JP2021116466A - 耐熱性部材およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
しかし、上記手法で作製された膜は微細な細孔を有しており、表面の酸化を抑制する効果が十分でない場合が有る。また、アルミナやシリカもしくはアルミナ―シリカ複合膜は、800℃程度までは、比較的部材表面の酸化を抑制することができるが、それ以上の高温では、基板中に存在しているクロム、鉄などの金属イオンが合金中から酸化物膜中に拡散し、さらには、表面に到達して酸化物となり析出することを十分抑制するには難が有る。そのため、機械的強度および導電性が低下する問題があった。(非特許文献1)
(a)アルミニウム、ジルコニウム、セリウム、ケイ素の酸化物からなり
(b)アルミニウムに対するジルコニウム、セリウム、ケイ素の各原子比率が次の(ア)〜(エ)すべてを満たし
(原子比率)
Zr/Al=0.001以上 −(ア)
Ce/Al=0.001以上 −(イ)
Si/Al=0.001以上 −(ウ)
であり 且つ
(Si+Ce+Zr)/Al=0.01〜0.5 −(エ)
(c)被膜の平均膜厚が0.01〜30.0μm
本発明を構成する酸化物被膜は、次の(a)〜(b)すべてを満たす。
(a)アルミニウム、ジルコニウム、セリウム、ケイ素の酸化物からなり
(b)アルミニウムに対するジルコニウム、セリウム、ケイ素の各原子比率が次の(ア)〜(エ)すべてを満たし
(原子比率)
Zr/Al=0.001以上 −(ア)
Ce/Al=0.001以上 −(イ)
Si/Al=0.001以上 −(ウ)
であり 且つ
(Si+Ce+Zr)/Al=0.01〜0.5 −(エ)
本発明の酸化物被膜の膜の厚さは、分散媒中アルミナの濃度により容易に調節が可能である。アルミナの濃度が低い場合には、薄膜が形成され、高い場合には厚膜が形成され、濃度を調整することで所望の膜厚とすることができる。また、必要に応じて被覆操作を繰り返し所望の厚さの被膜とすることもできる。
本発明の耐熱導電部材を構成する酸化物被膜中のアルミニウム酸化物の結晶構造は、適宜選択することにより、ベーマイト、γ‐アルミナ、θ‐アルミナ、δ‐アルミナ、α‐アルミナから選ばれる少なくとも一種であり、好ましくはベーマイト、γ‐アルミナ、θ‐アルミナ、δ‐アルミナであって、加熱処理することにより、最終的に結晶系がα−アルミナに遷移するものである。結晶構造は、例えばX線回折装置(Rigaku製 SmartLab)にて測定することで確認することができる。
塗布液中におけるアルミナの粒子形状およびサイズは特に問わないが、板状、柱状、繊維状、球状など使用することができ、サイズについては、1次結晶粒子の最短径が500nmを超えると基板との密着性が低下し、さらには微細な細孔、形状への塗布が困難になる場合がある。粒子が上記形状と大きさを持つことは、例えば走査型電子顕微鏡(FE−SEM: 日立ハイテクノロジーズ製 S−4800)を用いて30,000倍程度に拡大して観察することで確認することができる。
アルミニウム源としては加水分解性の無機、有機アルミニウムがあり、無機アルミニウムとして塩化アルミニウム、硝酸アルミニウム、硫酸アルミニウムなどが挙げられる。アルミニウムエトキシド、アルミニウムイソプロポキシド、アルミニウムn−ブトキシド、アルミニウムsec−ブトキシドなどのアルミニウムアルコキシド、環状アルミニウムオリゴマー、ジイソプロポキシ(エチルアセトアセタト)アルミニウム、トリス(エチルアセトアセタト)アルミニウムなどのアルミニウムキレート、アルキルアルミニウム、炭酸アルミニウムアンモニウム塩、酢酸アルミニウムなどのカルボン酸塩などの有機アルミニウム化合物などが例示される。
また、無機または、有機アルミニウムの加水分解物および酸化物を使用してもよい。具体的には水酸化アルミニウム、バイヤライト、ギブサイト、擬ベーマイト、ベーマイト、γ‐アルミナ、θ‐アルミナ、δ‐アルミナ、α‐アルミナなど例示することができる。好ましくは、部材との密着性から水酸化アルミニウム、ギブサイト、擬ベーマイト、ベーマイトが好ましい。
ジルコニア化合物としては塩化ジルコニウム(III)、塩化ジルコニウム(IV)、硝酸ジルコニウム、酢酸ジルコニウム、炭酸ジルコニウムアンモニウムなどの塩の他、ジルコニウムイソプロポキシド、ジルコニウムブトキサイド、ジルコニウムテトラ(アセチルアセトネート)などが例示できる。
セリウム化合物としては硝酸セリウム、炭酸セリウム、塩化セイルム、水酸化セリウムなどが例示される。
ケイ素化合物としてはテトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン等などが例示される。
本発明を構成する耐熱性部材の基材としては、炭素繊維および/または、その焼結体、グラファイト、グラフェン、カーボンナノチューブなどからなるカーボン部材や、マルテンサイト系ステンレス鋼、フェライト系ステンレス鋼、オーステナイト系ステンレス鋼、オーステナイト・フェライト系ステンレス鋼などに代表されるステンレス鋼などが挙げられる。
800℃以下でも十分な効果を発現するが、酸化物被膜中の金属イオン拡散速度が高くないために、本発明部材の優位性は低い。また1,500℃以上では、部材よっては被膜の剥離が発生し十分な耐熱性を保持することが難しい場合がある。基材をステンレス鋼とした場合の耐熱性については、酸化被膜の密着性及びCr2O3由来の結晶の有無で判断した。室温から1,000℃または1,500℃まで10℃/minで昇温し、1,000℃または1,500℃で24時間保持後、自然放冷した後に、目視観察にて酸化被膜に剥離がない被覆物であり、かつ走査型電子顕微鏡(FE−SEM: 日立ハイテクノロジーズ製 S−4800)によって30,000倍に拡大して、Crイオンの外部拡散した際に観察されるCr2O3由来の結晶が観察されない被覆物を耐熱性があると判断した。
基材をカーボン部材とした場合の耐熱性については、重量減少率により判断した。TG‐DTA(2000SA ブルカーエイエックス社製)を用いて、室温から800℃まで10℃/分で昇温した。この時の重量減少率を測定し、重量減少率が30%以下の場合、耐熱性があると判断した。
本発明を構成する耐熱性部材はアルミニウム化合物、ジルコニア化合物、セリウム化合物、ケイ素化合物からなる塗布液を部材表面に塗布し、乾燥後、100〜1,500℃の熱処理することにより製造することができる。
塗布液は、組成の制御が分子レベルでできるため、ゾルゲル法により作製した塗布液を好適に用いることが出来る。PVD、CVDや溶射法などと比べると、大面積で複雑形状の基板に均一に塗布できることや、組成の製御が分子レベルでできることの他、初期に投資する設備投資が低く安価で製膜することができるなどの利点がある。
塗布方法としては、所望する膜の形状、膜厚により各種一般的な部材への塗布方法を採用することができる。例えば、塗布液をスプレーで部材に均一に塗布させる方法、ロールコート等で表面に塗布する方法、部材を塗布液中に一定時間浸漬後、一定速度で引き揚げ、余分な液を除去し乾燥させるディップ法が例示できる。
500mlの四つ口フラスコに、イオン交換水300g、62%硝酸水溶液0.86g、アルミニウムイソポロポキシド34g(0.17mol)を仕込み、撹拌しながら上昇し、発生するイソプロピルアルコールを留出させながら、液温を、95℃まで上昇させた。さらに反応液を攪拌式オートクレーブに移し、150℃で1時間反応を行った。反応液を40℃以下に冷却しアルミナゾルを合成した。このアルミナゾルにオキシ硝酸ジルコニウム二水和物0.53g(0.002mol)、硝酸セリウム六水和物酢酸1.1g(0.0025mol)、テトラエトキシシラン 0.8g(0.002mol)を添加して30分撹拌し塗布液を得た。反応液中の固形分濃度は、3.0質量%であった。
次に、アセトンで脱脂処理したステンレス鋼(SUS304)基板50mm×50mmを塗布液に5分間浸漬した。その後、基板をゆっくり引き上げ30℃で2時間乾燥後、さらに120℃で2時間焼結処理し、厚さ0.8μmの無色透明な被膜をステンレス鋼に被覆した耐熱性部材を作製した。
なお、膜厚については、SUS基板の中央付近に厚さ50μmマスキングテープを貼付け、塗布液をコート後、乾燥、150℃熱処理後マスキングテープを剥がし、断面を走査型電子顕微鏡(FE−SEM: 日立ハイテクノロジーズ製 S−4800)で観察し膜厚とした。同条件にて3サンプル作製し、同条件にて断面測定し、平均値を膜厚とした。膜厚測定については、以下同様の操作を行った。
耐熱性部材をX線回折装置(Rigaku製 SmartLab)にて測定した結果、ベーマイト構造を有していた。この耐熱性部材を、室温から1,000℃まで10℃/minで昇温し、1,000℃で24時間保持後、自然放冷した後に、目視にて観察したところ、酸化被膜の剥離はなくステンレス鋼に密着していた。また、前述1,000℃処理後の部材表面を走査型電子顕微鏡(FE−SEM: 日立ハイテクノロジーズ製 S−4800)によって30,000倍に拡大して、Crイオンの外部拡散した際に観察されるCr2O3由来の結晶に注目し観察した結果(図1)、Cr2O3由来の結晶は確認できなかった。
これより、耐熱性ありと評価した。
500mlの四つ口フラスコに、イオン交換水300g、62%硝酸水溶液0.86gアルミニウムイソポロポキシド34g(0.17mol)、オキシ硝酸ジルコニウム二水和物0.53g(0.002mol)、硝酸セリウム六水和物酢酸1.1g(0.0025mol)、テトラエトキシシラン 0.8g(0.002mol)を仕込み、撹拌しながら上昇し、発生するイソプロピルアルコールを留出させながら、液温を、95℃まで上昇させた。反応液を、40℃以下に冷却し、反応を終了し塗布液を得た。反応液中の固形分濃度は、3.0質量%であった。
次に、アセトンで脱脂処理したステンレス鋼(SUS304)基板50mm×50mmを塗布液に5分間浸漬した。その後、基板をゆっくり引き上げ30℃で2時間乾燥後、さらに150℃で2時間焼結処理し、厚さ0.8μmの無色透明な被膜をステンレス鋼に被覆した耐熱性部材を作製した。
酸化被膜をX線回折装置にて測定した結果、ベーマイト構造を有していた。この耐熱性部材を、実施例1と同様1,000℃処理後に、目視にて観察したところ、酸化被膜の剥離はなくステンレス鋼に密着していた。また、前述1,000℃処理後の部材表面をSEM観察した結果、Cr2O3由来の結晶は確認できなかった。
これより、耐熱性ありと評価した。
オキシ硝酸ジルコニウム二水和物2.7g(0.01mol)、硝酸セリウム六水和物4.3g(0.01mol)、テトラエトキシシラン 6.5g(0.03mol)に変更した以外は実施例1と同様に操作した。
酸化被膜をX線回折装置にて測定した結果、ベーマイト構造を有していた。この耐熱性部材を、実施例1と同様1,000℃処理後に、目視にて観察したところ、酸化被膜の剥離はなくステンレス鋼に密着していた。また、前述1,000℃処理後の部材表面をSEM観察した結果、Cr2O3由来の結晶は確認できなかった。
これより、耐熱性ありと評価した。
オキシ硝酸ジルコニウム二水和物6.6g(0.025mol)、硝酸セリウム六水和物6.4g(0.015mol)、テトラエトキシシラン 7.7g(0.037mol)に変更した以外は実施例1と同様に操作した。
酸化被膜をX線回折装置にて測定した結果、ベーマイト構造を有していた。この耐熱性部材を、実施例1と同様1,000℃処理後に、目視にて観察したところ、酸化被膜の剥離はなくステンレス鋼に密着していた。また、前述1,000℃処理後の部材表面をSEM観察した結果、Cr2O3由来の結晶は確認できなかった。
これより、耐熱性ありと評価した。
オキシ硝酸ジルコニウム二水和物0.32g(0.001mol)、硝酸セリウム六水和物7.3g(0.017mol)、テトラエトキシシラン 7.0g(0.034mol)に変更した以外は実施例1と同様に操作した。
酸化被膜をX線回折装置にて測定した結果、ベーマイト構造を有していた。この耐熱性部材を、実施例1と同様1,000℃処理後に、目視にて観察したところ、酸化被膜の剥離はなくステンレス鋼に密着していた。また、前述1,000℃処理後の部材表面をSEM観察した結果、Cr2O3由来の結晶は確認できなかった。
これより、耐熱性ありと評価した。
オキシ硝酸ジルコニウム二水和物5.3g(0.02mol)、硝酸セリウム六水和物0.37g(0.00085mol)、テトラエトキシシラン 1.2g(0.0058mol)に変更した以外は実施例1と同様に操作した。
酸化被膜をX線回折装置にて測定した結果、ベーマイト構造を有していた。この耐熱性部材を、実施例1と同様1,000℃処理後に、目視にて観察したところ、酸化被膜の剥離はなくステンレス鋼に密着していた。また、前述1,000℃処理後の部材表面をSEM観察した結果、Cr2O3由来の結晶は確認できなかった。
これより、耐熱性ありと評価した。
オキシ硝酸ジルコニウム二水和物5.5g(0.02mol)、硝酸セリウム六水和物13.0g(0.03mol)、テトラエトキシシラン 0.18g(0.00086mol)に変更した以外は実施例1と同様に操作した。
酸化被膜をX線回折装置にて測定した結果、ベーマイト構造を有していた。この耐熱性部材を、実施例1と同様1,000℃処理後に、目視にて観察したところ、酸化被膜の剥離はなくステンレス鋼に密着していた。また、前述1,000℃処理後の部材表面をSEM観察した結果、Cr2O3由来の結晶は確認できなかった。
これより、耐熱性ありと評価した。
実施例1で作製した塗布液を実施例1と同様な操作で、アセトンにより脱脂処理したグラファイト基板100mm×50mmに塗布し、150℃で2時間焼結させ、厚さ0.8μmの無色透明な被膜をグラファイトに被覆した耐熱性部材を作製した。
この耐熱性部材を室温から800℃まで10℃/分で昇温したときの重量減少を測定した結果、加熱前に比べて重量が20%減少していた。
これより、耐熱性ありと評価した。
実施例1で作製した塗布液を実施例1と同様な操作で、アセトンで脱脂処理したステンレス鋼(SUS304)基板50mm×50mmを塗布液に5分間浸漬した。その後、基板をゆっくり引き上げ30℃で2時間乾燥後、さらに150℃で2時間焼結処理した。この操作を5回繰り返し行い、厚さ4.5μmの無色透明な被膜をステンレス鋼に被覆した耐熱性部材を作製した。
酸化被膜をX線回折装置にて測定した結果、ベーマイト構造を有していた。この耐熱性部材を、実施例1と同様1,000℃処理後に、目視にて観察したところ、酸化被膜の剥離はなくステンレス鋼に密着していた。また、前述1,000℃処理後の部材表面をSEM観察した結果、Cr2O3由来の結晶は確認できなかった。
これより、耐熱性ありと評価した。
実施例1で作製した塗布液を減圧にて5倍に濃縮し、実施例1と同様な操作で、アセトンで脱脂処理したステンレス鋼(SUS304)基板50mm×50mmを塗布液に5分間浸漬した。その後、基板をゆっくり引き上げ30℃で2時間乾燥後、さらに150℃で2時間焼結処理した。この操作を5回繰り返し行い、厚さ25μmの無色透明な被膜をステンレス鋼に被覆した耐熱性部材を作製した。
酸化被膜をX線回折装置にて測定した結果、ベーマイト構造を有していた。この耐熱性部材を、実施例1と同様1,000℃処理後に、目視にて観察したところ、酸化被膜の剥離はなくステンレス鋼に密着していた。また、前述1,000℃処理後の部材表面をSEM観察した結果、Cr2O3由来の結晶は確認できなかった。
これより、耐熱性ありと評価した。
実施例1で作製した塗布液を2倍に希釈し、実施例1と同様な操作で、アセトンで脱脂処理したステンレス鋼(SUS304)基板50mm×50mmを塗布液に5分間浸漬した。その後、基板をゆっくり引き上げ30℃で2時間乾燥後、さらに150℃で2時間焼結処理した。この操作を回繰り返し行い、厚さ1.2μmの無色透明な被膜をステンレス鋼に被覆した耐熱性部材を作製した。
酸化被膜をX線回折装置にて測定した結果、ベーマイト構造を有していた。この耐熱性部材を、室温から1,500℃まで10℃/minで昇温し、1,500℃で24時間保持後、自然放冷した後に、目視にて観察したところ、酸化被膜の剥離はなくステンレス鋼に密着していた。また、前述1,500℃処理後の部材表面を走査型電子顕微鏡(FE−SEM: 日立ハイテクノロジーズ製 S−4800)によって30,000倍に拡大して、Crイオンの外部拡散した際に観察されるCr2O3由来の結晶に注目し観察した結果、Cr2O3由来の結晶は確認できなかった。
これより、耐熱性ありと評価した。
オキシ硝酸ジルコニウム二水和物0.081g(0.0003mol)、硝酸セリウム六水和物0.16g(0.0004mol)、テトラエトキシシラン 0.13g(0.0006mol)に変更した以外は実施例1と同様に操作した。
酸化被膜をX線回折装置にて測定した結果、ベーマイト構造を有していた。この耐熱性部材を、実施例1と同様1,000℃処理後に、目視にて観察したところ、酸化被膜の一部の酸化被膜に剥離が確認された。また、前述1,000℃処理後の部材表面をSEM観察した結果(図2)、Cr2O3由来の結晶が確認された。
これより、耐熱性なしと評価した。
オキシ硝酸ジルコニウム二水和物6.4g(0.024mol)、硝酸セリウム六水和物13.0g(0.03mol)、テトラエトキシシラン 10.0g(0.05mol)に変更した以外は実施例1と同様に操作した。
酸化被膜をX線回折装置にて測定した結果、ベーマイト構造を有していた。この耐熱性部材を、実施例1と同様1,000℃処理後に、目視にて観察したところ、酸化被膜の一部の酸化被膜に剥離が確認された。また、前述1,000℃処理後の部材表面をSEM観察した結果、Cr2O3由来の結晶が確認された。
これより、耐熱性なしと評価した。
オキシ硝酸ジルコニウム二水和物5.6g(0.02mol)、硝酸セリウム六水和物0.37g(0.00085mol)、テトラエトキシシラン 6.2g(0.03mol)に変更した以外は実施例1と同様に操作した。
酸化被膜をX線回折装置にて測定した結果、ベーマイト構造を有していた。この耐熱性部材を、実施例1と同様1,000℃処理後に、目視にて観察したところ、酸化被膜の一部の酸化被膜に剥離が確認された。また、前述1,000℃処理後の部材表面をSEM観察した結果、Cr2O3由来の結晶が確認された。
これより、耐熱性なしと評価した。
オキシ硝酸ジルコニウム二水和物5.6g(0.02mol)、硝酸セリウム六水和物13.2g(0.03mol)、テトラエトキシシラン 0.018g(0.00085mol)に変更した以外は実施例1と同様に操作した。
酸化被膜をX線回折装置にて測定した結果、ベーマイト構造を有していた。この耐熱性部材を、実施例1と同様1,000℃処理後に、目視にて観察したところ、酸化被膜の一部の酸化被膜に剥離が確認された。また、前述1,000℃処理後の部材表面をSEM観察した結果、Cr2O3由来の結晶が確認された。
これより、耐熱性なしと評価した。
オキシ硝酸ジルコニウム二水和物0.23g(0.00085mol)、硝酸セリウム六水和物9.1g(0.02mol)、テトラエトキシシラン 6.2g(0.03mol)に変更した以外は実施例1と同様に操作した。
酸化被膜をX線回折装置にて測定した結果、ベーマイト構造を有していた。この耐熱性部材を、実施例1と同様1,000℃処理後に、目視にて観察したところ、酸化被膜の一部の酸化被膜に剥離が確認された。また、前述1,000℃処理後の部材表面をSEM観察した結果、Cr2O3由来の結晶が確認された。
これより、耐熱性なしと評価した。
実施例1で作製した塗布液を減圧にて5倍に濃縮し、実施例1と同様な操作で、アセトンで脱脂処理したステンレス鋼(SUS304)基板50mm×50mmを塗布液に5分間浸漬した。その後、基板をゆっくり引き上げ30℃で2時間乾燥後、さらに150℃で2時間焼結処理した。この操作を10回繰り返し行い、厚さ50μmの無色透明な被膜をステンレス鋼に被覆した耐熱性部材を作製した。
酸化被膜をX線回折装置にて測定した結果、ベーマイト構造を有していた。この耐熱性部材を、実施例1と同様1,000℃処理後に、目視にて観察したところ、酸化被膜の一部の酸化被膜に剥離が確認された。また、前述1,000℃処理後の部材表面をSEM観察した結果、Cr2O3由来の結晶が確認された。
これより、耐熱性なしと評価した。
オキシ硝酸ジルコニウム二水和物0.23g(0.00085mol)、硝酸セリウム六水和物9.1g(0.02mol)、テトラエトキシシラン 6.2g(0.03mol)に変更した以外は実施例8と同様に操作した。
この部材を室温から800℃まで10℃/分で昇温したときの重量減少を測定した結果、加熱前に比べて重量が60%減少していた。
これより、耐熱性なしと評価した。
また、酸化物被膜により導電性は失われることはないので電極部材等にも使用できる。そのため導電性部材としても、高い耐熱性および耐久性を付与できる。
Claims (4)
- 表面に、次の(a)〜(c)すべてを満たす被膜を有する耐熱性部材
(a)アルミニウム、ジルコニウム、セリウム、ケイ素の酸化物からなり
(b)アルミニウムに対するジルコニウム、セリウム、ケイ素の各原子比率が次の(ア)〜(エ)すべてを満たし
(原子比率)
Zr/Al=0.001以上 −(ア)
Ce/Al=0.001以上 −(イ)
Si/Al=0.001以上 −(ウ)
であり 且つ
(Si+Ce+Zr)/Al=0.01〜0.5 −(エ)
(c)被膜の平均膜厚が0.01〜30.0μm - 前記被膜が、カーボンまたは融点が1,500℃以上のステンレス鋼のいずれか一つ以上の表面を、被覆したものであることを特徴とする請求項1記載の耐熱性部材
- 前記被膜のアルミニウム酸化物がアモルファス、擬ベーマイト、ベーマイト、γ‐アルミナ、θ‐アルミナ、δ‐アルミナおよびα‐アルミナの内少なくとも一種以上の結晶形を有することを特徴とする請求項1記載の耐熱性部材
- 請求項1および請求項3記載のアルミニウム化合物とジルコニア化合物、セリウム化合物、ケイ素化合物からなる混合液を、請求項2記載の部材表面に塗布し、乾燥後、100〜1,500℃の熱処理工程からなる請求項1〜3記載の耐熱性部材の製造方法
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Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60243259A (ja) * | 1984-05-16 | 1985-12-03 | Toshiba Corp | 耐熱構造体 |
JPS61117260A (ja) * | 1984-11-13 | 1986-06-04 | Nippon Steel Corp | 溶融金属メツキ浴用浸漬部材 |
US5336560A (en) * | 1991-12-20 | 1994-08-09 | United Technologies Corporation | Gas turbine elements bearing alumina-silica coating to inhibit coking |
JPH07144971A (ja) * | 1993-11-18 | 1995-06-06 | Chichibu Onoda Cement Corp | 溶射材料 |
JPH07145470A (ja) * | 1993-11-22 | 1995-06-06 | Nippon Steel Corp | 高熱膨張率硬質酸化物系溶射材料および溶射皮膜をもつハースロール |
JPH1080753A (ja) * | 1996-07-17 | 1998-03-31 | Kobe Steel Ltd | 耐久性に優れた連続鋳造用鋳型及びその製造方法 |
JP2006281636A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Dainippon Printing Co Ltd | 積層体 |
JP2007046496A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Isuzu Motors Ltd | 内燃機関の燃焼室用摺動部材及びその製造方法 |
US20100015429A1 (en) * | 2008-07-16 | 2010-01-21 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Metal substrates including metal oxide nanoporous thin films and methods of making the same |
JP2010105846A (ja) * | 2008-10-29 | 2010-05-13 | Kawaken Fine Chem Co Ltd | アルミナ多孔質自立膜及びその製造方法 |
US20110206919A1 (en) * | 2008-10-29 | 2011-08-25 | Kawaken Fine Chemicals Co., Ltd. | Porous alumina free-standing film, alumina sol and methods for producing same |
JP2013063644A (ja) * | 2011-08-26 | 2013-04-11 | Toyobo Co Ltd | ガスバリア性フィルム |
JP2015110313A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-06-18 | セントラル硝子株式会社 | 親水性被膜形成物品、親水性被膜形成用塗布液及び親水性被膜形成物品の製造方法 |
JP2017185633A (ja) * | 2016-04-01 | 2017-10-12 | 川研ファインケミカル株式会社 | 耐熱ガスバリア性被覆物 |
JP2019527175A (ja) * | 2016-06-15 | 2019-09-26 | ブリスベン マテリアルズ テクノロジー プロプライエタリー リミテッドBrisbane Materials Technology Pty Ltd | 自己硬化性混合金属酸化物 |
JP2019199515A (ja) * | 2018-05-15 | 2019-11-21 | トヨタ自動車株式会社 | コート材 |
-
2020
- 2020-01-28 JP JP2020011752A patent/JP7393961B2/ja active Active
Patent Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60243259A (ja) * | 1984-05-16 | 1985-12-03 | Toshiba Corp | 耐熱構造体 |
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US5336560A (en) * | 1991-12-20 | 1994-08-09 | United Technologies Corporation | Gas turbine elements bearing alumina-silica coating to inhibit coking |
JPH07144971A (ja) * | 1993-11-18 | 1995-06-06 | Chichibu Onoda Cement Corp | 溶射材料 |
JPH07145470A (ja) * | 1993-11-22 | 1995-06-06 | Nippon Steel Corp | 高熱膨張率硬質酸化物系溶射材料および溶射皮膜をもつハースロール |
JPH1080753A (ja) * | 1996-07-17 | 1998-03-31 | Kobe Steel Ltd | 耐久性に優れた連続鋳造用鋳型及びその製造方法 |
JP2006281636A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Dainippon Printing Co Ltd | 積層体 |
JP2007046496A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Isuzu Motors Ltd | 内燃機関の燃焼室用摺動部材及びその製造方法 |
US20100015429A1 (en) * | 2008-07-16 | 2010-01-21 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Metal substrates including metal oxide nanoporous thin films and methods of making the same |
JP2010105846A (ja) * | 2008-10-29 | 2010-05-13 | Kawaken Fine Chem Co Ltd | アルミナ多孔質自立膜及びその製造方法 |
US20110206919A1 (en) * | 2008-10-29 | 2011-08-25 | Kawaken Fine Chemicals Co., Ltd. | Porous alumina free-standing film, alumina sol and methods for producing same |
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JP2015110313A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-06-18 | セントラル硝子株式会社 | 親水性被膜形成物品、親水性被膜形成用塗布液及び親水性被膜形成物品の製造方法 |
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