JP2021101163A - 電子部品ハンドリング装置、電子部品試験装置、及び、ソケット - Google Patents

Abstract

【課題】アンテナを有するＤＵＴのＯＴＡ試験を精度良く実施することが可能な電子部品ハンドリング装置を提供する。【解決手段】電子部品ハンドリング装置１は、恒温槽２０と、ＤＵＴ１０を移動させてソケット９０に押圧するハンドラ２と、恒温槽２０に隣接して配置された電波暗室５０と、電波暗室５０の内部に配置された試験アンテナ６０と、ＤＵＴ１０のデバイスアンテナ１２又は試験アンテナ６０から放射される電波が透過可能な窓部材４０と、を備え、恒温槽２０は、当該恒温槽２０の壁面に形成された開口２１を備え、電波暗室５０は、当該電波暗室５０の内壁に配置された電波吸収材５２と、試験アンテナ６０の電波の送受信方向に向かって開口する開口５３と、を備え、恒温槽２０と電波暗室５０とは、開口２１と開口５３とが対向するように接続されており、窓部材４０は、開口２１を閉塞している。【選択図】図９

Description

本発明は、アンテナを有する被試験電子部品（ＤＵＴ：Device Under Test）の試験に用いられる電子部品ハンドリング装置、電子部品試験装置、及び、ソケットに関するものである。

無線デバイスの放射性能特性を決定する方法として、無反響室内の取り付け機構に無線デバイスを取り付けて無線デバイスからの信号を測定する方法（ＯＴＡ（Over the Air）試験）が知られている（例えば特許文献１参照）。

特表２００８−５１８５６７号公報

しかしながら、上記の方法では、温度を印加しながら測定を行うと、無反響室内の吸収材が熱ストレスにより劣化してしまい、無線デバイスの性能を精度良く測定することができない場合がある、という問題がある。

本発明が解決しようとする課題は、アンテナを有するＤＵＴのＯＴＡ試験を精度良く実施することが可能な電子部品ハンドリング装置、電子部品試験装置、及び、ソケットを提供することである。

［１］本発明に係る電子部品ハンドリング装置は、第１のアンテナを有するＤＵＴが電気的に接続されるソケットを内部に配置することが可能な恒温槽と、前記ＤＵＴを移動させて前記ソケットに押圧することが可能な移動手段と、前記恒温槽に隣接して配置された電波暗室と、前記電波暗室の内部に配置された第２のアンテナと、前記第１又は第２のアンテナから放射される電波が透過可能な第１の窓部材と、を備え、前記恒温槽は、前記恒温槽の壁面に形成された第１の開口を備え、前記電波暗室は、前記電波暗室の内壁に配置された電波吸収材と、前記第２のアンテナの電波の送受信方向に向かって開口する第２の開口と、を備え、前記恒温槽と前記電波暗室とは、前記第１の開口と前記第２の開口とが対向するように接続されており、前記第１の窓部材は、前記第１の開口を閉塞している電子部品ハンドリング装置である。

［２］上記発明において、前記第１の窓部材は、前記第１又は第２のアンテナから放射される電波が透過可能な一対の板状部材と、前記一対の板状部材の間に介在し、前記一対の板状部材の間に空間を形成するスペーサと、を備え、前記電子部品ハンドリング装置は、前記空間にドライエアを供給することが可能な供給装置を備えていてもよい。

［３］上記発明において、前記電子部品ハンドリング装置は、前記一対の板状部材のうち前記電波暗室側に配置されている前記板状部材を加熱する加熱装置を備えていてもよい。

［４］上記発明において、前記移動手段は、前記ＤＵＴを保持する保持部を備え、前記保持部は、前記第１及び第２のアンテナから放射される電波を反射するリフレクタを備え、前記リフレクタは、前記ソケットの主面に対して傾斜していてもよい。

［５］上記発明において、前記リフレクタは、前記ソケットの主面の法線方向において前記第１のアンテナに対向するように、前記保持部に設けられていてもよい。

［６］上記発明において、前記保持部は、前記ＤＵＴに当接する当接部を備え、前記リフレクタは、前記当接部に保持されていてもよい。

［７］上記発明において、前記保持部は、前記第１のアンテナを囲むように前記ＤＵＴに当接する筒状の当接部と、前記保持部は、前記当接部内の空間を吸引する吸引装置と、を備え、前記当接部は、前記当接部の側壁に形成された第３の開口と、前記第１又は第２のアンテナから放射される電波が透過可能な第２の窓部材と、を備え、前記第２の窓部材は、前記第３の開口を閉塞しており、前記リフレクタは、前記第２の窓部材に対向するように、前記当接部の内部に配置されていてもよい。

［８］上記発明において、一つの前記恒温槽と、複数の前記電波暗室と、複数の前記第１の窓部材と、を備え、前記恒温槽は、複数の前記第１の開口を有しており、前記恒温槽と前記複数の電波暗室とは、複数の前記第１の開口と複数の前記電波暗室の前記第２の開口とがそれぞれ対向するように接続され、前記複数の第１の窓部材は、前記複数の第１の開口をそれぞれ閉塞していてもよい。

［９］上記発明において、下記（１）式を満たしてもよい。
Ｗ_１≧Ｗ_２ … （１）
但し、上記（１）式において、Ｗ_１は前記第１の開口の幅であり、Ｗ_２は前記第１のアンテナから放射され前記リフレクタにより反射された電波が前記第１の開口に到達したときの前記第１の開口の幅方向における前記電波の広がり幅である。

［１０］本発明に係る電子部品試験装置は、上記の電子部品ハンドリング装置と、前記ソケットが装着されたテストヘッドを備えるテスタと、を備え、前記テスタは、前記ＤＵＴが前記ソケットと電気的に接続されていると共に前記テスタが前記第２のアンテナと電気的に接続された状態で、前記第１及び第２のアンテナの間で電波を送受信することで前記ＤＵＴを試験する電子部品試験装置である。

［１１］本発明に係る電子部品試験装置は、第１のアンテナを有するＤＵＴが電気的に接続されるソケットと、前記ソケットが装着されたテストヘッドを備えるテスタと、前記ソケットが内部に配置された恒温槽と、前記恒温槽に隣接して配置された電波暗室と、前記電波暗室の内部に配置された第２のアンテナと、前記第１又は第２のアンテナから放射される電波が透過可能な第１の窓部材と、を備え、前記恒温槽は、前記恒温槽の壁面に形成された第１の開口を備え、前記電波暗室は、前記電波暗室の内壁に配置された電波吸収材と、前記第２のアンテナの電波の送受信方向に向かって開口する第２の開口と、を備え、前記恒温槽と前記電波暗室とは、前記第１の開口と前記第２の開口とが対向するように接続されており、前記第１の窓部材は、前記第１の開口を閉塞しており、前記ソケットは、前記ＤＵＴと電気的に接続される接触子を保持するソケット本体と、前記ソケット本体を覆い、前記ＤＵＴを前記ソケット本体に向かって押圧するソケットカバーと、を備え、前記ソケットカバーは、前記第１又は第２のアンテナから放射される電波を反射するリフレクタを有しており、前記リフレクタは、前記ソケット本体の主面に対して傾斜しており、前記テスタは、前記ＤＵＴが前記ソケットと電気的に接続されていると共に前記テスタが前記第２のアンテナと電気的に接続された状態で、前記第１及び第２のアンテナの間で電波を送受信することで前記ＤＵＴを試験する電子部品試験装置である。

［１２］上記発明において、前記第１の窓部材は、前記第１又は第２のアンテナから放射される電波が透過可能な一対の板状部材と、前記一対の板状部材の間に介在し、前記一対の板状部材の間に空間を形成するスペーサと、を備え、前記電子部品試験装置は、前記空間にドライエアを供給する供給装置を備えていてもよい。

［１３］上記発明において、前記電子部品試験装置は、前記電波暗室の壁面に取り付けられ、前記一対の板状部材のうち前記電波暗室側に配置された前記板状部材を加熱する加熱装置を備えていてもよい。

［１４］本発明に係るソケットは、第１のアンテナを有するＤＵＴと電気的に接続される接触子を保持するソケット本体と、前記ソケット本体を覆い、前記ＤＵＴを前記ソケット本体に押圧するソケットカバーと、を備え、前記ソケットカバーは、前記第１のアンテナから放射される電波を反射するリフレクタを有しており、前記リフレクタは、前記ソケット本体の主面に対して傾斜しているソケットである。

［１５］上記発明において、前記リフレクタは、前記ソケット本体の主面の法線方向において前記第１のアンテナに対向するように、前記ソケットカバーに設けられていてもよい。

［１６］上記発明において、前記ソケットカバーは、前記載置面に載置された前記ＤＵＴと当接する当接部を備え、前記リフレクタは、前記当接部に保持されていてもよい。

本発明では、第１及び第２の開口が対向するように恒温槽と電波暗室が接続されていると共に、第１の窓部材が第１の開口を閉塞しており、この第１の窓部材は、ＤＵＴが有する第１のアンテナ又は電波暗室に設けられた第２のアンテナから放射される電波が透過可能となっている。これにより、恒温槽でＤＵＴに温度を印加しながらＤＵＴの試験を行った場合でも、電波暗室内の電波吸収材は熱ストレスの影響を受けず、電波吸収材の劣化を抑制することができるため、アンテナを有するＤＵＴのＯＴＡ試験を精度良く実施することができる。

図１は、本発明の第１実施形態における電子部品試験装置の全体構成を示す概略断面図である。 図２は、図１のII-II線に沿った拡大断面図である。 図３（ａ）及び図３（ｂ）は、本発明の第１実施形態におけるコンタクトチャックを示す断面図であり、図３（ａ）は、コンタクトチャックがＤＵＴに当接する前の状態を示す図であり、図３（ｂ）は、コンタクトチャックがＤＵＴに当接した状態を示す図である。 図４は、本発明の第１実施形態におけるコンタクトチャックの第１変形例を示す断面図である。 図５は、本発明の第１実施形態におけるコンタクトチャックの第２変形例を示す断面図である。 図６は、本発明の第１実施形態におけるプッシャを示す側面図であり、図１のVI方向に沿ってプッシャを見た図である。 図７は、本発明の第１実施形態におけるプッシャの断面図であり、図１のVII-VII線に沿った断面図である。 図８は、図１のVIII部に対応する拡大断面図であり、ＤＵＴをソケットに押圧する前の状態を示す図である。 図９は、図１のVIII部に対応する拡大断面図であり、ＤＵＴをソケットに押圧している状態を示す図である。 図１０は、本発明の第１実施形態における電子部品試験装置の第１変形例を示す断面図である。 図１１は、本発明の第１実施形態における電子部品試験装置の第２変形例を示す断面図である。 図１２は、本発明の第２実施形態における電子部品試験装置の全体構成を示す概略断面図である。 図１３は、図１２のXIII部に対応する拡大断面図であり、ＤＵＴをソケットに押圧する前の状態を示す図である。 図１４は、図１２のXIII部に対応する拡大断面図であり、ＤＵＴをソケットに押圧している状態を示す図である。 図１５は、本発明の第２実施形態におけるソケットカバーを示す側面図であり、図１２のXV方向に沿ってソケットカバーを見た図である。 図１６は、本発明の第２実施形態におけるソケットカバーを示す断面図であり、図１２のXVI-XVI線に沿った図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

≪第１実施形態≫
図１は本実施形態における電子部品試験装置の全体構成を示す概略断面図、図２は図１のII-II線に沿った拡大断面図である。

本実施形態における電子部品試験装置１は、デバイスアンテナ１２を有するＤＵＴ１０のＯＴＡ試験を実施する装置である。具体的には、この電子部品試験装置１は、デバイスアンテナ１２を備えたＤＵＴ１０から放射される周波数２４．２５０〜５２．６００ＧＨｚの電波（いわゆるミリ波）をＦａｒ Ｆｉｅｌｄ（遠方界）で試験アンテナ６０（後述）に受信させて、当該ＤＵＴ１０の電波放射特性を試験すると共に、試験アンテナ６０から放射したミリ波をＦａｒ ＦｉｅｌｄでＤＵＴ１０に受信させて、当該ＤＵＴ１０の電波受信特性を試験するための装置である。

試験対象であるＤＵＴ１０は、いわゆるＡｉＰ（Antenna in Package）デバイスであり、基板１１上に形成されたデバイスアンテナ１２と、当該基板１１の上面に実装された半導体チップ１３と、当該基板１１の下面に形成された入出力端子１４と、を備えている（図３（ａ）参照）。半導体チップ１３は、デバイスアンテナ１２の送受信を制御するデバイスである。ＤＵＴ１０が備えるデバイスアンテナ１２の具体例としては、パッチアンテナ、ダイポールアンテナ、及び、八木アンテナ等を例示することができる。なお、特に図示しないが、半導体チップ１３が基板１１の下面に実装されていてもよい。

実施形態におけるＤＵＴ１０が本発明における「ＤＵＴ」の一例に相当し、本実施形態におけるデバイスアンテナ１２が本発明における「第１のアンテナ」の一例に相当する。

本実施形態における電子部品試験装置１は、図１に示すように、ＤＵＴ１０を移動させるハンドラ２と、ＤＵＴ１０の試験を実行するテスタ３と、を備えている。ハンドラ２は、テスタ３が備えるテストヘッド３２（後述）に装着されたソケット９０（後述）にＤＵＴ１０を押圧し、ＤＵＴ１０をテスタ３と電気的に接続する。その後、テスタ３は、以下のような試験をＤＵＴ１０に対して実行する。先ず、テスタ３は、ソケット９０を介してＤＵＴ１０へ試験信号を送出して、ＤＵＴ１０のデバイスアンテナ１２から電波を放射させる。この電波を電波暗室５０（後述）に設けられた試験アンテナ６０（後述）で受信することで、ＤＵＴ１０の電波放射特性の試験を行う。次いで、試験アンテナ６０から電波を放射させ、ＤＵＴ１０で受信することで、ＤＵＴ１０の電波受信統制の試験を行う。

本実施形態における電子部品試験装置１が本発明における「電子部品試験装置」の一例に相当し、本発明におけるハンドラ２が本発明における「電子部品ハンドリング装置」の一例に相当し、本実施形態におけるテスタ３が本発明における「テスタ」の一例に相当する。

ハンドラ２は、図１及び図２に示すように、恒温槽２０と、窓部材４０と、電波暗室５０と、試験アンテナ６０と、コンタクトアーム７１と、ドライエア供給装置７２と、ヒータ７３と、を備えている。

本実施形態における恒温槽２０が本発明における「恒温槽」の一例に相当し、本実施形態における窓部材４０が本発明における「第１の窓部材」の一例に相当し、本実施形態における電波暗室５０が本発明における「電波暗室」の一例に相当し、本実施形態における試験アンテナ６０が本発明における「第２のアンテナ」の一例に相当し、本実施形態におけるコンタクトアーム７１が本発明における「移動手段」の一例に相当し、本実施形態におけるドライエア供給装置７２が本発明における「供給装置」の一例に相当し、本実施形態におけるヒータ７３が本発明における「加熱装置」の一例に相当する。

図１に示すように、ハンドラ２は側方に突出する部分を有しており、当該突出部部分に恒温槽２０が収容されていると共に、当該突出部分の下方の空間に、テストヘッド３２が配置されている。すなわち、テストヘッド３２の上方に恒温槽２０が配置されている。この恒温槽２０は、当該恒温槽２０の底部に形成された開口を介して内部にソケット９０が配置されており、ソケット９０に配置されたＤＵＴ１０に高温又は低温の温度を印加する装置である。特に限定されないが、恒温槽２０は、−５５℃〜＋１５５℃の範囲で温度を調整可能であることが好ましい。

本実施形態では、この恒温槽２０の横方向の壁面２０ａには、開口２１が形成されている。この壁面２０ａは、恒温槽２０に隣接して配置された電波暗室５０が対向する面である。本実施形態における開口２１が本発明における「第１の開口」の一例に相当する。

窓部材４０は、この開口２１に嵌め込まれており、当該開口２１を気密的に閉塞している。この窓部材４０は、図２に示すように、一対の板状部材４１と、スペーサ４２と、一対の板状部材４１とスペーサ４２に囲まれた空間４３と、を備えている。開口２１に窓部材４０が配置されていることで、恒温槽２０と恒温槽２０と隣接した配置された電波暗室５０とが断熱されている。本実施形態における板状部材４１が本発明における「板状部材」の一例に相当し、本実施形態におけるスペーサ４２が本発明における「スペーサ」の一例に相当する。

一対の板状部材４１は、開口２１内に配置されており、空間４３を隔てて略平行に並べられている。この板状部材４１は、デバイスアンテナ１２及び試験アンテナ６０から放射される電波が透過可能な材料から構成されている。この板状部材４１を構成する材料の具体例としては、強化ガラス、及び、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）材等を例示することができる。

スペーサ４２は、特に限定されないが、略Ｕ字の断面形状を有する矩形状の枠体であり、板状部材４１の外周部分に沿って設けられている。スペーサ４２によって一対の板状部材４１は互いに間隔を空けて配置されており、これによって窓部材４０には一対の板状部材４１とスペーサ４２に囲まれた空間４３が形成されている。窓部材４０が空間４３を有していることで、窓部材４０の断熱性能が高められている。

電波暗室５０は、図１及び図２に示すように、シールドボックス５１と、シールドボックス５１の内壁に配置された電波吸収材５２と、を備えている。この電波暗室５０は、外部からの不要な電波の侵入を防ぐと共に、内部の電波の反射をなくすことができる。本実施形態における電波吸収材５２が本発明における「電波吸収材」の一例に相当する。

シールドボックス５１は、金属製の箱体であり、アルミ等の金属から構成されている。このシールドボックス５１は、外部からの電波を遮断する機能を有している。

電波吸収材５２は、四角錐形状の部材が複数並べられた構造を有しており、シールドボックス５１の内壁に配置されている。電波吸収材５２の材料としては、例えば、フェライト、及び、樹脂材料等を例示することができる。電波吸収材５２は、電波暗室５０内部の電波を吸収し、電波暗室５０内での電波の反射をなくす機能を有している。

本実施形態では、電波暗室５０は、横方向に開口する開口５３を備えている。この開口５３は、電波暗室５０の壁面のうち、恒温槽２０と隣り合う面に形成されている。この開口５３と恒温槽２０の開口２１とが対向するように、電波暗室５０が恒温槽２０に接続されている。すなわち、本実施形態では、電波暗室５０は、恒温槽２０の側方（水平方向）に配置されている。このため、電波暗室を恒温槽の上部に設けた場合と比較して、電波暗室のメンテナンス性に優れている。本実施形態における開口５３が本発明における「第２の開口」の一例に相当する。

試験アンテナ６０は、電波暗室５０の内部に配置されている。試験アンテナ６０は、ＤＵＴ１０のデバイスアンテナ１２から放射される電波を受信すると共に、ＤＵＴ１０のデバイスアンテナ１２へ電波を放射するアンテナである。試験アンテナ６０としては、例えば、ホーンアンテナ、及び、パッチアンテナ等を例示することができる。特に限定されないが、例えば、試験アンテナ６０が、基板上にマトリクス状に形成された複数のパッチアンテナから構成されていてもよい。

この試験アンテナ６０は、開口５３から入ってくる電波を受信すると共に開口５３に向かって電波を放射するように、当該開口５３に向かって電波暗室５０内に配置されている。換言すれば、電波暗室５０の開口５３は、試験アンテナ６０の電波の送受信方向に向かって開口するように形成されている。試験アンテナ６０は、電波暗室５０の壁面に取り付けられた固定部材５５によって固定されている。

コンタクトアーム７１は、ＤＵＴ１０を移動させる移動手段であり、ハンドラ２が備えるレール（不図示）に支持されている。このコンタクトアーム７１は、水平移動用のアクチュエータ（不図示）を備えており、レールに従って前後左右に動くことが可能となっている。また、このコンタクトアーム７１は、上下駆動用のアクチュエータ（不図示）を備えており、上下方向に移動することができる。このコンタクトアーム７１は、当該コンタクトアーム７１の先端に取り付けられたコンタクトチャック８０を備えており、ＤＵＴ１０を保持して移動させることが可能となっている。本実施形態におけるコンタクトチャック８０が、本発明における「保持部」の一例に相当する。

ドライエア供給装置７２は、窓部材４０の空間４３にドライエア（乾燥空気）を供給する装置である。このドライエア供給装置７２は、例えばポンプ及び除湿器等を備えており、図２に示すように、恒温槽２０の壁面２０ａの内部に配置された供給配管７２２及び供給口７２１を介して窓部材４０の空間４３に連通している。

このドライエア供給装置７２から送出されたドライエアは、窓部材４０の空間４３に連通する一方の供給配管７２２を通って供給口７２１から空間４３に供給される。そして、当該空間４３に供給されたドライエアは、他方の供給口７２１及び供給配管７２２を通ってドライエアに回収され、大気中に排出される。このドライエアは、特に限定されないが、ＪＩＳ Ｂ ８３９２−１における湿度の等級１級（圧力露点≦―７０℃）であることが好ましい。ドライエア供給装置７２は、ハンドラ２の起動中、常にドライエアを窓部材４０の空間４３に供給している。

このように、本実施形態では、空間４３にドライエアを供給することで、恒温槽２０内の温度上昇により板状部材４１が高温になることを抑制することができる。また、一般的にミリ波は水分に吸収されやすい性質を有している。これに対し、本実施形態では、窓部材４０の空間４３にドライエアを供給することで、低温時に板状部材４１に結露が発生することを抑制し、結露により生ずる水滴に電波が吸収されることを抑制することも可能となっている。

ヒータ７３は、電波暗室５０側の板状部材４１を加熱する加熱装置である。ヒータ７３は、棒形状を有しており、図２に示すように、電波暗室５０のシールドボックス５１の壁面内に鉛直方向に沿って取り付けられている。このヒータ７３の具体例としては、特に限定されないが、棒状のカートリッジヒータを例示することができる。ヒータ７３の取付位置は特にこれに限定されないが、ヒータ７３は、開口５３の近傍に配置されることが好ましい。

このヒータ７３により、一対の板状部材４１のうち電波暗室５０側に配置された板状部材４１を温めることで、低温時において当該板状部材４１に結露が発生することを抑制することができる。

図３（ａ）及び図３（ｂ）は本実施形態におけるコンタクトチャックを示す断面図であり、図３（ａ）はコンタクトチャックがＤＵＴに当接する前の状態を示す図であり、図３（ｂ）はコンタクトチャックがＤＵＴに当接した状態を示す図である。図４は本実施形態におけるプッシャの第１変形例を示す断面図であり、図５は本実施形態におけるプッシャの第２変形例を示す断面図である。図６は本実施形態におけるプッシャを示す側面図であり、図１のVI方向に沿ってプッシャを見た図である。図７は本実施形態におけるプッシャの断面図であり、図１のVII-VII線に沿った断面図である。

コンタクトチャック８０は、図３（ａ）に示すように、チャック本体８１と、ＤＵＴ１０に当接するプッシャ８２と、電波を反射するリフレクタ８３と、を備えている。コンタクトチャック８０は、ＤＵＴ１０を吸着保持する機能を有している。本実施形態におけるプッシャ８２が本発明における「当接部」の一例に相当し、本実施形態におけるリフレクタ８３が本発明における「リフレクタ」の一例に相当する。

チャック本体８１は、ＤＵＴ１０を吸着保持するための吸引配管８１１を備えている。吸引配管８１１は、本体部の内部に鉛直方向に沿って形成され、チャック本体８１の下面で開口している。真空ポンプ８４によってこの吸引配管８１１から空気を吸引することで、コンタクトアーム７１がＤＵＴ１０を保持することが可能となっている。本実施形態における真空ポンプ８４が、本発明における「吸引装置」の一例に相当する。

プッシャ８２は、チャック本体８１に着脱可能に取り付けられている。このプッシャ８２は、角筒状の形状を有しており、プッシャ８２の上端がチャック本体８１の下面に接するように取り付けられている。プッシャ８２の下端８２ａは開口しており、下端８２ａの開口は、ＤＵＴ１０のデバイスアンテナ１２を囲むことができる程度の大きさを有している。図３（ｂ）に示すように、この下端８２ａがＤＵＴ１０のデバイスアンテナ１２を囲むようにＤＵＴ１０に当接することで、プッシャ８２内の空間が密閉され、真空ポンプ８４によってチャック本体８１内の空間を吸引することで、コンタクトチャック８０がＤＵＴ１０を吸着することが可能となっている。

なお、プッシャ８２は、図４に示すように、複数の吸引配管８２３を有してもよい。この吸引配管８２３は、プッシャ８２の壁面の内部に形成されており、チャック本体８１の吸引配管８１１に連通していると共に、プッシャ８２の下端８２ａで開口している。なお、吸引配管８１１は、チャック本体８１の下面で開口していていない。この変形例では、プッシャ８２の下端８２ａがＤＵＴ１０に当接した際、当該吸引配管８２３から空気を吸引することによりＤＵＴ１０を吸着保持することができる。

なお、この図４に示す変形例の場合には、チャック本体８１が筒状の形状を有している必要はない。特に限定されないが、例えば、チャック本体８１を、リフレクタ８３を囲むように配置された４本の柱状部材で構成し、当該柱状部材でリフレクタ８３を保持すると共に、当該柱状部材の内部に吸引配管８２３を形成してもよい。

また、プッシャ８２は、図５に示すように、プッシャ８２の内壁に配置されたシート状の電波吸収材８２４を有していてもよい。この電波吸収材８２４を構成する材料としては、上述した電波吸収材５２を構成する材料と同様のものを用いることができる。

コンタクトチャック８０がＤＵＴ１０を保持する際は、図３（ａ）に示すように、コンタクトアーム７１によってコンタクトチャック８０がＤＵＴ１０の直上に移動する。次いで、図３（ｂ）に示すように、コンタクトアーム７１によってプッシャ８２の下端８２ａがＤＵＴ１０に当接することにより、チャック本体８１、プッシャ８２、及び、ＤＵＴ１０に囲まれた密閉空間が形成される。その後、吸引配管８１１からこの密閉空間の空気が吸引されることで、ＤＵＴ１０がコンタクトチャック８０に保持される。

本実施形態のプッシャ８２は、開口８２１と窓部材８２２をさらに備えている。本実施形態における開口８２１が本発明における「第３の開口」の一例に相当し、本実施形態における窓部材８２２が本発明における「第２の窓部材」の一例に相当する。

開口８２１は、図６に示すように、矩形状を有しており、プッシャ８２の側壁に形成されている。この開口８２１は、ＤＵＴ１０の試験の際、コンタクトアーム７１のコンタクトチャック８０によってＤＵＴ１０がソケット９０に押圧されている状態で、恒温槽２０の開口２１と向かい合うように配置されている。開口８２１の形状は、特に矩形に限定されず、円形、三角形等であってもよい。

窓部材８２２は、図６に示すように、開口８２１に嵌め込まれている。この窓部材８２２は、デバイスアンテナ１２から放射された電波が透過可能な一枚の平板状の部材である。この窓部材８２２は、ＤＵＴ１０の試験の際、ＤＵＴ１０のデバイスアンテナ１２から放射された電波を電波暗室５０内の試験アンテナ６０に向かって透過させると共に、試験アンテナ６０から放射された電波をデバイスアンテナ１２に向かって透過させる。この窓部材８２２は、デバイスアンテナ１２及び試験アンテナ６０から放射される電波が透過可能な材料から構成されており、この窓部材８２２を構成する具体的な材料としては、強化ガラス、及び、ＰＥＥＫ材等を例示することができる。この窓部材８２２により、開口８２１が気密的に閉塞されている。

リフレクタ８３は、図３（ａ）及び図７に示すように、金属製の矩形平板状の反射板であり、筒状のプッシャ８２の内部に設けられている。具体的には、このリフレクタ８３は、当該リフレクタ８３を幅方向に貫通するピン８３１によって、プッシャ８２の内壁に固定（保持）されている。このリフレクタ８３は、プッシャ８２がＤＵＴ１０に当接した際に、ソケット９０の載置面９３の法線上でＤＵＴ１０に対向するように、プッシャ８２に設けられている。すなわち、リフレクタ９８は、プッシャ９７がＤＵＴ１０に当接した際に、ＤＵＴ１０のデバイスアンテナ１２の直上に位置するように配置されている。このリフレクタ８３は、ＤＵＴ１０の試験の際、当該ＤＵＴ１０のデバイスアンテナ１２から放射された電波の進行方向を電波暗室５０内に設けられた試験アンテナ６０に向かう方向に変更すると共に、試験アンテナ６０から放射された電波の進行方向をデバイスアンテナ１２に向かう方向へ変更する機能を有している（図９参照）。

このリフレクタ８３は、テストヘッド３２に設けられたソケット９０におけるＤＵＴ１０の載置面９３に対して傾斜している。載置面９３に対するリフレクタ８３の傾斜角度は、ＤＵＴ１０の試験の際、デバイスアンテナ１２から放射された電波を試験アンテナ６０に向かう方向に反射すると共に、試験アンテナ６０から放射された電波をデバイスアンテナ１２に向かう方向に反射するように設定されている。一例を挙げれば、載置面９３に対するリフレクタ８３の傾斜角度は４５°である。こうしたリフレクタ８３をプッシャ８２内に設けることで、上述のような、恒温槽２０の側方に電波暗室５０を配置するレイアウトを採用することができる。本実施形態における載置面９３が、本発明における「ソケットの主面」の一例に相当する。

リフレクタ８３は、矩形状を有しているが、特にこれに限定されず、円形、三角形等であってもよい。また、リフレクタ８３は、平板から構成されているが、特にこれに限定されない。例えば、リフレクタ８３の電波の反射面が、中央部分の窪んだ球面となっていてもよい。

テスタ３は、図１に示すように、メインフレーム（テスタ本体）３１と、テストヘッド３２と、ソケット９０と、を備えている。メインフレーム３１は、ケーブル３１１を介してテストヘッド３２に接続されていると共に、ケーブル３１２を介して試験アンテナ６０に接続されている。メインフレーム３１は、テストヘッド３２を介して試験信号をＤＵＴ１０に送出してＤＵＴ１０を試験し、当該試験結果に応じてＤＵＴ１０を評価する。

テストヘッド３２は、ケーブル３１１を介してメインフレーム３１に接続されており、ＤＵＴ１０の試験の際に、ＤＵＴ１０へ試験信号を送出する。特に図示しないが、この本テストヘッド３２には、ソケット９０と電気的に接続されたピンエレクトロニクスカードが収納されている。

ソケット９０は、テストヘッド３２の上に装着されており、ソケット本体９１と、接触子９２と、を備えている（図８及び図９参照）。接触子９２は、ソケット本体９１に保持されており、ＤＵＴ１０の入出力端子１４に対応するように配置されている。この接触子９２としては、特に限定されないが、ポゴピン又は異方導電性ゴムシート等を例示することができる。コンタクトアーム７１によってＤＵＴ１０の入出力端子１４がソケット９０の接触子９２と接触することで、当該ＤＵＴ１０とソケット９０が電気的に接続される。このソケット９０を介してメインフレーム３１からＤＵＴ１０へ試験信号が送出される。

以下に、本実施形態における電子部品試験装置１によるＤＵＴ１０のＯＴＡ試験について、図３（ａ）、図３（ｂ）、図８、及び、図９を参照しながら説明する。

図８及び図９は図１のVIII部に対応する拡大断面図であり、図８はＤＵＴをソケットに押圧する前の状態を示す図であり、図９はＤＵＴをソケットに押圧している状態を示す図である。

先ず、恒温槽２０を起動し、恒温槽２０内を所定の温度に調整すると共に、ドライエア供給装置７２により空間４３へのドライエアの供給を開始する。

次いで、図３（ａ）に示すように、ハンドラ２のコンタクトアーム７１が試験対象のＤＵＴ１０の直上に移動した後、図３（ｂ）に示すようにＤＵＴ１０に向けて下降して、プッシャ８２の下端８２ａがデバイスアンテナ１２を囲むようにＤＵＴ１０に当接する。

次いで、チャック本体８１の吸引配管８１１から空気を吸引することで、コンタクトチャック８０がＤＵＴ１０を吸着保持する。そして、図８に示すように、コンタクトアーム７１によりソケット９０の直上に移動する。

次いで、図９に示すように、コンタクトチャック８０がコンタクトアーム７１によって下降し、コンタクトチャック８０に保持されたＤＵＴ１０がソケット９０に押圧され、ＤＵＴ１０の入出力端子１４がソケット９０の接触子９２と接触する。ＤＵＴ１０がソケット９０に押圧された状態で、プッシャ８２の開口８２１が、恒温槽２０の開口２１と対向する。これにより、リフレクタ８３、開口８２１，２１，５３、及び、試験アンテナ６０が、同一直線上に並んだ配置となる。

そして、ＤＵＴ１０がソケット９０に押圧された状態で、以下のＤＵＴ１０の電波放射特性の試験と電波受信特性の試験が実施される。

具体的には、先ず、メインフレーム３１から出力された試験信号が、テストヘッド３２に装着されたソケット９０の接触子９２を介して、ＤＵＴ１０に送出される。そして、この試験信号を受けたＤＵＴ１０は、図９に示すように、デバイスアンテナ１２から上方に向かって電波を放射する。この電波は、リフレクタ８３に到達して当該リフレクタ８３により電波暗室５０の方向に反射する。次いで、この電波は、窓部材８２２，４０を透過して電波暗室５０内に進入し、試験アンテナ６０に受信される。そして、試験アンテナ６０で受信された電波は、電気信号に変換されてケーブル３１２を介してメインフレーム３１に送出され、当該信号に基づいてＤＵＴ１０の電波放射特性が評価される。

次いで、ＤＵＴ１０をソケット９０に押圧したままの状態で、メインフレーム３１から出力された試験信号が、ケーブル３１２を介して試験アンテナ６０に送出される。この試験信号を受けた試験アンテナ６０は、電波暗室５０の開口５３に向かって電波を放射する。この電波は、窓部材４０，８２２を透過した後、リフレクタ８３に到達して当該リフレクタ８３によりＤＵＴ１０の方向に反射する。次いで、この電波は、ＤＵＴ１０のデバイスアンテナ１２に受信される。そして、デバイスアンテナ１２で受信された電波は、電気信号に変換され、ソケット９０の接触子９２、テストヘッド３２、及び、ケーブル３１１を介して、メインフレーム３１に送出され、当該信号に基づいてＤＵＴ１０の電波受信特性が評価される。

ＤＵＴ１０の評価後、コンタクトアーム７１が上方に移動し、ＤＵＴ１０がソケット９０から離れる。以上でＤＵＴ１０の試験が終了する。

以上のように、本実施形態では、開口２１，５３が対向するように恒温槽２０と電波暗室５０が接続されていると共に、窓部材４０が開口２１を閉塞しており、この窓部材４０は、デバイスアンテナ１２及び試験アンテナ６０から放射される電波が透過可能となっている。これにより、恒温槽２０でＤＵＴ１０に温度（高温又は低温）を印加しながらＤＵＴ１０の試験を行った場合でも、電波暗室５０内の電波吸収材５２は熱ストレスの影響を受けず、電波吸収材５２の劣化を抑制することができるため、デバイスアンテナ１２を有するＤＵＴ１０のＯＴＡ試験を精度良く実施することができる。

また、Ｆａｒ ＦｉｅｌｄのＯＴＡ試験では、デバイスアンテナと試験アンテナをある程度離す必要があるが、通常のハンドラではテストの際にＤＵＴの上方にコンタクトチャックが位置しているため、デバイスアンテナと試験アンテナとの間にコンタクトチャックが介在してしまい、ＯＴＡ試験を実施することができない。

これに対し、本実施形態では、コンタクトチャック８０がリフレクタ８３を備えているため、コンタクトアーム７１によってＤＵＴ１０をソケット９０に押圧した状態で、Ｆａｒ ＦｉｅｌｄのＯＴＡ試験を行うことが可能となっている。このため、ソケット９０へのＤＵＴ１０の装着を手作業で行う必要がなく、ハンドラ２を用いて多数のＤＵＴ１０の試験を連続して自動的に実施することが可能となるので、デバイスアンテナ１２を有するＤＵＴ１０のＯＴＡ試験の効率化を図ることができる。

なお、本実施形態では、ハンドラ２が１つの電波暗室５０のみを備えているが、電波暗室５０の個数は特にこれに限定されず、図１０に示すように、ハンドラ２が複数の電波暗室５０を備えていてもよい。この場合、ハンドラ２が複数の電波暗室５０を備えていることで、複数のＤＵＴ１０を同時に試験することができる。図１０は、本発明の第１実施形態における電子部品試験装置の第１変形例を示す断面図であり、水平方向に沿って切断した電子部品試験装置を上方から見た断面図である。

図１０に示す変形例の場合、電波暗室５０は、試験アンテナ６０の電波の送受信方向がそれぞれ平行になるように、恒温槽２０に隣接して配置されている。また、恒温槽２０は電波暗室５０と同数の開口２１を備えており、それぞれの開口２１はいずれも窓部材４０によって閉塞されている。恒温槽２０と複数の電波暗室５０とは、複数の開口２１と複数の電波暗室５０の開口５３とが対向するように接続されている。

また、図１０に示す変形例の場合には、ハンドラ２が電波暗室５０と同数のコンタクトアーム７１を備えており、それぞれのコンタクトアーム７１が、コンタクトチャック８０を備えている。それぞれのコンタクトチャック８０のプッシャ８２は、試験アンテナ６０に対する鉛直方向及び水平方向の位置が一致するように、コンタクトチャック８０に対して取り付けられている。

また、図１０に示す変形例の場合、ＤＵＴ１０の試験の際に、リフレクタ８３によって反射された電波が互いに干渉しないように、リフレクタ８３の形状、リフレクタ８３と試験アンテナ６０との距離、及び、プッシャ８２間及び電波暗室５０間の距離が調整されている。

具体的には、図１０において、開口２１の幅Ｗ_１が、リフレクタ８３に反射して窓部材４０に到達した電波Ｒにおける開口２１の幅方向への広がり幅Ｗ_２以上（Ｗ_１≧Ｗ_２）となるように調整されている。これにより、複数のＤＵＴ１０を同時に測定した場合に、リフレクタ８３で反射された電波が互いに干渉することを抑制することができるため、ＤＵＴ１０の試験を精度良く実施することができる。

或いは、ハンドラ２が、図１１に示すように、恒温槽２０の四方の壁面にそれぞれ隣接する複数の電波暗室５０を備えていてもよい。この場合にも、ハンドラ２が電波暗室５０と同数のコンタクトアーム７１を備えており、それぞれのコンタクトアーム７１が、コンタクトチャック８０を備えている。それぞれのコンタクトチャック８０のプッシャ８２は、試験アンテナ６０に対する鉛直方向及び水平方向の位置が一致するように、コンタクトチャック８０に対して取り付けられている。図１１は、本実施形態における電子部品試験装置の第２変形例を示す平面視における断面図であり、水平方向に沿って切断した電子部品試験装置を上方から見た断面図である。

図１１に示す変形例の場合にも、恒温槽２０は電波暗室５０と同数の開口２１を備えており、それぞれの開口２１はいずれも窓部材４０によって閉塞されている。恒温槽２０と複数の電波暗室５０とは、複数の開口２１と複数の電波暗室５０の開口５３とが対向するように接続されている。

≪第２実施形態≫
図１２は本実施形態における電子部品試験装置の全体構成を示す概略断面図である。図１３及び図１４は図１２のXIII部に対応する拡大断面図であり、図１３はＤＵＴ１０をソケット９０Ｂに押圧する前の状態を示す図であり、図１４はＤＵＴ１０をソケット９０Ｂに押圧している状態を示す図である。図１５は本実施形態におけるソケットカバーを示す側面図であり、図１２のXV方向に沿ってソケットカバーを見た図、図１６は本実施形態におけるソケットカバーを示す断面図であり、図１２のXVI-XVI線に沿った断面図である。

本実施形態における電子部品試験装置１Ｂは、ＤＵＴ１０をソケット９０Ｂに手動でセットしてＤＵＴ１０を試験するための装置であり、いわゆるマニュアルタイプの試験装置である。本実施形態では、電子部品試験装置１Ｂがハンドラ２（コンタクトアーム７１）を備えていない点、及び、ソケット９０Ｂの構成が第１実施形態と相違するが、それ以外の構成は同様である。以下に、第２実施形態における電子部品試験装置１Ｂについて第１実施形態との相違点についてのみ説明し、第１実施形態と同様の構成である部分については同一符号を付して説明を省略する。

本実施形態における電子部品試験装置１Ｂは、図１２に示すように、恒温槽２０が扉２２を有している。扉２２を開くことで、恒温槽２０の内部のソケット本体９１ＢにＤＵＴ１０及びソケットカバー９５（後述）を手作業でセットすることが可能となっている。

本実施形態におけるソケット９０Ｂは、図１３及び図１４に示すように、ソケット本体９１Ｂと、接触子９２と、ソケット本体９１Ｂを覆うソケットカバー９５と、を備えている。本実施形態におけるソケット本体９１Ｂが本発明における「ソケット本体」の一例に相当し、本実施形態におけるソケットカバー９５が本発明における「ソケットカバー」の一例に相当する。

ソケットカバー９５は、ソケット本体９１Ｂに載置されたＤＵＴ１０を覆う部材であり、ＤＵＴ１０の試験の際、ＤＵＴ１０をソケット本体９１Ｂに押圧する機能を有している。また、本実施形態では、このソケットカバー９５は、ＤＵＴ１０の試験の際、当該ＤＵＴ１０のデバイスアンテナ１２から放射された電波の進行方向を電波暗室５０内に設けられた試験アンテナ６０に向かう方向へ変更すると共に、試験アンテナ６０から放射された電波の進行方向をＤＵＴ１０に向かう方向へ変更する機能も有している。このソケットカバー９５は、カバー本体９６と、プッシャ９７と、を備えている。

カバー本体９６は、ソケット本体９１Ｂを覆う箱体であり、開口９６１と、窓部材９６２と、凹部９６３と、を有している。

開口９６１は、図１５に示すように、矩形状を有しており、カバー本体９６の側壁に形成されている。この開口９６１は、図１４に示すように、ＤＵＴ１０の試験の際、ＤＵＴ１０がソケットカバー９５によってソケット本体９１Ｂに押圧されている状態で、恒温槽２０の開口２１と向かい合うように配置されている。開口９６１の形状は、特に矩形に限定されず、円形、三角形等であってもよい。

窓部材９６２は、図１５に示すように、開口９６１に嵌め込まれるようにして配置されている。この窓部材９６２は、電波が透過可能となっており、ＤＵＴ１０の試験の際、ＤＵＴ１０のデバイスアンテナ１２から放射された電波を電波暗室５０内の試験アンテナ６０に向かって透過させる。窓部材９６２は、デバイスアンテナ１２及び試験アンテナ６０から放射される電波が透過可能な樹脂材料から構成されており、この窓部材９６２を構成する具体的な材料としては、強化ガラス、及び、ＰＥＥＫ材等を例示することができる。この窓部材９６２により、開口９６１が気密的に閉塞されている。

凹部９６３は、図１４及び図１５に示すように、カバー本体９６の外側表面に形成された凹みである。この凹部９６３は、ソケット本体９１Ｂのラッチ９４（後述）と係合するように形成されている。

プッシャ９７は、角筒状の形状を有しており、プッシャ９７の上端がカバー本体９６の下面に接するように取り付けられている。プッシャ９７は、側壁に形成された開口９７１と、開口９７１に嵌め込まれた窓部材９７２と、を備えている。プッシャ９７の下端９７ａは開口しており、下端９７ａの開口は、ＤＵＴ１０のデバイスアンテナ１２を囲むことができる程度の大きさを有している。

開口９７１は、矩形状を有しており、プッシャ９７の側壁に形成されている。この開口９７１は、開口９６１と向かい合うように配置されている。開口９７１の形状は、特に矩形に限定されず、円形、三角形等であってもよい。

窓部材９７２は、開口９７１に嵌め込まれるようにして配置されている。この窓部材９７２は、窓部材９６２と同様に、ＤＵＴ１０の試験の際、ＤＵＴ１０のデバイスアンテナ１２から放射された電波を電波暗室５０内の試験アンテナ６０に向かって透過させると共に、試験アンテナ６０から放射された電波をデバイスアンテナ１２に向かって透過させる。窓部材９７２を構成する材料としては、窓部材９６２を構成する材料と同様のものを用いることができる。この窓部材９７２により、開口９７１が気密的に閉塞されている。

リフレクタ９８は、図１４及び図１６に示すように、金属製の矩形平板状の反射板であり、筒状のプッシャ８２の内部に設けられている。具体的には、このリフレクタ８３は、当該リフレクタ９８を幅方向に貫通するピン９８１によって、プッシャの内壁に固定（保持）されている。このリフレクタ９８は、プッシャ９７がＤＵＴ１０に当接した際に、ソケット本体９１Ｂの載置面９３の法線上でＤＵＴ１０に対向するように、プッシャ８２に設けられている。すなわち、リフレクタ９８は、プッシャ９７がＤＵＴ１０に当接した際に、ＤＵＴ１０のデバイスアンテナ１２の直上に位置するように配置されている。このリフレクタ９８は、ＤＵＴ１０の試験の際、ＤＵＴ１０のデバイスアンテナ１２から放射された電波の進行方向を電波暗室５０内に設けられた試験アンテナ６０に向かう方向に変更すると共に、試験アンテナ６０から放射された電波の進行方向をデバイスアンテナ１２に向かう方向へ変更する機能を有している（図１４参照）。

リフレクタ９８は、テストヘッド３２に設けられたソケット本体９１ＢにおけるＤＵＴ１０の載置面９３に対して傾斜している。載置面９３に対するリフレクタ９８の傾斜角度は、ＤＵＴ１０の試験の際、デバイスアンテナ１２から放射された電波が試験アンテナ６０に向かう方向に反射すると共に、試験アンテナ６０から放射された電波の進行方向をデバイスアンテナ１２に向かう方向へ変更するように設定されている。一例を挙げれば、載置面９３に対するリフレクタ８３の傾斜角度は４５°である。こうしたリフレクタ８３をソケットカバー９５の内部に設けることで、恒温槽２０の側方に電波暗室５０を配置するレイアウトを採用することができる。

リフレクタ９８は、矩形状を有しているが、特にこれに限定されず、円形、三角形等であってもよい。また、リフレクタ９８は、平板から構成されているが、特にこれに限定されない。例えば、電波の反射面が、中央部分の窪んだ球面となっていてもよい。

ソケット本体９１Ｂは、ラッチ９４を有している点が、第１実施形態におけるソケット本体９１と相違する。このラッチ９４は、ソケット本体９１Ｂの上部に取り付けられており、上方に向かって突出している。ラッチ９４は、図１４に示すように、ソケットカバー９５の凹部９６３と係合する形状を有しており、ラッチ９４がソケットカバー９５の凹部９６３に係合することで、ソケットカバー９５がソケット本体９１Ｂに固定されると共にプッシャ９７によりＤＵＴ１０がソケット本体９１Ｂに押圧される。

以下に、本実施形態における電子部品試験装置１ＢによるＤＵＴ１０のＯＴＡ試験について、図１３及び図１４を参照しながら説明する。

先ず、図１３に示すように、ＤＵＴ１０をソケット本体９１Ｂの載置面９３に載置し、ＤＵＴ１０の入出力端子１４をソケット本体９１Ｂの接触子９２と接触させる。

次いで、図１３に示すように、ソケットカバー９５をＤＵＴ１０の直上に移動させた後、ＤＵＴ１０に向けて下降させる。そして、図１４に示すように、ソケットカバー９５の凹部９６３にソケット本体９１Ｂのラッチ９４を係合させ、ソケットカバー９５をソケット本体９１Ｂに固定する。これにより、プッシャ９７の下端９７ａがＤＵＴ１０のデバイスアンテナ１２を囲むように当接し、ＤＵＴ１０がソケット本体９１Ｂに押圧される。

ソケットカバー９５がソケット本体９１Ｂに固定されることで、プッシャ９７の開口９６１が、恒温槽２０の開口２１と対向する。これにより、リフレクタ９８、開口９７１、開口９６１，２１，５３、及び、試験アンテナ６０が、同一直線上に並んだ配置となる。

そして、ＤＵＴ１０がソケット本体９１Ｂに押圧された状態で、恒温槽２０を起動して恒温槽２０内を所定の温度に調整すると共に、ドライエア供給装置７２により空間４３へのドライエアの供給を開始した後、以下のＤＵＴ１０の電波放射特節と電波受信特性の試験が実施される。

具体的には、先ず、メインフレーム３１から出力された試験信号が、テストヘッド３２に装着されたソケット９０の接触子９２を介してＤＵＴ１０に送出される。そして、この試験信号を受けたＤＵＴ１０は、図１４に示すように、デバイスアンテナ１２から上方に向かって電波を放射する。この電波は、リフレクタ９８に到達して電波暗室５０の方向へ反射する。次いで、この電波は、窓部材９７２，９６２，４０を透過して電波暗室５０内に進入し、試験アンテナ６０に受信される。そして、試験アンテナ６０で受信された電波は、電気信号に変換されてケーブル３１２を介してメインフレーム３１に送出され、当該信号に基づいてＤＵＴ１０の電波放射特性が評価される。

次いで、ＤＵＴ１０をソケット本体９１Ｂに押圧したままの状態で、メインフレーム３１から出力された試験信号が、ケーブル３１２を介して試験アンテナ６０に送出される。この試験信号を受けた試験アンテナ６０は、電波暗室５０の開口５３に向かって電波を放射する。この電波は、窓部材４０，９６２，９７２を透過した後、リフレクタ８３に到達してＤＵＴ１０の方向へ反射する。次いで、この電波は、ＤＵＴ１０のデバイスアンテナ１２に受信される。そして、デバイスアンテナ１２で受信された電波は、電気信号に変換され、ソケット９０Ｂの接触子９２、テストヘッド３２、及び、ケーブル３１１を介して、メインフレーム３１に送出され、当該信号に基づいてＤＵＴ１０の電波受信特性が評価される。

ＤＵＴ１０の評価後、ソケットカバー９５をソケット本体９１Ｂから取り外し、ＤＵＴ１０をソケット本体９１Ｂから取り外す。以上でＤＵＴ１０の試験が終了する。

以上のように、本実施形態では、上述の第１実施形態と同様に、開口２１，５３が対向するように恒温槽２０と電波暗室５０が接続されていると共に、窓部材４０が開口２１を閉塞しており、この窓部材４０は、デバイスアンテナ１２及び試験アンテナ６０から放射される電波が透過可能となっている。これにより、恒温槽２０でＤＵＴ１０に温度（高温又は低温）を印加しながらＤＵＴ１０の試験を行った場合でも、電波暗室５０内の電波吸収材５２は熱ストレスの影響を受けず、電波吸収材５２の劣化を抑制することができるため、デバイスアンテナ１２を有するＤＵＴ１０のＯＴＡ試験を精度良く実施することができる。

また、本実施形態では、ソケット９０Ｂがリフレクタ９８を有するソケットカバー９５を備えている。このため、ＤＵＴ１０の試験の際、ソケットカバー９５のリフレクタ９８によって、デバイスアンテナ１２から放射された電波の進行方向を電波暗室５０内の試験アンテナ６０に向かう方向に変換することができる。これにより、恒温槽２０の側方に電波暗室５０を配置するレイアウトを採用することが可能となり、電波暗室のメンテナンス性に優れた電子部品試験装置を提供することができる。

なお、以上に説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

例えば、上述の実施形態では、電子部品試験装置が、ＤＵＴの試験として、当該ＤＵＴの電波放射特性と電波受信特性の両方を試験したが、特にこれに限定されない。例えば、電子部品試験装置が、ＤＵＴの試験として、当該ＤＵＴの電波放射特性又は電波受信特性のいずれか一方のみを試験してもよい。

１，１Ｂ…電子部品試験装置
２…ハンドラ
２０…恒温槽
２１…開口
４０…窓部材
４１…板状部材
４２…空間
５０…電波暗室
５１…シールドボックス
５２…電波吸収材
５３…開口
６０…試験アンテナ
７１…コンタクトアーム
７２…ドライエア供給装置
７２１…供給口
７２２…供給配管
７３…ヒータ
８０…コンタクトチャック
８１…本体部
８１１…吸引配管
８２…プッシャ
８２１…開口
８２２…窓部材
８３…リフレクタ
８３１…ピン
８４…真空ポンプ
３…テスタ
３１…メインフレーム
３１１，３１２…ケーブル
３２…テストヘッド
９０，９０Ｂ…ソケット
９１，９１Ｂ…ソケット本体
９２…接触子
９３…載置面
９４…ラッチ
９５…ソケットカバー
９６…カバー本体
９６１…開口
９６２…窓部材
９６３…凹部
９７…プッシャ
９７１…開口
９７２…窓部材
９８…リフレクタ
９８１…ピン
１０…電子部品
１１…基材
１２…デバイスアンテナ
１３…半導体チップ
１４…入出力端子

Claims (16)

1. 第１のアンテナを有するＤＵＴが電気的に接続されるソケットを内部に配置することが可能な恒温槽と、
   前記ＤＵＴを移動させて前記ソケットに押圧することが可能な移動手段と、
   前記恒温槽に隣接して配置された電波暗室と、
   前記電波暗室の内部に配置された第２のアンテナと、
   前記第１又は第２のアンテナから放射される電波が透過可能な第１の窓部材と、を備え、
   前記恒温槽は、前記恒温槽の壁面に形成された第１の開口を備え、
   前記電波暗室は、
   前記電波暗室の内壁に配置された電波吸収材と、
   前記第２のアンテナの電波の送受信方向に向かって開口する第２の開口と、を備え、
   前記恒温槽と前記電波暗室とは、前記第１の開口と前記第２の開口とが対向するように接続されており、
   前記第１の窓部材は、前記第１の開口を閉塞している電子部品ハンドリング装置。
2. 請求項１に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
   前記第１の窓部材は、
   前記第１又は第２のアンテナから放射される電波が透過可能な一対の板状部材と、
   前記一対の板状部材の間に介在し、前記一対の板状部材の間に空間を形成するスペーサと、を備え、
   前記電子部品ハンドリング装置は、前記空間にドライエアを供給することが可能な供給装置を備えている電子部品ハンドリング装置。
3. 請求項２に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
   前記電子部品ハンドリング装置は、前記一対の板状部材のうち前記電波暗室側に配置されている前記板状部材を加熱する加熱装置を備えている電子部品ハンドリング装置。
4. 請求項１〜３の何れか一項に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
   前記移動手段は、前記ＤＵＴを保持する保持部を備え、
   前記保持部は、前記第１及び第２のアンテナから放射される電波を反射するリフレクタを備え、
   前記リフレクタは、前記ソケットの主面に対して傾斜している電子部品ハンドリング装置。
5. 請求項４に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
   前記リフレクタは、前記ソケットの主面の法線方向において前記第１のアンテナに対向するように、前記保持部に設けられている電子部品ハンドリング装置。
6. 請求項４又は５に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
   前記保持部は、前記ＤＵＴに当接する当接部を備え、
   前記リフレクタは、前記当接部に保持されている電子部品ハンドリング装置。
7. 請求項４又は５に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
   前記保持部は、
   前記第１のアンテナを囲むように前記ＤＵＴに当接する筒状の当接部と、
   前記保持部は、前記当接部内の空間を吸引する吸引装置と、を備え、
   前記当接部は、
   前記当接部の側壁に形成された第３の開口と、
   前記第１又は第２のアンテナから放射される電波が透過可能な第２の窓部材と、を備え、
   前記第２の窓部材は、前記第３の開口を閉塞しており、
   前記リフレクタは、前記第２の窓部材に対向するように、前記当接部の内部に配置されている電子部品ハンドリング装置。
8. 請求項１〜７のいずれか一項に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
   一つの前記恒温槽と、
   複数の前記電波暗室と、
   複数の前記第１の窓部材と、を備え、
   前記恒温槽は、複数の前記第１の開口を有しており、
   前記恒温槽と前記複数の電波暗室とは、複数の前記第１の開口と複数の前記電波暗室の前記第２の開口とがそれぞれ対向するように接続され、
   前記複数の第１の窓部材は、前記複数の第１の開口をそれぞれ閉塞している電子部品ハンドリング装置。
9. 請求項８に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
   下記（１）式を満たす電子部品ハンドリング装置。
   Ｗ_１≧Ｗ_２ … （１）
   但し、上記（１）式において、Ｗ_１は前記第１の開口の幅であり、Ｗ_２は前記第１のアンテナから放射され前記リフレクタにより反射された電波が前記第１の開口に到達したときの前記第１の開口の幅方向における前記電波の広がり幅である。
10. 請求項１〜９のいずれか一項に記載の電子部品ハンドリング装置と、
    前記ソケットが装着されたテストヘッドを備えるテスタと、を備え、
    前記テスタは、前記ＤＵＴが前記ソケットと電気的に接続されていると共に前記テスタが前記第２のアンテナと電気的に接続された状態で、前記第１及び第２のアンテナの間で電波を送受信することで前記ＤＵＴを試験する電子部品試験装置。
11. 第１のアンテナを有するＤＵＴが電気的に接続されるソケットと、
    前記ソケットが装着されたテストヘッドを備えるテスタと、
    前記ソケットが内部に配置された恒温槽と、
    前記恒温槽に隣接して配置された電波暗室と、
    前記電波暗室の内部に配置された第２のアンテナと、
    前記第１又は第２のアンテナから放射される電波が透過可能な第１の窓部材と、を備え、
    前記恒温槽は、前記恒温槽の壁面に形成された第１の開口を備え、
    前記電波暗室は、
    前記電波暗室の内壁に配置された電波吸収材と、
    前記第２のアンテナの電波の送受信方向に向かって開口する第２の開口と、を備え、
    前記恒温槽と前記電波暗室とは、前記第１の開口と前記第２の開口とが対向するように接続されており、
    前記第１の窓部材は、前記第１の開口を閉塞しており、
    前記ソケットは、
    前記ＤＵＴと電気的に接続される接触子を保持するソケット本体と、
    前記ソケット本体を覆い、前記ＤＵＴを前記ソケット本体に向かって押圧するソケットカバーと、を備え、
    前記ソケットカバーは、前記第１又は第２のアンテナから放射される電波を反射するリフレクタを有しており、
    前記リフレクタは、前記ソケット本体の主面に対して傾斜しており、
    前記テスタは、前記ＤＵＴが前記ソケットと電気的に接続されていると共に前記テスタが前記第２のアンテナと電気的に接続された状態で、前記第１及び第２のアンテナの間で電波を送受信することで前記ＤＵＴを試験する電子部品試験装置。
12. 請求項１１に記載の電子部品試験装置であって、
    前記第１の窓部材は、
    前記第１又は第２のアンテナから放射される電波が透過可能な一対の板状部材と、
    前記一対の板状部材の間に介在し、前記一対の板状部材の間に空間を形成するスペーサと、を備え、
    前記電子部品試験装置は、前記空間にドライエアを供給する供給装置を備えている電子部品試験装置。
13. 請求項１１又は１２に記載の電子部品試験装置であって、
    前記電子部品試験装置は、一対の板状部材のうち前記電波暗室側に配置された前記板状部材を加熱する加熱装置を備えている電子部品試験装置。
14. 第１のアンテナを有するＤＵＴと電気的に接続される接触子を保持するソケット本体と、
    前記ソケット本体を覆い、前記ＤＵＴを前記ソケット本体に押圧するソケットカバーと、を備え、
    前記ソケットカバーは、前記第１のアンテナから放射される電波を反射するリフレクタを有しており、
    前記リフレクタは、前記ソケット本体の主面に対して傾斜しているソケット。
15. 請求項１４に記載のソケットであって、
    前記リフレクタは、前記ソケット本体の主面の法線方向において前記第１のアンテナに対向するように、前記ソケットカバーに設けられているソケット。
16. 請求項１４又は１５に記載のソケットであって、
    前記ソケットカバーは、前記載置面に載置された前記ＤＵＴと当接する当接部を備え、
    前記リフレクタは、前記当接部に保持されているソケット。

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