JP2021088997A

JP2021088997A - 流体圧アクチュエータ

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Publication number: JP2021088997A
Application number: JP2019218070A
Authority: JP
Inventors: 信吾大野; Shingo Ono
Original assignee: Bridgestone Corp
Current assignee: Bridgestone Corp
Priority date: 2019-12-02
Filing date: 2019-12-02
Publication date: 2021-06-10

Abstract

【課題】近傍の物体に接触するような環境で用いられる場合でも、十分な耐久性を有し得る流体圧アクチュエータを提供する。【解決手段】流体圧アクチュエータは、流体の圧力によって膨張及び収縮する円筒状のチューブ１１０と、所定方向に配向された繊維コード１２１を編み込んだ伸縮性を有する構造体であり、チューブ１１０の外周面を覆うスリーブ１２０とを備える。スリーブ１２０を構成する繊維コード１２１の表面は、弾性材料によって被覆されるとともに、隣接する繊維コード１２１間には、弾性材料が入り込んでいる。【選択図】図５

Description

本発明は、流体圧アクチュエータに関し、具体的には、いわゆるマッキベン型の流体圧アクチュエータに関する。

従来、気体または液体を用いてチューブを膨張及び収縮させる流体圧アクチュエータとして、空気圧によって膨張、収縮するゴム製のチューブと、チューブの外周面を覆うスリーブとを有する構造（いわゆるマッキベン型）が広く用いられている。

スリーブは、ポリアミド繊維などの高張力繊維を編み込んだ筒状の構造体であり、チューブの膨張運動を所定範囲に規制する（特許文献１参照）。

このような流体圧アクチュエータは、例えば、人工筋肉用として好適に用いられ、パワーアシスト装置などとして、人体に装着することができる。

国際公開第２０１７／０１０３０４号

しかしながら、上述したパワーアシスト装置など、流体圧アクチュエータが人体など、近傍の物体に接触するような環境で用いられる場合、次のような問題が懸念される。

例えば、糸状の繊維コードを編み込んだスリーブが、人体または着衣などに接触する機会が増えると、スリーブの編み目が崩れたり、繊維コードが引っ掛かったりし易い。また、スリーブが汚れやすい。このため、流体圧アクチュエータの耐久性に悪影響を与える可能性がある。

そこで、本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、近傍の物体に接触するような環境で用いられる場合でも、十分な耐久性を有し得る流体圧アクチュエータの提供を目的とする。

本発明の一態様は、流体の圧力によって膨張及び収縮する円筒状のチューブと、所定方向に配向された繊維コードを編み込んだ伸縮性を有する構造体であり、前記チューブの外周面を覆うスリーブとを備え、前記スリーブを構成する前記繊維コードの表面は、弾性材料によって被覆されるとともに、隣接する前記繊維コード間には、前記弾性材料が入り込んでいる流体圧アクチュエータである。

上述した流体圧アクチュエータによれば、流体圧アクチュエータが近傍の物体に接触するような環境で用いられる場合でも、十分な耐久性を有し得る。

図１は、流体圧アクチュエータ１０の側面図である。図２は、流体圧アクチュエータ１０の一部分解斜視図である。図３は、封止機構２００を含む流体圧アクチュエータ１０の軸方向Ｄ_ＡＸに沿った一部断面図である。図４は、アクチュエータ本体部１００の径方向Ｄ_Ｒに沿った断面図である。図５は、アクチュエータ本体部１００の一部展開斜視図である。図６は、アクチュエータ本体部１００の一部拡大断面図である。図７は、流体圧アクチュエータ１０の挙動の説明図である。図８は、変更例に係る流体圧アクチュエータ１０Ａの径方向Ｄ_Ｒに沿った断面図である。

以下、実施形態を図面に基づいて説明する。なお、同一の機能や構成には、同一または類似の符号を付して、その説明を適宜省略する。

（１）流体圧アクチュエータの全体概略構成
図１は、本実施形態に係る流体圧アクチュエータ１０の側面図である。図１に示すように、流体圧アクチュエータ１０は、アクチュエータ本体部１００、封止機構２００及び封止機構３００を備える。また、流体圧アクチュエータ１０の両端には、連結部２０がそれぞれ設けられる。

アクチュエータ本体部１００は、チューブ１１０とスリーブ１２０とによって構成される。アクチュエータ本体部１００には、接続口２１１ａを介して流体が流入する。

アクチュエータ本体部１００は、基本的な特性として、チューブ１１０内への流体の流入によって、アクチュエータ本体部１００の軸方向Ｄ_ＡＸにおいて収縮し、径方向Ｄ_Ｒにおいて膨張する。また、アクチュエータ本体部１００は、チューブ１１０から流体の流出によって、アクチュエータ本体部１００の軸方向Ｄ_ＡＸにおいて膨張し、径方向Ｄ_Ｒにおいて収縮する。このようなアクチュエータ本体部１００の形状変化によって、流体圧アクチュエータ１０は、アクチュエータとしての機能を発揮する。

このような流体圧アクチュエータ１０は、いわゆるマッキベン型であり、人工筋肉用として適用できることは勿論のこと、より高い能力（収縮力）が要求されるロボットの体肢（上肢や下肢など）用としても好適に用い得る。連結部２０には、当該体肢を構成する部材などが連結される。

本実施形態では、このような基本的な特性を有するマッキベン型の流体圧アクチュエータを用いつつ、軸方向Ｄ_ＡＸの圧縮を拘束する（規制すると呼んでもよい）拘束部材１５０（図１において不図示、図２，３など参照）を設けることによって、軸方向Ｄ_ＡＸに直交する直交方向、つまり、径方向Ｄ_Ｒに湾曲（カール）することができる。

流体圧アクチュエータ１０の駆動に用いられる流体は、空気などの気体、または水、鉱物油などの液体のどちらでもよいが、特に、流体圧アクチュエータ１０は、アクチュエータ本体部１００に高い圧力が掛かる油圧駆動にも耐え得る高い耐久性を有し得る。

封止機構２００及び封止機構３００は、軸方向Ｄ_ＡＸにおけるアクチュエータ本体部１００の両端部を封止する。具体的には、封止機構２００は、封止部材２１０及びかしめ部材２３０を含む。封止部材２１０は、アクチュエータ本体部１００の軸方向Ｄ_ＡＸの端部を封止する。また、かしめ部材２３０は、アクチュエータ本体部１００を封止部材２１０とともにかしめる。かしめ部材２３０の外周面には、治具によってかしめ部材２３０がかしめられた痕である圧痕２３１が形成される。

封止機構２００と封止機構３００との相違点は、接続口２１１ａが設けられているか否かである。

接続口２１１ａは、流体圧アクチュエータ１０の駆動圧力源、具体的には、気体や液体のコンプレッサと接続されたホース（管路）を取り付けられる。接続口２１１ａを介して流入した流体は、通過孔（不図示）を通過してアクチュエータ本体部１００の内部、具体的には、チューブ１１０の内部に流入する。

図２は、流体圧アクチュエータ１０の一部分解斜視図である。図２示すように、流体圧アクチュエータ１０は、アクチュエータ本体部１００及び封止機構２００を備える。

アクチュエータ本体部１００は、上述したように、チューブ１１０とスリーブ１２０とによって構成される。

チューブ１１０は、流体の圧力によって膨張及び収縮する円筒状の筒状体である。チューブ１１０は、流体による収縮及び膨張を繰り返すため、ブチルゴムなど弾性材料によって構成される。また、流体圧アクチュエータ１０を油圧駆動とする場合には、耐油性が高いＮＢＲ（ニトリルゴム）、または水素化ＮＢＲ、クロロプレンゴム、及びエピクロロヒドリンゴムからなる群より選択される少なくとも一種とすることが好ましい。

スリーブ１２０は、円筒状であり、チューブ１１０の外周面を覆う。スリーブ１２０は、所定方向に配向された繊維コードを編み込んだ伸縮性を有する構造体であり、配向されたコードが交差することによって菱形の形状が繰り返されている。スリーブ１２０は、このような形状を有することによって、パンタグラフ変形し、チューブ１１０の収縮及び膨張を規制しつつ追従する。

スリーブ１２０を構成するコードとしては、芳香族ポリアミド（アラミド繊維）やポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）の繊維コードを用いることが好ましい。但し、このような種類の繊維コードに限定されるものではなく、例えば、ＰＢＯ繊維（ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール）などの高強度繊維のコードでもよい。

また、スリーブ１２０を構成する繊維コードの表面は、弾性材料によって被覆されるとともに、隣接する繊維コード間には、当該弾性材料が入り込んでいる。なお、弾性材料の例については後述する。

チューブ１１０とスリーブ１２０との間には、拘束部材１５０が設けられる。

拘束部材１５０は、軸方向Ｄ_ＡＸには圧縮せず、径方向Ｄ_Ｒ（撓み方向と呼んでもよい）に沿ってのみ変形可能である。つまり、拘束部材１５０を含む流体圧アクチュエータ１０は、軸方向Ｄ_ＡＸに沿った圧縮に対して抵抗し、軸方向Ｄ_ＡＸに直交する直交方向（径方向Ｄ_Ｒ）に変形可能である。

換言すると、拘束部材１５０は、軸方向Ｄ_ＡＸに沿って変形し難く、径方向Ｄ_Ｒに沿って撓める特性を有している。なお、変形可能とは、湾曲、或いはカール可能と言い換えてもよい。

また、拘束部材１５０は、拘束部材１５０が設けられているチューブ１１０の外周上の位置において、径方向Ｄ_Ｒ外側へのチューブ１１０（及びスリーブ１２０）の膨張を拘束（規制）する機能も有している。

本実施形態では、拘束部材１５０は、スリーブ１２０の内側、具体的には、スリーブ１２０の径方向内側の空間において、軸方向Ｄ_ＡＸの一端側から他端側に亘って設けられる。また、本実施形態では、拘束部材１５０は、板バネ（ｌｅａｆｓｐｒｉｎｇ）を用いて形成される。

板バネの寸法は、流体圧アクチュエータ１０のサイズ、及び必要とされる発生力などに応じて選択されればよく、特に限定されない。また、板バネの材料についても特に限定されないが、典型的には、ステンレス鋼などの金属など、曲げ易く、圧縮に強い材料であればよい。例えば、拘束部材１５０は、炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ）の薄板などによって形成されてもよい。ＣＦＲＰは、金属に比べて塑性変形をし難いため、流体圧アクチュエータ１０が湾曲後、元の真っ直ぐな状態に戻りやすい。

封止機構２００は、アクチュエータ本体部１００の軸方向Ｄ_ＡＸにおける端部を封止する。封止機構２００は、封止部材２１０、係止リング２２０及びかしめ部材２３０によって構成される。

封止部材２１０は、管状のアクチュエータ本体部１００に挿通される。具体的には、封止部材２１０は、頭部２１１と胴体部２１２とを有し、胴体部２１２は、チューブ１１０に挿通される。

封止部材２１０としては、ステンレス鋼などの金属を好適に用い得るが、このような金属に限定されず、硬質プラスチック材料などを用いてもよい。

係止リング２２０は、封止部材２１０にスリーブ１２０を係止する。具体的には、スリーブ１２０は、係止リング２２０を介して径方向Ｄ_Ｒ外側に折り返される（図２において不図示、図３参照）。

係止リング２２０には、封止部材２１０と係合できるように一部が切り欠かれた切欠き部２２１が形成されている。係止リング２２０としては、封止部材２１０と同様の金属、硬質プラスチック材料などの材料や、自然繊維（自然繊維の糸）、ゴム（例えばＯリング）などの材料を用いることができる。

かしめ部材２３０は、アクチュエータ本体部１００を封止部材２１０とともにかしめる。具体的には、かしめ部材２３０は、アクチュエータ本体部１００の封止部材２１０が挿通された部分の外周面に設けられ、アクチュエータ本体部１００を封止部材２１０にかしめる。

かしめ部材２３０としては、アルミニウム合金、真鍮、及び鉄などの金属を用いることができる。かしめ用の治具によってかしめ部材２３０がかしめられると、かしめ部材２３０には、図１に示したような圧痕２３１が形成される。

（２）封止機構２００の構成
図３は、封止機構２００を含む流体圧アクチュエータ１０の軸方向Ｄ_ＡＸに沿った一部断面図である。

図３に示すように、チューブ１１０は、胴体部２１２に挿通される。また、スリーブ１２０は、係止リング２２０を介して径方向Ｄ_Ｒ外側に折り返されている。

スリーブ１２０の径方向Ｄ_Ｒ内側には、拘束部材１５０が設けられる。具体的には、拘束部材１５０は、チューブ１１０とスリーブ１２０との間に設けられる。

また、拘束部材１５０は、アクチュエータ本体部１００の周方向における一部に設けられる。つまり、拘束部材１５０は、チューブ１１０（及びスリーブ１２０）の周方向における一部のみに設けられる。

拘束部材１５０は、アクチュエータ本体部１００（つまり、チューブ１１０及びスリーブ１２０）の軸方向Ｄ_ＡＸにおける一端側から他端側に亘って設けられる。具体的には、拘束部材１５０は、封止機構２００から封止機構３００に亘って設けられてもよい。

但し、拘束部材１５０は、必ずしも完全に封止機構２００から封止機構３００に亘って設けられていなくてもよく、封止機構２００及び封止機構３００の何れか一方（特に、湾曲時に自由端となる可能性が高い封止機構３００側）には、拘束部材１５０が延在していなくてもよい。

かしめ部材２３０は、封止部材２１０の胴体部２１２の外径よりも大きく、胴体部２１２に挿通された上で治具によってかしめられる。かしめ部材２３０は、アクチュエータ本体部１００を封止部材２１０とともにかしめる。

具体的は、かしめ部材２３０は、胴体部２１２に挿通されたチューブ１１０、及びチューブ１１０の径方向Ｄ_Ｒ外側に位置するスリーブ１２０をかしめる。つまり、かしめ部材２３０は、チューブ１１０及びスリーブ１２０を封止部材２１０とともにかしめる。

（３）アクチュエータ本体部１００の構成
図４は、アクチュエータ本体部１００の径方向Ｄ_Ｒに沿った断面図である。図４に示すように、拘束部材１５０は、チューブ１１０とスリーブ１２０との間に設けられる。拘束部材１５０は、チューブ１１０及びスリーブ１２０と密着していてもよいし、拘束部材１５０と、チューブ１１０及び／またはスリーブ１２０との間、及び拘束部材１５０の側方には、多少隙間が形成されても構わない。

拘束部材１５０は、チューブ１１０の周方向における一部に設けられる。拘束部材１５０の幅は、特に限定されないが、チューブ１１０の外径と基準とすれば、概ね当該外径の半分程度としてよい。一例としては、チューブ１１０の外径１１ｍｍ、収縮するアクチュエータ本体部１００部分の長さ１８５ｍｍ、拘束部材１５０（板バネ）の幅６ｍｍ、厚さ０．５ｍｍ程度とすることができる。

なお、本実施形態では、拘束部材１５０は、平板状であるが、撓み方に影響がない範囲において、チューブ１１０及びスリーブ１２０の断面形状に沿って多少湾曲させてもよい。

図５は、アクチュエータ本体部１００の一部展開斜視図である。図６は、アクチュエータ本体部１００の一部拡大断面図である。

図５及び図６に示すように、アクチュエータ本体部１００は、チューブ１１０とスリーブ１２０とによって構成されている。

チューブ１１０は、上述したように、ブチルゴムなど弾性材料によって構成された筒状体（管状体）である。

スリーブ１２０は、チューブ１１０の外周面を覆うように設けられる。スリーブ１２０は、互いに交差するように配向された複数の繊維コード１２１を編み込んで形成される。

図５では、２本の繊維コード１２１をペアとして、互いに交差するように繊維コード１２１のペアが配向されているが、ペアとする繊維コード１２１の本数は、２本以外（モノフィラメントまたはマルチフィラメント）でも構わない。また、２本以上の場合は、繊維コード１２１を撚ったものでも構わない。

なお、繊維コード１２１の直径は、アクチュエータ本体部１００の動作を妨げないものであればよく、特に限定されない。

繊維コード１２１の表面は、弾性材料によって被覆されるとともに、隣接する繊維コード１２１間には、弾性材料が入り込んでいる。このような弾性材料によって、コーティング層１２２が形成される。このため、繊維コード１２１がアクチュエータ本体部１００の表面に露出することはない。

当該弾性材料としては、例えば、合成樹脂を用いて生成することができる。典型的には、シリコン樹脂、ウレタン樹脂などを主な原料として用いることができる。また、複数の樹脂が配合されたものでもよい。

なお、コーティング層１２２は、人体などを含む周囲の物体と接触する可能性があることを考慮すると、一定の柔らかさを有していることが好ましい。

例えば、弾性材料（コーティング層１２２）の弾性は、スリーブ１２０（繊維コード１２１）の弾性よりも低いことが好ましい。具体的には、コーティング層１２２の弾性率（引張弾性率）は、繊維コード１２１の弾性率よりも低いことが好ましい。また、このような弾性率であれば、コーティング層１２２を有するスリーブ１２０がアクチュエータ本体部１００の円滑な動作を妨げることもない。

なお、弾性材料の種類、または繊維コード１２１の材質にもよるが、スリーブ１２０、具体的には、繊維コード１２１は、コーティング層１２２を構成する弾性材料を含浸したような状態でもよい。コーティング層１２２は、アクチュエータ本体部１００を液体状の合成樹脂にディッピングして形成してもよいし、アクチュエータ本体部１００の外形に合わせた金型を用いて形成してもよい。

（４）流体圧アクチュエータ１０の挙動
図７は、流体圧アクチュエータ１０の挙動の説明図である。図７に示されている流体圧アクチュエータ１０は、封止機構２００側が固定されており、封止機構３００側は自由に移動できる状態である。つまり、封止機構２００側が固定端であり、封止機構３００側が自由端である。

上述したように、流体圧アクチュエータ１０の内部に流体が流入すると、軸方向Ｄ_ＡＸに収縮しようとするが、拘束部材１５０が設けられているため、軸方向Ｄ_ＡＸに沿った収縮が拘束（規制）される。

つまり、板バネなどの硬質な部材によって形成された拘束部材１５０が、背骨にような役割を果たし、拘束部材１５０が設けられているチューブ１１０及びスリーブ１２０の外周上の位置と反対側（図７における下側）において、径方向Ｄ_Ｒ外側に膨張することによって、軸方向Ｄ_ＡＸにおける流体圧アクチュエータ１０の寸法が短くなり、方向Ｄ１に沿って流体圧アクチュエータ１０（具体的には、アクチュエータ本体部１００）が撓む。なお、方向Ｄ１は、可撓方向と呼んでもよい。

拘束部材１５０は、ゴム製のチューブ１１０と、スリーブ１２０との間に設けられ、軸方向Ｄ_ＡＸにおける圧縮に対して抵抗し、に直交する直交方向（径方向Ｄ_Ｒ）に沿って変形できる部材であり、アクチュエータ本体部１００の周方向における一部に配置される。

つまり、アクチュエータ本体部１００への流体の流入（加圧）によって、アクチュエータ本体部１００（マッキベン）が軸方向Ｄ_ＡＸに沿って収縮しようとすると、拘束部材１５０の部分は圧縮剛性が高いため、拘束部材１５０が配置された部分は収縮することができない。一方、その他のアクチュエータ本体部１００の部分は収縮しようとするため、直交方向（径方向Ｄ_Ｒ）に沿った曲げ方向の力が発生し、拘束部材１５０を背面として湾曲する。

（５）作用・効果
上述した実施形態によれば、以下の作用効果が得られる。具体的には、スリーブ１２０を構成する繊維コード１２１の表面は、弾性材料のコーティング層１２２によって被覆されるとともに、隣接する繊維コード１２１間には、当該弾性材料が入り込んでいる。つまり、スリーブ１２０は、コーティング層１２２を構成する弾性材料を含浸したような状態となる。

このため、流体圧アクチュエータ１０が人体など、近傍の物体に接触するような環境で用いられる場合でも、スリーブ１２０の編み目が崩れたり、繊維コード１２１が引っ掛かったりすることがない。また、スリーブ１２０が汚れることもない。

すなわち、流体圧アクチュエータ１０によれば、近傍の物体に接触するような環境で用いられる場合でも、十分な耐久性を有し得る。

特に、本実施形態では、流体圧アクチュエータ１０は、ヒトの指のように方向Ｄ１に湾曲可能である。コーティング層１２２は、隣接する繊維コード１２１間にも入り込んでいるため、流体圧アクチュエータ１０が湾曲した場合でも、繊維コード１２１とコーティング層１２２とのずれが生じ難い。単にスリーブ１２０を被覆した状態だと、湾曲時に繊維コード１２１と被覆する部材との間に擦れなどが生じるため、好ましくない。

また、流体圧アクチュエータ１０を湾曲させて、対象物を繰り返し把持する場合でも、合成樹脂などによって形成されたコーティング層１２２によってスリーブ１２０が被覆されているため、スリーブ１２０の表面を衛生的に保つことができる。また、コーティング層１２２によってスリーブ１２０が被覆されているため、スリーブ１２０の糸くずやチューブ１１０から析出してくる配合物、チューブ１１０とスリーブ１２０との擦れによる摩滅により発生するパーティクルなどの環境への放出が抑制でき、クリーン環境での使用も可能である。

本実施形態では、コーティング層１２２を構成する弾性材料の弾性は、スリーブ１２０（繊維コード１２１）の弾性よりも低い。このため、アクチュエータ本体部１００の円滑な動作を妨げることがない。

（６）その他の実施形態
以上、実施形態に沿って本発明の内容を説明したが、本発明はこれらの記載に限定されるものではなく、種々の変形及び改良が可能であることは、当業者には自明である。

例えば、流体圧アクチュエータ１０は、人体への装着を考慮して、次のように変更してもよい。図８は、変更例に係る流体圧アクチュエータ１０Ａの径方向Ｄ_Ｒに沿った断面図である。

具体的には、図８は、流体圧アクチュエータ１０Ａの封止機構３００Ａの部分における径方向Ｄ_Ｒに沿った断面図である。図８に示すように、流体圧アクチュエータ１０Ａの封止機構３００Ａの断面形状は、円形状ではなく、封止機構３００Ａは、平坦な部分を有している。

具体的には、封止機構３００Ａは、一対の平面部３１１と、一対の平面部３１２とを有する。なお、平面部３１１及び平面部３１２の何れか一方は、必ずしも形成されていなくてもよい。また、一対の平面部３１１の何れか一方、及び／または一対の平面部３１２の何れか一方も、必ずしも形成されていなくてもよい。

このような形状を有する封止機構３００Ａを備える流体圧アクチュエータ１０Ａによれば、封止機構３００Ａが面接触することが可能となるため、流体圧アクチュエータ１０Ａを装着した人間が、流体圧アクチュエータ１０Ａと接触することによる違和感を覚えることを低減し得る。また、封止機構２００側も封止機構３００Ａと同様に、平面部を有してよい。

また、このように平面部３１１及び平面部３１２を形成することを目的として、封止機構の部分をかしめずに、別の方法で封止してもよい。

また、上述した実施形態では、流体圧アクチュエータ１０に拘束部材１５０が備えられていたが、拘束部材１５０は備えられなくてもよい。つまり、流体圧アクチュエータは、特に湾曲せずに、軸方向Ｄ_ＡＸに沿って収縮及び膨張する一般的な挙動を示すものでもよい。

上記のように、本発明の実施形態を記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。

１０，１０Ａ流体圧アクチュエータ
２０連結部
１００アクチュエータ本体部
１１０チューブ
１２０スリーブ
１２１繊維コード
１２２コーティング層
１５０拘束部材
２００封止機構
２１０封止部材
２１１頭部
２１１ａ接続口
２１２胴体部
２２０係止リング
２２１切欠き部
２３０かしめ部材
２３１圧痕
３００，３００Ａ封止機構
３１１，３１２平面部

Claims

流体の圧力によって膨張及び収縮する円筒状のチューブと、
所定方向に配向された繊維コードを編み込んだ伸縮性を有する構造体であり、前記チューブの外周面を覆うスリーブと
を備え、
前記スリーブを構成する前記繊維コードの表面は、弾性材料によって被覆されるとともに、隣接する前記繊維コード間には、前記弾性材料が入り込んでいる流体圧アクチュエータ。
前記弾性材料は、合成樹脂を用いて生成される請求項１に記載の流体圧アクチュエータ。
前記弾性材料の弾性は、前記スリーブの弾性よりも低い請求項１に記載の流体圧アクチュエータ。
前記流体圧アクチュエータは、前記チューブの軸方向に直交する直交方向に変形可能である請求項１乃至３の何れか一項に記載の流体圧アクチュエータ。