JP2021089991A - 半導体モジュールおよび電力変換装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また、本願に開示される電力変換装置は、本願に開示される半導体モジュールを有し、入力される電力を変換して出力する主変換回路と、前記主変換回路を制御する制御信号を前記主変換回路に出力する制御回路と、を備えたことを特徴とするものである。
以下、図面に基づいて実施の形態1について説明する。なお、各図面において、同一符号は同一あるいは相当部分を示す。
図1は、実施の形態1による半導体モジュールを示す回路図である。また図2は、実施の形態1による半導体モジュールの内部構成を示す平面レイアウト図である。図1および図2において、半導体モジュール203は、樹脂モールド103により保護されたリードフレーム102上に、回路を構成する電子部品一式、すなわちMOSFET101を搭載している。
実施の形態1による半導体モジュール203は、下側MOSFET101aの周囲に複数の配線部分106dを有する外部接続端子106が配置されている。複数の配線部分106dを有する外部接続端子106である下側MOSFETのソース電位端子106aは、第2の端子である。接続線であるワイヤーボンド105は、下側MOSFET101aの上面に形成されたソース面109から複数方向に延在する。そして、複数方向に延在したワイヤーボンド105は、外部接続端子106の複数の配線部分106dにそれぞれ接続される。これにより、通電経路の並列化を実現することができ、サージ電圧低減のための配線構造となる。複数のワイヤーボンド105は、下側MOSFET101aの異なる側端面から延出される。図2において、複数の配線部分106dを有する外部接続端子106は、上下アームにおいて、下アームの下側MOSFETの上面の電位端子であり、具体的には、前述したとおり下側MOSFETのソース電位端子106aである。半導体モジュール203において、複数の接続線であるワイヤーボンド105および複数の接続線とそれぞれ電流経路を形成する複数の配線部分106dは同一電位である。
図2において、半導体モジュール203は、半導体素子であるMOSFET101、複数の接続線であるワイヤーボンド105、リードフレーム102により形成された第1の端子および第2の端子等である複数の外部接続端子106を樹脂モールド103により封止して形成される。
また、樹脂モールド103の一端面に対向する他端面に配置された外部接続端子106は、例えば数百A程度通電する大電流用端子である。大電流用端子は第1の端子および第2の端子であり、図2においては紙面下側に設けられている。実施の形態1による半導体モジュール203では、空き領域107aは、下側MOSFETのソース電位端子106a側に設けられている。
図2では、小信号用端子106cと大電流用端子である外部接続端子106とは対向した辺に配置されているが、必ずしも対向させる必要はない。小信号用端子106cは、例えば、一端面に交差する樹脂モールド103の両側面に設けられてもよい。また、小信号用端子106cおよび大電流用端子である外部接続端子106はそれぞれ同一辺に設定される必要はない。大電流用端子である第1の端子、第2の端子は、第3の端子が設けられた樹脂モールド103の一端面以外の樹脂モールド103の他端面から外部に突出して形成されていればよい。
また、上側MOSFETのドレイン電位端子106bと下側MOSFETのソース電位端子106aを半導体モジュール203の同一辺に設定することは、工作性、および外部部品との接続においては有用である。
図3は、実施の形態2による半導体モジュールの内部構成を示す平面レイアウト図である。実施の形態2では、図3に示すように、複数の分岐された配線部分106dは、樹脂モールド103の実施の形態1において前述した他端面から外部へ突出する前に接続されている。また、配線部分106dの間には、空き領域107bが設けられている。実施の形態2による半導体モジュール203では、外部接続端子106として樹脂モールド103の外部に延出する前に配線部分106dを接続したことで、半導体モジュール203の外部での他部品との接合数の削減による、製造工程数の削減ができる。また、実施の形態2による半導体モジュール203では、半導体モジュール203の外部で分岐された配線部分106dを接続させる構造に対して、配線長を短くできる効果を有するため、さらに配線インダクタンスの低減が可能である。
図4は、実施の形態3による半導体モジュールを示す回路図である。図4においても、図1と同様に、樹脂モールド103により保護されたリードフレーム102上に、回路を構成する電子部品一式、すなわちMOSFET101を搭載している。
各部品は、さらにクリップリード104、ワイヤーボンド105の接続手段を介して、リードフレーム102と接続されている。リードフレーム102は、樹脂モールド103の外部接続端子106に引き出され、全体として降圧コンバータの1次側の回路が、1パッケージにまとめられたものとなっている。
また、下側MOSFETのソース電位端子106aとなるリードフレーム102を環状にすることでも通電経路の多並列化が実現でき、更なる配線インダクタンスの低減が可能となる。
実施の形態3においても、実施の形態1および実施の形態2と同様に、半導体素子である下側MOSFET101aは、第1の端子である外部接続端子106の搭載部に搭載されている。第2の端子である下側MOSFETのソース電位端子106aは、複数の配線部分106dと一体に形成された環状部分106eを有しており、空き領域107cは複数の配線部分106dの間に設けられている。具体的には、空き領域107cは、環状部分106eの内側に設けられている。なお、環状部分106eと複数の配線部分106dは、一体に形成されていてもよいし、分断されて形成された環状部分106eと複数の配線部分106dとをそれぞれ接続して形成してもよく、下側MOSFETのソース電位端子106aは、複数の配線部分106dと繋がって構成された環状部分106eを有していればよい。
複数の接続線であるワイヤーボンド105、ワイヤーボンド108およびそれらのワイヤーボンド105、ワイヤーボンド108とそれぞれ電流経路を形成する複数の配線部分106d、環状部分106eは同一電位である。つまり、半導体モジュール203の中央に配置された環状のリードフレーム102は、下側MOSFETのソース電位端子106aである。また、空き領域107cの一部に孔部205が形成されている。
図6に示すように、半導体モジュール203は、下側MOSFET101aを含む複数のMOSFET101によりHブリッジ回路が構成されている。第2の端子である下側MOSFETのソース電位端子106aは、リードフレーム102により形成されている。空き領域107cはリードフレーム102の中央に配置されており、複数のMOSFET101は、空き領域107cを中心として線対称に配置されている。
また、この場合も下側MOSFET101aからの接続線(ワイヤーボンド105およびワイヤーボンド108)の複数方向化と下側MOSFETのソース電位端子106aとなるリードフレーム102の環状化により、配線インダクタンスの低減が可能となる。
また、環状のリードフレーム102とMOSFET101が搭載されているリードフレーム102はそれぞれ並行平板になっており、配線インダクタンス低減の効果がある。
上側MOSFETのドレイン電位端子106bとなるリードフレーム102を繋ぐクリップリード104と環状のリードフレーム102も並行平板となっており、配線インダクタンス低減の効果がある。
環状のリードフレーム102は、円形、楕円形に限らず多角形でもよい。ワイヤーボンド108、クリップリード104はそれぞれいずれを選択した場合も効果はある。また、リボンでもよい。
実施の形態4は、上述した実施の形態1から実施の形態3にかかる半導体モジュールを電力変換装置に適用したものである。本願は特定の電力変換装置に限定されるものではないが、以下、実施の形態4として、三相のインバータに本願を適用した場合について説明する。
実施の形態4では、2レベルの三相インバータに本願を適用する例を説明したが、本願は、これに限られるものではなく、種々の電力変換装置に適用することができる。実施の形態4では、2レベルの電力変換装置としたが3レベルまたはマルチレベルの電力変換装置であっても構わないし、単相負荷に電力を供給する場合には単相のインバータに本願を適用しても構わない。また、直流負荷等に電力を供給する場合にはDC/DCコンバータまたはAC/DCコンバータに本願を適用することも可能である。
従って、例示されていない無数の変形例が、本願明細書に開示される技術の範囲内において想定される。例えば、少なくとも1つの構成要素を変形する場合、追加する場合または省略する場合、さらには、少なくとも1つの構成要素を抽出し、他の実施の形態の構成要素と組み合わせる場合が含まれるものとする。
また、本願に開示される半導体モジュールは、半導体素子と、前記半導体素子が搭載された第1の端子と、前記半導体素子の周囲に配置され、複数の配線部分を有する第2の端子と、前記半導体素子の上面から複数方向に延在し、前記第2の端子の前記複数の配線部分にそれぞれ接続された複数の接続線と、を備え、前記複数の配線部分の間には空き領域が設けられており、前記第2の端子は、前記複数の配線部分と接続された、または一体に形成された環状部分を有しており、前記空き領域は、前記環状部分の内側に設けられており、前記複数の接続線および前記複数の接続線とそれぞれ電流経路を形成する前記複数の配線部分、前記環状部分は同一電位であることを特徴とするものである。
また、本願に開示される電力変換装置は、本願に開示される半導体モジュールを有し、入力される電力を変換して出力する主変換回路と、前記主変換回路を制御する制御信号を前記主変換回路に出力する制御回路と、を備えたことを特徴とするものである。
Claims (10)
- 半導体素子と、
前記半導体素子が搭載された第1の端子と、
前記半導体素子の周囲に配置され、複数の配線部分を有する第2の端子と、
前記半導体素子の上面から複数方向に延在し、前記第2の端子の前記複数の配線部分にそれぞれ接続された複数の接続線と、を備え、
前記複数の配線部分の間には空き領域が設けられており、
前記複数の接続線および前記複数の接続線とそれぞれ電流経路を形成する前記複数の配線部分は同一電位であることを特徴とする半導体モジュール。 - 前記複数の接続線は、前記半導体素子の異なる側端面から延出されたことを特徴とする請求項1に記載の半導体モジュール。
- 前記半導体素子、前記第1の端子、前記第2の端子、および前記複数の接続線を封止する樹脂モールドと、
前記樹脂モールドの一端面から外部に突出して形成された第3の端子と、を有し、
前記第1の端子または前記第2の端子は、前記樹脂モールドの前記一端面以外の前記樹脂モールドの他端面から外部に突出して形成されており、
前記第1の端子または前記第2の端子に通電する電流は、前記第3の端子に通電する電流よりも大きく、
前記空き領域は、前記半導体素子の前記他端面の側に設けられたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体モジュール。 - 前記複数の配線部分は、前記樹脂モールドの前記他端面から外部へ突出する前に接続されたことを特徴とする請求項3に記載の半導体モジュール。
- 前記第2の端子は、前記半導体素子を含む複数の半導体素子を接続して構成された上下アームにおいて、下アームの前記半導体素子の前記上面の電位端子であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の半導体モジュール。
- 前記第2の端子は、前記複数の配線部分と接続された、または一体に形成された環状部分を有しており、
前記空き領域は、前記環状部分の内側に設けられており、
前記複数の接続線および前記複数の接続線とそれぞれ電流経路を形成する前記複数の配線部分、前記環状部分は同一電位であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体モジュール。 - 前記空き領域の一部に孔部が形成されたことを特徴とする請求項6に記載の半導体モジュール。
- 前記半導体素子を含む複数の半導体素子によりHブリッジ回路が構成されており、
前記第2の端子はリードフレームにより形成され、前記空き領域は前記リードフレームの中央に配置されており、
前記複数の半導体素子は、前記空き領域を中心として線対称に配置されたことを特徴とする請求項6または請求項7に記載の半導体モジュール。 - 前記空き領域の周囲の前記環状部分に、4本の電流経路を有することを特徴とする請求項8に記載の半導体モジュール。
- 請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の半導体モジュールを有し、
入力される電力を変換して出力する主変換回路と、
前記主変換回路を制御する制御信号を前記主変換回路に出力する制御回路と、を備えたことを特徴とする電力変換装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2023149030A1 (ja) * | 2022-02-03 | 2023-08-10 | ローム株式会社 | スイッチ装置及び電源装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7438021B2 (ja) * | 2020-05-19 | 2024-02-26 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007227763A (ja) * | 2006-02-24 | 2007-09-06 | Renesas Technology Corp | 半導体装置 |
JP2012074720A (ja) * | 2006-07-06 | 2012-04-12 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置 |
JP2013125806A (ja) * | 2011-12-14 | 2013-06-24 | Mitsubishi Electric Corp | 電力用半導体装置 |
JP2013183540A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-12 | Hitachi Automotive Systems Ltd | インバータ装置 |
JP2014225706A (ja) * | 2012-03-01 | 2014-12-04 | 三菱電機株式会社 | 電力用半導体モジュール及び電力変換装置 |
JP2015099843A (ja) * | 2013-11-19 | 2015-05-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体装置 |
WO2015121899A1 (ja) * | 2014-02-11 | 2015-08-20 | 三菱電機株式会社 | 電力用半導体モジュール |
JP2016072417A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
JP2016123259A (ja) * | 2014-12-25 | 2016-07-07 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
WO2018043535A1 (ja) * | 2016-09-02 | 2018-03-08 | ローム株式会社 | パワーモジュール、駆動回路付パワーモジュール、および産業機器、電気自動車またはハイブリッドカー |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5539254A (en) * | 1994-03-09 | 1996-07-23 | Delco Electronics Corp. | Substrate subassembly for a transistor switch module |
US8237260B2 (en) * | 2008-11-26 | 2012-08-07 | Infineon Technologies Ag | Power semiconductor module with segmented base plate |
US9325257B2 (en) * | 2012-06-01 | 2016-04-26 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Power semiconductor device to reduce voltage variation between terminals |
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007227763A (ja) * | 2006-02-24 | 2007-09-06 | Renesas Technology Corp | 半導体装置 |
JP2012074720A (ja) * | 2006-07-06 | 2012-04-12 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置 |
JP2013125806A (ja) * | 2011-12-14 | 2013-06-24 | Mitsubishi Electric Corp | 電力用半導体装置 |
JP2014225706A (ja) * | 2012-03-01 | 2014-12-04 | 三菱電機株式会社 | 電力用半導体モジュール及び電力変換装置 |
JP2013183540A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-12 | Hitachi Automotive Systems Ltd | インバータ装置 |
JP2015099843A (ja) * | 2013-11-19 | 2015-05-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体装置 |
WO2015121899A1 (ja) * | 2014-02-11 | 2015-08-20 | 三菱電機株式会社 | 電力用半導体モジュール |
JP2016072417A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
JP2016123259A (ja) * | 2014-12-25 | 2016-07-07 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
WO2018043535A1 (ja) * | 2016-09-02 | 2018-03-08 | ローム株式会社 | パワーモジュール、駆動回路付パワーモジュール、および産業機器、電気自動車またはハイブリッドカー |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023149030A1 (ja) * | 2022-02-03 | 2023-08-10 | ローム株式会社 | スイッチ装置及び電源装置 |
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