JP2021128068A - 容器内ガス性状の測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】レーザ光などの検査ビームと、液体と気体とを貯留したうえで密閉されレーザなどの検査ビームが通過できるように構成された容器検査対象としての容器との位置関係を、精度良く規定できるようにする。【解決手段】分析対象のガスが充填された容器１５に検査ビームを透過させることで、容器１５内のガスの性状を測定することができる非破壊式の容器内ガス性状の測定装置である。この測定装置は、容器１５を保持する容器保持装置１６と、容器保持装置１６に保持された容器１５に検査ビームを照射するとともに、容器１５を通過した後の検査ビームを検知するように構成された検査装置２０とを有する。容器保持装置１６は、容器１５を調心状態で保持する。【選択図】図１

Description

本発明は容器内ガス性状の測定装置に関し、特に、液体と気体とを貯留したうえで密閉されレーザなどの検査ビームが通過できるように構成された容器についての容器内ガス性状の測定装置に関する。

医薬品などの製剤として、バイアル製剤やシリンジ製剤などが知られている。バイアル製剤は、ガラスや合成樹脂などで形成された容器に薬剤とガスとを充填したうえで、ゴム栓などにより密封したものである。使用時には、容器内の薬剤が、注射器により吸い上げられることで、この注射器に移される。シリンジ製剤は、バイアル製剤などのように容器内の薬剤を注射器に吸い上げるものではなく、薬剤とガスとを充填したシリンジを直接使用するものである。

バイアル製剤やシリンジ製剤においては、その品質検査の一つとして、容器内に充填されたガスである酸素や二酸化炭素などの濃度を測定することが行われている（特許文献１）。特許文献１に記載されているように、容器内のガスの濃度は、非破壊方式で測定される。すなわち、容器を開封せずに、その密閉状態を保ったまま、ガス濃度が測定される。このとき、ガス濃度の測定は、レーザビームのような検査ビームを用いて行われる。そして、容器としては、検査ビームが透過できるものが用いられる。たとえば、検査ビームがレーザ光である場合には、容器として、そのレーザ光を通過させることができるものが用いられる。

さらに、特許文献１に記載の技術では、円筒状の容器に対して、検査用のレーザ光を容器の径方向にオフセットさせた状態で通過させている。これにより、容器の壁面で反射したレーザ光がこのレーザ光の受光装置に入射することを防止して、この入射による測定誤差の発生を防止するようにしている。

特開２０１８−１１９８９４号公報

容器内のガス濃度を正確に測定するためには、容器へのレーザ光の入射位置を厳密に規定することが必要である。特に上記したように検査用のレーザ光を容器の径方向にオフセットさせた状態で通過させる場合には、そのオフセット量を正確にコントロールしないと、上述の測定誤差の発生をうまく防止できなくなる。

そのためには、レーザ光と容器との位置関係を精度良く規定することが必要である。この点に関し、特許文献１に記載された装置では、円柱状の容器は、有底円筒状のホルダに収容されるようになっている。

ところが、円柱状の容器を有底筒状のホルダに収容しただけでは、ホルダと容器との間に隙間が形成されることを避けることができない。このため、この隙間の分だけ、レーザ光と容器との位置関係の精度が低下することが避けられない。隙間の存在にもとづく位置関係の精度の低下が測定データに影響を与えない程度であれば問題ないが、そうでない場合は対策が必要である。

またバイアル製剤やシリンジ製剤のための容器としてはガラス容器が多用されるが、ガラス容器は、容器における厚み誤差の発生が避けられない。したがって、この容器の厚み誤差にもとづく測定誤差の発生も、避けることが困難である。特許文献１に記載の発明では、測定に際して容器をその軸心周りに回転させることで、この容器の厚み誤差にもとづく測定誤差を平均化させることにより、その測定誤差を緩和させている。容器の回転は、ホルダを回転させることにより、行われている。しかし、上述のようにホルダと容器との間には隙間が存在するため、回転によりこの隙間の範囲で容器の位置が変化すると、それによる測定誤差の発生が懸念される。

そこで本発明は、このような問題点を解決して、容器をその軸心周りに回転させる場合はもちろんのこと、回転させない場合であっても、レーザ光などの検査ビームと、検査対象としての容器との位置関係をいっそう精度良く規定できるようにすることを目的とする。

この目的を達成するため、本発明の容器内ガス性状の測定装置は、
分析対象のガスが充填された容器に検査ビームを透過させることで、前記容器内のガスの性状を測定することができる非破壊式の容器内ガス性状の測定装置であって、
前記容器を保持する容器保持装置と、
前記容器保持装置に保持された容器に検査ビームを照射するとともに、前記容器を通過した後の検査ビームを検知するように構成された検査装置とを有し、
前記容器保持装置は、前記容器を調心状態で保持するように構成されているようにしたものである。

本発明の容器内ガス性状の測定装置によれば、容器保持装置が三つ爪スクロールチャックであることが好適である。

本発明の容器内ガス性状の測定装置によれば、検査装置は、測定すべきガスの種類に応じた単数種類または複数種類の検査ビームを送受信可能な単数または複数の送受信装置を備えていることが好適である。

本発明の容器内ガス性状の測定装置によれば、複数の送受信装置が互いに距離をおいて設置されており、容器保持装置は、前記距離をおいて設置された送受信装置どうしの間を相対的に移動できるように構成されていることが好適である。

本発明の容器内ガス性状の測定装置によれば、検査装置は、容器の中心から容器の径方向にオフセットした位置において、前記容器に検査ビームを照射できるように構成されていることが好適である。

本発明の容器内ガス性状の測定装置によれば、検査装置における検査ビームの送受信装置は、検査ビームの照射装置と検出装置とを備えるとともに、前記照射装置と検出装置との間の距離に応じてオフセット量を設定するものであることが好適である。

本発明の容器内ガス性状の測定装置によれば、検査装置は、容器の種類に応じてオフセット量を設定するものであることが好適である。

本発明の容器内ガス性状の測定装置によれば、検査装置は、測定すべきガスの種類に応じた複数種類の検査ビームの送受信装置を備えているとともに、容器の種類とガスの種類とに応じて各検査ビームの送受信装置ごとにオフセットの量を変更できるように構成されていることが好適である。

本発明の容器内ガス性状の測定装置によれば、容器保持装置が、容器を調心状態で保持するように構成されているため、検査装置と容器との位置関係をきわめて精度良く規定することができ、このため、容器の内部のガスの濃度などの性状を正確に測定することができる。

本発明の実施の形態の容器内ガス性状の測定装置の外観を示す立体図である。 図１における要部の立体拡大図である。 同測定装置の検査装置におけるセンサ間隔の調節を示す図である。 同測定装置における第１のオフセット制御方法を示す図である。 同測定装置の第１の動作態様を示す図である。 同測定装置における第２のオフセット制御方法を示す図である。 同測定装置の第２の動作態様を示す図である。 同測定装置における第３のオフセット制御方法を示す図である。

図１に示す容器内ガス性状の測定装置において、１１は機体である。また１２は測定部、１３は表示部である。測定部１２は、開閉式のカバー１４にて覆うことができるように構成されている。

測定部１２には、測定対象である円柱状の容器１５をたとえば立てた状態で保持するための、容器保持装置としてのチャック装置１６が設けられている。チャック装置１６は図１および図２に示されているが、図示の例ではチャック装置１６は上向きの樹脂製の三つ爪スクロールチャックにて構成され、３つの爪１７、１７、１７によって、チャック装置１６に載置された容器１５の底部をクランプして調心状態で保持するとともに、このチャック装置１６が回転することで、容器１５の調心状態を保ったまま、この容器１５をその長手方向の軸心の周りに回転させることができるように構成されている。

容器１５は、医薬などの薬剤を密閉状態で貯留するためのもので、ガラスや合成樹脂などによって形成されている。容器１５の内部には、薬剤のほかに、酸素や、二酸化炭素や、水蒸気などのガスが、薬剤とは別れた状態で充填されて貯留されている。

測定部１２には、検査装置２０が設けられている。検査装置２０は、測定すべきガスの種類に応じた単数種類または複数種類の検査ビームのための、送受信装置２１ａ、２１ｂ、・・・を備えている。図示の例では、２種類の検査ビームのための送受信装置２１ａ、２１ｂを備えたものが示されている。例を挙げると検査対象のガスが酸素である場合において、その濃度を検出するためには、たとえば波長７６３ｎｍのレーザ光源を利用した検査ビームの送受信装置を用いることが好適である。また、検査対象のガスが水蒸気である場合において、その濃度を検出するためには、たとえば波長１４００ｎｍのレーザ光源を利用した検査ビームの送受信装置を用いることが好適である。

それぞれの検査ビームの送受信装置２１ａ、２１ｂは、検査ビームの照射装置２２ａ、２２ｂと、各照射装置２２ａ、２２ｂから容器１５に向けて水平方向に照射されることでこの容器１５を通過した後の検査ビームを検出するための検出装置２３ａ、２３ｂとを、各別に備えている。すなわち、検査ビームの送受信装置２１ａにおける照射装置２２ａと検出装置２３ａとは、容器１５を間に挟んだ状態で水平方向に並んで配置され、また検査ビームの送受信装置２１ｂにおける照射装置２２ｂと検出装置２３ｂも、容器１５を間に挟んだ状態で水平方向に並んで配置されている。さらに図示の例では、二つの検査ビームの送受信装置２１ａ、２１ｂにおける二つの照射装置２２ａ、２２ｂと、二つの検査ビームの送受信装置２１ａ、２１ｂにおける二つの検出装置２３ａ、２３ｂも、それぞれ水平方向に並んで配置されている。照射装置２２ａ、２２ｂが並ぶ水平方向と、検出装置２３ａ、２３ｂが並ぶ水平方向とは、検査ビームの送受信装置２１ａにおける照射装置２２ａと検出装置２３ａとが並ぶ水平方向および検査ビームの送受信装置２１ｂにおける照射装置２２ｂと検出装置２３ｂとが並ぶ水平方向に対して垂直な方向である。

図示された一対の照射装置２２ａ、２２ｂは第１のアーム２４に並んで取り付けられており、また一対の検出装置２３ａ、２３ｂは第２のアーム２５に並んで取り付けられている。

２６は水平方向の送りねじで、第１のアーム２４と第２のアーム２５との間の距離を調節できるように構成されている。すなわち、水平方向の送りねじ２６を正転あるいは逆転させることで、第１のアーム２４と第２のアーム２５とが、すなわち一対の照射装置２２ａ、２２ｂと一対の検出装置２３ａ、２３ｂとが、互いに近づいたり、あるいは遠ざかったりするように構成されている。水平方向の送りねじ２６は、機体１１に取り付けられた支持フレーム２７によって支持されている。そして水平方向の送りねじ２６は、カバー１４の外に設けられた操作ノブ２８によって手動で回転されるように構成されている。なお、水平方向の送りねじ２６を機械的な動力源によって回転駆動させる構成を採用することもできる。２９は、水平方向の送りねじ２６の回転量を検出するためのエンコーダである。

支持フレーム２７を昇降させるための鉛直方向の送りねじ３０が設けられている。すなわち、鉛直方向の送りねじ３０を正転あるいは逆転させることで、支持フレーム２７すなわち照射装置２２ａ、２２ｂと検出装置２３ａ、２３ｂとを昇降させることができるように構成されている。鉛直方向の送りねじ３０は、機体１１に取り付けられた支持フレーム３１によって支持されている。支持フレーム３１には、支持フレーム２７を昇降自在に支持するとともにその昇降動作を案内するためのガイド部材３２、３３が設けられている。そして鉛直方向の送りねじ３０は、カバー１４の外に設けられた操作ノブ３４によって手動で回転されるように構成されている。なお、鉛直方向の送りねじ３０を機械的な動力源によって回転駆動させる構成を採用することもできる。３５は、操作ノブ３４の回転量すなわち鉛直方向の送りねじ３０の回転量を機械的に読み取って表示するための表示装置である。表示装置３５によって、照射装置２２ａ、２２ｂと検出装置２３ａ、２３ｂとの高さを示すことができる。

チャック装置１６は、照射装置２２ａ、２２ｂが並んでいる水平方向に、つまり検出装置２３ａ、２３ｂが並んでいる水平方向に、移動できるように構成されている。矢印３６は、その移動方向を示す。そのための移動機構は、機体１１の内部に設けられた動力源を備えた適宜のものとすることができる。このようにチャック装置１６が水平方向に移動できるように構成されていることで、このチャック装置１６によって保持された容器１５は、検査ビームの送受信装置２１ａにおける照射装置２２ａと検出装置２３ａとの間の第１の位置と、検査ビームの送受信装置２１ｂにおける照射装置２２ｂと検出装置２３ｂとの間の第２の位置との間を移動することができるようにされている。また、詳細は後述するが、チャック装置１６は水平方向に微小移動できるようにも構成されており、これによって、送受信装置２１ａ、２１ｂにおける検査ビームを、容器１５の中心から容器１５の径方向にオフセットさせることができるように構成されている。

容器１５に蓄えられたガスの性状を測定する際には、まず、図３に示すように水平方向の送りねじ２６を手動操作などにより回転させることで、検査ビームの送受信装置２１ａにおける照射装置２２ａと検出装置２３ａとの間隔Ｗを、容器１５のサイズにあわせて調節する。この調節によって、同時に、検査ビームの送受信装置２１ｂにおける照射装置２２ｂと検出装置２３ｂとの間隔Ｗも同様に調節される。次に、鉛直方向の送りねじ３０を手動操作などにより回転させることで、送受信装置２１ａ、２１ｂにおける照射装置２２ａ、２２ｂおよび検出装置２３ａ、２３ｂの高さを、容器１５のサイズに合わせて調節する。

図３には、平面視したときの、容器１５の中心位置３７から、検査ビームとしてのレーザ光の光軸の位置３８までの、容器１５の径方向に沿った距離であるところの、オフセット量Ｘが示されている。検査ビームとしてのレーザ光は、送受信装置２１ａにおける照射装置２２ａから容器１５に向けて照射され、容器１５の壁部と、容器１５の内部におけるガスが貯留された部分とを通過した後に、検出装置２３ａによって受光される。チャック装置１６による容器１５の回転中の検出装置２３ａの出力から、公知の手法によって、ガス濃度が測定される。

オフセット量Ｘは、容器１５のサイズ、特に容器１５の直径に対応して増減させることができる。容器１５の直径に対応した容器１５のサイズは、間隔Ｗによって表すことができる。機体１１の内部にはコンピュータ装置が設置されており、このコンピュータ装置のメモリに、間隔Ｗとオフセット量Ｘとの相関データを、あらかじめ格納しておくことができる。そうすることで、手動操作によって間隔Ｗを設定したときに、それに対応するオフセット量Ｘを自動的に算出して設定することができる。

その詳細を、図３および図４を参照して説明する。なお、図３に示すように、あらかじめチャック装置１６によって容器１５の底部をクランプして保持しておく。そして、図４のステップＳ４１で処理が開始されると、ステップＳ４２において、操作ノブ３４のマニュアル操作により鉛直方向の送りねじ３０を回転させることで、アーム２４、２５すなわち検査ビームの送受信装置２１ａ、２１ｂを昇降させて、高さ方向に沿ったその位置を容器１５のサイズに対応させとともに、特に、操作ノブ２８のマニュアル操作により水平方向の送りねじ２６を回転させることによって、上記した間隔Ｗを容器１５のサイズに対応して設定する。

間隔Ｗが決まると、ステップＳ４３において、上記のように格納していたデータから、その間隔Ｗの値に対応したオフセット量Ｘの値を抽出して、上記のコンピュータ装置に読み込む。

図１に示した装置では、２種類の検査ビームの送受信装置２１ａ、２１ｂが設けられているために、それに対応して、２種類のガスの濃度を測定することができる。ここでは、それぞれのガスを「測定ガスＡ」、「測定ガスＢ」と称する。ステップＳ４４、Ｓ４５では、これらの２種類のガスのうちのどれについての測定を行うかを選定する。測定を行うか否かは、マニュアル操作などによってコンピュータにオン信号またはオフ信号を入力することにより決定する。例えば、表示部１３がタッチパネル方式のものである場合には、この表事部１３を用いて、このようなオン・オフのマニュアル選定を行うことができる。

次に、ステップＳ４６において測定が開始される。容器１５は、最初、平面視におけるこの容器１５の中心の位置が、２つの検査ビームの送受信装置２１ａ、２１ｂのうちの、測定ガスＡを測定するものの中心の位置に一致した基本ポジションにセットされる。そして、ステップＳ４７において、オフセット量Ｘに対応した変位が行われる。詳細には、チャック装置１６を矢印３６の方向にわずかに移動させることで、このチャック装置１６ととともに容器１５を基本ポジションからオフセット量Ｘ（ｍｍ）だけ移動させる。

次に、ステップＳ４８において、ステップＳ４４で測定ガスＡについて測定することが選択されていたか否かを判断する。選択されていたと判断した場合には、ステップＳ４９において測定ガスＡについて濃度の測定を行い、ステップＳ５０へ進む。ステップＳ４８において、測定ガスＡについて測定することが選択されていなかったと判断した場合には、ステップＳ４９を実行することなく、ステップＳ５０へ進む。

ステップＳ５０では、ステップＳ４５で測定ガスＢについて測定することが選択されていたか否かを判断する。選択されていたと判断した場合には、ステップＳ５１において、それまで２つの検査ビームの送受信装置２１ａ、２１ｂのうちの測定ガスＡを測定するものに対応して位置していたチャック装置１６と容器１５とを、２つの検査ビームの送受信装置２１ａ、２１ｂのうちの測定ガスＢを測定するものに対応する位置へ、矢印３６の方向に沿って移動させる。その移動量をＹ（ｍｍ）とすると、この移動量Ｙは、２つの検査ビームの送受信装置２１ａ、２１ｂの設置位置どうしの間隔に対応した一定量となる。移動量Ｙをこのように設定することで、測定ガスＢを測定するときにおいても、所定のオフセット量Ｘを確保することができる。

次に、ステップＳ５２において測定ガスＢについて濃度の測定を行い、ステップＳ５３へ進む。ステップＳ５０において、測定ガスＢについて測定することが選択されていなかったと判断した場合には、ステップＳ５１、Ｓ５２を実行することなく、ステップＳ５３へ進む。ステップＳ５３では、チャック装置１６と容器１５を移動させて上述の基本ポジションに戻す。

上記した図３および図４に示される例においては、オフセット量Ｘは間隔Ｗに対応した一定値であった。すなわち、オフセット量Ｘは、容器１５の種類にかかわらず一定であった。これによってオフセット量Ｘを簡便に設定することが可能であった。これに対し、図５と、図６のフローとは、間隔Ｗではなく、容器１５の種類に応じてオフセット量Ｘを変化させる場合を示す。

すなわち、図５は、チャック装置１６および容器１５が、検査ビームの送受信装置２１ａに対応して位置する場合と、検査ビームの送受信装置２１ｂに対応して位置する場合とを一緒に描いている。オフセット量Ｘは、両方の位置の場合において同じであるが、容器１５の種類に応じて変化させる。

その詳細を、図５および図６を参照して説明する。図６のステップＳ６１において処理が開始されると、あらかじめ、図３および図４の場合と同様に、検査ビームの送受信装置２１ａ、２１ｂの高さと、間隔Ｗとの調整が行われる。そのうえで、ステップＳ６２において、容器１５の品種の選択を行う。この選択は、たとえば容器１５の種類に関するデータを、マニュアル操作などによってコンピュータに入力することにより行う。

次に、ステップＳ６３において、容器１５の種類に応じたオフセット量Ｘ（ｍｍ）が取得される。すなわちオフセット量Ｘの読込みが行われる。このとき、たとえば容器１５の種類に応じたオフセット量Ｘのデータテーブルを、あらかじめコンピュータの内部に格納しておけば、それを利用して容易にオフセット量Ｘを設定することができる。たとえば、容器１５として、径が１１ｍｍ、高さが２５ｍｍ、容量が２ミリリットルのものを測定する場合は、オフセット量Ｘを３ｍｍに設定し、また、たとえば、容器１５として、径が１６ｍｍ、高さが３０ｍｍ、容量が５ミリリットルのものを測定する場合は、オフセット量Ｘを５ｍｍに設定することができる。

これ以後の、ステップＳ６４〜ステップＳ７３のフローは、図４に示したステップＳ４４〜ステップＳ５３のフローと同じである。ステップＳ７１における容器１５の移動量Ｙ（ｍｍ）は、ステップＳ５１の場合と同様に一定である。そのうえで、容器１５の種類に応じてオフセット量Ｘだけが変更される。検査ビームの送受信装置２１ａによって測定ガスＡを測定するときのオフセット量Ｘと、検査ビームの送受信装置２１ｂによって測定ガスＢを測定するときのオフセット量Ｘとは、同じである。

このようにすることで、オフセット量Ｘが容器１５の種類に応じた適正値になるように良好に制御することができる。

図７および図８は、オフセット量Ｘを、容器１５の種類によって変化させたうえで、測定ガスＡ、Ｂの種類によっても変化させる場合を示す。つまり、図７に示すように、検査ビームの送受信装置２１ａによって測定ガスＡを測定するときのオフセット量Ｘは上述の例の場合と同様にして設定するが、検査ビームの送受信装置２１ｂによって測定ガスＢを測定するときのオフセット量Ｚを、オフセット量Ｘとは別に設定するものである。このとき、オフセット量Ｘを規定したうえで、矢印３６に沿ったチャック装置１６および容器１５の移動量Ｙを変化させることによって、さまざまなオフセット量Ｚを設定することが可能である。

その詳細を図７および図８を参照して説明する。図８のステップＳ８１において処理が開始されると、あらかじめ、図３および図４の場合と同様に、検査ビームの送受信装置２１ａ、２１ｂの高さと、間隔Ｗとの調整が行われる。そのうえで、ステップＳ８２において、容器１５の種類を選択する。この選択は、上述の場合と同様にして行うことができる。容器１５の種類が選択されると、それを受けて、ステップＳ８３において、容器１５の種類に応じた、オフセット量Ｘ（ｍｍ）と、オフセット量Ｚ（ｍｍ）と、オフセット量Ｚを実現するために必要なチャック装置１６および容器１５の移動量Ｙ（ｍｍ）とが取得される。このとき、同様に、たとえば容器１５の種類に応じた、オフセット量Ｘと、オフセット量Ｚと、移動量Ｙとのデータテーブルを、あらかじめコンピュータの内部に格納しておけば、それを利用して容易にこれらの量Ｘ、Ｙ、Ｚを設定することができる。

たとえば、容器１５として、径が１１ｍｍ、高さが２５ｍｍ、容量が２ミリリットルのものを測定する場合は、オフセット量Ｘを３ｍｍに設定し、オフセット量Ｚを２ｍｍに設定する。またオフセット量Ｘとオフセット量Ｚとが等しいときの移動量Ｙが３５ｍｍであったとすると、図示の例におけるこの場合の移動量Ｙは３４ｍｍに設定することになる。また、たとえば、容器１５として、径が１６ｍｍ、高さが３０ｍｍ、容量が５ミリリットルのものを測定する場合は、オフセット量Ｘを５ｍｍに設定し、オフセット量Ｚを２ｍｍに設定し、また、そのために移動量Ｙは３２ｍｍに設定することになる。

これ以降の、ステップＳ８４〜ステップＳ９０、およびステップＳ９２〜ステップＳ９３のフローは、図４に示したステップＳ４４〜ステップＳ５０、およびステップＳ５２〜ステップＳ５３のフロート同じである。ステップＳ９１における容器１５の移動量Ｙ（ｍｍ）は、一定ではなく、上述のようにオフセット量Ｚに応じて増減した値となる。

このようにすることで、オフセット量Ｘ、Ｚが、容器１５の種類および測定ガスＡ、Ｂの種類に応じた適正値になるように、より詳細かつ良好に制御することができる。

図３〜図８に示されるいずれの場合においても、容器１５はチャック装置１６の爪１７によって確実に保持され、このため、チャック装置１６が回転したときに、それに合わせて調心状態で回転することになる。その結果、検査装置２０すなわち検査ビームの送受信装置２１ａ、２１ｂと容器１５との位置関係をきわめて精度良く規定することができる。また、仮に容器１５を回転させずに測定を行う場合であっても、この容器を精度良く位置決めすることができる。このため、容器１５の内部のガスの濃度などの性状を正確に測定することができる。

容器１５を調心状態で保持して回転させるための装置は、上述したスクロール構造のチャック装置１６に限られるものではなく、本発明によれば、同等の機能を有する限り他の装置を適用することもできる。例えば、容器形状を考慮したコレットチャックや、複数の方向から同等の力がかかるように弾性体を用いた構造のチャックのように、相似形の容器を同一中心で保持（調心状態で保持）できる構造であればよい。

上記においては、チャック装置１６が矢印３６の方向に移動できるようにすることで、複数の検査ビームの送受信装置２１ａ、２１ｂによって、異なる種類のガスの性状を測定するものを例示した。しかし、本発明によれば、これに代えて、チャック装置１６および容器１５は移動することなく静止し、反対に検査ビームの送受信装置２１ａ、２１ｂが容器１５に対して矢印３６の方向に移動することによって、異なる種類のガスの性状を測定するように構成することもできる。すなわち本発明によれば、チャック装置１６および容器１５と、検査ビームの送受信装置２１ａ、２１ｂとが相対的に移動できる構成であれば足りる。

上記では、２種類の検査ビームをそれぞれ異なる送受信装置２１ａ、２１ｂすなわちそれぞれ異なる照射装置２２ａ、２２ｂとそれぞれ異なる検出装置２３ａ、２３ｂとを使用して発生および検出させていたが、一つの送受信装置によって異なる波長の検査ビームを発生および検出させるようにすることもできる。このような構成であると、容器を移動させることなく検査することができる。
また、上においては容器１５の底部をクランプすなわち保持する例を記載したが、容器１５の形状などに応じて、胴部等その他の部分を保持してもよい。

１５ 容器
１６ チャック装置（容器保持装置）
２０ 検査装置
２１ａ 検査ビームの送受信装置
２１ｂ 検査ビームの送受信装置
Ｗ 間隔
Ｘ オフセット量
Ｙ 移動量
Ｚ オフセット量

Claims (8)

1. 分析対象のガスが充填された容器に検査ビームを透過させることで、前記容器内のガスの性状を測定することができる非破壊式の容器内ガス性状の測定装置であって、
   前記容器を保持する容器保持装置と、
   前記容器保持装置に保持された容器に検査ビームを照射するとともに、前記容器を通過した後の検査ビームを検知するように構成された検査装置とを有し、
   前記容器保持装置は、前記容器を調心状態で保持するように構成されていることを特徴とする容器内ガス性状の測定装置。
2. 容器保持装置が三つ爪スクロールチャックであることを特徴とする請求項１記載の容器内ガス性状の測定装置。
3. 検査装置は、測定すべきガスの種類に応じた単数種類または複数種類の検査ビームを送受信可能な単数または複数の送受信装置を備えていることを特徴とする請求項１または２項記載の容器内ガス性状の測定装置。
4. 複数の送受信装置が互いに距離をおいて設置されており、容器保持装置は、前記距離をおいて設置された送受信装置どうしの間を相対的に移動できるように構成されていることを特徴とする請求項３記載の容器内ガス性状の測定装置。
5. 検査装置は、容器の中心から容器の径方向にオフセットした位置において、前記容器に検査ビームを照射できるように構成されていることを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項記載の容器内ガス性状の測定装置。
6. 検査装置における検査ビームの送受信装置は、検査ビームの照射装置と検出装置とを備えるとともに、前記照射装置と検出装置との間の距離に応じてオフセット量を設定するものであることを特徴とする請求項５記載の容器内ガス性状の測定装置。
7. 検査装置は、容器の種類に応じてオフセット量を設定するものであることを特徴とする請求項５記載の容器内ガス性状の測定装置。
8. 検査装置は、測定すべきガスの種類に応じた複数種類の検査ビームの送受信装置を備えているとともに、容器の種類とガスの種類とに応じて各検査ビームの送受信装置ごとにオフセットの量を変更できるように構成されていることを特徴とする請求項５記載の容器内ガス性状の測定装置。

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