JP2021126002A5 - - Google Patents

Description

本発明の搬送装置は、 第１の方向に沿って配置された複数のコイルを有する固定子と、前記第１の方向に沿って移動する可動子と、を有する搬送装置において、前記可動子は、第１の方向に沿って配置された第１の磁石群と、前記第１の方向と交差する第２の方向に沿って配置された第２の磁石群と、を有し、前記複数のコイルのうちの少なくとも一つは、コアと巻線部とヨークを有し、前記ヨークは、前記第１の方向に沿って前記巻線部の外周に隣接して設けられていることを特徴とする。

また、本発明の搬送装置は、第１の方向に沿って配置された複数のコイルを有する固定子と、前記第１の方向に沿って移動する可動子と、を有する搬送装置において、前記可動子は、前記第１の方向に沿って配置された第１の磁石群と、前記第１の方向と交差する第２の方向に沿って配置された第２の磁石群と、前記第１の磁石群が配置されている第１のヨークと、前記第２の磁石群が配置されている第２のヨークと、を有し、前記第１のヨークと前記第２のヨークとは所定距離離れて配置されていることを特徴とする。

Claims (12)

1. 第１の方向に沿って配置された複数のコイルを有する固定子と、
   前記第１の方向に沿って移動する可動子と、を有する搬送装置において、
   前記可動子は、
   第１の方向に沿って配置された第１の磁石群と、
   前記第１の方向と交差する第２の方向に沿って配置された第２の磁石群と、を有し、
   前記複数のコイルのうちの少なくとも一つは、コアと巻線部とヨークを有し、
   前記ヨークは、前記第１の方向に沿って前記巻線部の外周に隣接して設けられていることを特徴とする搬送装置。
2. 前記ヨークは、前記第２の方向において前記複数のコイルのうち少なくとも１つを挟んで配置されていることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記ヨークは、前記コアと接続されており、
   前記ヨークと前記コアは、前記コアの前記可動子と対向可能な面と反対側の面もしくは、前記コアの前記第２の方向を向いた側面において接続されていることを特徴とする請求項１または２に記載の搬送装置。
4. 前記ヨークは、磁性体あるいは比透磁率が１０００以上の材料であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の搬送装置。
5. 前記可動子が、前記第１の磁石群が配置されている第１のヨークと、前記第２の磁石群が配置されている第２のヨークと、を有し、
   前記第１のヨークと前記第２のヨークとは離れて配置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の搬送装置。
6. 第１の方向に沿って配置された複数のコイルを有する固定子と、
   前記第１の方向に沿って移動する可動子と、を有する搬送装置において、
   前記可動子は、
   前記第１の方向に沿って配置された第１の磁石群と、
   前記第１の方向と交差する第２の方向に沿って配置された第２の磁石群と、
   前記第１の磁石群が配置されている第１のヨークと、
   前記第２の磁石群が配置されている第２のヨークと、を有し、
   前記第１のヨークと前記第２のヨークとは所定距離離れて配置されていることを特徴とする搬送装置。
7. 前記第１のヨークおよび前記第２のヨークは、磁性体あるいは比透磁率が１０００以上の材料であることを特徴とする請求項５または６に記載の搬送装置。
8. 前記複数のコイルのうちの少なくとも一つは、コアと前記コアに巻かれた巻線部と第３のヨークを有し、
   前記第３のヨークは、前記第１の方向に沿って前記巻線部の外周に隣接して設けられていることを特徴とする請求項６記載の搬送装置。
9. 前記第３のヨークは、前記第２の方向において前記複数のコイルのうち少なくとも１つを挟んで配置されていることを特徴とする請求項８に記載の搬送装置。
10. 前記第３のヨークは、前記コアと接続されており、
    前記第３のヨークと前記コアは、前記コアの前記可動子と対向可能な面と反対側の面もしくは、前記コアの前記第２の方向を向いた側面において接続されていることを特徴とする請求項８または９に記載の搬送装置。
11. 前記第３のヨークは、磁性体あるいは比透磁率が１０００以上の材料であることを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか１項に記載の搬送装置。
12. 請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の搬送装置により搬送されたワークに加工を行ない、物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。