JP2021117206A - チップの強度測定方法、試験装置、及び、チップの強度計算方法 - Google Patents
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 71
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 claims description 13
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 12
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 6
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 145
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 22
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 4
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 3
- 238000013001 point bending Methods 0.000 description 3
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- 230000002742 anti-folding effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
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- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Abstract
Description
裏面にソーマークを有したチップの強度測定方法であって、
互いに間隔を有して配設されるとともにそれぞれ第一方向に伸長し、チップの下面を支持する第一支持部と第二支持部とを有した支持ユニットと、
該支持ユニットより上方且つ該第一支持部と該第二支持部の間に配置され、該第一方向に伸長した圧子と、
該支持ユニットで支持されたチップに対して該圧子を相対的に近接移動させる移動ユニットと、
該圧子が該支持ユニットで支持されたチップを押圧する荷重を計測する荷重計測ユニットと、を備えた試験装置を準備する準備ステップと、
該チップの裏面に形成されたソーマークの向きを確認するソーマーク確認ステップと、
該準備ステップと該ソーマーク確認ステップとを実施した後、該チップの該ソーマークの向きが該第一方向に対して所定の角度となるように該支持ユニットでチップを支持する支持ステップと、
該支持ステップを実施した後、該圧子をチップに向かって移動させ該圧子で該チップを押圧して破壊し、該チップが破壊した時の該荷重計測ユニットの計測値を入手するチップ破壊ステップと、を備えたチップの強度測定方法とする。
該ソーマーク確認ステップと、該支持ステップと、該チップ破壊ステップと、を複数のチップに対してそれぞれ実施し、
該支持ステップにおいて複数のチップはそれぞれ同一の該所定の角度となるように該支持ユニットで支持される、こととする。
裏面にソーマークを有したチップの強度を測定する試験装置であって、
互いに間隔を有して配設されるとともにそれぞれ第一方向に伸長し、チップの下面を支持する第一支持部と第二支持部とを有した支持手段と、
該支持手段より上方且つ該第一支持部と該第二支持部の間に配置され、該第一方向に伸長した圧子と、
該支持手段で支持されたチップに対して該圧子を相対的に近接移動させる移動手段と、
該圧子が該支持手段で支持されたチップを押圧する荷重を計測する荷重計測ユニットと、
チップの裏面に形成されたソーマークの向きを検出するソーマーク検出手段と、
該ソーマーク検出手段で検出されたソーマークの向きが該第一方向に対して所定の角度となるように該支持手段上にチップを載置するチップ載置手段と、
を備えた試験装置とする。
以下の式により、強度σ(曲げ応力値)を算出することとする、チップの強度計算方法とする。
σ=3LW/2bh2 (式1)
L:支点間距離(mm)
W:圧子荷重値(N)
b:圧子と試験片の接触距離(mm)
h:試験片厚み(mm)
図1、及び、図2は、ピックアップ装置2の構成について示す図である。なお、図1及び図8に示される試験装置202は、本実施例ではピックアップ装置2内に組み込まれているが、試験装置202単体で構成することも可能である。また、ピックアップ装置2を備える試験装置202を試験装置として定義することもできる。
突き上げ機構50によって突き上げられたチップは、ピックアップ機構70によってピックアップされる。ピックアップ機構70は、突き上げ機構50によって突き上げられたチップをピックアップするコレット76を備えるとともに、コレット76の位置を制御するコレット移動機構(コレット移動手段)80に接続されている。
図12に示すように、試験片となる各チップ23A〜23Cについて、ソーマーク31の伸びる方向31dについて、第一方向(例えば、Y軸)に対するズレの角度θを検出するステップである。
図13に示すように、チップ23Aを試験装置202(図8)の支持ユニット206(図9)に載置して一対の支持台208により支持するステップであり、チップ23が角度θ回転された上で載置される。これにより、ソーマークが伸びる方向(ソーマークの向き)と、圧子の奥行方向(図10のY軸方向(第一方向))に対して所定の角度で載置され、例えば、ソーマークが伸びる方向(ソーマークの向き)と、圧子の奥行方向(図10のY軸方向(第一方向))を一致させる。
図14(A)乃至図14(C)に示すように、移動手段240(図10)によって押圧ユニット226(図10)を下降させる、圧子238を段階的に下降させることで、チップ23Aを破壊するステップである。
以下の式により、強度σ(曲げ応力値)を算出するステップである。この強度σの算出は制御部200により行うことができる。
σ=3LW/2bh2 (式1)
L:支点間距離(mm)
W:圧子荷重値(N)
b:圧子と試験片の接触距離(mm)
h:試験片厚み(mm)
即ち、図12及び図13に示すように、
裏面にソーマーク31を有したチップ23の強度測定方法であって、
互いに間隔を有して配設されるとともにそれぞれ第一方向(Y軸方向)に伸長し、チップ23の下面を支持する第一支持部208bと第二支持部208bとを有した支持ユニット208と、
支持ユニット208より上方且つ第一支持部208bと第二支持部208bの間に配置され、第一方向(Y軸方向)に伸長した圧子238と、
支持ユニット208で支持されたチップ23に対して圧子238を相対的に近接移動させる移動ユニット228と、
圧子238が支持ユニット208で支持されたチップ23を押圧する荷重を計測する荷重計測ユニット232と、を備えた試験装置202を準備する準備ステップと、
チップ23の裏面に形成されたソーマーク31の向きを確認するソーマーク確認ステップと、
準備ステップとソーマーク確認ステップとを実施した後、チップ23のソーマーク31の向きが第一方向(Y軸方向)に対して所定の角度となるように支持ユニット208でチップ23を支持する支持ステップと、
支持ステップを実施した後、圧子238をチップ23に向かって移動させ圧子238でチップ23を押圧して破壊し、チップ23が破壊した時の荷重計測ユニット232の計測値を入手するチップ破壊ステップと、を備えたチップ23の強度測定方法とするものである。
ソーマーク確認ステップと、支持ステップと、チップ破壊ステップと、を複数のチップ23A〜23Cに対してそれぞれ実施し、
支持ステップにおいて複数のチップ23A〜23Cはそれぞれ同一の所定の角度となるように支持ユニット208で支持される、こととする。
裏面にソーマーク31を有したチップ23の強度を測定する試験装置であって、
互いに間隔を有して配設されるとともにそれぞれ第一方向に伸長し、チップ23の下面を支持する第一支持部208bと第二支持部208bとを有した支持手段(支持ユニット208)と、
支持手段(支持ユニット208)より上方且つ第一支持部208bと第二支持部208bの間に配置され、第一方向(Y軸方向)に伸長した圧子238と、
支持手段(支持ユニット208)で支持されたチップ23に対して圧子238を相対的に近接移動させる移動手段(移動ユニット228)と、
圧子238が支持手段(支持ユニット208)で支持されたチップ23を押圧する荷重を計測する荷重計測手段(荷重計測ユニット232)と、
チップ23の裏面に形成されたソーマークの向きを検出するソーマーク検出手段(ウェーハ撮像カメラ60(図4))と、
ソーマーク検出手段で検出されたソーマークの向きが第一方向に対して所定の角度となるように支持手段上にチップ23を載置するチップ載置手段(コレット76(図6))と、を備えた試験装置202とする。
以下の式により、強度σ(曲げ応力値)を算出することとする。
σ=3LW/2bh2 (式1)
L:支点間距離(mm)
W:圧子荷重値(N)
b:圧子と試験片の接触距離(mm)
h:試験片厚み(mm)
10 機構
11 ウェーハユニット
13 ウェーハ
13a 表面
13b 裏面
13n ノッチ
14 フレーム保持機構
15 デバイス
17 分割予定ライン
21 環状フレーム
23 チップ
31 ソーマーク
31d ソーマークが伸びる方向
50 突き上げ機構機構
60 ウェーハ撮像カメラ
70 ピックアップ機構
76 コレット
80 コレット移動機構
102 裏面観察用カメラ
112 チップ反転機構
202 試験装置
204 下部容器
206 支持ユニット
208 支持台
208b 支持部
238 圧子
b 接触距離
L 支点間距離
W 圧子荷重値
θ 角度
σ 強度(曲げ応力値)
Claims (4)
- 裏面にソーマークを有したチップの強度測定方法であって、
互いに間隔を有して配設されるとともにそれぞれ第一方向に伸長し、チップの下面を支持する第一支持部と第二支持部とを有した支持ユニットと、
該支持ユニットより上方且つ該第一支持部と該第二支持部の間に配置され、該第一方向に伸長した圧子と、
該支持ユニットで支持されたチップに対して該圧子を相対的に近接移動させる移動ユニットと、
該圧子が該支持ユニットで支持されたチップを押圧する荷重を計測する荷重計測ユニットと、を備えた試験装置を準備する準備ステップと、
該チップの裏面に形成されたソーマークの向きを確認するソーマーク確認ステップと、
該準備ステップと該ソーマーク確認ステップとを実施した後、該チップの該ソーマークの向きが該第一方向に対して所定の角度となるように該支持ユニットでチップを支持する支持ステップと、
該支持ステップを実施した後、該圧子をチップに向かって移動させ該圧子で該チップを押圧して破壊し、該チップが破壊した時の該荷重計測ユニットの計測値を入手するチップ破壊ステップと、を備えたチップの強度測定方法。 - 該ソーマーク確認ステップと、該支持ステップと、該チップ破壊ステップと、を複数のチップに対してそれぞれ実施し、
該支持ステップにおいて複数のチップはそれぞれ同一の該所定の角度となるように該支持ユニットで支持される、ことを特徴とする請求項1に記載のチップの強度測定方法。 - 裏面にソーマークを有したチップの強度を測定する試験装置であって、
互いに間隔を有して配設されるとともにそれぞれ第一方向に伸長し、チップの下面を支持する第一支持部と第二支持部とを有した支持手段と、
該支持手段より上方且つ該第一支持部と該第二支持部の間に配置され、該第一方向に伸長した圧子と、
該支持手段で支持されたチップに対して該圧子を相対的に近接移動させる移動手段と、
該圧子が該支持手段で支持されたチップを押圧する荷重を計測する荷重計測ユニットと、
チップの裏面に形成されたソーマークの向きを検出するソーマーク検出手段と、
該ソーマーク検出手段で検出されたソーマークの向きが該第一方向に対して所定の角度となるように該支持手段上にチップを載置するチップ載置手段と、
を備えた試験装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の測定方法、及び、請求項3に記載の試験装置において、
以下の式により、強度σ(曲げ応力値)を算出することとする、チップの強度計算方法。
σ=3LW/2bh2 (式1)
L:支点間距離(mm)
W:圧子荷重値(N)
b:圧子と試験片の接触距離(mm)
h:試験片厚み(mm)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020012933A JP7390200B2 (ja) | 2020-01-29 | 2020-01-29 | チップの強度測定方法、試験装置、及び、チップの強度計算方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020012933A JP7390200B2 (ja) | 2020-01-29 | 2020-01-29 | チップの強度測定方法、試験装置、及び、チップの強度計算方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021117206A true JP2021117206A (ja) | 2021-08-10 |
JP7390200B2 JP7390200B2 (ja) | 2023-12-01 |
Family
ID=77174676
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020012933A Active JP7390200B2 (ja) | 2020-01-29 | 2020-01-29 | チップの強度測定方法、試験装置、及び、チップの強度計算方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7390200B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5287571B2 (ja) | 2009-07-21 | 2013-09-11 | 株式会社Sumco | シリコンウェーハの機械的強度測定装置および測定方法 |
JP2015114114A (ja) | 2013-12-09 | 2015-06-22 | 日立化成株式会社 | 薄板状材料の機械特性評価方法及びこれによる薄板状材料の選別方法、選別された薄板状材料 |
JP7271063B2 (ja) | 2019-05-21 | 2023-05-11 | 株式会社ディスコ | 測定装置 |
-
2020
- 2020-01-29 JP JP2020012933A patent/JP7390200B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP7390200B2 (ja) | 2023-12-01 |
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