JP2021126002A5 - - Google Patents
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Description
本発明の搬送装置は、 第1の方向に沿って配置された複数のコイルを有する固定子と、前記第1の方向に沿って移動する可動子と、を有する搬送装置において、前記可動子は、第1の方向に沿って配置された第1の磁石群と、前記第1の方向と交差する第2の方向に沿って配置された第2の磁石群と、を有し、前記複数のコイルのうちの少なくとも一つは、コアと巻線部とヨークを有し、前記ヨークは、前記第1の方向に沿って前記巻線部の外周に隣接して設けられていることを特徴とする。
また、本発明の搬送装置は、第1の方向に沿って配置された複数のコイルを有する固定子と、前記第1の方向に沿って移動する可動子と、を有する搬送装置において、前記可動子は、前記第1の方向に沿って配置された第1の磁石群と、前記第1の方向と交差する第2の方向に沿って配置された第2の磁石群と、前記第1の磁石群が配置されている第1のヨークと、前記第2の磁石群が配置されている第2のヨークと、を有し、前記第1のヨークと前記第2のヨークとは所定距離離れて配置されていることを特徴とする。
Claims (12)
- 第1の方向に沿って配置された複数のコイルを有する固定子と、
前記第1の方向に沿って移動する可動子と、を有する搬送装置において、
前記可動子は、
第1の方向に沿って配置された第1の磁石群と、
前記第1の方向と交差する第2の方向に沿って配置された第2の磁石群と、を有し、
前記複数のコイルのうちの少なくとも一つは、コアと巻線部とヨークを有し、
前記ヨークは、前記第1の方向に沿って前記巻線部の外周に隣接して設けられていることを特徴とする搬送装置。 - 前記ヨークは、前記第2の方向において前記複数のコイルのうち少なくとも1つを挟んで配置されていることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
- 前記ヨークは、前記コアと接続されており、
前記ヨークと前記コアは、前記コアの前記可動子と対向可能な面と反対側の面もしくは、前記コアの前記第2の方向を向いた側面において接続されていることを特徴とする請求項1または2に記載の搬送装置。 - 前記ヨークは、磁性体あるいは比透磁率が1000以上の材料であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の搬送装置。
- 前記可動子が、前記第1の磁石群が配置されている第1のヨークと、前記第2の磁石群が配置されている第2のヨークと、を有し、
前記第1のヨークと前記第2のヨークとは離れて配置されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の搬送装置。 - 第1の方向に沿って配置された複数のコイルを有する固定子と、
前記第1の方向に沿って移動する可動子と、を有する搬送装置において、
前記可動子は、
前記第1の方向に沿って配置された第1の磁石群と、
前記第1の方向と交差する第2の方向に沿って配置された第2の磁石群と、
前記第1の磁石群が配置されている第1のヨークと、
前記第2の磁石群が配置されている第2のヨークと、を有し、
前記第1のヨークと前記第2のヨークとは所定距離離れて配置されていることを特徴とする搬送装置。 - 前記第1のヨークおよび前記第2のヨークは、磁性体あるいは比透磁率が1000以上の材料であることを特徴とする請求項5または6に記載の搬送装置。
- 前記複数のコイルのうちの少なくとも一つは、コアと前記コアに巻かれた巻線部と第3のヨークを有し、
前記第3のヨークは、前記第1の方向に沿って前記巻線部の外周に隣接して設けられていることを特徴とする請求項6記載の搬送装置。 - 前記第3のヨークは、前記第2の方向において前記複数のコイルのうち少なくとも1つを挟んで配置されていることを特徴とする請求項8に記載の搬送装置。
- 前記第3のヨークは、前記コアと接続されており、
前記第3のヨークと前記コアは、前記コアの前記可動子と対向可能な面と反対側の面もしくは、前記コアの前記第2の方向を向いた側面において接続されていることを特徴とする請求項8または9に記載の搬送装置。 - 前記第3のヨークは、磁性体あるいは比透磁率が1000以上の材料であることを特徴とする請求項8乃至10のいずれか1項に記載の搬送装置。
- 請求項1乃至11のいずれか1項に記載の搬送装置により搬送されたワークに加工を行ない、物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020019513A JP7451205B2 (ja) | 2020-02-07 | 2020-02-07 | 搬送装置および物品の製造方法 |
KR1020210008569A KR20210101133A (ko) | 2020-02-07 | 2021-01-21 | 반송장치 및 물품의 제조방법 |
CN202110147218.XA CN113315336A (zh) | 2020-02-07 | 2021-02-03 | 输送装置和制造物品的方法 |
US17/166,634 US11670998B2 (en) | 2020-02-07 | 2021-02-03 | Conveyance apparatus and method of manufacturing article |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020019513A JP7451205B2 (ja) | 2020-02-07 | 2020-02-07 | 搬送装置および物品の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021126002A JP2021126002A (ja) | 2021-08-30 |
JP2021126002A5 true JP2021126002A5 (ja) | 2023-02-08 |
JP7451205B2 JP7451205B2 (ja) | 2024-03-18 |
Family
ID=77176935
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020019513A Active JP7451205B2 (ja) | 2020-02-07 | 2020-02-07 | 搬送装置および物品の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11670998B2 (ja) |
JP (1) | JP7451205B2 (ja) |
KR (1) | KR20210101133A (ja) |
CN (1) | CN113315336A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7479835B2 (ja) * | 2019-12-24 | 2024-05-09 | キヤノン株式会社 | 搬送装置及び物品の製造方法 |
WO2024100885A1 (ja) * | 2022-11-11 | 2024-05-16 | 三菱電機株式会社 | 搬送システム |
JP7462855B1 (ja) | 2022-11-11 | 2024-04-05 | 三菱電機株式会社 | 搬送システム |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH055807Y2 (ja) * | 1988-06-17 | 1993-02-16 | ||
JPH07318699A (ja) | 1994-05-27 | 1995-12-08 | Canon Inc | ステージ装置及びこれを有する露光装置とデバイス製造方法 |
JP3863429B2 (ja) * | 2002-01-04 | 2006-12-27 | 学校法人東京電機大学 | リニア振動アクチュエータ |
JP4314555B2 (ja) * | 2002-12-03 | 2009-08-19 | 株式会社ニコン | リニアモータ装置、ステージ装置、及び露光装置 |
JP4725910B2 (ja) * | 2004-09-07 | 2011-07-13 | 日本パルスモーター株式会社 | リニアアクチュエータ |
JP5240563B2 (ja) * | 2008-09-19 | 2013-07-17 | 株式会社安川電機 | Xy軸コアレスリニアモータ及びそれを用いたステージ装置 |
JP2010148233A (ja) * | 2008-12-18 | 2010-07-01 | Jtekt Corp | リニアモータ駆動送り装置 |
KR101531656B1 (ko) * | 2013-10-16 | 2015-06-25 | 한국전기연구원 | 자기 부상 이송 장치 |
KR102192244B1 (ko) * | 2013-12-30 | 2020-12-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 이송장치 |
JP6444238B2 (ja) | 2015-03-27 | 2018-12-26 | キヤノン株式会社 | 駆動ユニット、レンズ鏡筒、及び光学機器 |
KR102652589B1 (ko) * | 2016-06-23 | 2024-04-01 | 엘지전자 주식회사 | 횡자속형 왕복동 모터 및 이를 구비한 왕복동식 압축기 |
-
2020
- 2020-02-07 JP JP2020019513A patent/JP7451205B2/ja active Active
-
2021
- 2021-01-21 KR KR1020210008569A patent/KR20210101133A/ko not_active Application Discontinuation
- 2021-02-03 CN CN202110147218.XA patent/CN113315336A/zh active Pending
- 2021-02-03 US US17/166,634 patent/US11670998B2/en active Active
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