JP2021131359A - 輝度補正装置、検査装置、輝度補正方法、及び輝度補正プログラム - Google Patents
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Abstract
Description
実施形態2は、実施形態1の輝度補正装置130の各機能をFPGAによって実現する。本実施形態2にかかる輝度補正装置130は、第1画像及び第2画像の輝度を1ラインずつ取得し、リアルタイムに輝度の補正を行う。なお、輝度補正装置130を含む検査装置の構成は、図1と同様であるため説明を省略する。
10 ステージ
11 駆動機構
20 撮像光学系
21 光源
23 対物レンズ
24 光検出器
40 試料
100 処理装置
110 撮影画像取得部
120 参照画像取得部
130 輝度補正部
131 第1取得部
132 第2取得部
133 補正部
140 検出部
12、12A、12B、12C、12D ブロック
1311、1321 第1遅延部
1312、1322 二乗平均算出部
1313、1323 平均値算出部
1314、1324 標準偏差算出部
1315、1325 第2遅延部
Claims (10)
- 第1画像内の補正画素について、当該補正画素を含む第1の画像領域の輝度の第1の平均値及び第1の標準偏差を取得する第1の取得部と、
前記第1画像と比較する第2画像において、前記第1の画像領域に対応する第2の画像領域の輝度の第2の平均値及び第2の標準偏差を取得する第2の取得部と、
前記補正画素の輝度を、前記第1の平均値、前記第1の標準偏差、前記第2の平均値、及び前記第2の標準偏差に基づいて補正する補正部と、を備えた輝度補正装置。 - 前記補正部は、前記第1の画像領域の補正後の輝度の標準偏差が、前記第2の標準偏差と一致するように補正する請求項1に記載の輝度補正装置。
- 前記第1の取得部は、前記第1の平均値及び前記第1の標準偏差を算出する請求項1または2のいずれかに記載の輝度補正装置。
- 前記第1の画像領域の輝度をライン毎に取得する輝度取得部、をさらに備え、
前記第1の取得部は、前記ラインの輝度の平均値、及び前記ラインの輝度の二乗の平均値に基づいて、前記第1の平均値及び前記第1の標準偏差を算出する請求項2に記載の輝度補正装置。 - 前記ライン毎に取得した輝度を遅延して遅延ラインとして出力する遅延部、をさらに備え、
前記第1の取得部は、前記遅延ラインの輝度の平均値、及び前記遅延ラインの輝度の二乗の平均値にさらに基づいて、前記第1の平均値及び前記第1の標準偏差を算出する請求項4に記載の輝度補正装置。 - 第1画像内の補正画素について、前記補正画素を含む第1の画像領域の輝度の第1の平均値及び第1の標準偏差を取得する第1の取得部と、
前記第1画像と比較する第2画像において、前記第1の画像領域に対応する第2の画像領域の輝度の第2の平均値及び第2の標準偏差を取得する第2の取得部と、
前記補正画素の輝度を、前記第1の平均値、前記第1の標準偏差、前記第2の平均値、及び前記第2の標準偏差に基づいて補正する補正部と、
前記補正部が補正した第1画像と、前記第2画像とを比較し、比較結果に応じて検査対象の欠陥を検出する検出部と、を備えた検査装置。 - 前記補正部は、前記第1の画像領域の補正後の輝度の標準偏差が、前記第2の標準偏差と一致するように補正する請求項6に記載の検査装置。
- 前記第1の取得部は、前記第1の平均値及び前記第1の標準偏差を算出する請求項6または7のいずれかに記載の検査装置。
- 第1画像内の補正画素について、前記補正画素を含む第1の画像領域の輝度の第1の平均値及び第1の標準偏差を取得するステップと、
前記第1画像と比較する第2画像において、前記第1の画像領域に対応する第2の画像領域の輝度の第2の平均値及び第2の標準偏差を取得するステップと、
前記補正画素の輝度を、前記第1の平均値、前記第1の標準偏差、前記第2の平均値、及び前記第2の標準偏差に基づいて補正するステップと、を備えた輝度補正方法。 - コンピュータに、
第1画像内の補正画素について、前記補正画素を含む第1の画像領域の輝度の第1の平均値及び第1の標準偏差を取得するステップと、
前記第1画像と比較する第2画像において、前記第1の画像領域に対応する第2の画像領域の輝度の第2の平均値及び第2の標準偏差を取得するステップと、
前記補正画素の輝度を、前記第1の平均値、前記第1の標準偏差、前記第2の平均値、及び前記第2の標準偏差に基づいて補正するステップと、を実行させる輝度補正プログラム。
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