摩擦するため、摩耗粉が発生する。特許文献１には、摩擦部材を固定する接着剤が粘着性を有し、その接着剤で摩耗粉を吸着させる振動型モータが開示されている。

特開２０１８−１４８６２６号公報

しかしながら、特許文献１に開示された振動型モータでは、摩耗粉を吸着する能力が十分でない。すなわち、特許文献１に開示された振動型モータでは、摩耗粉を吸着する接着剤が摩擦部材よりも外側に配置されており、摩耗粉の発生源である弾性体の接触部からの距離が遠い。また、摩耗粉を吸着する接着剤の高さが摩擦部材の摺動面と同一の高さであり、摩耗粉が接着剤を乗り越えて振動型モータの外へ出てしまう可能性が高い。

そこで本発明は、摩耗粉が外へ出にくい振動型モータ、レンズ装置、および、電子機器を提供することを目的とする。

本発明の一側面としての振動型モータは、圧電素子により振動する振動板と、前記振動板との接触面を有し、前記振動板の振動により前記振動板に対して移動する摩擦部材と、前記摩擦部材の前記接触面に設けられた粘着部材とを有し、前記振動板は、前記圧電素子の反対側に向けて突出する突起部を有し、前記突起部は、側壁部と、前記接触面と接触する少なくとも１つの接触部と、前記接触部と前記側壁部との間に設けられた平坦部とを有し、前記粘着部材には、前記接触部の移動範囲を避ける開口部が設けられ、前記粘着部材の前記開口部は、前記側壁部よりも外側に設けられ、前記粘着部材の端部は、前記摩擦部材よりも外側に設けられている。

本発明の他の目的及び特徴は、以下の実施形態において説明される。

本発明によれば、摩耗粉が外へ出にくい振動型モータ、レンズ装置、および、電子機器を提供することができる。

本実施形態における撮像装置の構成図である。 本実施形態における振動型モータの展開図である。 本実施形態における振動型モータの構成図である。 本実施形態における振動型モータの構成図である。 本実施形態における振動型モータの構成図である。 本実施形態における振動型モータの構成図である。 本実施形態における粘着部材と摩擦部材との関係の説明図である。 本実施形態における粘着部材と振動板と規制機構との関係の説明図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。

図１乃至図５において、振動子１０４と摩擦部材１０１との相対移動方向をＸ軸、後述するバネ１１０によって振動子１０４を摩擦部材１０１に加圧接触する加圧方向をＺ軸、Ｘ軸およびＺ軸のそれぞれに直交する方向をＹ軸と定義する。

まず、図１を参照して、本実施形態における撮像装置１０について説明する。図１は、撮像装置１０の構成図である。撮像装置１０は、振動型モータ（超音波モータ）１００を備えたレンズ装置１と、レンズ装置１とカメラ本体２とが一体となって構成されている。ただし本実施形態は、これに限定されるものではなく、カメラ本体と、カメラ本体に対して着脱可能なレンズ装置（交換レンズ）とを備えて構成された撮像装置（撮像システム）にも適用可能である。

レンズ装置１の内部において、フォーカスレンズ（光学系）４は、レンズホルダ７に保持されている。レンズホルダ７と振動型モータ１００とが連結されており、振動型モータ１００を構成する振動子が移動することにより、フォーカスレンズ４とレンズホルダ７は光軸６と略平行な方向に移動可能となる。撮像の際には、フォーカスレンズ４とレンズホルダ７が光軸６と略平行な方向に移動し、被写体像はＣＭＯＳセンサなどの撮像素子５の位置で結像し、合焦した像を生成することが可能となる。

次に、図２を参照して、本実施形態における振動型モータ１００について説明する。図２は、振動型モータ１００の展開図である。本実施形態における振動型モータ１００は、以下に述べる各部材により形成されている。

振動子１０４は、弾性を有する振動対である振動板１０２と圧電素子１０３とにより構成されている。振動板１０２は、圧電素子１０３により振動する。振動板１０２と圧電素子１０３は、公知の接着材などにより固着されている。圧電素子１０３にはフレキシブル基板１１７が圧着されており、フレキシブル基板１１７を介して圧電素子１０３に高周波の電圧を印加することにより、振動子１０４に超音波振動を励振する。フレキシブル基板１１７には、Ｕターン部１１７ａが形成されている。振動子１０４のｘ方向の移動に応じて、Ｕターン部１１７ａはその移動量の半分だけ移動する。このように、フレキシブル基板１１７の固定部と可動部の間にＵターン部１１７ａを設けることで、振動子１０４がｘ方向に移動してもフレキシブル基板１１７のコシによって振動子１０４に負荷がかからないように構成されている。

振動子１０４と第１の保持部材１０５とは、公知の接着剤などにより固定されている。第１の保持部材１０５は、薄板部材１０８を介して、第２の保持部材１０７と連結されている。薄板部材１０８は、ｚ方向の力には剛性が弱く、比較的自由に変形できる。一方、薄板部材１０８は、ｘｙ方向の力には剛性が強く、変形しにくい特性持つ。このような特性を持つ薄板部材１０８を介して第１の保持部材１０５と第２の保持部材１０７とを連結することで、第１の保持部材１０５と第２の保持部材１０７は、ｚ方向には比較的自由に相対移動でき、ｘｙ方向にはガタなく位置を決めることができる。これにより、バネ１１０の加圧力を振動子１０４にロスすることなく伝達しながら、ｘ方向には第２の保持部材１０７に対して振動子１０４をガタなく保持することが可能となる。

薄板部材１０８のＸ方向の剛性は、振動子１０４の駆動開始および停止の際に発生する加減速による慣性力によって略変形しない程度に高く設定されている。これにより、振動子１０４と第２の保持部材１０７とは、駆動の際の慣性力による移動方向の相対変位が発生せず安定した駆動制御を実現することができる。

バネ１１０は、４か所において付勢部材１１１と可動ガイド部材１１５とを連結し、複数のバネ１１０の加圧力によって振動子１０４を摩擦部材１０１へと加圧接触させている。１０６ａは緩衝部材、１０６ｂは緩衝部材１０６ａが貼られた基材プレートである。緩衝部材１０６ａと基材プレート１０６ｂは、圧電素子１０３と付勢部材１１１との間に配置されている。緩衝部材１０６ａおよび基材プレート１０６ｂは、付勢部材１１１と圧電素子１０３との直接接触を妨げ、圧電素子１０３の損傷を防止している。第２の保持部材１０７と可動ガイド部材１１５とはネジ１０９で固定される。１１５ｂは、可動ガイド部材１１５に設けられたネジ部である。なお本実施形態において、第２の保持部材１０７と可動ガイド部材１１５とはネジ１０９で固定されているが、固定方法はこれに限定されるものではない。

固定ガイド部材１１３は、振動子１０４とＸ方向に相対的に移動する摩擦部材１０１の相対的な移動をガイドするガイド部材である。摩擦部材１０１はビス１１９により、固定ガイド部材１１３はビス１１８により、それぞれベース部材１１２に固定されている。１１４は、固定ガイド部材１１３と可動ガイド部材１１５との間を転動する転動ボールである。

１２４は、図１を参照して説明したレンズホルダ７と可動ガイド部材１１５とを連結する連結部材である。連結部材１２４と可動ガイド部材１１５の突起部１１５ｄとの間には、ガタ寄せバネ１２５が設けられており、連結部材１２４の球面部１２４ａを可動ガイド部材１１５の長溝部１１５ｃに押し当てる。このような連結構成により、可動ガイド部材１１５と連結部材１２４は、ｙ方向の相対移動、ｘ軸、ｙ軸、ｚ軸回りの回転は許容しながら、ｘ方向とｚ方向にはガタなく連結される。本実施形態において、レンズホルダ７の直進ガイドと、可動ガイド部材１１５と固定ガイド部材１１３とで決まる振動型モータ１００内の直進ガイドとのずれが生じる場合がある。この場合でも、前述の構成により、レンズホルダ７のｘ方向の移動に伴う可動ガイド部材１１５と連結部材１２４とのｙ方向およびｚ方向への相対的移動を吸収することができる。

１２１は、摩擦部材１０１と振動子１０４との間の摺動摩擦によって発生した摩耗粉を吸着するための粘着部材１２１である。粘着部材１２１は、その表面に粘着性を有しており、摩耗粉を吸着しやすい構成となっている。粘着部材１２１は、摩擦部材１０１に貼られている（摩擦部材１０１の摺動面１０１ａに設けられている）。１２３は、摩擦部材１０１の振動を減衰させるための減衰部材である。減衰部材１２３は、固定ガイド部材１１３の摩擦部材１０１側の面に貼られており、摩擦部材１０１と固定ガイド部材１１３との間に押しつぶされた状態で保持されている。

次に、図３（ａ）乃至図３（ｄ）を参照して、振動型モータ１００の要部の構造および効果について説明する。図３（ａ）乃至図３（ｄ）は、振動型モータ１００の構成図である。

図３（ａ）は、振動型モータ１００の斜視図を示す。１１１は付勢部材１１１であり、４か所にバネ１１０がかかっている。振動子１０４を保持している第１の保持部材１０５は、薄板部材１０８を介して第２の保持部材１０７に連結されている。摩擦部材１０１には粘着性を有する粘着部材１２１が貼られており、摩擦部材１０１と振動子１０４との間の摺動摩擦で発生した摩耗粉を吸着できるように構成されている。振動型モータ１００において、摩擦部材１０１は固定され、振動子１０４、第１の保持部材１０５、第２の保持部材１０７、薄板部材１０８、バネ１１０、および付勢部材１１１はそれぞれｘ方向に移動する、所謂振動子可動方式の振動型モータである。

図３（ｂ）は、振動型モータ１００を＋Ｚ方向から見た図を示す。Ａ−Ａは摩擦部材１０１のｙ方向の中央位置、Ｂ−Ｂは摩擦部材１０１のｘ方向の中央位置に相当する。図３（ｃ）は、図３（ｂ）中のＡ−Ａ断面図である。可動ガイド部材１１５には、転動ボール１１４をＸ方向に転動ガイドする可動ガイド部溝部１１５ａが形成されている。１１３は、固定ガイド部材である。固定ガイド部材１１３には、転動ボール１１４をＸ方向に転動ガイドするガイド溝部１１３ａが形成されている。転動ボール１１４がバネ１１０の加圧力によってガイド溝部１１３ａと第２のガイド溝部部１１５ａに挟持された状態で転動することで、可動ガイド部材１１５は、固定ガイド部材１１３に対して低負荷を保ったままＸ方向に直進移動することができる。

１１２は、固定ガイド部材１１３と摩擦部材１０１とを保持するベース部材である。固定ガイド部材１１３は、ビス１１８でベース部材１１２に固定される。固定ガイド部材１１３の＋Ｚ方向には、摩擦部材１０１が配置されている。１０５は第１の保持部材、１１７はフレキシブル基板である。第１の保持部材１０５は、固定部１０５ａで振動子１０４と固定される。フレキシブル基板１１７は、＋Ｘ方向に延伸するフレキシブル基板１１７を−Ｘ方向に折り返すＵターン部１１７ａを有する。第２の保持部材１０７は、Ｕターン部１１７ａによってＺ方向に発生するフレキシブル基板１１７からの折り曲げ反力をＵターン受け部１０７ｂで受けている。

本実施形態において、振動子１０４、第１の保持部材１０５、薄板部材１０８、第２の保持部材１０７、緩衝部材１０６ａ、基材プレート１０６ｂ、バネ１１０、付勢部材１１１、および可動ガイド部材１１５が一体化されて可動部が構成される。圧電素子１０３に駆動電圧が印加されると、固定されている摩擦部材１０１およびベース部材１１２に対して、可動部がＸ方向または−Ｘ方向に移動する。

図３（ｄ）は、図３（ｂ）中のＢ−Ｂ断面図を示す。バネ１１０の加圧力は、基材プレート１０６ｂと緩衝部材１０６ａとを介し、振動子１０４を摩擦部材１０１にＺ方向に加圧する力となる。そして、振動板１０２の接触部１０２ｂは、摩擦部材１０１に対し加圧された状態で接触する。摩擦部材１０１の摺動面（接触面）１０１ａには、粘着性を有する粘着部材１２１が貼られている。これにより、振動子１０４と摩擦部材１０１との摺動摩擦によって発生した摩耗粉を粘着部材１２１で吸着することができる。

フレキシブル基板１１７は、Ｕターン部１１７ａで−Ｘ方向から＋Ｘ方向に折り返している。フレキシブル基板１１７は、Ｕターン部１１７ａで折り返しているため、Ｚ方向に折り返し反力が発生する。第２の保持部材１０７には、この折り返し反力を受けるためのＵターン受け部１０７ｂが設けられている。フレキシブル基板１１７がＵターン受け部１０７ｂと当接することで、Ｕターン部１１７ａで−Ｘ方向から＋Ｘ方向に折り返す形状を保つことができる。可動ガイド部材１１５は、突起部１１５ｄを備え、ガタ寄せバネ１２５を保持している。可動ガイド部材１１５は、ガタ寄せバネ１２５でｘ方向にガタ寄せされた状態で連結部材１２４に連結されている。

次に、図４を参照して、粘着部材１２１と摩擦部材１０１との関係について説明する。図４は、粘着部材１２１と摩擦部材１０１との関係の説明図である。

１０１ｂは、振動板１０２の接触部１０２ｂの移動範囲（相対移動範囲）である。なお本実施形態において、振動板１０２の接触部１０２ｂは一つであるが、複数の接触部を有していてもよい。粘着部材１２１には、接触部１０２ｂの移動範囲１０１ｂを避ける開口部１２１ａが形成されている。接触部１０２ｂの移動範囲１０１ｂを粘着部材１２１で囲うことで、摩擦部材１０１と接触部１０２ｂとの摺動摩擦により発生した摩耗粉は、開口部１２１ａの内部に留まりやすくなる。これにより、摩耗粉が振動型モータ１００の外へ出ることを防ぐことができる。また、開口部１２１ａのｘ方向両端には、切り欠き部１２１ｃが形成されている。これにより、固定部１０５ａが粘着部材１２１と接触することを防ぐことができる。

摩擦部材１０１は、振動板１０２の振動により振動板１０２に対して移動する。本実施形態において、振動板１０２は圧電素子１０３により超音波振動が励起され、摩擦部材１０１は超音波振動により振動板１０２に対して移動する。摩擦部材１０１は、接触部１０２ｂの移動範囲１０１ｂの領域においてｙ方向の幅が狭く、この領域を第１の領域１０１ｃと称する。第１の領域１０１ｃには、摩擦部材１０１のｙ方向外側において、図５を参照して後述する規制部１１３ｂを設ける必要がある。このため、第１の領域１０１ｃではｙ方向の幅が狭くなっている。

第１の領域１０１ｃのｘ方向両端には、ｙ方向の幅が広い第２の領域１０１ｄが形成されている。第２の領域１０１ｄには、摩擦部材１０１は第２の領域１０１ｄにてベース部材１１２に固定される。このため、第２の領域１０１ｄには固定穴を形成する必要があり、第２の領域１０１ｄは第１の領域１０１ｃに対してｙ方向の幅が広くなっている。

第１の領域１０１ｃは、ｙ方向の幅が狭いため、第２の領域１０１ｄに比べて剛性が弱い。このため、振動子１０４の振動によって共振振動が発生しやすい。摩擦部材１０１は金属、粘着部材１２１は樹脂基材の両面テープで構成されるため、摩擦部材１０１に比べて粘着部材１２１のほうが減衰性が高い。そこで、第１の領域１０１ｃに減衰性の高い粘着部材１２１を貼ることにより、共振振動を抑制することができる。

１２１ｄは、粘着部材１２１のＸ方向長さである。Ｘ方向長さ１２１ｄは、第１の領域１０１ｃよりも長い。本実施形態の振動型モータ１００は、粘着部材１２１を第１の領域１０１ｃよりも大きくすることで、共振振動が発生しやすい第１の領域１０１ｃの減衰性を高くし、共振振動を抑制することができる。

次に、図５を参照して、粘着部材１２１と振動板１０２と規制機構１２２との関係について説明する。図５は、粘着部材１２１と振動板１０２と規制機構１２２との関係の説明図である。

まず、振動板１０２の部位について説明する。振動板１０２は、圧電素子１０３と反対側の−ｚ方向に向けて突出する突起部１０２ａを備える。突起部１０２ａは、接触部１０２ｂと平坦部１０２ｃと側壁部１０２ｄとからなる。接触部１０２ｂは、摩擦部材１０１の摺動面１０１ａと接触する。平坦部１０２ｃは、接触部１０２ｂと側壁部１０２ｄとの間に形成されている。

１２６は、摩擦部材１０１の摺動面１０１ａと振動板１０２の接触部１０２ｂとの間の摺動摩擦により発生する摩耗粉である。摩耗粉１２６は、接触部１０２ｂで発生し、摺動面１０１ａと平坦部１０２ｃとの間を通って外側に出てくる。摩耗粉１２６は、摺動面１０１ａと平坦部１０２ｃとの間を通る過程において、ｚ方向の高さがある程度抑えられた状態で出てくるため、摺動面１０１ａから平坦部１０２ｃまでの高さと略同じ高さとなる。

１２１は、表面に粘着性を有する粘着部材（吸着シートなど）である。１２１ａは、接触部１０２ｂの移動範囲１０１ｂを避けるための開口部である。接触部１０２ｂは、開口部１２１ａで囲まれている。このため、摩擦部材１０１と接触部１０２ｂとの摺動摩擦により発生した摩耗粉１２６は、開口部１２１ａの内部に留まりやすくなる。また、粘着部材１２１の高さは、摺動面１０１ａから平坦部１０２ｃまでの高さよりも厚くなるように設定されている。摺動面１０１ａと平坦部１０２ｃとの間を通って出てきた摩耗粉１２６よりも、粘着部材１２１のほうがｚ方向の高さが高い。このため、摩耗粉１２６が粘着部材１２１を乗り越えて振動型モータ１００の外へ出る確率を下げることができる。

１０７ａは、第２の保持部材１０７に設けられた当接部１０７ａである。１１３ｂは、固定ガイド部材１１３に設けられた規制部である。当接部１０７ａと規制部１１３ｂとにより、摩擦部材１０１の方向への振動板１０２の移動を規制する規制機構１２２が構成される。規制機構１２２は、振動板１０２よりも外側に設けられている。当接部１０７ａと規制部１１３ｂとの間には、所定量の隙間が設けられている。振動板１０２が所定量の隙間以上に摩擦部材１０１のほうへ移動しようとすると、当接部１０７ａと規制部１１３ｂとが当接することにより、振動板１０２が摩擦部材１０１にそれ以上近づかないように構成されている。これにより、衝撃などにより振動板１０２が摩擦部材１０１に近づき過ぎて、振動子１０４や薄板部材１０８が破損することや、転動ボール１１４がガイド溝部１１３ａと可動ガイド溝部１１５ａとの間から脱落することを防ぐことができる。

粘着部材１２１の開口部１２１ａは、振動板１０２の側壁部１０２ｄよりも外側に設けられている。また、粘着部材１２１の端部１２１ｂは、規制機構１２２よりも内側に設けられている。振動板１０２は、突起部１０２ａが摩擦部材１０１の方向に突出した形状となっている。このため、ｚ方向で摩擦部材１０１と振動板１０２とに挟まれ、ｙ方向で側壁部１０２ｄと規制機構１２２とに挟まれた空間は何も部材が存在せず、スペースが空いている。そこで本実施形態の振動型モータ１００は、粘着部材１２１を側壁部１０２ｄと規制機構１２２とに挟まれた領域に配置することにより、空いたスペースを有効活用して振動型モータ１００を大型化することなく摩耗粉１２６を吸着することを可能としている。

また、粘着部材１２１の端部１２１ｂは、摩擦部材１０１よりも外側に形成されている。これにより、摩耗粉が摩擦部材１０１と固定ガイド部材１１３の隙間に入り込むことを低減することができる。また、摩擦部材１０１と固定ガイド部材１１３との間の隙間に入り込んだ摩耗粉１２６が外へ出てしまう確率を下げることができる。

以上、図１乃至図５を参照して説明したように、本実施形態の振動型モータ１００には、摩擦部材１０１の摺動面１０１ａにおいて、粘着性を有する粘着部材１２１が設けられている。粘着部材１２１には、接触部１０２ｂの移動範囲１０１ｂを囲うような開口形状を形成し、端部１２１ｂは摩擦部材１０１より外側に形成されている。これにより、摩耗粉が振動型モータの外へ出にくい振動型モータ１００を実現することができる。

なお本実施形態では、フォーカスレンズ４を振動型モータ１００により駆動させる駆動対象としたが、撮像装置１０における光学系（フォーカスレンズ４などの撮像光学系の少なくとも一部）以外を駆動対象としてもよい。例えば、撮像素子５を駆動対象とし、撮像光学系の光軸６と直交する方向に撮像素子５を駆動させるために振動型モータ１００を用いてもよい。その他、本発明が適用可能な電子機器は、撮像装置１０に限定されず、撮像装置１０以外の電子機器における構成部品を駆動対象として、この駆動対象を駆動させるために振動型モータ１００を用いる構成でもよい。

本実施形態によれば、摩耗粉が外へ出にくい振動型モータ、レンズ装置、および、電子機器を提供することができる。

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。

１００ 振動型モータ
１０１ 摩擦部材
１０１ａ 摺動面（接触面）
１０１ｂ 接触部の移動範囲
１０２ 振動板
１０２ａ 突起部
１０２ｂ 接触部
１０２ｃ 平坦部
１０２ｄ 側壁部
１０３ 圧電素子
１２１ 粘着部材
１２１ａ 開口部
１２１ｂ 端部

Claims (9)

1. 圧電素子により振動する振動板と、
   前記振動板との接触面を有し、前記振動板の振動により前記振動板に対して移動する摩擦部材と、
   前記摩擦部材の前記接触面に設けられた粘着部材と、を有し、
   前記振動板は、前記圧電素子の反対側に向けて突出する突起部を有し、
   前記突起部は、側壁部と、前記接触面と接触する少なくとも一つの接触部と、前記接触部と前記側壁部との間に設けられた平坦部と、を有し、
   前記粘着部材には、前記接触部の移動範囲を避ける開口部が設けられ、
   前記粘着部材の前記開口部は、前記側壁部よりも外側に設けられ、
   前記粘着部材の端部は、前記摩擦部材よりも外側に設けられていることを特徴とする振動型モータ。
2. 前記振動板よりも外側に設けられた、前記摩擦部材の方向への前記振動板の移動を規制する規制機構を更に有し、
   前記粘着部材の前記端部は、前記規制機構よりも内側に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の振動型モータ。
3. 前記接触面に前記接触部が接触した状態において、前記粘着部材は、前記接触面から前記平坦部までの長さよりも厚いことを特徴とする請求項１または２に記載の振動型モータ。
4. 前記摩擦部材は、幅が狭い第１の領域と、前記第１の領域の両端に形成された幅が広い第２の領域と、を有し、
   前記粘着部材は、前記第１の領域よりも大きいことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の振動型モータ。
5. 前記振動板は、前記圧電素子により超音波振動が励起され、
   前記摩擦部材は、前記超音波振動により前記振動板に対して移動することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の振動型モータ。
6. 前記振動板の前記接触部は、前記粘着部材の前記開口部で囲まれていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の振動型モータ。
7. 前記粘着部材は、前記摩擦部材の前記接触面と前記振動板の前記接触部との間の摺動摩擦により発生する摩耗粉を吸着することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の振動型モータ。
8. 請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動型モータと、
   前記振動型モータにより駆動される光学系と、を有することを特徴とするレンズ装置。
9. 請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動型モータと、
   前記振動型モータにより駆動される駆動対象と、を有することを特徴とする電子機器。

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