JP2021104826A - 送液システムおよび送液方法 - Google Patents

Abstract

【課題】立ち上がり部を備える送液システムにおいて、簡略な構成で立ち上がり部前後の全ての残液を排出可能とする。【解決手段】調製タンク１２の下端に接続され、側方に伸びる第１送液通路１４Ａ、これに接続され上方に伸びる第２送液通路１４Ｂ、第２送液通路１４Ｂに接続され、側方に伸びる第３送液通路１４Ｃ、第３送液通路１４Ｃに接続される小タンク１８、小タンク１８に接続される第４送液通路１４Ｄ、調製タンク１２、小タンク１８を加圧するエア圧縮装置２６、小タンク１８を減圧する第１エア抜き通路２４Ｃを設ける。小タンク１８を介して調製タンク１２から第４送液通路１４Ｄへ連続して送液する第１送液モード、小タンク１８内の液量が所定量以下になるまで第４送液通路１４Ｄへ小タンク１８内の薬液を送液する第２送液モード、第１〜第３送液通路１４Ａ〜１４Ｃに残留する薬液Ｌを小タンク１８へ送る第３送液モードの順で送液モードを切り替える。【選択図】図１

Description

本発明は、立ち上がり部を有する配管を通して送液を行う送液システムおよび送液方法に関する。

薬液の製造ラインでは、調製タンクで薬液の調製を行った後、配管およびろ過フィルタを通して充填装置に調製済みの薬液が供給される（特許文献１参照）。調製タンクと充填装置の充填タンクを同一レベルに配置する場合、調製タンクと充填タンクを連絡する配管には、ろ過フィルタの上流側に下方から上方へと薬液を流通する立ち上がり部が配置される。そのため、充填作業終了時には、立ち上がり部前後に薬液が残留する。薬液は一般に高額であるため、このような送液システムでは、充填作業を終了する際に、立ち上がり部前後に残留する薬液を充填タンクへと強制的に送液する構成を設けることが望ましい。

特許文献１では、立ち上がり部の直後に、残液を一時的に溜めておくストックタンクを備える残液送液装置を設け、充填作業中には、これを迂回するバイパス通路を通して薬液を送液するとともに、充填作業終了時には、送液経路をバイパス通路から残液送液装置へと切り替えることで、残液を充填タンクへと送液している。

特許第６２７９３５９号公報

しかし、特許文献１の構成では、バイパス通路と残液送液装置との間で送液を切り替えるための機構を設ける必要があるとともに、バイパス通路に薬液が残留する可能性がある。

本発明は、立ち上がり部を備える送液システムにおいて、簡略な構成で立ち上がり部前後の全ての残液を排出することを課題としている。

本発明の第１の発明である送液システムは、液体が貯留される第１タンクの下端に接続され、側方に伸びる第１送液通路と、前記第１送液通路に接続され、上方に伸びる第２送液通路と、前記第２送液通路に接続され、側方に伸びる第３送液通路と、前記第３送液通路の下流に接続される第２タンクと、前記第２タンクの下流に接続される第４送液通路と、前記第１および／または第２タンクを加圧するための加圧手段と、前記第２タンク内を減圧するための減圧手段と、前記加圧手段および前記減圧手段を制御する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記加圧手段により前記第１タンクを加圧することにより前記第１タンク内の液体を前記第２タンクを介して前記第４送液通路へ連続して送液を行う第１送液モードと、前記第１タンクから前記第２タンクへの送液を停止した状態で前記加圧手段により前記第２タンクを加圧することにより前記第２タンクが所定値以下になるまで前記第４送液通路へ前記第２タンク内の液体を送液する第２送液モードと、前記加圧手段により前記第１タンクが加圧されるとともに、前記減圧手段により前記第２タンクを減圧することにより前記第１送液通路から前記第３送液通路の間に残留する液体を前記第２タンクへと送液する第３送液モードとを順次切り替えることを特徴としている。

本発明の第２の発明である送液システムは、第１の発明において、前記送液システムが前記第１タンク内の液量を検出するための第１検出手段と、前記第２タンク内の液量を検出するための第２検出手段とを備え、前記第１送液モードでは、前記第１検出手段の出力に基づき前記第１タンクの液量が所定値以下になったと判定されると、前記第２送液モードに切り替えられ、前記第２送液モードでは、前記第２検出手段の出力に基づき前記第２タンクの液量が所定値以下になったと判定されると、前記第３送液モードに切り替えられることを特徴としている。

本発明の第３の発明である送液方法は、液体が貯留される第１タンクの下端に接続され、側方に伸びる第１送液通路と、前記第１送液通路に接続され、上方に伸びる第２送液通路と、前記第２送液通路に接続され、側方に伸びる第３送液通路と、前記第３送液通路の下流に接続される第２タンクと、前記第２タンクの下流に接続される第４送液通路と、前記第１および／または第２タンクを加圧するための加圧手段と、前記第２タンク内を減圧するための減圧手段とを備える送液システムにおける送液方法であって、前記加圧手段と前記減圧手段を制御して、前記第１タンクを加圧することにより前記第１タンク内の液体を前記第２タンクを介して前記第１タンクから前記第４送液通路へ連続して送液を行う第1送液モードの後、前記第１タンクから前記第２タンクへの送液を停止した状態で前記第２タンクを加圧することにより前記第２タンクが所定値以下になるまで前記第４送液通路へ前記第２タンク内の液体を送液する第２送液モードに切り替え、その後、前記第２タンクを減圧することにより前記第１送液通路から前記第３送液通路の間に残留する液体を前記第２タンクへと送液する第３送液モードに切り替えることを特徴としている。

本発明の第４の発明である送液方法は、第３の発明において、前記送液システムが、前記第１タンク内の液量を検出するための第１検出手段と、前記第２タンク内の液量を検出するための第２検出手段とを備え、前記第１送液モードでは、前記第１検出手段の出力に基づき前記第１タンクの液量が所定値以下になったと判定されると、前記第２送液モードに切り替えられ、前記第２送液モードでは、前記第２検出手段の出力に基づき前記第２タンクの液量が所定値以下になったと判定されると、前記第３送液モードに切り替えられることを特徴としている。

本発明によれば、立ち上がり部を備える送液システムにおいて、簡略な構成で立ち上がり部前後の全ての残液を排出することができる。

本発明の一実施形態の送液システムの第１送液モードにおける送液状態を示す配管図である。 送液システムの第１送液モード終了時における送液状態を示す配管図である。 送液システムの第２送液モード終了時における送液状態を示す配管図である。 送液システムの第３送液モード終了時における送液状態を示す配管図である。 送液システムの第４送液モード開始時における送液状態を示す配管図である。 送液システムの第４送液モード終了時における送液状態を示す配管図である。 送液システムの第５送液モード終了時における送液状態を示す配管図である。 送液システムの第６送液モード開始時における送液状態を示す配管図である。

以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。図１〜図８は、本発明の一実施形態である送液システムの構成を示すブロック図であり、各図には、送液作業の各ステップにおける液および加圧ガスの流通状態が示される。

本実施形態の送液システム１０は、例えば、薬液Ｌを製造し充填するラインの一部である。薬液Ｌは、調製タンク（第１タンク）１２内で調製され、送液配管１４を通して、調製タンク１２と同じフロア（同一レベルの平面）に設置される充填装置のクッションタンク（第３タンク）１６へと送られる。送液配管１４には、途中に小タンク（第２タンク）１８とフィルタ２０が、上流側からこの順で設けられ、調製タンク１２からの薬液Ｌは、小タンク１８とフィルタ２０を介してクッションタンク１６へ供給され、例えば図示しない充填ノズルを通して容器に充填される。

送液配管１４は、調製タンク１２の下端に接続されて側方に伸びる第１送液通路１４Ａと、第１送液通路に接続され上方に伸びる第２送液通路（立ち上がり部）１４Ｂと、第２送液通路に接続されて側方に伸びるとともに小タンク１８に接続される第３送液通路１４Ｃと、小タンク１８の下端に接続されるとともにフィルタ２０に接続される第４送液通路１４Ｄと、フィルタ２０からクッションタンク１６へと接続される第５送液通路１４Ｅとを備える。

調製タンク１２と第１送液通路１４Ａとの連結部には第１液バルブ２２Ａが設けられ、第３通路１４Ｃと小タンク１８との連結部には第２液バルブ２２Ｂが設けられる。第４送液通路１４Ｄとフィルタ２０の連結部には第３液バルブ２２Ｃが設けられ、第５送液通路１４Ｅとクッションタンク１６の連結部には第４液バルブ２２Ｄが設けられる。また、第１送液通路１４Ａには、第１レベルセンサ（第１検出手段）２３Ａが設けられ、第４送液通路１４Ｄには、第３液バルブ２２Ｃよりも小タンク１８側（上流側）に第２レベルセンサ２３Ｂが設けられる。なお、本実施形態では、第１送液通路１４Ａおよび第４送液通路１４Ｄは下流へ向かって徐々に傾斜して配置されている。

送液システム１０は更に、調製タンク１２および小タンク１８にエアなどのガスを加圧して供給するための第１送気配管２４を備える。第１送気配管２４の一端には、エアを加圧して供給するエア圧縮装置（加圧手段）２６が接続される。第１送気配管２４の他端側は、第１送気通路２４Ａと第２送気通路２４Ｂに分岐される。第１送気通路２４Ａは、調製タンク１２の上端に接続され、第２送気通路２４Ｂは小タンク１８の上端に接続される。また、第２送気通路２４Ｂには、小タンク１８からのエア（ガス）を大気に解放する際に用いられる第１エア抜き通路(減圧手段)２４Ｃが接続される。

第１送気通路２４Ａには、第１ガスバルブ２８Ａが設けられ、第２送気通路２４Ｂには、分岐側から第２、第３、第４ガスバルブ２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄが設けられる。第２ガスバルブ２８Ｂは、分岐部近くに配置され、第３、第４ガスバルブ２８Ｃ、２８Ｄは、小タンク１８近くに配置される。エア抜き通路２４Ｃは、第３ガスバルブ２８Ｃと第４ガスバルブ２８Ｄの間に接続され、エア抜き通路２４Ｃの連結部には第５ガスバルブ２８Ｅが設けられる。

また、クッションタンク１６の上端にはエア圧縮装置（加圧手段）３０で加圧されたエアなどのガスをクッションタンク１６に供給する第２送気配管３２が接続される。第２送気配管３２のクッションタンク１６との連結部近くには、クッションタンク１６側から第６、第７ガスバルブ３４Ａ、３４Ｂがこの順で設けられる。第１送気配管３２において、第６ガスバルブ３４Ａと第７ガスバルブ３４Ｂの間には、クッションタンク１６からのエア（ガス）を大気に解放する際に用いられる第２エア抜き通路３２Ａが接続され、その連結部には第８ガスバルブ３４Ｃが設けられる。

なお、第１、第２レベルセンサ２３Ａ、２３Ｂからの出力は、図示しない制御装置（制御手段）に入力され、制御装置は、第１、第２レベルセンサ２３Ａ、２３Ｂからの信号を含む入力に基づき、第１〜第４液バルブ２２Ａ〜２２Ｄ、第１〜第８ガスバルブ２８Ａ〜２８Ｅ、３４Ａ〜３４Ｃの開閉、およびエア圧縮装置２６、３０の駆動を制御する。

次に、図１〜図８を参照して、本実施形態の送液システム１０における送液方法について説明する。なお、図１〜図８の送液配管１４において、薬液Ｌが流通している部分は太い実線で示される。

図１には、薬液充填作業時における通常の送液状態、すなわち、送液システム１０が第１送液モードで運転されている状態が示される。第１送液モードでは、調製タンク１２に貯留された薬液Ｌが、送液配管１４および小タンク１８、フィルタ２０を通して充填装置のクッションタンク１６へと連続的に供給され、クッションタンク１６からは、各容器（不図示）へ薬液Ｌの充填が行われる。

第１送液モードにおいて、送液配管１４に設けられた液バルブ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄは全て開状態とされる。また、第１送気配管２４においては、第１送気通路２４Ａの第１ガスバルブ２８Ａは開状態とされ、第２送気通路２４Ｂに設けられた第２、第３、第４ガスバルブ２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄは、全て閉状態とされる。すなわち、エア圧縮装置２６からは調製タンク１２にのみ加圧エアが供給され、調製タンク１２内に貯留された薬液Ｌは、タンク内の圧力により、その下端部に接続された第１送液通路１４Ａへ圧送され、第２送液通路１４Ｂ、第３送液通路１４Ｃ、小タンク１８、第４送液通路１４Ｄ、フィルタ２０、第５送液通路１４Ｅを介してクッションタンク１６へと送液される。

また、充填装置では、第２送気配管３２に設けられた第６、第７ガスバルブ３４Ａ、３４Ｂは開状態とされ、第２エア抜き通路３２Ａに設けられた第８ガスバルブ３４Ｃは閉状態とされる。これにより、クッションタンク１６は、エア圧縮装置３０により加圧されクッションタンク１６内に貯留された薬液は、タンク内の圧力により図示しない充填機構へと圧送される。

図２には、第１送液モードの終了時の状態、すなわち、通常の送液状態において、調製タンク１２内の薬液Ｌが全て送液配管１４へと押し出された状態が示される。調製タンク１２内の薬液Ｌの量は、例えば第１送液通路１４Ａに設けられた第１レベルセンサ２３Ａの信号に基づき判定される。調製タンク１２内の薬液の量が所定値以下になったと判定されると（本実施形態では０以下になったとき）、制御装置は、送液システム１０を図３に示される第２送液モードに切り替える。なお、図２の状態では、第１送液通路１４Ａ、第２送液通路１４Ｂ、第３送液通路１４Ｃ、小タンク１８、第４送液通路１４Ｄ、フィルタ２０、第５送液通路１４Ｅ、クッションタンク１６内に薬液Ｌが残留している。

第２送液モードは、小タンク１８内の薬液Ｌを全て第４送液通路１４Ｄへと送り出す工程であり、図３には、小タンク１８が空になった第２送液モードの終了時の状態が示される。第１送液モードから第２送液モードへの切り替えでは、第２液バルブ２２Ｂが閉じられるとともに、第２ガスバルブ２８Ｂ、第３ガスバルブ２８Ｃ、第４ガスバルブ２８Ｄが開かれる。すなわち、エア圧縮装置２６からの加圧エアは、調製タンク１２および小タンク１８に供給され、第３送液通路１４Ｃからの送液が停止された状態で、小タンク１８内の薬液Ｌが全て第４送液通路１４Ｄへと圧送される。

小タンク１８内の薬液Ｌの量は、例えば第４送液通路１４Ｄに設けられた第２レベルセンサ２３Ｂの信号に基づき判定される。小タンク１８内の薬液の量が所定値以下になったと判定されると（本実施形態では０以下になったとき）、制御装置は、送液システム１０を図４に示される第３送液モードに切り替える。なお、図３の状態では、第１送液通路１４Ａ、第２送液通路１４Ｂ、第３送液通路１４Ｃ、第４送液通路１４Ｄ、フィルタ２０、第５送液通路１４Ｅ、クッションタンク１６内に薬液Ｌが残留している。また、第２送液モードにおいても、クッションタンク１６への加圧は継続され、クッションタンク１６内の薬液Ｌは、容器に充填されている。

第３送液モードは、第１送液通路１４Ａ、第２送液通路１４Ｂ、第３送液通路１４Ｃに残留する薬液Ｌを小タンク１８に全て送液する工程であり、図４には、第１送液通路１４Ａ、第２送液通路１４Ｂ、第３送液通路１４Ｃに残留する薬液Ｌが全て小タンク１８に送液された第３送液モード終了時の状態が示される。

第２送液モードから第３送液モードへの切り替えでは、第２液バルブ２２Ｂが開かれるとともに第３液バルブ２２Ｃ、第４液バルブ２２Ｄが閉じられ、これに並行して、第２ガスバルブ２８Ｂ、第３ガスバルブ２８Ｃが閉じられるとともに第５ガスバルブ２８Ｅが開かれる。すなわち、エア圧縮装置２６からの加圧エアは、調製タンク１２のみに供給され、小タンク１８は第１エア抜き通路２４Ｃを通して大気圧に解放される。これにより、第１送液通路１４Ａ、第２送液通路１４Ｂ、第３送液通路１４Ｃに残留していた薬液Ｌは、調製タンク１２からの加圧ガスにより全て小タンク１８に送液される。すなわち、第３送液モード終了時には、小タンク１８、第４送液通路１４Ｄ、フィルタ２０、第５送液通路１４Ｅ、クッションタンク１６内に薬液Ｌが残留している。

なお、第３送液モードにおいても、クッションタンク１６への加圧は継続され、クッションタンク１６内の薬液Ｌは、容器に充填されている。また、小タンク１８の容量は、第１送液通路１４Ａ、第２送液通路１４Ｂ、第３送液通路１４Ｃに残留する薬液Ｌを全て収容するのに十分な容積とされる。

例えば、第２レベルセンサ２３Ｂからの信号や小タンク１８に設けられたレベルセンサ（図示無し）に基づき、第１送液通路１４Ａ、第２送液通路１４Ｂ、第３送液通路１４Ｃに残留していた薬液Ｌが全て小タンク１８に送液されたと制御装置において判断されると、第３送液モードは、図５、図６に示される第４送液モードへと切り替えられる。

第４送液モードは、小タンク１８に排出した第１送液通路１４Ａ、第２送液通路１４Ｂ、第３送液通路１４Ｃの残留薬液Ｌを、フィルタ２０を通して第５送液通路１４Ｅにまで送液する工程である。第３送液モードから第４送液モードへの切り替えでは、第２液バルブ２２Ｂが閉じられるとともに、第３液バルブ２２Ｃ、第４液バルブ２２Ｄが開かれ、これに並行して、第２ガスバルブ２８Ｂ、第３ガスバルブ２８Ｃが開かれるとともに第１ガスバルブ２８Ａおよび第５ガスバルブ２８Ｅが閉じられる。すなわち、エア圧縮装置２６からの加圧エアは、小タンク１８のみに供給され、第２液バルブ２２Ｂ、第５ガスバルブ２８Ｅが閉じられていることから、小タンク１８内は加圧される。これにより、小タンク１８内の薬液Ｌは第４送液通路１４Ｄへと圧送される。

図５には、第４送液モード開始時の状態が示され、図６には、第４送液モード終了時の状態が示される。本実施形態において、フィルタ２０は、薬液Ｌのみを透過し、エアは透過しないフィルタであるため、第４送液モードでは、図６に示されるように、フィルタ２０までしか薬液Ｌを送液できない。したがって、第４送液モード終了時においても、フィルタ２０の下流側である第５送液通路１４Ｅには薬液Ｌが残留している。なお、第４送液モードにおいても、クッションタンク１６への加圧は継続され、クッションタンク１６内の薬液Ｌは、容器に充填されているため、この間にクッションタンク１６内の薬液Ｌは略ゼロとなり得る。

小タンク１８、第４送液通路１４Ｄの薬液Ｌが全てフィルタ２０よりも下流側に送液されると、制御装置を用いて、または、手動により第４送液モードから図７に示される第５送液モードへと切り替える。第４送液モードから第５送液モードへの切り替えでは、第２エアバルブ２８Ｂが閉じられ、エア圧縮装置２６からの小タンク１８への加圧エアの供給も停止される。また、これに並行して、第７ガスバルブ３４Ｂが閉じられるとともに第８ガスバルブ３４Ｃが開かれ、図示しないフィルタ２０のエア抜き通路が解放される。

これにより、エア圧縮装置３０からクッションタンク１６への加圧エアの供給は停止され、クッションタンク１６は、第２エア抜き通路３２Ａを通して大気圧に解放される。また、フィルタ２０は、クッションタンク１６よりも上方に配置されており、第５送液通路１４Ｅ内に残留する薬液Ｌは、図７に示されるように、自重により全てクッションタンク１６へと流出する。

第５送液モードにより、送液配管１４内の全ての残留液が、クッションタンク１６に排出されると、図８に示される最終工程である第６送液モードへと切り替えられる。第５送液モードから第６送液モードへの切り替えでは、制御装置を用いて、または、手動により、第４液バルブ２２Ｄが閉じられ、これに並行して、第７ガスバルブ３４Ｂが開かれるとともに第８ガスバルブ３４Ｃが閉じられる。これによりクッションタンク１６内がエア圧縮装置３０により加圧され、タンク内に残留する薬液Ｌが排出される。

なお、本実施形態では、第１レベルセンサ２３Ａと第２レベルセンサ２３Ｂをそれぞれ第１送液通路１４Ａと第４送液通路１４Ｄに設けていたが、第１レベルセンサ２３Ａを調製タンク１２に、第２レベルセンサ２３Ｂを小タンク１８に取り付けても良い。ただし、第２レベルセンサ２３Ｂを小タンク１８に取り付ける場合、第２レベルセンサ２３Ｂを取り付けた位置より上方にある小タンク１８の容量は、第１送液通路１４Ａ、第２送液通路１４Ｂ、第３送液通路１４Ｃに残留する薬液Ｌを全て収容するのに可能な容積とする必要がある。

以上のように、本実施形態によれば、簡略な構成で立ち上がり部前後の全ての残液を排出することができる。

１０ 送液システム
１２ 調製タンク（第１タンク）
１４ 送液配管
１４Ａ 第１送液通路
１４Ｂ 第２送液通路
１４Ｃ 第３送液通路
１４Ｄ 第４送液通路
１８ 小タンク（第２タンク）
２０ フィルタ
２２Ａ〜２２Ｄ 第１〜第４液バルブ
２３Ａ 第１レベルセンサ（第１検出手段）
２３Ｂ 第２レベルセンサ（第２検出手段）
２４Ｃ 第１エア抜き通路（減圧手段）
２６ エア圧縮装置（加圧手段）
２８Ａ〜２８Ｅ 第１〜第５ガスバルブ
３０ エア圧縮装置
３２Ａ 第２エア抜き通路
３４Ａ〜３４Ｃ 第６〜第８ガスバルブ
Ｌ 薬液

Claims (4)

1. 液体が貯留される第１タンクの下端に接続され、側方に伸びる第１送液通路と、
   前記第１送液通路に接続され、上方に伸びる第２送液通路と、
   前記第２送液通路に接続され、側方に伸びる第３送液通路と、
   前記第３送液通路の下流に接続される第２タンクと、
   前記第２タンクの下流に接続される第４送液通路と、
   前記第１および／または第２タンクを加圧するための加圧手段と、
   前記第２タンク内を減圧するための減圧手段と、
   前記加圧手段および前記減圧手段を制御する制御手段とを備え、
   前記制御手段は、前記加圧手段により前記第１タンクを加圧することにより前記第１タンク内の液体を前記第２タンクを介して前記第４送液通路へ連続して送液を行う第１送液モードと、前記第１タンクから前記第２タンクへの送液を停止した状態で前記加圧手段により前記第２タンクを加圧することにより前記第２タンクが所定値以下になるまで前記第４送液通路へ前記第２タンク内の液体を送液する第２送液モードと、前記加圧手段により前記第１タンクが加圧されるとともに、前記減圧手段により前記第２タンクを減圧することにより前記第１送液通路から前記第３送液通路の間に残留する液体を前記第２タンクへと送液する第３送液モードとを順次切り替える
   ことを特徴とする送液システム。
2. 前記送液システムが前記第１タンク内の液量を検出するための第１検出手段と、前記第２タンク内の液量を検出するための第２検出手段とを備え、
   前記第１送液モードでは、前記第１検出手段の出力に基づき前記第１タンクの液量が所定値以下になったと判定されると、前記第２送液モードに切り替えられ、
   前記第２送液モードでは、前記第２検出手段の出力に基づき前記第２タンクの液量が所定値以下になったと判定されると、前記第３送液モードに切り替えられる
   ことを特徴とする請求項１に記載の送液システム。
3. 液体が貯留される第１タンクの下端に接続され、側方に伸びる第１送液通路と、
   前記第１送液通路に接続され、上方に伸びる第２送液通路と、
   前記第２送液通路に接続され、側方に伸びる第３送液通路と、
   前記第３送液通路の下流に接続される第２タンクと、
   前記第２タンクの下流に接続される第４送液通路と、
   前記第１および／または第２タンクを加圧するための加圧手段と、
   前記第２タンク内を減圧するための減圧手段と
   を備える送液システムにおける送液方法であって、
   前記加圧手段と前記減圧手段を制御して、前記第１タンクを加圧することにより前記第１タンク内の液体を前記第２タンクを介して前記第１タンクから前記第４送液通路へ連続して送液を行う第１送液モードの後、前記第１タンクから前記第２タンクへの送液を停止した状態で前記第２タンクを加圧することにより前記第２タンクが所定値以下になるまで前記第４送液通路へ前記第２タンク内の液体を送液する第２送液モードに切り替え、その後、前記第２タンクを減圧することにより前記第１送液通路から前記第３送液通路の間に残留する液体を前記第２タンクへと送液する第３送液モードに切り替える
   ことを特徴とする送液方法。
4. 前記送液システムが、前記第１タンク内の液量を検出するための第１検出手段と、前記第２タンク内の液量を検出するための第２検出手段とを備え、
   前記第１送液モードでは、前記第１検出手段の出力に基づき前記第１タンクの液量が所定値以下になったと判定されると、前記第２送液モードに切り替えられ、
   前記第２送液モードでは、前記第２検出手段の出力に基づき前記第２タンクの液量が所定値以下になったと判定されると、前記第３送液モードに切り替えられる
   ことを特徴とする請求項３に記載の送液方法。

Images