JP2021096091A5 - - Google Patents
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Description
上記ようにして得られたデータは、調整量の算出に用いられる。図６（ｂ）に示すように、調整量の算出の際には、φ値に対応するωとχのオフセット値を算出する。まず、Ｐ１とＰ３の中心ω（φ）を以下の計算式（１）の通り計算する（ステップＳ４１）。
そして、計算式（２）を用いてφ軸からの試料の傾きαと方位βを計算する（ステップＳ４２）。
得られた傾きαと方位βは、制御装置４０に入力される。制御装置４０は、記憶部４５に記憶された計算式（３）を読み出し、計算式（２）を用いて算出されたαとβの値を代入した調整量の計算式を本測定に用いる調整量として記憶し（ステップＳ４３）、調整量算出の処理を終了する。なお、傾きαと方位βが予め用意されている場合は、ステップＳ２～ステップＳ４２を省略し、直接制御装置４０に傾きαと方位βを入力することに代用できる。
図７は、φ値に対するω値およびχ値の調整量を示すグラフである。図７は、α＝１、β＝０°としたときの計算式（３）をグラフで表したものである。ωとχは直交関係にあるため、図７に示すように、φ値の変化に対し、調整量Δχは調整量Δωから９０°だけ位相が遅れている。例えばφ軸に対して試料の面法線が傾いている場合、φ回転とロッキングカーブのピーク位置の関係はＳｉｎカーブで表現できる。
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