JP2021102237A - 搬送機構 - Google Patents
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Abstract
Description
ワークを進退駆動する進退機構と、
最大回転半径の範囲内で前記進退機構を垂直軸廻りで回転させる回転機構と、
を有し、
前記進退機構は、
ワークを保持して水平面内で進退させる進退アームと、
前記進退アームの駆動部と、
を有し、
前記進退アームは、複数のリンクをピン結合した長尺部材を含み、
前記複数のリンクの各々は、回転ストッパーを含み、
前記複数のリンクのうち隣り合う2つのリンクの各々の前記回転ストッパー同士の接触により、前記進退アームの直線部分が形成維持され、
前記駆動部は、
前記進退アームの前記直線部分を進退駆動する進退駆動部と、
前記進退アームの後退時に、第1後退位置を通過する前記長尺部材の前記複数のリンクの一つに外力を付与して、前記2つのリンクの各々の前記回転ストッパー同士の接触を解除することにより、前記長尺部材に非直線部分を形成して、前記長尺部材を前記最大回転半径内に収まるように変形させる変形駆動部と、
を含む搬送機構に関する。
先ず、本発明の搬送機構が好適に使用される真空処理装置について概説する。図1はマルチチャンバー型真空処理装置を、図2はシングルチャンバー型真空処理装置を示す。図1において、ロードロックチャンバー1Aには複数例えば3つのゲートバルブ2A〜2Cを介して連結された例えば3つの真空チャンバー3A〜3Cが連結される。ロードロックチャンバー1Aには、ゲートバルブ2Dを開放することで大気と連通される。図2において、ロードロックチャンバー1Bはゲートバルブ4を介して連結された真空チャンバー3が連結される。ロードロックチャンバー1Bには、ゲートバルブ4Bを開放することで大気と連通される。
図3は、図1のロードロックチャンバー1Aまたは図2のロードロックチャンバー1Bに配置される搬送機構の概略図である。搬送機構5は、回転機構10と進退機構100とを含む。回転機構10は、ロードロックチャンバー1Aまたは1B内の最大回転半径RMAXの範囲内で、進退機構100を垂直軸廻りで回転させる。搬送機構5は、ワークを移し替えるために進退機構100を昇降させる昇降機構(図示せず)を含むことができる。
本実施形態では、進退アーム110は、長尺部材として、例えば第1長尺部材120と第2長尺部材130とを含む。第1長尺部材120は、複数の第1リンク121をピン122で連結してピン結合される。同様に、第2長尺部材130は、複数の第2リンク131をピン132で連結してピン結合される。第1及び第2長尺部材120、130の詳細について、図5〜図7も参照して説明する。図5〜図7に示すように、第1長尺部材120は、隙間を隔てて配置される一対の第1リンク121、121間に第1回転ストッパー123を有する。図7に示すように、一対の第1リンク121、121と第1回転ストッパー123とは、それらに形成される各孔に挿通される連結軸部124により連結される。連結軸部124の例えば両端にCリング125等を装着して抜け止めされる。複数の第1リンク121のうち隣り合う2つの第1リンク121の各々の第1回転ストッパー123同士は、図6に示すように鉛直軸と平行な端面である第1回転ストッパー面123A同士が接触する。第1回転ストッパー面123A同士の接触により、隣り合う2つの第1リンク121の各々はピン122の廻りで、図6に示す回転接線Z1の方向が鉛直下向きとなる回転R1が規制される。こうして、第1回転ストッパー面123A同士が接触する複数の第1リンク121により、図4に示すように第1長尺部材120には直線部分120Aが形成される。第1リンク121は、第1回転ストッパー面123Aに続く面取り部123Bを有する。隣り合う2つの第1リンク121の面取り部123B間には隙間が形成される。それにより、隣り合う2つの第1リンク121は、図6に示す回転接線Z2の方向が鉛直上向きとなる回転R2が許容される。
本実施形態では、進退アーム110の駆動部200として、進退駆動部210及び第1変形駆動部220を含み、必要により第2変形駆動部230を含むことができる。駆動部200は、図8に示すように、進退アーム110の進退通路の例えば両側に支持板201、201を有する。この支持板201、201間に、進退駆動部210及び第1変形駆動部220を有し、必要により第2変形駆動部230を有することができる。なお、支持板201、201間には、図4に示すように、進退アーム110の直線部分120A、130Aを案内する案内部として、上下一対の案内ローラー203〜206を設けることができる。
図4及び図8に示すように、進退駆動部210は、例えば、第1水平軸211の廻りに回転する一対の第1回転体212の周縁に複数のスプロケット歯213を有するスプロケットで構成される。図5及び図8に示すように、第2長尺部材130のピン132は一対の第2リンク131よりも外方に突出している。進退駆動部210のスプロケット歯213は、例えば第2長尺部材130のピン132と接触する。一対の第1回転体212は可逆回転され、第2長尺部材130のピン132を正逆方向に回転送りすることで、進退アーム110を進退駆動する。なお、進退駆動部210は、第1長尺部材120のピン122を回転送りするように構成しても良い。
図4及び図8に示すように、第1変形駆動部220は、例えば、第2水平軸221の廻りに回転する一対の第2回転体222の間に、周方向で等間隔に複数の磁石(第2磁石)223を有する。本実施形態では、一対の第2回転体222は磁性体で形成される。それにより、図9に示すように、一対の第2回転体222の間の第2磁石223と、第1長尺部材120の第1磁性体(第1磁石)126との間には、一対の第1リンク121、121及一対の第2回転体222を介して磁力線の閉ループG2が形成される。図9に示す磁力線の閉ループG2は、図7に示す磁力線の閉ループG1に打ち勝つように強力に形成される。
図4に示すように、第2変形駆動部230は、例えば第1変形駆動部220と同様にして、第3水平軸231の廻りに回転する一対の第3回転体232の間に、周方向で等間隔に複数の磁石(第3磁石)233を有する。本実施形態では、一対の第3回転体232は磁性体で形成される。それにより、図9と同様にして、一対の第3回転体232の間の第3磁石233と、第1長尺部材120の第1磁性体(第1磁石)126との間には、一対の第1リンク121、121及一対の第2回転体222を介して磁力線の閉ループが形成される。
Claims (5)
- ワークを進退駆動する進退機構と、
最大回転半径の範囲内で前記進退機構を垂直軸廻りで回転させる回転機構と、
を有し、
前記進退機構は、
前記ワークを保持する進退アームと、
前記進退アームの駆動部と、
を有し、
前記進退アームは、複数のリンクをピン結合した長尺部材を含み、
前記複数のリンクの各々は、回転ストッパーを含み、
前記複数のリンクのうち隣り合う2つのリンクの各々の前記回転ストッパー同士の接触により、前記進退アームの直線部分が形成維持され、
前記駆動部は、
前記進退アームを進退駆動する進退駆動部と、
前記進退アームの後退時に、第1後退位置を通過する前記長尺部材の前記複数のリンクの一つに外力を付与して、前記2つのリンクの各々の前記回転ストッパー同士の接触を解除することにより、前記長尺部材に非直線部分を形成して、前記長尺部材を前記最大回転半径内に収まるように変形させる変形駆動部と、
を含む搬送機構。 - 請求項1において、
前記進退アームは、
複数の第1リンクをピン結合した第1長尺部材と、
複数の第2リンクをピン結合した第2長尺部材と、
を含み、
前記進退アームの前記直線部分では、前記第1長尺部材と前記第2長尺部材とがその順で上下に重ね合わされて結合され、
前記複数の第1リンクの各々は第1回転ストッパーを含み、
前記複数の第2リンクの各々は第2回転ストッパーを含み、
前記複数の第1リンクのうち隣り合う2つの第1リンクの各々の前記第1回転ストッパー同士の接触により、前記2つの第1リンクの各々はピン廻りでの回転接線方向が鉛直下向きとなる回転が規制され、前記複数の第2リンクのうち隣り合う2つの第2リンクの各々の前記第2回転ストッパー同士の接触により、前記2つの第2リンクの各々はピン廻りでの回転接線方向が鉛直上向きとなる回転が規制され、
前記変形駆動部は第1変形駆動部を含み、前記第1変形駆動部は、前記進退アームの後退時に、前記第1後退位置を通過する前記第1長尺部材の前記2つの第1リンクの各々の前記第1回転ストッパー同士の接触を前記外力により解除して、前記2つの第1リンクの一方を対応する第2リンクから引き離し、
前記2つの第1リンクの一方から引き離された前記対応する第2リンクが自重により垂れ下がることで、前記第2長尺部材が前記最大回転半径内に収まるように変形される搬送機構。 - 請求項2において、
前記第1長尺部材の前記複数の第1リンクの各々は第1磁性体を含み、
前記第2長尺部材の前記複数の第2リンクの各々は第2磁性体を含み、
前記第1及び第2磁性体の少なくとも一方は第1磁石であり、
前記複数の第2リンクの各々が対応する第1リンクと磁気結合されて、前記第2長尺部材は、前記直線部分に位置する第2リンクは、ピン廻りでの回転接線方向が鉛直下向きとなる回転が規制される搬送機構。 - 請求項3において、
前記第1変形駆動部は、水平軸の周りに回転する回転体と、前記回転体の周方向に沿って配置された複数の第2磁石と、を含み、前記外力が磁気力である搬送機構。 - 請求項2乃至4のいずれか一項において、
前記変形駆動部は第2変形駆動部をさらに含み、前記第2変形駆動部は、前記第1長尺部材の後退方向で前記第1変形駆動部よりも上流に、第2後退位置を通過する前記第1長尺部材の前記複数のリンクの一つに外力を付与して、前記第1長尺部材を許容高さ内でかつ前記最大回転半径内に収まるように変形させる搬送機構。
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JPS5417968Y2 (ja) * | 1975-03-10 | 1979-07-09 | ||
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JP2016125589A (ja) * | 2014-12-29 | 2016-07-11 | ライフロボティクス株式会社 | 直動伸縮機構及びロボットアーム機構 |
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2019
- 2019-12-24 JP JP2019233404A patent/JP7461013B2/ja active Active
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