JP2021072201A - ヒータ - Google Patents

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大橋 剛
Takeshi Ohashi
剛 大橋
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Abstract

【課題】長寿命化を図ることができるヒータを提供することである。【解決手段】実施形態に係るヒータは、筒状部と;前記筒状部の両側の端部のそれぞれに設けられた封止部と;それぞれの前記封止部の内部に設けられた導電部と;前記筒状部の内部に設けられ、前記筒状部の管軸に沿って延び、炭素を含む発熱部と;前記筒状部の内部に設けられ、前記発熱部の両側の端部のそれぞれに接続された接続部と;前記導電部と、前記接続部と、に接続されたインナーリードと;を具備している。前記インナーリードは、前記導電部と、前記接続部との間を延び、一方の端部側が前記導電部と接続された本体部と;前記本体部の、前記接続部側の端部に設けられ、前記本体部が延びる方向と交差する方向に延び、前記接続部に設けられた孔の内部に位置する第1の部分と;前記第1の部分の、前記本体部側とは反対側の端部に設けられ、前記第1の部分が延びる方向と交差する方向に延びる第2の部分と;を有する。【選択図】図3

Description

本発明の実施形態は、ヒータに関する。
輻射熱により対象物を加熱するヒータがある。この様なヒータは、バルブ、バルブの内部に設けられた発熱部、バルブの両側の端部に設けられた封止部、封止部の内部に設けられた薄膜状の導電部、および、アウターリードなどを備えている。アウターリードの一端は封止部の内部において導電部と電気的に接続され、他端は封止部から露出している。
ここで、発熱部の材料が変われば、放射される光のスペクトルが変化する。例えば、炭素を含む発熱部を備えたカーボンヒータの場合には、2μmから4μmの波長において、放射される光のエネルギーにピークが生じる。水の吸収スペクトルのピークは3μm付近にあるため、カーボンヒータを用いれば含水率の高い対象物を効率よく加熱することができる。しかしながら、炭素を含む発熱部は、導電部に直接接続することが難しい。そのため、カーボンヒータの場合には、発熱部の端部に電気的に接続された接続部と、一端が接続部と電気的に接続され、他端が導電部と電気的に接続されたインナーリードと、が設けられている。一般的に、インナーリードの端部は、接続部に溶接されている。
ここで、通電制御により、発熱部の発熱と冷却が繰り返される、いわゆるヒータサイクルが行われると、インナーリードの端部と接続部の溶接部分に加熱と冷却が繰り返し生じることになる。溶接部分に加熱と冷却が繰り返し生じると、溶接部分にクラックなどが発生する場合がある。近年においては、より高電力のヒータが求められており、溶接部分に生じる温度差が大きくなり、クラックなどが発生し易くなっている。溶接部分にクラックなどが発生すると、インナーリードが接続部から外れる場合がある。そのため、ヒータの寿命が短くなるおそれがある。
そこで、長寿命化を図ることができるヒータの開発が望まれていた。
特開2006−040898号公報
本発明が解決しようとする課題は、長寿命化を図ることができるヒータを提供することである。
実施形態に係るヒータは、筒状部と;前記筒状部の両側の端部のそれぞれに設けられた封止部と;それぞれの前記封止部の内部に設けられた導電部と;前記筒状部の内部に設けられ、前記筒状部の管軸に沿って延び、炭素を含む発熱部と;前記筒状部の内部に設けられ、前記発熱部の両側の端部のそれぞれに接続された接続部と;前記導電部と、前記接続部と、に接続されたインナーリードと;を具備している。前記インナーリードは、前記導電部と、前記接続部との間を延び、一方の端部側が前記導電部と接続された本体部と;前記本体部の、前記接続部側の端部に設けられ、前記本体部が延びる方向と交差する方向に延び、前記接続部に設けられた孔の内部に位置する第1の部分と;前記第1の部分の、前記本体部側とは反対側の端部に設けられ、前記第1の部分が延びる方向と交差する方向に延びる第2の部分と;を有する。
本発明の実施形態によれば、長寿命化を図ることができるヒータを提供することができる。
本実施の形態に係るヒータを例示するための模式図である。 (a)は、比較例に係る接続部とインナーリードとの接続を例示するための模式平面図である。(b)は、比較例に係る接続部とインナーリードとの接続を例示するための模式側面図である。 (a)は、本実施の形態に係る接続部とインナーリードとの接続を例示するための模式平面図である。(b)は、本実施の形態に係る接続部とインナーリードとの接続を例示するための模式側面図である。 (a)は、他の実施形態に係る接続部とインナーリードとの接続を例示するための模式平面図である。(b)は、接続部とインナーリードとの接続を例示するための模式平面図である。 (a)は、他の実施形態に係る接続部とインナーリードとの接続を例示するための模式平面図である。(b)は、接続部とインナーリードとの接続を例示するための模式平面図である。
以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
本実施の形態に係るヒータ1は、対象物や、対象物が置かれている空間を加熱するものとすることができる。例えば、ヒータ1は、印刷物などの乾燥工程においてインクなどを乾燥させたり、塗料の乾燥工程において塗料などを乾燥させたりする際に用いることができる。ただし、本実施の形態に係るヒータ1の用途はこれらに限定されるわけではない。
図1は、本実施の形態に係るヒータ1を例示するための模式図である。
図1に示すように、ヒータ1には、バルブ10、発熱部20、導電部30、アウターリード40、インナーリード50、および接続部60を設けることができる。
バルブ10は、筒状部11、封止部12、および突起部13を有することができる。バルブ10は、筒状部11、封止部12、および突起部13が一体に形成されたものとすることができる。バルブ10は、例えば、石英ガラスから形成することができる。この場合、バルブ10は、例えば、透明、すなわち着色されていない石英ガラスから形成することができる。なお、バルブ10は、着色されていない石英ガラスから形成することもできるし、着色されている石英ガラスから形成することもできる。
筒状部11は、例えば、円筒状を呈するものとすることができる。筒状部11は、筒状部11の外径である管外径Dに比べて全長L(管軸方向の長さ)が長い形態を有することができる。この場合、筒状部11の内壁の管壁負荷が高くなり過ぎると、筒状部11の温度が高くなり過ぎて、筒状部11が変形したり、筒状部11の耐久性が低下したりするおそれがある。そのため、ヒータ1の電力に応じて、所定の管壁負荷を超えないように、筒状部11の管外径D、および全長Lを適宜決定することができる。
また、筒状部11の外周面に反射膜を設けることもできる。反射膜が設けられていれば、対象物が置かれている方向に向けて赤外線を含む光を反射させることができる。そのため、照射効率を向上させることができる。反射膜は、例えば、金、酸化アルミニウムなどを含むものとすることができる。
筒状部11の内部空間には、ガスを封入することができる。ガスは、発熱部20において発生した熱が筒状部11に伝わり難くするために封入することができる。そのため、ガスは、熱伝導率の低いガスとすることが好ましい。ガスは、例えば、アルゴン(Ar)、キセノン(Xe)、クリプトン(Kr)、ネオン(Ne)などのうちの1種類、あるいは複数種類を組み合わせた混合ガスなどとすることができる。
筒状部11の内部空間の25℃におけるガスの圧力(封入圧力)は、例えば、0.6bar(60kPa)から0.9bar(90kPa)までの圧力範囲とすることができる。ここで、筒状部11の内部空間の25℃におけるガスの圧力(封入圧力)は、気体の標準状態(SATP(Standard Ambient Temperature and Pressure):温度25℃、1bar)により求めることができる。
封止部12は、筒状部11の、管軸方向における両側の端部のそれぞれに設けることができる。筒状部11の両端に封止部12を設けることで、筒状部11の内部空間を気密に封止することができる。例えば、一対の封止部12は、加熱した筒状部11の両端部分を押しつぶすことで形成することができる。例えば、一対の封止部12は、ピンチシール法やシュリンクシール法を用いて形成することができる。ピンチシール法を用いて封止部12を形成すれば、図1に例示をしたような板状の封止部12を形成することができる。シュリンクシール法を用いて封止部12を形成すれば、円柱状の封止部12を形成することができる。
突起部13は、筒状部11の外面に設けることができる。突起部13は、ヒータ1を製造する際に、筒状部11の内部空間を排気したり、筒状部11の内部空間に前述したガスを導入したりするために設けることができる。突起部13は、排気およびガスの導入後に、石英ガラスから形成された管を焼き切ることで形成されたものとすることができる。
発熱部20は、炭素を含むものとすることができる。発熱部20は、例えば、螺旋状を呈するものとすることができる。発熱部20は、例えば、炭素を含む帯状のメッシュ構造体や炭素繊維を含む線状体を螺旋状に巻くことで形成することができる。発熱部20の概観形状は、例えば、円筒状とすることができる。発熱部20は、筒状部11の内部空間に設けることができる。発熱部20は、筒状部11の中央領域を筒状部11の管軸に沿って延びるものとすることができる。発熱部20は、通電時に発熱するとともに赤外線を含む光を放出することができる。なお、発熱部20は、例えば、炭素繊維を含む筒状のメッシュ構造体、炭素を含む帯状体、炭素を含む線状体などであってもよい。図1に例示をした発熱部20は、炭素繊維を含む帯状のメッシュ構造体を螺旋状に巻いたものである。
発熱部20の両側の端部は、例えば、筒状部11の管軸に沿って延びている。発熱部20の両側の端部のそれぞれは、筒状部11の内部空間において接続部60に接続されている。
また、発熱部20の両側の端部が接続部60に接続された際に、発熱部20が引っ張られるようにすることができる。この様にすれば、発熱部20が筒状部11の内壁に接触するのを抑制することができる。また、一対の接続部60が、発熱部20により、互いに近づく方向に付勢されるので、インナーリード50の第1の部分50bを、基部60aに設けられた孔60a1の内壁に密着させることができる。そのため、接続部60とインナーリード50の接続に関する信頼性を向上させることができる。
導電部30は、1つの封止部12に対して少なくとも1つ設けることができる。導電部30は、封止部12の内部に設けることができる。導電部30の平面形状は、例えば、四角形とすることができる。導電部30は、薄膜状を呈するものとすることができる。導電部30は、例えば、モリブデン箔から形成することができる。
アウターリード40は、1つの導電部30に対して少なくとも1つ設けることができる。図1に例示をしたアウターリード40は、1つの導電部30に対して1つ設けられている。アウターリード40は、線状体とすることができる。それぞれの封止部12において、アウターリード40の一方の端部側は導電部30と接続され、他方の端部側は封止部12から露出している。アウターリード40は、例えば、モリブデンなどを含むものとすることができる。アウターリード40は、封止部12の内部において、導電部30と接続されている。例えば、アウターリード40は、導電部30にレーザ溶接または抵抗溶接することができる。
アウターリード40には、ヒータ1の外部に設けられた電源などを電気的に接続することができる。例えば、アウターリード40はコネクタやハーネスなどに接続され、コネクタやハーネスなどに設けられているケーブルを介して、アウターリード40が電源などと電気的に接続されるようにすることができる。
発熱部20が炭素を含むものである場合には、2μmから4μmの波長において、放射される光のエネルギーにピークが生じる。水の吸収スペクトルのピークは3μm付近にあるため、炭素を含む発熱部20を用いれば含水率の高い対象物を効率よく加熱することができる。しかしながら、炭素を含む発熱部20の場合には、発熱部20を導電部30に直接接続することが難しい。そのため、ヒータ1にはインナーリード50と接続部60が設けられている。
インナーリード50は、導電部30と接続部60とに接続されている。インナーリード50は、1つの導電部30に対して少なくとも1つ設けることができる。図1に例示をしたインナーリード50は、1つの導電部30に対して1つ設けられている。インナーリード50は、導電部30の、アウターリード40側とは反対側に設けることができる。インナーリード50は、線状体とすることができる。インナーリード50は、例えば、モリブデンなどを含むものとすることができる。
なお、インナーリード50の形状に関する詳細は後述する。
接続部60は、筒状部11の内部空間に設けることができる。接続部60は、発熱部20の両側の端部にそれぞれ1つずつ接続することができる。すなわち、接続部60は、発熱部20と、インナーリード50とに接続されている。
接続部60は、耐熱性と導電性を有する材料から形成することができる。接続部60は、例えば、ニッケルやニッケル合金などの金属を含むものとすることができる。
図2(a)は、比較例に係る接続部160とインナーリード150との接続を例示するための模式平面図である。
図2(b)は、比較例に係る接続部160とインナーリード150との接続を例示するための模式側面図である。
図2(a)、(b)に示すように、接続部160は、基部160aおよび保持部160b、160cを有している。
インナーリード150は、真っ直ぐな線状体とすることができる。インナーリード150の端部の近傍は、基部160aに溶接されている。
接続部160に、発熱部20を接続する際には、まず、基部160aの面に対して同じ方向に保持部160b、160cを折り曲げる。
次に、基部160aの面上であって、保持部160bと保持部160cとの間に発熱部20の端部を載置する。
次に、図2(a)、(b)に示すように、保持部160b、160cを基部160a側に折り曲げて、発熱部20の端部の近傍を押さえつける。この後、保持部160bと保持部160cを溶接してもよい。
この様にして、インナーリード150と発熱部20が、接続部160に接続される。
ここで、通電制御により、発熱部20の発熱と冷却が繰り返される、いわゆるヒータサイクルが行われると、インナーリード150の端部と基部160aとの溶接部分に加熱と冷却が繰り返し生じることになる。溶接部分に加熱と冷却が繰り返し生じると、溶接部分にクラックなどが発生する場合がある。近年においては、より高電力のヒータが求められている。例えば、電力密度が4.5W(ワット)/mm(ミリメートル)以上のヒータ1とすることが好ましく、電力密度が5W/mm以上のヒータ1とすることがさらに好ましい。
ところが、電力密度が4.5W/mmになると、接続部160およびインナーリード150の温度が480℃程度になる場合がある。接続部160およびインナーリード150の温度が480℃程度になると、インナーリード150と基部160aとの溶接部分にクラックなどが発生し易くなる。前述したように、一対の接続部160は、発熱部20により、互いに近づく方向に付勢されている。そのため、溶接部分にクラックが発生すると、発熱部20により接続部160が引っ張られて、インナーリード150が接続部160から外れる場合がある。そのため、発熱部20などに異常がないにもかかわらずヒータの寿命が短くなるおそれがある。
図3(a)は、本実施の形態に係る接続部60とインナーリード50との接続を例示するための模式平面図である。
図3(b)は、本実施の形態に係る接続部60とインナーリード50との接続を例示するための模式側面図である。
図3(a)、(b)に示すように、接続部60は、基部60a、保持部60b、および保持部60cを有することができる。
基部60aは、板状を呈するものとすることができる。基部60aは、厚み方向に貫通する孔60a1を有することができる。孔60a1の数は、インナーリード50の数と同じとすることができる。孔60a1の径寸法は、インナーリード50の太さよりも僅かに大きくすることができる。孔60a1の内部には、インナーリード50の第1の部分50bを設けることができる。すなわち、第1の部分50bは、接続部60に設けられた孔60a1の内部に位置している。
保持部60bは、基部60aの一方の端部に設けることができる。保持部60cは、基部60aの、保持部60bが設けられる端部と対峙する端部に設けることができる。孔60a1は、保持部60bと保持部60cとが対峙する方向と交差する方向の端部の近傍に設けることができる。保持部60bと保持部60cとが対峙する方向と交差する方向において、保持部60bと保持部60cは、基部60aの一方の端部側に設けられ、孔60a1は、保持部60bと保持部60cが設けられる側と反対側の端部の近傍に設けられている。
保持部60bおよび保持部60cは、板状を呈し、基部60aと協働して発熱部20の端部の近傍を保持することができる。例えば、発熱部20の端部の近傍が、保持部60bおよび保持部60cと、基部60aとの間に挟まれるようにすることができる。なお、保持部60bおよび保持部60cが設けられる場合を例示したが、保持部60bまたは保持部60cを設けて発熱部20の端部の近傍を保持するようにしてもよい。この場合、保持部60bまたは保持部60cが、発熱部20の端部の近傍を覆うようにすることが好ましい。
孔60a1を有する基部60a、保持部60b、および保持部60cは、例えば、打抜き加工法、レーザ加工法、プレス成形法などにより、板材から一体に形成することができる。
インナーリード50は、本体部50a、第1の部分50b、および第2の部分50cを有することができる。本体部50a、第1の部分50b、および第2の部分50cは、一体に設けることができる。第1の部分50bおよび第2の部分50cは、線状体の一方の端部側を折り曲げることで形成することができる。
本体部50aは、導電部30と接続部60(基部60a)との間を延びるものとすることができる。それぞれの封止部12において、本体部50aの導電部30側は封止部12の内部に設けられ、接続部60側は筒状部11の内部に露出させることができる。本体部50aの導電部30側の端部の近傍は、封止部12の内部において、導電部30と接続されている。例えば、本体部50aの導電部30側の端部の近傍は、導電部30にレーザ溶接または抵抗溶接することができる。
第1の部分50bおよび第2の部分50cは、筒状部11の内部に設けられている。
第1の部分50bは、本体部50aの接続部60側の端部に設けられている。第1の部分50bは、本体部50が延びる方向と交差する方向に延びている。第1の部分50bは、孔60a1の内部に設けられている。第1の部分50bは、基部60aの一方の面と、この面に対峙する他方の面との間を延びている。
第2の部分50cは、第1の部分50bの本体部50a側とは反対側の端部に設けられている。第2の部分50cは、孔60a1の外部において、第1の部分50bが延びる方向と交差する方向に延びている。第1の部分50bが延びる方向と、第2の部分50cが延びる方向との間の角度には特に限定がない。
接続部60に、発熱部20を接続する際には、まず、基部60aの面に対して同じ方向に保持部60b、60cを折り曲げる。
次に、基部60aの面上であって、保持部60bと保持部60cとの間に発熱部20の端部を載置する。
次に、図3(a)、(b)に示すように、保持部60b、60cを基部60a側に折り曲げて、発熱部20の端部の近傍を押さえつける。この後、保持部60bと保持部60cを溶接してもよい。なお、保持部60bのみが設けられる場合には、保持部60bを基部60a側に折り曲げて、発熱部20の端部の近傍を押さえつける。保持部60cのみが設けられる場合には、保持部60cを基部60a側に折り曲げて、発熱部20の端部の近傍を押さえつける。
接続部60に、インナーリード50を接続する際には、インナーリード50の、接続部60側の端部を折り曲げて第1の部分50bを形成し、第1の部分50bを孔60a1の内部に挿入する。なお、インナーリード50の、接続部60側の端部を孔60a1の内部に挿入し、この状態でインナーリード50を折り曲げて第1の部分50bを形成してもよい。
次に、第1の部分50bの先端側をさらに折り曲げて、第2の部分50cを形成する。 なお、インナーリード50の、接続部60側の端部を折り曲げて、第1の部分50bおよび第2の部分50cを形成し、第2の部分50cおよび第1の部分50bをこの順で孔60a1の内部に挿入してもよい。
以上の様にして、インナーリード50を接続部60に接続することができる。
本実施の形態においては、インナーリード50の第1の部分50bが孔60a1の内部に設けられている。そのため、第1の部分50bが孔60a1の内壁に引っかかっているので、インナーリード50が接続部60から外れるのを抑制することができる。また、第2の部分50cが設けられているので、第1の部分50bが孔60a1から抜けるのを抑制することができる。
そのため、電力密度が5W/mm以上となり、接続部60およびインナーリード50の温度が480℃以上となった場合であっても、インナーリード50が接続部60から外れるのを抑制することができる。すなわち、本実施の形態に係るヒータ1とすれば、ヒータ1の高電力化および長寿命化を図ることができる。
なお、第1の部分50bおよび第2の部分50cの少なくともいずれかと、基部60aをさらに溶接することもできる。また、第2の部分50cの先端が基部60a側に近づくようにさらに折り曲げるようにしてもよい。これらの様にすれば、接続部60とインナーリード50の接続に関する信頼性をさらに向上させることができる。この場合、溶接部分にクラックが発生したとしても、第1の部分50bと基部60aとの接続は維持することができる。
また、以上においては、第1の部分50bおよび第2の部分50cが直線状に延びる形態を有する場合を例示したが、第1の部分50bおよび第2の部分50cの少なくともいずれかは。曲線状に延びる形態を有していてもよい。例えば、C字状やU字状を呈する第1の部分50bや第2の部分50cとしてもよい。ただし、直線状に延びる形態を有する第1の部分50bおよび第2の部分50cとすれば、第1の部分50bおよび第2の部分50cの形成が容易となる。
図4(a)は、他の実施形態に係る接続部61とインナーリード50との接続を例示するための模式平面図である。
図4(b)は、接続部61とインナーリード50との接続を例示するための模式平面図である。
図4(a)、(b)に示すように、接続部61は、基部61a、保持部60b、および保持部60cを有することができる。
基部61aは、板状を呈するものとすることができる。基部61aは、厚み方向に貫通する孔61a1を有することができる。基部61aは、前述した基部60aにおいて孔60a1の代わりに孔61a1を設けたものとすることができる。孔61a1の内部には、インナーリード50の第1の部分50bを設けることができる。
孔61a1は、基部61aの、保持部60bまたは保持部60cが設けられた側の端部に開口させることができる。例えば、孔61a1の平面形状は、略L字状とすることができる。
この様な形状を有する孔61a1が設けられていれば、第1の部分50bを、保持部60bまたは保持部60cが設けられた側の端部から孔61a1の内部に挿入することができる。そのため、接続部61とインナーリード50の接続作業が容易となる。
図5(a)は、他の実施形態に係る接続部62とインナーリード50との接続を例示するための模式平面図である。
図5(b)は、接続部62とインナーリード50との接続を例示するための模式平面図である。
図5(a)、(b)に示すように、接続部62は、基部62a、保持部60b、および保持部60cを有することができる。
基部62aは、板状を呈するものとすることができる。基部62aは、厚み方向に貫通する孔62a1を有することができる。基部62aは、前述した基部60aにおいて孔60a1の代わりに孔62a1を設けたものとすることができる。孔62a1の内部には、インナーリード50の第1の部分50bを設けることができる。
孔62a1は、基部62aの、発熱部20が設けられる側に延びる形状を有することができる。例えば、孔62a1は、平面形状が楕円や略L字状の孔、長孔などとすることができる。平面形状が楕円の孔や長孔などの場合には、孔62a1の中心線が、本体部50aの中心線の延長線上にあってもよいし、孔62a1の中心線が、本体部50aの中心線の延長線と交差するようにしてもよい。
この様な形状を有する孔62a1が設けられていれば、第1の部分50bおよび第2の部分50cを、孔62a1の内部に挿入するのが容易となる。そのため、接続部62とインナーリード50の接続作業が容易となる。
以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
1 ヒータ、10 バルブ、11 筒状部、12 封止部、20 発熱部、30 導電部、40 アウターリード、50 インナーリード、50a 本体部、50b 第1の部分、50c 第2の部分、60 接続部、60a 基部、60b 保持部、60c 保持部、60a1 孔、61 接続部、61a 基部、61a1 孔、62 接続部、62a 基部、62a1 孔

Claims (3)

  1. 筒状部と;
    前記筒状部の両側の端部のそれぞれに設けられた封止部と;
    それぞれの前記封止部の内部に設けられた導電部と;
    前記筒状部の内部に設けられ、前記筒状部の管軸に沿って延び、炭素を含む発熱部と;
    前記筒状部の内部に設けられ、前記発熱部の両側の端部のそれぞれに接続された接続部と;
    前記導電部と、前記接続部と、に接続されたインナーリードと;
    を具備し、
    前記インナーリードは、
    前記導電部と、前記接続部との間を延び、一方の端部側が前記導電部と接続された本体部と;
    前記本体部の、前記接続部側の端部に設けられ、前記本体部が延びる方向と交差する方向に延び、前記接続部に設けられた孔の内部に位置する第1の部分と;
    前記第1の部分の、前記本体部側とは反対側の端部に設けられ、前記第1の部分が延びる方向と交差する方向に延びる第2の部分と;
    を有するヒータ。
  2. 一対の前記接続部は、前記発熱部により、互いに近づく方向に付勢されている請求項1記載のヒータ。
  3. それぞれの前記封止部において、一方の端部側が前記導電部と接続され、他方の端部側が前記封止部から露出するアウターリードをさらに備えた請求項1または2に記載のヒータ。
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