JP2021075309A - シリコン材料の輸送用袋及びシリコン材料の梱包体 - Google Patents

Abstract

【課題】バリア層にクラックが生じるのを抑制することのできる包装材料、シリコン材料の輸送用袋及びシリコン材料の梱包体を提供する。【解決手段】シリコン材料の輸送用袋に用いられる包装材料は、少なくとも第１の樹脂基材層と、バリア層と、第２の樹脂基材層と、シーラント層とをこの順で積層する積層体である。【選択図】図１Ａ

Description

本開示は、シリコン材料の輸送用袋及びシリコン材料の梱包体に関する。

半導体製品等の製造に用いられるシリコンウェハや、シリコンウェハの原材料であるポリシリコン等のシリコン材料等を梱包するために用いられる袋は、内容物であるシリコン材料を変質させ得る酸素や水蒸気等の透過を遮断可能なバリア機能を有する包装材料により構成される。このような包装材料として、酸化アルミニウムの蒸着層（バリア層）の一方側にポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を配置し、他方側に低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）やリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を配置したものが知られている（特許文献１参照）。

特開２００４−１４８６３３号公報

上記特許文献１に開示されている包装材料により構成される袋にシリコン材料を梱包する際、袋にシリコン材料を収容した後、袋内を脱気して真空包装する。真空包装された梱包体において、袋を構成する包装材料には所定の応力がかかっている。包装材料に応力がかかったときにおけるバリア層の一方側に位置するＰＥＴの歪みと他方側に位置するポリエチレン（ＬＤＰＥ，ＬＬＤＰＥ）の歪みとの間に差が生じ、この歪みの差にバリア層が追従することができずに当該バリア層にクラックが生じてしまうおそれがある。バリア層にクラックが生じてしまうと、酸素や水蒸気等の透過を遮断するバリア機能が低下してしまう。

また、シリコン材料が袋に梱包された梱包体が相対的に高温・高湿度の環境に曝された場合にも、バリア層の一方側に位置するＰＥＴとポリエチレン（ＬＤＰＥ，ＬＬＤＰＥ）との伸長率の違い等によってバリア層にクラックが生じてしまうおそれがある。

上記課題に鑑みて、本開示は、バリア層にクラックが生じるのを抑制することのできる包装材料、シリコン材料の輸送用袋及びシリコン材料の梱包体を提供することを一目的とする。

上記課題を解決するために、本開示の一実施形態として、シリコン材料の輸送用袋に用いられる包装材料であって、前記包装材料は、少なくとも第１の樹脂基材層と、バリア層と、第２の樹脂基材層と、シーラント層とをこの順で積層する積層体である包装材料が提供される。

前記第１の樹脂基材層を構成する樹脂材料及び前記第２の樹脂基材層を構成する樹脂材料が、ポリエステル樹脂又はポリアミド樹脂であってもよく、前記第２の樹脂基材層を構成する樹脂材料が、前記ポリエステル樹脂であってもよく、前記第１の樹脂基材層を構成する樹脂材料が、前記ポリエステル樹脂であってもよい。

前記第１の樹脂基材層を構成する樹脂材料と、前記第２の樹脂基材層を構成する樹脂材料とが同一であってもよく、前記第１の樹脂基材層と前記バリア層との間に位置する第１の樹脂層を有していてもよいし、前記バリア層と前記第２の樹脂基材層との間に位置する第１の樹脂層を有していてもよい。前記第１の樹脂層は、接着剤により形成されていてもよい。前記第１の樹脂層は、硬化剤を含んでいてもよいし、ウレタン樹脂を含んでいてもよく、前記第１の樹脂層の厚みは、１μｍ〜５μｍであってもよい。前記バリア層と前記シーラント層との間に第２の樹脂層を有していてもよく、前記第２の樹脂層は、ポリエチレンを含んでいてもよい。前記バリア層が透明性を有していてもよく、前記バリア層は、シリカ又はアルミナを含んでいてもよい。

本開示の一実施形態として、シリコン材料の輸送用袋であって、前記シリコン材料の輸送用袋は、上記包装材料により構成され、前記シーラント層が、前記シリコン材料の輸送用袋の内側に位置するシリコン材料の輸送用袋が提供される。

本開示の一実施形態として、上記シリコン材料の輸送用袋と、前記シリコン材料の輸送用袋内に収容されているシリコン材料とを備えるシリコン材料の梱包体が提供される。

本開示によれば、バリア層にクラックが生じるのを抑制することのできる包装材料、シリコン材料の輸送用袋及びシリコン材料の梱包体を提供することができる。

図１Ａは、本開示の一実施形態における包装材料の一態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。 図１Ｂは、本開示の一実施形態における包装材料の他の態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。 図１Ｃは、本開示の一実施形態における包装材料の他の態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。 図２は、本開示の一実施形態における包装材料の他の態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。 図３は、本開示の一実施形態におけるシーラントの一態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。 図４は、本開示の一実施形態におけるシーラントの他の態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。 図５は、本開示の一実施形態におけるシリコン材料の輸送用袋を広げた状態の概略構成を示す斜視図である。 図６は、本開示の一実施形態におけるシリコン材料の輸送用袋を閉じた状態の概略構成を示す斜視図である。 図７は、本開示の一実施形態におけるシリコン材料の梱包体の概略構成を示す斜視図である。 図８Ａは、試料１のＧＣ／ＭＳ分析結果を示すマススペクトルである。 図８Ｂは、試料２のＧＣ／ＭＳ分析結果を示すマススペクトルである。 図８Ｃは、試料３のＧＣ／ＭＳ分析結果を示すマススペクトルである。

本開示の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
本明細書に添付した図面においては、本開示の理解を容易にするために、各部の形状、縮尺、縦横の寸法比等を、実物から変更したり、誇張したりしている場合がある。本明細書等において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値のそれぞれを下限値及び上限値として含む範囲であることを意味する。本明細書等において、「フィルム」、「シート」、「板」等の用語は、呼称の相違に基づいて相互に区別されない。例えば、「板」は、「シート」、「フィルム」と一般に呼ばれ得るような部材をも含む概念である。

図１Ａに示すように、本実施形態に係る包装材料１は、シリコン材料の輸送用袋１０（図５及び図６参照）に用いられるものであって、第１の樹脂基材層２１及び第２の樹脂基材層２２を有する樹脂基材層２と、第１の樹脂基材層２１及び第２の樹脂基材層２２の間に位置するバリア層３と、第２の樹脂基材層２２におけるバリア層３の反対側に樹脂層４を介して位置するシーラント層５とを有する積層体である。包装材料１により構成されるシリコン材料の輸送用袋１０において、シーラント層５が内側に位置し、第１の樹脂基材層２１が外側に位置している。

第１の樹脂基材層２１及び第２の樹脂基材層２２は、いずれも、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル系樹脂材料等により構成され、１種の樹脂材料の単層体であってもよいし、２種以上の樹脂材料の積層体であってもよい。

第１の樹脂基材層２１及び第２の樹脂基材層２２は、いずれも、ナイロン（Ｎｙ，登録商標）等のポリアミド系樹脂材料等を含んでいてもよいが、少なくとも第２の樹脂基材層２２は当該ポリアミド系樹脂材料を含んでいない方が好ましく、第１の樹脂基材層２１及び第２の樹脂基材層２２の両者が当該ポリアミド系樹脂材料を含んでいないのが特に好ましい。ポリアミド系樹脂材料の残存モノマーであるカプロラクタムは、梱包体６０（図７参照）の内容物であるシリコン材料６２を汚染させる原因物質となり得るが、輸送用袋１０が第１の樹脂基材層２１の内側に位置するバリア層３を有することで、当該カプロラクタムによりシリコン材料６２を汚染させてしまう可能性を低減することができる。この点、第２の樹脂基材層２２がポリアミド系樹脂材料を含んでいなくても、第１の樹脂基材層２１がポリアミド系樹脂材料を含んでいると、輸送用袋１０の開封時に、第１の樹脂基材層２１に含まれ得るカプロラクタムによるシリコン材料６２の汚染が生じるおそれを否定することはできないが、第１の樹脂基材層２１がポリアミド系樹脂材料を含んでいないことで、内容物であるシリコン材料６２を汚染させてしまう可能性をさらに低減することができる。

第１の樹脂基材層２１を構成する樹脂材料と第２の樹脂基材層２２を構成する樹脂材料とは、互いに同一の樹脂材料であってもよいし、互いに異なる樹脂材料であってもよいが、互いに同一の樹脂材料であるのが好ましい。本実施形態に係る包装材料１により構成されるシリコン材料の輸送用袋１０にシリコン材料６２を梱包する際、当該輸送用袋１０にシリコン材料６２を収容した後、輸送用袋１０内を脱気して真空包装する。真空包装された梱包体６０において、輸送用袋１０を構成する包装材料１には所定の応力がかかる。包装材料１に応力がかかったときにおけるバリア層３の一方側に位置する第１の樹脂基材層２１の歪みと他方側に位置する第２の樹脂基材層２２の歪みとの間に大きな差が生じてしまうと、この歪みの差にバリア層３が追従することができずに当該バリア層３にクラックが生じてしまうおそれがある。バリア層３にクラックが生じてしまうと、酸素や水蒸気等の透過を遮断するバリア機能が低下してしまい、内容物であるシリコン材料６２を汚染させてしまうおそれがある。本実施形態においては、バリア層３の両面側に第１の樹脂基材層２１と第２の樹脂基材層２２とが位置していることで、包装材料１に所定の応力がかかったときであっても、第１の樹脂基材層２１と第２の樹脂基材層２２との間に大きな歪みの差が生じ難く、バリア層３にクラックが生じてしまうのを抑制することができる。バリア層３にクラックが生じてしまうのをより効果的に抑制するために、第１の樹脂基材層２１を構成する樹脂材料と第２の樹脂基材層２２を構成する樹脂材料とが互いに異なるものであったとしても、両者の樹脂材料の押込弾性率の差が小さいのが好ましく、両者の樹脂材料が互いに同一であるのが特に好ましい。なお、両者の樹脂材料が互いに異なる場合、両者の樹脂材料の押込弾性率の差は、１０００ＭＰａ以内であるのが好ましく、８００ＭＰａ以内であるのが特に好ましい。

また、本実施形態のように、バリア層３の両面に樹脂基材層２（第１の樹脂基材層２１及び第２の樹脂基材層２２）が設けられていることで、包装材料１の強度を相対的に向上させることができる。包装材料１の強度が向上することで、シリコン材料の輸送用袋１０が破れ難くなったり、シリコン材料の輸送用袋１０にシリコン材料５２を梱包するときの作業性が良好になったりするという効果が奏され得る。

第１の樹脂基材層２１及び第２の樹脂基材層２２の押込弾性率は、それぞれ１５００ＭＰａ〜３５００ＭＰａであればよく、１８００ＭＰａ〜３３００ＭＰａであるのが好ましい。包装材料１の厚さにもよるが、当該押込弾性率が１５００ＭＰａ未満であると、シリコン材料の輸送用袋１０の強度が相対的に低下しやすくなって当該輸送用袋１０が破損する可能性が高くなり、３５００ＭＰａを超えると、シリコン材料の輸送用袋１０の剛性が相対的に大きくなりやすくなって、当該輸送用袋１０にシリコン材料を梱包する際の作業性が低下する可能性が高くなる。

第１の樹脂基材層２１及び第２の樹脂基材層２２の厚さは、それぞれ、例えば、６μｍ〜４０μｍであればよく、１０μｍ〜３０μｍであるのが好ましい。第１の樹脂基材層２１及び第２の樹脂基材層２２の押込弾性率にもよるが、当該厚さが６μｍ未満であると、シリコン材料の輸送用袋１０の強度が相対的に低下しやすくなって当該輸送用袋１０が破損する可能性が高くなり、４０μｍを超えると、シリコン材料の輸送用袋１０の剛性が相対的に大きくなりやすくなって、当該輸送用袋１０にシリコン材料を梱包する際の作業性が低下する可能性が高くなる。このように、シリコン材料の輸送用袋１０の強度や当該輸送用袋１０へのシリコン材料の梱包作業性の観点から、包装材料１を構成する第１の樹脂基材層２１及び第２の樹脂基材層２２の押込弾性率と厚さとを適切な範囲に設定することが重要となる。例えば、押込み弾性率が相対的に小さい場合には、厚さを相対的に厚くし、押込弾性率が相対的に大きい場合には、厚さを相対的に薄くすることで、シリコン材料の輸送用袋１０の強度や当該輸送用袋１０へのシリコン材料の梱包作業性を良好にすることができる。一方で、所定の剛性を有する、例えばシーラント層５よりも押込弾性率の大きい第１の樹脂基材層２１及び第２の樹脂基材層２２によってバリア層３が挟まれていることで、バリア層３がダメージを受けることを抑制することができる。したがって、シリコン材料の輸送用袋１０の強度や当該輸送用袋１０へのシリコン材料の梱包作業性とともに、バリア層３の保護性等の観点から、第１の樹脂基材層２１及び第２の樹脂基材層２２の押込弾性率及び厚さを適切な範囲に設定するのが好ましい。

第１の樹脂基材層２１とシーラント層５との間に、樹脂層４が設けられていてもよい。樹脂層４は、第１の樹脂基材層２１とバリア層３との間に設けられることができる。また、樹脂層４は、バリア層３と第２の樹脂基材層２２との間に設けられることができる。また、樹脂層４は、第２の樹脂基材層２２とシーラント層５との間に設けられることができる。なお、複数の樹脂層４が、第１の樹脂基材層２１とシーラント層５との間に設けられることができる。複数の樹脂層４は、バリア層３よりも外側に設けられていてもよいし、バリア層３よりも内側に設けられていてもよい。また、バリア層３よりも外側及び内側に、樹脂層４が少なくとも１層ずつ設けられていてもよい。樹脂層４は、ポリエチレン（ＰＥ）等のポリオレフィンの押出ラミネートにより形成されていてもよいし、第２の樹脂基材層２２とシーラント層５とを接着する接着剤により形成されていてもよい。接着剤としては、例えば、２液型ウレタン樹脂接着剤等が挙げられる。２液型ウレタン樹脂接着剤としては、例えば、主剤（ロックペイント社製、Ｒｕ７７ｔ）と硬化剤（ロックペイント社製、Ｈ−７）とを混合した２液型ウレタン樹脂接着剤を用いることができる。

樹脂層４が接着剤により形成されている場合、接着剤により形成された樹脂層４（以下、「接着剤層」ともいう場合がある。）は、第１の樹脂基材層２１とバリア層３との間に設けられていることが好ましい。図１Ｂ及び図１Ｃに示すように、例えば、包装材料１としては、第１の樹脂基材層２１、樹脂層４（接着剤層）、バリア層３、第２の樹脂基材層２２、シーラント層５をこの順に積層した積層体や、第１の樹脂基材層２１、第１の樹脂層４１（接着剤層）、バリア層３、第２の樹脂基材層２２、第２の樹脂層４２、シーラント層５をこの順に積層した積層体等が挙げられる。このような構成の包装材料１を用いてシリコン材料の輸送用袋１０を作製した際に、バリア層３よりも輸送用袋１０の外側に樹脂層４（接着剤層）が配置されるため、樹脂層４（接着剤層）に含まれる有機成分が輸送用袋１０の内部に移動することを抑えることができる。これにより、当該輸送用袋１０にシリコン材料を収容したときには、輸送用袋１０内のシリコン材料の劣化が生じるのを抑制することができる。なお、樹脂層４（接着剤層）から移動可能な有機成分としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸等の未反応のモノマー等が挙げられる。接着剤により形成された樹脂層４（接着剤層）の厚みは、例えば、１μｍ〜５μｍ程度であればよく、２μｍ〜４μｍ程度であるのが好ましい。接着剤により形成された樹脂層４（接着剤層）の厚みが１μｍよりも薄いと、十分な接着強度を得ることができないおそれがある。一方、接着剤により形成された樹脂層４（接着剤層）の厚みが５μｍよりも厚いと、硬化反応に時間を要することで、未反応物や残留溶剤等が樹脂層４により多く含まれてしまうおそれがある。なお、押出ラミネートにより形成された樹脂層４の厚みは、例えば、１０μｍ以上程度であればよい。

包装材料１の層構成としては、以下の具体例を挙げることができる。
〔第１の樹脂基材層２１／樹脂層４／バリア層３／第２の樹脂基材層２２／樹脂層４／シーラント層５の層構成の具体例〕
・ＰＥＴ／接着剤層／ＡｌＯ_Ｘ／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ＰＥＴ／接着剤層／ＳｉＯ_Ｘ／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／接着剤層／ＡｌＯ_Ｘ／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／接着剤層／ＳｉＯ_Ｘ／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／接着剤層／ＡｌＯ_Ｘ／ナイロン／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／接着剤層／ＳｉＯ_Ｘ／ナイロン／ＰＥ／シーラント層
〔第１の樹脂基材層２１／バリア層３／樹脂層４／第２の樹脂基材層２２／樹脂層４／シーラント層５の層構成の具体例〕
・ＰＥＴ／ＡｌＯ_Ｘ／接着剤層／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ＰＥＴ／ＳｉＯ_Ｘ／接着剤層／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／ＡｌＯ_Ｘ／接着剤層／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／ＳｉＯ_Ｘ／接着剤層／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／ＡｌＯ_Ｘ／接着剤層／ナイロン／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／ＳｉＯ_Ｘ／接着剤層／ナイロン／ＰＥ／シーラント層
なお、上記層構成の具体例において、「シーラント層」としては、後述する試料１、試料２及び試料３等が挙げられる。上記層構成の具体例において、「ＡｌＯ_Ｘ」はアルミナの蒸着膜であり、「ＳｉＯ_Ｘ」はシリカの蒸着膜である。上記層構成の具体例において、「ＰＥＴ」はポリエチレンテレフタレート層であり、「ナイロン」はナイロン層であり、「ＰＥ」はポリエチレン層である。

なお、「バリア層よりも内側」とは、包装材料１を用いてシリコン材料の輸送用袋１０を作製したしたとき、包装材料１のバリア層３よりも輸送用袋１０の内側に位置することを意味する。一方、「バリア層よりも外側」とは、包装材料１を用いてシリコン材料の輸送用袋１０を作製したとき、包装材料１のバリア層３よりも輸送用袋１０の外側に位置することを意味する。

シーラント層５は、第１面５Ａ及びそれに対向する第２面５Ｂを有する。包装材料１において、シーラント層５の第２面５Ｂが第２の樹脂基材層２２側に位置する。シーラント層５は、第１面５Ａ側に位置する第１表面層５１と、第２面５Ｂ側に位置する第２表面層５２と、第１表面層５１及び第２表面層５２の間に挟まれている中間層５３とを有する積層構造体であってもよいし（図３参照）、第１面５Ａ及び第２面５Ｂを有する単層構造体であってもよい（図４参照）。

シーラント層５は、熱融着可能な樹脂成分を含んでいればよく、例えば、ポリオレフィン、環状ポリオレフィン、カルボン酸変性ポリオレフィン、カルボン酸変性環状ポリオレフィン等を含んでいればよい。

ポリオレフィンとしては、例えば、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）等のポリエチレン；ホモポリプロピレン、ポリプロピレンのブロックコポリマー（例えば、プロピレンとエチレンとのブロックコポリマー等）、ポリプロピレンのランダムコポリマー（例えば、プロピレンとエチレンとのランダムコポリマー等）等のポリプロピレン；エチレン−ブテン−プロピレンのターポリマー；等が挙げられる。

環状ポリオレフィンは、オレフィンと環状モノマーとの共重合体であり、環状ポリオレフィンの構成モノマーであるオレフィンとしては、例えば、エチレン、プロピレン、４−メチル−１−ペンテン、スチレン、ブタジエン、イソプレン等が挙げられる。また、環状ポリオレフィンの構成モノマーである環状モノマーとしては、例えば、ノルボルネン等の環状アルケン；具体的には、シクロペンタジエン、ジシクロペンタジエン、シクロヘキサジエン、ノルボルナジエン等の環状ジエン等が挙げられる。

カルボン酸変性ポリオレフィンとは、ポリオレフィンをカルボン酸でブロック重合又はグラフト重合することにより変性したポリマーである。変性に使用されるカルボン酸としては、例えば、マレイン酸、アクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、無水マレイン酸、無水イタコン酸等が挙げられる。

カルボン酸変性環状ポリオレフィンとは、環状ポリオレフィンを構成するモノマーの一部を、α，β−不飽和カルボン酸又はその無水物に代えて共重合することにより、あるいは環状ポリオレフィンに対してα，β−不飽和カルボン酸又はその無水物をブロック重合又はグラフト重合することにより得られるポリマーである。

シーラント層５の第１面５Ａ側に位置する第１表面層５１は、スリップ剤が実質的に添加されていない低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含む層であってもよく、第２面５Ｂ側に位置する第２表面層５２は、第１表面層５１と同様に、例えば、スリップ剤が実質的に添加されていない低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含む層であってもよく、第１表面層５１と第２表面層５２との間に挟まれている中間層５３は、例えば、スリップ剤が実質的に添加されていないリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を含む層であってもよい。なお、本実施形態において「スリップ剤が実質的に添加されていない」とは、スリップ剤としてシーラントの表面の滑り性を実際に向上させる成分がシーラントの表面の滑り性に実際に影響を与える目的でシーラントの表面の滑り性に実際に影響を与える量を超えて添加されていないことを意味する。スリップ剤としては、例えば、炭酸カルシウムまたはタルクなどの粒子や、シリコーン樹脂または四級アンモニウム塩化合物などの界面活性剤が挙げられる。

シーラント層５は、輸送用袋１０の最内層に位置するため、シーラント層５に由来する揮発成分（シーラント層５由来のアウトガス成分等）が内容物であるポリシリコンやシリコンウェハ等のシリコン材料に付着してしまうと、当該シリコン材料を用いて製造される半導体装置等において欠陥を生じさせてしまうおそれがある。そのため、シーラント層５に由来する揮発成分は、可能な限り少ないのが望ましい。シーラント層５に由来する揮発成分を低減させるためには、シーラント層５の厚みＴ５を可能な限り薄くするのが望ましい。シーラント層５の厚みＴ５が相対的に薄いことで、シーラント層５に由来する揮発成分がフィルム外部へ放出されるため、シーラント層５に由来する揮発成分を低減させることができる。一方で、シーラント層５の厚みＴ５を薄くし過ぎると、引張強度等の機械的特性に対する耐性が低くなってしまい、内容物を梱包する袋として機能が低下するおそれがある。この点、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）に比べ、伸縮性が高く、折り曲げに対する耐性が高いため、シーラント層５としてリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を用いることで、シーラント層５の厚みＴ５を相対的に薄くすることができる。

また、輸送用袋１０に樹脂ケース６１を収容した後、当該輸送用袋１０から脱気して梱包されるため、当該輸送用袋１０を構成する包装材料１に含まれるシーラント層５には、良好な追従性が求められる。この点においても、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）は相対的に高い伸縮性を有するため、当該リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）が用いられることで、シーラント層５の追従性を良好にすることができる。

シーラント層がリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の単層で構成されれば、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の単層で構成されるシーラント層の押込弾性率を１５０ＭＰａ〜６００ＭＰａ程度に調整することができるため、シーラント層の厚みを薄くすることができると考えられる。また、シーラント層の追従性を良好にすることを考慮しても、シーラント層がリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の単層で構成されるのは好ましいということができる。しかし、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の重合時の圧力は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）の重合時の圧力よりも低いために、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）においては、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）に比べて低分子成分が揮発しやすい。そのため、シーラント層がリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の単層で構成されていると、シーラント層の厚みを薄くすることができたとしても、シーラント層に由来する揮発成分によってシリコン材料が汚染されてしまうおそれがあると考えられる。また、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）よりも滑り性が低くなる傾向があるため、シーラント層がリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の単層で構成されていると、シーラント層の表面の滑り性が低くなるおそれがあると考えられる。輸送用袋１０に用いられるシーラント層５は、異物になるおそれがあるスリップ剤は実質的に添加されないことが好ましいため、スリップ剤の使用以外の手段で滑り性を向上させることが好ましい。本実施形態においては、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を含む中間層５３が、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含む第１表面層５１及び第２表面層５２により挟まれていてもよい。そのため、輸送用袋１０のシーラント層５においては、その厚みＴ５を相対的に薄くすることができ、追従性や滑り性も良好であり、また中間層５３に含まれるリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）から低分子成分が揮発するのを防止することができる。

単層構造体のシーラント層５（図４参照）は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）とリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）とを含んでいてもよい。このシーラント層５において、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）とリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）との配合比が、５０：５０〜７０：３０程度であればよい。このように、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）の配合量がリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の配合量よりも多いことで、シーラント層５の第１面５Ａ側において低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）の存在量を多くすることができるとともに、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）によりシーラント層５の厚みＴ５を薄くするという効果、すなわち低分子成分が揮発するのを防止するという効果が奏される。なお、シーラント層５の厚み方向で見たときに、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）とリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）とが実質的に均一に存在していてもよいし、第１面５Ａ側及び第２面５Ｂ側に低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）が偏在していてもよい。

シーラント層５の厚みＴ５は、包装材料１により構成される輸送用袋１０の厚さ等に応じて適宜設定され得るものであるが、例えば、３５μｍ〜６０μｍ程度であればよい。

図３に示す態様において、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含む第１表面層５１及び低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含む第２表面層５２が中間層５３を挟んで配置されていることで、シーラント層５の一方面側の内部応力と他方面側の内部応力とがある程度相殺され、シーラント層５がカールすることを抑制できる。また、図３に示す態様において第１表面層５１及び第２表面層５２のそれぞれの厚みＴ５１，Ｔ５２は、いずれも中間層５３の厚みＴ５３よりも薄い。第１表面層５１及び第２表面層５２のそれぞれの厚みＴ５１，Ｔ５２が中間層５３の厚みＴ５３よりも薄く構成されていることで、シーラント層５に所定の追従性が付与され得る。第１表面層５１の厚みＴ５１と中間層５３の厚みＴ５３との比は、１：１〜１０程度であればよく、１：２〜３程度であるのが好ましい。当該厚みの比が上記範囲であることで、中間層５３に含まれる低密度リニアポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）による十分な追従性がシーラント層５に付与され、シーラント層５の押込弾性率を３００ＭＰａ〜５００ＭＰａの範囲とすることができる。なお、押込弾性率は、微小硬さ試験機（製品名「ピコデンター（ＰＩＣＯＤＥＮＴＯＲ） ＨＭ５００」、フィッシャー・インスツルメント社製）により測定され得る。

シーラントのシール強度は、ヒートシール時のシール温度、シール圧力、シール時間等によりコントロール可能であることが知られている。一般に、シール温度が高くなるほどに、シール強度が向上する傾向を有するが、シール温度が高すぎると、必要以上にシーラントが溶融してしまい、却ってシール強度を低下させてしまうおそれがある。本実施形態においては、シール温度１５０℃、シール圧力０．１ＭＰａ、シール時間１秒のヒートシール条件下で、シーラント層５の第１面５Ａ同士をシールしたときのシール強度が、３０Ｎ／１５ｍｍ以上であればよく、５０Ｎ／１５ｍｍ以上６０Ｎ／１５ｍｍ未満であるのが好ましい。当該シール強度が３０Ｎ／１５ｍｍ未満であると、シーラント層５を有する包装材料１により構成される輸送用袋１０に包装されたシリコン材料の梱包体６０の輸送途中に、当該シリコン材料の輸送用袋１０のヒートシール部（例えば上面ヒートシール部ＨＳＴ１等（図７参照））が剥離してしまうおそれがある。

上述したように、シーラント層５の厚みＴ５を相対的に薄くする観点から、シーラント層５の構成材料としてリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を使用するのが好適であると考えられる。しかしながら、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）により構成されるシーラント層においては、所定のシール強度を得るために必要なシール温度が相対的に高くなってしまう。この点、本実施形態においては、シーラント層５の第１表面層５１が低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含むことで、所定のシール強度を得るために必要なシール温度を相対的に低下させることができる。

本実施形態におけるシーラント層５のヘイズは、２５％以下であればよく、２０％以下であるのが好ましい。シーラント層５のヘイズが２０％以下であることで、輸送用袋１０の内部の視認性を良好にすることができる。また、シリコン材料をシリコン材料の輸送用袋１０に包装する前に、シーラント層５の第１面５Ａに異物が付着しているか否かを確認することができ、シリコン材料の汚染を未然に防止することもできる。なお、シーラント層５のヘイズは、例えば、ヘイズメーター（製品名：ＨＭ−１５０，村上色彩研究所社製）を用いて、ＪＩＳ−Ｋ７１３６に準拠して測定され得る。

上述した構成を有するシーラント層５は、従来公知のフィルム成膜法を用いて製造され得る。例えば、図３に示す構成を有するシーラント層５は、ダイコート法、インフレーション法等の塗工法等を用いて、第２表面層５２、中間層５３及び第１表面層５１を積層形成することで製造され得る。図４に示す構成を有するシーラント層５も同様に、上記塗工法、押出インフレーション法等を用いて製造され得る。

本実施形態におけるバリア層３は、例えば、シリカ又はアルミナ等の無機酸化物等を、例えばＰＥＴ層等に蒸着させた蒸着膜等であればよい。包装材料１がバリア層３を有することで、内容物であるシリコン材料６２の表面を汚染するガス等が、輸送用袋１０の外部から内部に侵入するのを抑制することができる。バリア層３は、第１の樹脂基材層２１や第２の樹脂基材層２２にアルミニウム等の金属を蒸着させてなる金属蒸着膜や、アルミニウム等の金属箔等であってもよい。バリア層３がこれらの金属蒸着膜や金属箔である場合、輸送用袋１０において透明性が確保されないが、輸送用袋１０にバリア性の他、光遮蔽性をも付与することができる。また、この態様において、シーラント層３が所定の透明性を有することで、輸送用袋１０におけるシーラント層５の第１面５Ａに異物が付着しているか否かを、より容易に確認することができる。

上述したように、シーラント層５は、シリコン材料の輸送用袋１０（図５及び図６参照）にシリコン材料が包装されたときに、当該輸送用袋１０内部を視認可能な程度の透明性を有する。そのため、当該シーラント層５を有する包装材料１においても、同様に、輸送用袋１０の内部を視認可能な程度の透明性を有しているのが望ましい。そのような観点から、本実施形態に係る包装材料１のヘイズは、例えば、３０％以下であればよく、２５％以下であるのが好ましい。包装材料１のヘイズが３０％を超えると、包装材料１から製造される輸送用袋１０の内部の視認性が悪化してしまったり、輸送用袋１０におけるシーラント層５の第１面５Ａに異物が付着しているか否かの確認が困難になったりするおそれがある。なお、包装材料１のヘイズは、例えば、ヘイズメーター（製品名：ＨＭ−１５０，村上色彩研究所社製）を用いて、ＪＩＳ−Ｋ７１３６に準拠して測定され得る。

ここで、第１表面層５１の構成材料として低密度ポリエチレン（スリップ剤が実質的に添加されていないＬＤＰＥ，宇部丸善ポリエチレン社製，製品名：ＵＢＥポリエチレンＢ１２８）を用い、中間層５３の構成材料として低密度ポリエチレン（スリップ剤が実質的に添加されていないＬＤＰＥ，宇部丸善ポリエチレン社製，製品名：ＵＢＥポリエチレンＢ１２８）及びリニア低密度ポリエチレン（スリップ剤が実質的に添加されていないＬＬＤＰＥ，プライムポリマー社製，製品名：ウルトゼックス３５００ＺＡ）の溶融混合物（配合比＝１：１（質量基準））を用い、第２表面層５２の構成材料として低密度ポリエチレン（スリップ剤が実質的に添加されていないＬＤＰＥ，宇部丸善ポリエチレン社製，製品名：ＵＢＥポリエチレンＢ１２８）を用い、多層共押出インフレーション成膜法により、図３に示す構成を有するシーラント層５（第１表面層５１（膜厚：８μｍ）、中間層５３（膜厚：２４μｍ）、第２表面層５２（膜厚：８μｍ））を作製した（試料１）。

また、低密度ポリエチレン（スリップ剤が実質的に添加されていないＬＤＰＥ，宇部丸善ポリエチレン社製，製品名：ＵＢＥポリエチレンＢ１２８）のペレット及びリニア低密度ポリエチレン（スリップ剤が実質的に添加されていないＬＬＤＰＥ，プライムポリマー社製，製品名：ウルトゼックス３５００ＺＡ）のペレットを配合比７：３（質量基準）で溶融混合し、インフレーション成膜法により、図４に示す構成を有するシーラント層５（厚み：４０μｍ）を作製した（試料２）。

さらに、無添加リニア低密度ポリエチレン（無添加ＬＬＤＰＥ，タマポリ社製，製品名：ＮＢ−１）からなるシーラント層（厚み：５０μｍ）を準備した（試料３）。

上記試料１〜３のシーラント層を１００ｍｍ×２５ｍｍに切り出した切片をエタノールに６０℃で１週間浸漬させた後、当該切片からの揮発成分を、下記条件のＧＣ／ＭＳにて分析し、マススペクトルを得た。得られたマススペクトルを図８Ａ〜図８Ｃに示す。

＜ＧＣ／ＭＳ条件＞
・ガスクロマトグラフ：ＧＣＭＳ−ＱＰ２０１０（島津製作所社製）
・カラム：６７０−１５００３−０３(長さ：３０ｍｍ，内径：０．２５ｍｍ，島津製作所社製）
・カラムオーブン温度：５０℃
・注入量：１μＬ
・キャリアガス：Ｈｅ（５７．１ｍＬ／分）
・気化室温度設定：３００℃
・測定モード：スプリット

図８Ａ〜図８Ｃに示すマススペクトルのように、試料１及び試料２のシーラント層からは、揮発成分が検出されなかったが、試料３のシーラント層からは、揮発成分が検出された。試料１及び試料２のように、第１面５Ａ側に位置する第１部分が低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含み、それよりも第２面５Ｂ側に位置する第２部分がリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を含むことで、シーラント層から低分子成分の揮発を防止可能であると推察され得る。

また、上記試料１〜３のシーラント層から所望サイズで切り出した切片について、ＩＳＯ１４５７７：２０１５に準拠して、温度２３℃±２℃、湿度６０％ＲＨ±５％ＲＨの雰囲気で押込弾性率を測定した。まず、２０ｍｍ×２０ｍｍの大きさに切り出した上記切片の第１面５Ａが上面となるように市販のスライドガラス（以下「第１スライドガラス」という。）に、接着樹脂（製品名「アロンアルフア（登録商標）一般用」、東亜合成社製）を介して固定した。具体的には、第１スライドガラス（製品名「スライドガラス（切放タイプ）１−９６４５−１１」、アズワン社製）の中央部に上記接着樹脂を滴下した。この際、接着樹脂を塗り広げず、また後述するように押し広げたときに接着樹脂が上記切片からはみ出さないように１滴の接着樹脂を滴下した。その後、上記切片を第１面５Ａ側が上面になり、かつ切片の中央部に接着樹脂が位置するように第１スライドガラスに接触させ、第１スライドガラスと切片との間で接着樹脂を押し広げ、仮接着した。そして、別の新しいスライドガラス（以下「第２スライドガラス」という。）を切片の上に載せ、第１スライトガラス／接着樹脂／切片／第２スライドガラスの積層体を得た。次いで、第２スライドガラスの上に３０ｇ以上５０ｇの重りを置き、１２時間室温で放置した。その後、重りと第２スライドガラスを取り外し、これを測定用サンプルとした。そして、この測定用サンプルを除振台に平行に設置した微小硬さ試験機（製品名：ピコデンター（ＰＩＣＯＤＥＮＴＯＲ）ＨＭ５００、フィッシャー・インスツルメント社製）の測定ステージに固定した。この固定は、測定サンプルが動かないように、第１スライドガラスの４辺をテープ（製品名：セロテープ（登録商標）、ニチバン社製）で固定した。次に、切片の第１面５Ａにおいて、ビッカース圧子（対面角１３６°の正四角錐のダイヤモンド圧子）を装着させた超微小負荷硬さ試験機（ピコデンターＨＭ５００，フィッシャー・インストルメンツ社製）を用いて、押込速度０．１５μｍ／秒、押込深さ３μｍ、保持時間５秒間、引き抜き速度０．１５μｍ／秒の条件で押込弾性率（ＭＰａ）を測定した。１つの切片において、少なくとも異なる５箇所で測定し、それらの測定値の平均を、シーラントについてその条件での押込弾性率の値とした。

その結果、試料１の押込弾性率は４５７．３ＭＰａ、試料２の押込弾性率は３７１．６ＭＰａ、試料３の押込弾性率は１５９．０ＭＰａであり、試料１及び試料２の押込弾性率は、試料３の押込弾性率よりも大きいものの、実用上、十分な追従性を発揮可能な程度に伸縮性を有し、耐屈曲性を有するものと推察される。また、試料１及び試料２のシーラント層は、十分な透明性を確保可能であると推察される。

さらに、試料１〜３のシーラント層の第１面同士を、シール温度１１０℃、１２０℃、１３０℃、１４０℃及び１５０℃でヒートシールし、ヒートシール部を含む１５ｍｍ幅のヒートシール試験片を採取し、当該ヒートシール試験片の各シール温度におけるシール強度（Ｎ／１５ｍｍ）をＪＩＳ−Ｚ１７１１に準拠して求めた。

その結果、シール温度１３０℃の条件における試料１のシール強度が１３．７Ｎ／１５ｍｍ、試料２のシール強度が９．４Ｎ／１５ｍｍであったのに対し、試料３のシール強度は２．３Ｎ／１５ｍｍであった。また、シール温度１４０℃の条件におけるシール強度が２６．１Ｎ／１５ｍｍ、試料２のシール強度が５５．７Ｎ／１５ｍｍであったのに対し、試料３のシール強度は９．２Ｎ／１５ｍｍであった。この結果から、試料１及び試料２のシーラント層においては、試料３のシーラント層に比して、より低いシール温度で高いシール強度を得ることができると推察される。なお、シール温度１１０℃及び１２０℃の条件においては、試料１〜３のいずれも満足するシール強度が得られなかった。

なお、本実施形態に係る包装材料１は、複数のバリア層を有していてもよい。例えば、図２に示すように、包装材料１は、第１の樹脂基材層２１（樹脂基材層２）、第１のバリア層３１（バリア層３）、第２の樹脂基材層２２（樹脂基材層２）、第２のバリア層３２（バリア層３）、第３の樹脂基材層２３（樹脂基材層２）、樹脂層４及びシーラント層５をこの順で有する積層体であってもよい。この態様において、第１の樹脂基材層２１及び第２の樹脂基材層２２は、ポリエステル系樹脂材料又はポリアミド系樹脂材料により構成されていればよいが、第３の樹脂基材層２３はポリエステル系樹脂材料により構成されているのが好ましい。上記態様以外にも、包装材料１は、例えば、第１の樹脂基材層２１（樹脂基材層２）、第１のバリア層３１（バリア層３）、第２の樹脂基材層２２（樹脂基材層２）、樹脂層４、第２のバリア層３２（バリア層３）、第３の樹脂基材層２３（樹脂基材層２）及びシーラント層５をこの順で有する積層体であってもよいし、第１の樹脂基材層２１（樹脂基材層２）、樹脂層４、第１のバリア層３１（バリア層３）、第２の樹脂基材層２２（樹脂基材層２）、第２のバリア層３２（バリア層３）、第３の樹脂基材層２３（樹脂基材層２）及びシーラント層５をこの順で有する積層体であってもよい。なお、これらの包装材料１の態様においても、前述のように、複数の樹脂層４が設けられていてもよい。

本実施形態におけるシリコン材料の輸送用袋１０は、広げることで略方体状（略直方体状）となる包装袋であり、第１側面フィルム１１、第２側面フィルム１２、第１ガゼットフィルム１３及び第２ガゼットフィルム１４によって構成されている。第１側面フィルム１１、第２側面フィルム１２、第１ガゼットフィルム１３及び第２ガゼットフィルム１４は、いずれも本実施形態に係る包装材料１により構成されている。なお、輸送用袋１０は、第１ガゼットフィルム１３及び第２ガゼットフィルム１４を有しないものであってもよい。この場合において、第１側面フィルム１１及び第２側面フィルム１２を、互いのシーラント層５の第１面５Ａを対向させるようにして３つの側縁部をヒートシールすればよい。

輸送用袋１０は、第１側面フィルム１１、第２側面フィルム１２、第１ガゼットフィルム１３及び第２ガゼットフィルム１４の各シーラント層５の第１面５Ａが最内面に位置し、第１の樹脂基材層２１が最外面に位置するように構成されている。

上記輸送用袋１０において、第１側面フィルム１１の２つの対向する側縁部の一方と折り込まれた第１ガゼットフィルム１３の２つの対向する側縁部の一方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第１ヒートシール部ＨＳ１１が形成され、第１側面フィルム１１の上記側縁部の他方と折り込まれた第２ガゼットフィルム１４の２つの対向する側縁部の一方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第２ヒートシール部ＨＳ１２が形成されている。また、第２側面フィルム１２の２つの対向する側縁部の一方と折り込まれた第１ガゼットフィルム１３の上記側縁部の他方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第３ヒートシール部ＨＳ１３が形成され、第２側面フィルム１２の上記側縁部の他方と折り込まれた第２ガゼットフィルム１４の上記側縁部の他方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第４ヒートシール部ＨＳ１４が形成されている。第１側面フィルム１１及び第２側面フィルム１２のそれぞれの側縁部を重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる底面ヒートシール部ＨＳＢ１が形成され、底面ヒートシール部ＨＳＢ１に対向して位置する第１側面フィルム１１及び第２側面フィルム１２のそれぞれの側縁部は、ヒートシールされずに輸送用袋１０の開口部１５を形成している。

第１ガゼットフィルム１３及び第２ガゼットフィルム１４を折り込んだ輸送用袋１０が多数積み重ねられている状態で、第１側面フィルム１１又は第２側面フィルム２２を吸着保持して上方に持ち上げることで、開口部１５を開くことができる。その開いた開口部１５から、輸送用袋１０内にシリコン材料６２を格納する樹脂ケース６１（図７参照）を収容し、当該開口部１５における第１側面フィルム１１及び第２側面フィルム２２のそれぞれの側縁部を重ね合わせてヒートシールすることで、上面ヒートシール部ＨＳＴ１を形成する。このようにして、シリコン材料の梱包体６０が作製され得る。

本実施形態における輸送用袋１０においては、バリア層３の両面側に第１の樹脂基材層２１と第２の樹脂基材層２２とが位置していることで、輸送用袋１０（包装材料１）に所定の応力がかかったときであっても、第１の樹脂基材層２１と第２の樹脂基材層２２との間に大きな歪みの差が生じ難く、バリア層３にクラックが生じてしまうのを抑制することができる。

また、輸送用袋１０の最内層に位置するシーラント層５の第１面５Ａ側に低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）が含まれ、それよりも第２面５Ｂ側にリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）が含まれている。シーラント層５を構成するリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）により、シーラント層５の厚みＴ５を相対的に薄くすることができ、追従性を良好することができるとともに、シーラント層５の第１面５Ａ側に含まれる低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）によって、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）からの低分子成分の揮発を防止することができる。さらに、シーラント層５において所定の透明性が確保されていることで、輸送用袋１０におけるシーラント層５の第１面５Ａに異物が付着しているか否かを容易に確認することができる。

以上説明した実施形態は、本開示の理解を容易にするために記載されたものであって、本開示を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本開示の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

上記実施形態において、シリコン材料の輸送用袋１０は、いわゆる外袋としての第１の袋と、第１の袋内に配置される、いわゆる内袋としての第２の袋とを備える二重包装袋であってもよい。この場合において、少なくとも第２の袋は、上記実施形態に係る包装材料１により構成されていればよく、第１の袋も上記包装材料１により構成されているのが好ましい。

１…包装材料
２…樹脂基材層
２１…第１の樹脂基材層
２２…第２の樹脂基材層
３…バリア層
４…樹脂層
５…シーラント層
１０…シリコン材料の輸送用袋
６０…シリコン材料の梱包体
６２…シリコン材料

上記課題を解決するために、本開示の一実施形態として、シリコン材料の輸送用袋に用いられる包装材料であって、前記包装材料は、第１の樹脂基材層と、バリア層と、第２の樹脂基材層と、樹脂層と、シーラント層とをこの順で積層する積層体であり、前記樹脂層は、ポリエチレンにより構成され、前記第１の樹脂基材層と前記第２の樹脂基材層とは、同一の樹脂材料により構成され、前記第１の樹脂基材層と前記第２の樹脂基材層を構成する前記樹脂材料の押込弾性率が、１５００ＭＰａ〜３５００ＭＰａの範囲内であり、前記シーラント層を構成する材料の押込弾性率が、３００ＭＰａ〜５００ＭＰａの範囲内である包装材料が提供される。
また、本開示の一実施形態として、シリコン材料の輸送用袋に用いられる包装材料であって、前記包装材料は、第１の樹脂基材層と、バリア層と、第２の樹脂基材層と、樹脂層と、シーラント層とをこの順で積層する積層体であり、前記樹脂層は、２液型ウレタン樹脂接着剤により構成され、前記第１の樹脂基材層と前記第２の樹脂基材層とは、同一の樹脂材料により構成され、前記第１の樹脂基材層と前記第２の樹脂基材層を構成する前記樹脂材料の押込弾性率が、１５００ＭＰａ〜３５００ＭＰａの範囲内であり、前記シーラント層を構成する材料の押込弾性率が、３００ＭＰａ〜５００ＭＰａの範囲内である包装材料が提供される。

前記第１の樹脂基材層を構成する樹脂材料及び前記第２の樹脂基材層を構成する樹脂材料が、ポリエステル樹脂又はポリアミド樹脂であってもよく、前記ポリエステル樹脂であってもよい。

前記樹脂層の厚みは、１μｍ〜５μｍであってもよい。前記バリア層が透明性を有していてもよく、前記バリア層は、シリカ又はアルミナを含んでいてもよい。

Claims (17)

1. シリコン材料の輸送用袋に用いられる包装材料であって、
   前記包装材料は、少なくとも第１の樹脂基材層と、バリア層と、第２の樹脂基材層と、シーラント層とをこの順で積層する積層体である
   包装材料。
2. 前記第１の樹脂基材層を構成する樹脂材料及び前記第２の樹脂基材層を構成する樹脂材料が、ポリエステル樹脂又はポリアミド樹脂である
   請求項１に記載の包装材料。
3. 前記第２の樹脂基材層を構成する樹脂材料が、前記ポリエステル樹脂である
   請求項２に記載の包装材料。
4. 前記第１の樹脂基材層を構成する樹脂材料が、前記ポリエステル樹脂である
   請求項３に記載の包装材料。
5. 前記第１の樹脂基材層を構成する樹脂材料と、前記第２の樹脂基材層を構成する樹脂材料とが同一である
   請求項１〜４のいずれかに記載の包装材料。
6. 前記第１の樹脂基材層と前記バリア層との間に位置する第１の樹脂層を有する
   請求項１〜５のいずれかに記載の包装材料。
7. 前記バリア層と前記第２の樹脂基材層との間に位置する第１の樹脂層を有する
   請求項１〜５のいずれかに記載の包装材料。
8. 前記第１の樹脂層は、接着剤により形成されている
   請求項６又は７に記載の包装材料。
9. 前記第１の樹脂層は、硬化剤を含む、請求項６〜８のいずれかに記載の包装材料。
10. 前記第１の樹脂層は、ウレタン樹脂を含む、請求項６〜９のいずれかに記載の包装材料。
11. 前記第１の樹脂層の厚みは、１μｍ〜５μｍである、請求項６〜１０のいずれかに記載の包装材料。
12. 前記バリア層と前記シーラント層との間に第２の樹脂層を有する、請求項６〜１１のいずれかに記載の包装材料。
13. 前記第２の樹脂層は、ポリエチレンを含む、請求項１２に記載の包装材料。
14. 前記バリア層が透明性を有する
    請求項１〜１３のいずれかに記載の包装材料。
15. 前記バリア層は、シリカ又はアルミナを含む
    請求項１〜１４のいずれかに記載の包装材料。
16. シリコン材料の輸送用袋であって、
    前記シリコン材料の輸送用袋は、請求項１〜１５のいずれかに記載の包装材料により構成され、
    前記シーラント層が、前記シリコン材料の輸送用袋の内側に位置する
    シリコン材料の輸送用袋。
17. 請求項１６に記載のシリコン材料の輸送用袋と、
    前記シリコン材料の輸送用袋内に収容されているシリコン材料と
    を備えるシリコン材料の梱包体。

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