JP2021064694A - ノズル管理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズルとチェンジャを組み合わせて管理することができるノズル管理装置を提供する。【解決手段】部品を基板に装着する装着装置の部品保持用ノズルを管理するノズル管理装置であって、装着装置に着脱自在にセット可能で、複数のノズルを収納するチェンジャを収納するチェンジャ収納容器を有するチェンジャ収納庫と、複数のノズルを収納するノズル収納容器を有するノズル収納庫と、チェンジャを支持し、支持するチェンジャからノズルの着脱を可能にする作業ステージと、チェンジャを待機させる入出庫ステージと、ノズルを移動させるノズル移載部と、入出庫ステージからチェンジャを取り出してチェンジャ収納容器または作業ステージへ搬送し、チェンジャ収納容器または作業ステージからノズルを収納したチェンジャを入出庫ステージへ受け渡すチェンジャ移載部と、を備える、ノズル管理装置。【選択図】図３

Description

本開示は、部品を基板に装着する装着装置で使用される部品保持用のノズルを管理するノズル管理装置に関する。

従来、部品を基板に装着する装着装置において、供給された部品を基板上に吸着しながら保持するためのノズルが用いられている。ノズルは、基板に実装される部品の種類に応じて複数種類用意される。このような、部品を吸着するためのノズルを管理するノズル管理装置がある。装着装置において、ノズルは携帯可能なチェンジャに収容されており、必要なノズルがチェンジャから取り出される。

例えば、特許文献１には、オペレータが意図する吸着ノズルを、オペレータの入力と、作業計画情報とに基づいて、ノズル載置器に移載させたり、ノズル載置器情報で決まる吸着ノズルをノズル載置器に移載させている。

特開２０１７−１９１８８７号公報

ところで、装着装置では、生産する基板の機種変更に伴う段取り換えの際には、ノズルをチェンジャ単位で交換しているが、従来のノズル管理装置はノズルとチェンジャを組み合わせて管理するところまでは考慮されておらず、実用性に問題があった。

従って、本開示の目的は、上記従来の課題を解決することにあって、ノズルとチェンジャを組み合わせて管理することができるノズル管理装置を提供することにある。

本開示のノズル管理装置は、部品を基板に装着する装着装置で使用される部品保持用のノズルを管理するノズル管理装置であって、
前記装着装置に着脱自在にセット可能で、複数の前記ノズルを収納するチェンジャを収納するチェンジャ収納容器を有するチェンジャ収納庫と、
複数の前記ノズルを収納するノズル収納容器を有するノズル収納庫と、
前記チェンジャを支持し、支持する前記チェンジャから前記ノズルの着脱を可能にする作業ステージと、
ノズル管理装置に出し入れされる前記チェンジャを待機させる入出庫ステージと、
前記作業ステージに支持された前記チェンジャと前記ノズル収納容器との間で、前記ノズルを移動させるノズル移載部と、
前記入出庫ステージからチェンジャを取り出して前記チェンジャ収納容器または前記作業ステージへ搬送し、前記チェンジャ収納容器または前記作業ステージから前記ノズルを収納したチェンジャを前記入出庫ステージへ受け渡すチェンジャ移載部と、
を備える。

本開示によれば、ノズルとチェンジャを組み合わせて管理することができるノズル管理装置を提供することができる。

ノズルが使用される装着装置の要部の平面図 ノズルの斜視図 本開示の実施形態１にかかるノズル管理装置の要部の平面図 台車が連結されたノズル管理装置の要部の平面図 ノズル管理装置および関連装置の制御系の構成を示すブロック図 移載ヘッドの要部の正面図 ノズル管理装置の要部の断面図 ノズル管理装置の要部の断面図 ノズル管理装置の連結部周辺の平面図 台車が連結されたノズル管理装置の連結部周辺の平面図 台車の支持ステージおよびノズル管理装置の保持部の側面図 ノズル管理装置の保持部周辺の正面図 ノズル管理装置の保持部に台車の支持ステージが連結された状態の側面図 ノズル管理装置の保持部に台車の支持ステージが連結された状態の説明図 ノズル管理装置の保持部に台車の支持ステージが連結された状態の説明図 ノズル管理装置の保持部に台車の支持ステージが連結された状態の断面図 台車の支持ステージが持ち上げられた状態の側面図 台車の支持ステージが持ち上げられた状態のＸ軸に沿った断面図 台車の支持ステージが持ち上げられた状態のＹ軸に沿った断面図 台車の支持ステージに支持されたチェンジャの正面図 台車の支持ステージに支持されたチェンジャの側面図 台車の支持ステージからチェンジャが外れた状態の正面図 シャッタ９ｂが閉状態のチェンジャ９の平面図 シャッタ９ｂが閉状態のチェンジャ９の正面図 シャッタ９ｂが開状態のチェンジャ９の平面図 閉状態のゴミ箱の正面図 開状態のゴミ箱の正面図 本開示の実施形態２にかかるノズル管理装置の要部の平面図 入出庫ステージに支持されたチェンジャの側面図 入出庫ステージに支持されたチェンジャの正面図

本開示の第１態様によれば、部品を基板に装着する装着装置で使用される部品保持用のノズルを管理するノズル管理装置であって、前記装着装置に着脱自在にセット可能で、複数の前記ノズルを収納するチェンジャを収納するチェンジャ収納容器を有するチェンジャ収納庫と、複数の前記ノズルを収納するノズル収納容器を有するノズル収納庫と、前記チェンジャを支持し、支持する前記チェンジャから前記ノズルの着脱を可能にする作業ステージと、ノズル管理装置に出し入れされる前記チェンジャを待機させる入出庫ステージと、前記作業ステージに支持された前記チェンジャと前記ノズル収納容器との間で、前記ノズルを移動させるノズル移載部と、前記入出庫ステージからチェンジャを取り出して前記チェンジャ収納容器または前記作業ステージへ搬送し、前記チェンジャ収納容器または前記作業ステージから前記ノズルを収納したチェンジャを前記入出庫ステージへ受け渡すチェンジャ移載部と、を備える、ノズル管理装置を提供する。

本開示の第２の態様によれば、前記チェンジャ収納容器は、複数個のチェンジャを収納する、第１態様に記載のノズル管理装置を提供する。

本開示の第３の態様によれば、前記チェンジャ収納庫は、複数の前記チェンジャ収納容器を収納するチェンジャマガジンと、前記チェンジャ収納容器を、前記チェンジャマガジンに搬入および前記チェンジャマガジンから搬出するチェンジャ収納容器搬送機構と、を有し、前記チェンジャ移載部は、前記チェンジャマガジンから搬出された前記チェンジャ収納容器に対してチェンジャの移載作業を行う、第１態様または第２態様に記載のノズル管理装置を提供する。

本開示の第４の態様によれば、前記ノズル収納庫は、前記ノズル収納容器を収納するノズルマガジンと、前記ノズル収納容器を前記ノズルマガジンに搬入および前記ノズルマガジンから搬送するノズル収納容器搬送機構と、を有し、前記ノズル移載部は、前記ノズルマガジンから搬出された前記ノズル収納容器に対してノズルの移載作業を行う、第１態様から第３態様のいずれか１つに記載のノズル管理装置を提供する。

本開示の第５の態様によれば、前記ノズルは、個別の識別子を有し、前記識別子は、ノズル管理情報と関連づけられており、前記識別子の情報を読み取る識別子検出部と、前記ノズル管理情報に基づき、前記ノズル収納容器における前記ノズルの移動先を前記移載部に指示する移載制御部を備える、第１態様から第４態様のいずれか１つに記載のノズル管理装置を提供する。

本開示の第６の態様によれば、前記ノズル管理情報は、メンテナンスの要否に関する情報、検査の要否に関する情報、使用可否に関する情報の少なくとも１つを有するノズル状態情報を含み、前記移載制御部は、前記ノズル収納容器において、前記ノズル状態情報の内容に応じて指定したノズル収納箇所に、前記ノズル移載部により前記ノズルを収納する、第５態様に記載のノズル管理装置を提供する。

本開示の第７の態様によれば、前記作業ステージに、メンテナンスまたは検査が必要なノズルを収納するためのチェンジャが支持されている場合、前記移載制御部は、前記ノズル状態情報に基づいてメンテナンスまたは検査が必要なノズルを前記ノズル収納容器から取り出して前記チェンジャへ移載する、第６態様に記載のノズル管理装置を提供する。

以下、本開示に係るノズル管理装置の例示的な実施形態について、添付の図面を参照しながら説明する。本開示は、以下の実施形態の具体的な構成に限定されるものではなく、同様の技術的思想に基づく構成が本開示に含まれる。

（実施形態１）
まず、本開示の実施形態１のノズル管理装置が管理するノズルとそれを使用する装着装置１について図１および図２を参照して説明する。図１は、ノズルが使用される装着装置１の要部の平面図である。図２は、ノズルの斜視図である。図１には、装着装置１が示されており、装着装置１は、部品４を基板３に装着する。

装着装置１の基台１Ａ上には、Ｘ軸方向に伸びる一対のベルトコンベア１Ｂで構成された基板搬送コンベアが２列配置されている。基板搬送コンベアは、Ｘ方向（図１では紙面左から右へ向かう方向）へ基板３を搬送し、２箇所の作業位置１Ｃに基板３を停止させる。本実施の形態の装着装置１は、基台１Ａ上に合計４箇所の作業位置１Ｃを備えている。基台１Ａの４箇所の作業位置１Ｃに隣接する位置には、上面に部品フィーダ２５を配置した台車２１が装着されている。

これらの台車２１は、基台１Ａに設けた連結部１５に着脱自在に連結されるようになっている。連結部１５には台車２１を誘い込むガイド１５ａの他、台車２１を機械的に連結するための機構（不図示）や電気的に接続するためのコネクタ等（不図示）を備えている。装着装置１は、部品４を装着する装着ヘッド５を有している。

装着ヘッド５は、Ｘ軸方向に延びたビーム８（Ｘ軸テーブル）によってＸ方向へ移動可能に支持されており、ビーム８の駆動によってＸ軸方向へ移動する。また、ビーム８はＹ軸方向に伸びたＹ軸テーブル７によってＹ方向へ移動自在に装着されており、Ｙ軸テーブル７の駆動によってＹ方向へ移動する。従って、ビーム８とＹ軸テーブル７は装着ヘッドをＸＹ方向へ移動させる装着ヘッド移動機構５Ａを構成しており、装着ヘッド移動機構５Ａが駆動すると装着ヘッド５は基板３や部品フィーダ２５の上空をＸＹ方向へ移動する。

装着ヘッド５には、Ｚ軸方向に移動可能なノズル６を複数個備えている。ノズル６は部品フィーダ２５によって供給された部品を負圧によって吸引保持し、基板３の装着位置まで搬送して装着する。装着ヘッド５は、ノズル６を着脱可能に保持しており、部品に適合したノズル６に交換しながら部品４を基板３へ装着する作業を実行する。また、装着装置１は、ノズル６が吸着した部品を撮影するカメラ１１と、制御部１３とを備える。

図５において、制御部１３は、装着ヘッド５、装着ヘッド移動機構５Ａ、カメラ１１、フィーダ２５と通信可能に接続されており、所定のプログラムにしたがってこれらの動作を制御し、取得するデータがある場合は取得する。

制御部１３は、画像認識部１３ａ、ショット数カウント部１３ｂ、記憶部１３ｄを含む。画像認識部１３ａはカメラ１１で取得した画像よりノズル６に保持された部品４の位置を認識（部品認識）する。制御部１３は、部品認識の結果を利用して装着ヘッド移動機構５Ａを制御してノズル６に保持された部品４を基板３の装着位置に位置決めする。また、部品認識の結果、吸着ミスや姿勢不良等でノズル６に保持された部品４を基板３に装着できないと画像認識部１３ａが判定したら、制御部１３は、装着ヘッド移動機構５Ａを制御してノズル６に保持されている部品４を廃棄部品として回収するゴミ箱２７へ投棄する。

記憶部１３ｄは装着装置１の動作に必要プログラムやデータ等を格納する他、装着装置１にセットされたチェンジャ９に収納されているノズル６のノズル管理情報を記憶する。制御部１３は、装着装置１で使用されるノズル６のノズル管理情報をホストコンピュータ１９からダウンロードして記憶部１３ｄに記憶する。

ノズル６は、装着される基板３の種類（機種）ごとにチェンジャ９に収納されている。チェンジャ９は装着装置１に連結可能な台車２１の支持ステージ２３に着脱可能に支持されている。

図２に示すように、ノズル６は、筒部６ａと、筒部６ａから下方に延びた吸着管６ｂと、筒部６ａの周囲に張り出したフランジ６ｃとを備える。また、ノズル６は、それぞれ個別のノズルＩＤ番号を示す識別子６ｄを有する。識別子６ｄは、フランジ６ｃ上に、例えば、２次元バーコード、ＱＲコード（登録商標）、または、ＲＦＩＤタグとして付されている。筒部６ａは、装着ヘッド５の昇降シャフト（不図示）の下端部に設けたノズルホルダに保持されることによって装着ヘッド５に保持される。

図１を参照する。台車２１は、装着装置１に部品を供給するための複数種類の部品フィーダ２５と、部品認識で装着不可と判定された廃棄部品を回収するゴミ箱２７と、を搭載している。

以下、図３から図５を参照して本開示の実施形態１について説明する。図３は、ノズル管理装置３１の要部の平面図である。図４は台車２１が連結されたノズル管理装置３１の要部の平面図である。図５は、ノズル管理装置３１および関連装置の制御系の構成を示すブロック図である。以下、ノズル管理装置３１においてチェンジャ９の搬送方向をＹ軸方向（前後方向）とし、Ｘ軸方向（左右方向）とし、上下方向をＺ軸方向とする。Ｙ軸方向、Ｘ軸方向、Ｚ軸方向とは互いにそれぞれ直交する。

ノズル管理装置３１は、本体３１ａと、チェンジャ収納容器としてのチェンジャパレット３５を有するチェンジャ収納庫５０と、ノズル収納容器としてのノズルパレット３９を有するノズル収納庫５４と、作業ステージ３７と、と、移載部４１と、制御部４２とを備える。

本体３１ａは、台車２１と連結するための連結部３２を有する。連結部３２は、装着装置１の連結部１５と基本的に同一構造である。連結部３２は、本体３１ａから外方に延び、台車２１を本体３１ａに案内する一対のレール３２ａを有する。さらに、連結部３２は、台車２１を機械的に連結するための機構（不図示）や電気的に接続するためのコネクタ等（不図示）を備えている。また、本体３１ａは、入出庫ステージ８１を備えている。ノズル管理装置３１は入出庫ステージ８１において台車２１から使用済みのノズル６を収納したチェンジャ９を受け入れる入庫作業と、使用可能なノズル６を収納したチェンジャ９を台車２１へ払い出す出庫作業を行う。入出庫ステージ８１には、保持部３３が設けられている。保持部３３の機能については後述する。

チェンジャパレット３５は、複数のチェンジャ９を収納するチェンジャ収納容器である。チェンジャパレット３５は、例えば、金属製または樹脂製のパレットであり、１つのチェンジャパレット３５にはチェンジャ９を１個ずつ収納する収納スペース３５ａが複数個形成されている。

本体３１ａは、その前面には作業ステージ３７を有する。作業ステージ３７は、支持するチェンジャ９からノズル６を取出し、あるいは収納するために使用される領域である。作業ステージ３７は、チェンジャ９を着脱自在に支持し、支持するチェンジャ９からノズル６の着脱を可能にする。チェンジャパレット３５には、それぞれ個別のチェンジャパレットＩＤ番号が含まれる識別子３５ｂが付されている。識別子３５ｂは、例えば、２次元バーコード、ＱＲコード（登録商標）、または、ＲＦＩＤタグとして付されている。

ノズルパレット３９は、複数のノズル６を保管するノズル６の収納容器である。ノズルパレット３９は、例えば、金属製または樹脂製のパレットである。ノズルパレット３９は、ノズル６の大きさに応じた複数のノズル収納孔３９ｂを備えている。ノズルパレット３９には、それぞれ個別のノズルパレットＩＤ番号が含まれる識別子３９ａが付されている。識別子３９ａは、例えば、２次元バーコード、ＱＲコード（登録商標）、または、ＲＦＩＤタグとして付されている。

移載部４１は、チェンジャパレット３５と入出庫ステージ８１との間及びチェンジャパレット３５と作業ステージ３７との間でチェンジャ９を移動させる。また、移載部４１は、入出庫ステージ８１と作業ステージ３７の間でもチェンジャ９を移動させることが可能である。移載部４１は、また、作業ステージ３７とノズルパレット３９との間でノズル６を移動させる。移載部４１は、移載ヘッド４３と移載ヘッド４３を駆動する移載ヘッド駆動機構４４とを備える。移載ヘッド駆動機構４４は、Ｙ軸方向に平行に延びる一対のレール４４ａと、レール４４ａに沿って可動する可動ビーム４４ｂと、可動ビーム４４ｂ及び可動ビーム４４ｂに沿って移動する移載ヘッド４３をそれぞれ駆動する駆動モータ（不図示）を備える。

移載ヘッド４３は、２種類のノズル用のチャック装置４５、４６と、２つのチェンジャ用のチャック装置４７と、ノズル６およびチェンジャ９を撮影するカメラ４８とを備える。

チャック装置４５、４６は、それぞれ、ノズル６を把持する装置であり、それぞれ異なる大きさのノズル６を把持する。チャック装置４５は、チャック４５ａとチャック４５ａを上下方向に昇降するシリンダ４５ｂとを備える。チャック４５ａは、例えば、２本のチャック爪４５ｃを有し、チャック爪４５ｃがノズル６を把持する。チャック装置４６も同様に、チャック４５ａとシリンダ４５ｂとを備え、チャック４５ａは、３本のチャック爪４５ｃを有する。このうち、チャック４５ａは、より多くの種類のノズル６の移載に対応するためにシリンダ４５ｂに対して交換可能になっている。

チャック装置４７は、チェンジャ９を把持する装置である。チャック装置４７は、チャック４７ａとチャック４７ａを上下方向に昇降するシリンダ４７ｂとを備える。チャック４７ａは、例えば、２本の把持アーム４７ｃを有し、チェンジャ９の底部または側部を把持する。チャック装置４７は、多くの種類のチェンジャ９の移載に対応するためにシリンダ４７ｂに対して交換可能になっている。

また、ノズル管理装置３１は、ノズル保持チェンジャ５９と、チャック交換器６５とを備える。ノズル保持チェンジャ５９は、交換用のチャック４５ａを収納している。ノズル保持チェンジャ５９の上空でチャック装置４５のシリンダ４５ｂに昇降動作を行わせることにより、チャック４５ａをシリンダ４５ｂから取外す作業や交換用のチャック４５ａをシリンダ４５ｂに装着する作業が実行される。

チェンジャ収納庫５０は、さらに、チェンジャマガジン５１と、チェンジャパレット搬送機構５３と、を有する。ノズル収納庫５４は、さらに、ノズルパレット３９と、ノズルマガジン５５と、ノズルパレット搬送機構５７と、を有する。

チェンジャマガジン５１は、複数のチェンジャパレット３５を収納する。チェンジャマガジン５１内に、チェンジャパレット３５が上下方向に並んで収納されている。チェンジャマガジン５１は、ノズル管理装置３１の内部においてその位置が固定されており、上下方向には動かない。チェンジャマガジン５１は、前後（チェンジャパレット３５の搬送方向）が開放された箱型形状を有し、その内部に複数のチェンジャパレット３５を上下方向に間隔を空けて水平な姿勢で前後方向にスライド可能に収納する。チェンジャマガジン５１の開放された前方には、チェンジャパレット搬送機構５３が配置されている。また、後方からは作業者が収納されたチェンジャパレット３５へアクセス可能になっている。チェンジャマガジン５１は動かないので、作業者は手作業でチェンジャマガジン５１からチェンジャパレット３５を安全に出し入れすることができる。

チェンジャパレット搬送機構５３は、チェンジャパレット３５をチェンジャマガジン５１に搬入およびチェンジャマガジン５１から搬出する。チェンジャパレット搬送機構５３は、チェンジャパレット３５を把持する把持部６１と、上下方向（Ｚ軸方向）に昇降するエレベータ６３とを備える。把持部６１は、上下方向に移動可能な２つのアーム６１ａを有し、２つのアーム６１ａはチェンジャパレット３５の前縁を上下方向に挟んで把持する。また、把持部６１は、エレベータ６３上をＹ軸方向に移動可能であり、エレベータ６３は、その内部に把持部６１をＹ軸方向に移動させる駆動装置（図示省略）を有している。エレベータ６３が上下方向に昇降することで、エレベータ６３の高さを、チェンジャマガジン５１内から所望のチェンジャパレット３５を把持部６１が把持可能な高さに位置させる。そして、駆動装置によって把持部６１をチェンジャパレット３５へ接近させて把持部６１をチェンジャパレット３５の把持が可能な位置へ移動させる。把持部６１がチェンジャパレット３５を把持すると、エレベータ６３内の駆動装置を駆動して把持部６１をチェンジャマガジン５１から遠ざかる方向へ移動させる。これによりチェンジャパレット３５をマガジンから引き出してエレベータ６３の上に搬出することができる。これとは逆の動作を行えば、エレベータ６３の上のチェンジャパレット３５をチェンジャマガジン５１へ搬入することができる。

ノズルマガジン５５は、複数のノズルパレット３９を収納する収納庫である。ノズルマガジン５５内に、ノズルパレット３９が上下方向に並んで格納されている。ノズルマガジン５５は、ノズル管理装置３１の内部ではその位置は固定されており、上下方向には動かない。ノズルマガジン５５は、前後（ノズルパレット３９の搬送方向）が開放された箱型形状を有し、その内部に複数のノズルパレット３９を上下方向に間隔を空けて水平な姿勢で前後方向にスライド可能に収納する。ノズルマガジン５５の開放された前方には、ノズルパレット搬送機構５７が配置されている。また、後方からは作業者が収納されたノズルパレット３９へアクセス可能になっている。このため、作業者は手作業でノズルマガジン５５からノズルパレット３９を安全に出し入れすることができる。

ノズルパレット搬送機構５７は、ノズルパレット３９をノズルマガジン５５に搬入およびノズルマガジン５５から搬出する。ノズルパレット搬送機構５７は、ノズルパレット３９を把持する把持部６２と、上下方向（Ｚ軸方向）に昇降するエレベータ６４とを備える。把持部６２は、上下方向に移動可能な２つのアーム６２ａを有し、２つのアーム６２ａはノズルパレット３９の前縁を上下方向に挟んで把持する。また、把持部６２は、エレベータ６４上をＹ軸方向に移動可能であり、エレベータ６４は、その内部に把持部６２をＹ軸方向に移動させる駆動装置（図示省略）を有している。エレベータ６４が上下方向に昇降することで、エレベータ６４の高さを、ノズルマガジン５５内の所望のノズルパレット３９を把持部６２が把持可能な高さに位置させる。そして、駆動装置によって把持部６２をノズルパレット３９へ接近させて把持部６２をノズルパレット３９の把持が可能な位置へ移動させる。把持部６２がノズルパレット３９を把持すると、エレベータ６４内の駆動装置を駆動して把持部６２をノズルマガジン５５から遠ざかる方向へ移動させる。これによりノズルパレット３９をノズルマガジン５５から引き出してエレベータ６４の上に搬出することができる。これとは逆の動作を行えば、エレベータ６４の上のノズルパレット３９をノズルマガジン５５へ搬入することができる。

図５は装着装置１を含む実装システムのブロック図である。装着装置１、ホストコンピュータ１９、ノズル管理装置３１は、有線または無線からなる通信ネットワーク１００に接続されており、相互に通信可能になっている。

ホストコンピュータ１９は、情報処理部１９ａと記憶部１９ｂとを備える。情報処理部１９ａは、各ノズル６の使用情報を基に、各ノズル６がメンテナンスを必要とするか否かを判定する。また、生産工程で必要なノズルをチェンジャ９に集めるようにノズル管理装置３１へ指示する。

ホストコンピュータ１９は、例えば、プロセッサ、ＦＰＧＡ等の演算装置を情報処理部１９ａとして含む。また、メモリ、ハードディスク、ＳＳＤ等の少なくとも１つから構成される記憶装置を記憶部１９ｂとして含み情報処理部１９ａの処理プログラムが記憶されている。

ノズル６が識別子６ｄをＲＦＩＤタグとして有する場合、移載ヘッド４３は、カメラ４８の他にＲＦＩＤタグの読み取り装置を備える。ホストコンピュータ１９の記憶部１９ｄには、それぞれのノズルＩＤ番号と関連づけられたノズル管理情報が記憶されている。

ノズル６の識別子６ｄは、ノズル管理情報と関連づけられている。ノズル管理情報は、ホストコンピュータ１９の記憶部１９ｂに記憶している。

ノズル管理情報は、ノズル基本情報、ノズル状態情報、およびノズルロケーション情報を含む。ノズル基本情報は、ノズルＩＤ（識別情報）、ノズルの種類、名称、および使用開始年月日等の情報を含む。装着装置１やノズル管理装置３１は、識別子６ｄを読み取ることにより、識別子６ｄから得られたノズルＩＤに関連づけられたノズル管理情報をホストコンピュータ１９から取得することができる。

ノズル状態情報は、装着装置１で部品を吸着したショット数、メンテナンス要否情報、検査要否情報、使用可否情報、およびメンテナンス日時（検査や洗浄を実施した日時）の情報を含む。ショット数とは、ノズル６が装着装置１において部品を保持する動作を実行した回数である。ショット数には、新品の状態からこれまで吸着した全ての生涯ショット数と、メンテナンスした後のショット数とが含まれる。ノズル状態情報は、付随するメンテナンス装置（図示省略）によって更新され、更新結果の情報がホストコンピュータ１９へ送信される。

メンテナンス要否情報は、ショット数や使用時間等の所定の判定基準により情報処理部１９ａがそれぞれのノズル６にメンテナンスが必要であるか否かを判定した情報である。ここで、メンテナンスとは少なくともノズル６の洗浄を含む。検査要否情報は、ショット数や使用時間等の所定の判定基準により情報処理部１９ａがそれぞれのノズル６に検査が必要であるか否かを判定した情報である。ここで、ノズルの検査とは、例えば、ノズルを流れるエア流量や、ノズル先端の形状等の検査である。使用可否情報は、メンテナンスの後の完了検査やノズルの検査の際の使用可否の判定結果である。メンテナンス要否情報や検査要否情報は、上述した通り情報処理部１９ａの判定結果に基づいて記録されるが、ショット数や使用時間に関係なく、装着装置１から外されてノズル管理装置３１に戻されるチェンジャ９に収納されているノズル６のメンテナンス要否情報を「要」、検査要否情報を「要」とするようにしてもよい。すなわち、ノズル管理装置３１に戻されるチェンジャ９に収納されているノズル６は必ずメンテナンスと検査を行うという運用でもよい。

ノズルロケーション情報は、ノズル６の収納位置を特定可能な情報である。ノズル６がノズルパレット３９に収納されている場合は、収納されているノズルパレット３９のＩＤ情報と収納位置に関する情報を含む。ノズル６がチェンジャ９に収納されている場合は、収納されているチェンジャ９のＩＤ情報と収納位置を含む。チェンジャ９、およびノズルパレット３９のどの箇所に収納したかは、移載ヘッド４３の移動量から管理することができ、チェンジャ９およびノズルパレット３９内の収納箇所まで特定することができる。

また、ホストコンピュータ１９の情報処理部１９ａは、ノズルＩＤをチェンジャ管理情報とも紐付けて記憶部１９ｂに保管している。チェンジャ管理情報は、チェンジャＩＤと、チェンジャロケーション情報を含む。チェンジャＩＤは、各チェンジャ９に識別子９ｅとして付されている。識別子９ｅは、例えば、２次元バーコード、ＱＲコード（登録商標）、または、ＲＦＩＤタグとして付されている。チェンジャロケーション情報は、チェンジャパレット３５におけるノズル６の収納場所を特定可能な情報である。また、ノズル管理装置３１内だけでなく、装着装置１や外段取り中の台車２１におけるチェンジャの位置についても特定できるように管理されている。

ノズル管理装置３１の制御部４２は、画像認識部４２ａ、機構制御部４２ｂ、移載制御部４２ｃ、記憶部４２ｄを有する。制御部４２は、例えば、プロセッサ、ＦＰＧＡ等の演算装置を、画像認識部４２ａ、機構制御部４２ｂ、移載制御部４２ｃとして含む。また、メモリ、ハードディスク、ＳＳＤ等の少なくとも１つから構成される記憶装置を記憶部４２ｄとして含み画像認識部４２ａ、機構制御部４２ｂおよび移載制御部４２ｃの処理プログラムが記憶されている。制御部４２は、ホストコンピュータ１９と有線または無線により通信接続されている。

ノズル管理装置３１は、保管するノズル６に関するノズル管理情報をホストコンピュータ１９から取得して記憶部４２ｄに記憶させる。移載制御部４２ｃは、このノズル管理情報に基づき、ノズルパレット３９におけるノズル６の移動先を移載部４１に指示する。

例えば、移載制御部４２ｃは、移載部４１に指示して、ノズルパレット３９において、ある種類のノズル６の近くまたは隣接して同じ種類の別のノズル６を収納する。これにより、ノズルパレット３９において、同じ種類のノズル６が互いに近い箇所または隣接した箇所にまとめて収集されるので、同じ種類のノズル６を作業ステージ３７への搬送時間を短縮することができる。例えば、特定のノズル専用のノズルパレット３９を設けて、ノズル６を種類ごとにノズルパレット３９に収容してもよい。また、１枚のノズルパレットを複数の区画に分けてノズル６の種類に応じて対応する区画に収納してもよい。例えば、大型のノズル６をノズルパレット３９において作業ステージ３７側の領域Ｎａに収納させて、小型のノズル６をノズルパレット３９においてノズルマガジン５５側の領域Ｎｆに収納させてもよい。

また、ノズル６の状態別にノズルパレット３９を分ける、または、ノズルパレット３９の収納区画を分けてもよい。例えば、使用不可のノズル専用のノズルパレット３９を用意するか、または、ノズルパレット３９の一部の区画を使用不可のノズル６の収納区画に設定してもよい。例えば、使用不可のノズル６は、ノズルパレット３９において作業ステージから離れたノズルマガジン５５側の領域Ｎｆに収納してもよい。

例えば、移載制御部４２ｃは、移載部４１に指示して、ノズルパレット３９において洗浄の必要なノズル６をノズルパレット３９に収納してもよい。洗浄の必要なノズル６の近くに洗浄の必要な別のノズル６を収納することで、洗浄の必要なノズル６が互いに近い箇所に収集される。これにより、洗浄が必要なノズル６を作業ステージ３７のチェンジャ９に払い出しする際に、搬送時間を短縮することができる。例えば、ノズルパレット３９において洗浄の必要なノズル６を作業ステージ３７側の領域Ｎａに収納することで、より搬送時間を短縮することができる。

チェンジャ９は個別のチェンジャＩＤ情報を有し、ノズル６の大きさや装着装置１のタイプに応じた複数種類のチェンジャ９が用意されている。これにより、ノズル６の収容効率を向上させることができる。また、洗浄が必要なノズル６を収納する洗浄用チェンジャを用意してもよい。洗浄が必要なノズル６を洗浄用チェンジャに収納することで、洗浄が必要なノズルを一括して搬送することができる。

また、移載制御部４２ｃは、移載部４１に指示を送って、待機時間に洗浄が必要なノズル６を洗浄用チェンジャに移載させることで、作業効率を上げることができる。

次に、図８Ａおよび図８Ｂを参照する。ノズル管理装置３１は、台車２１と連結する連結部３２を有する。連結部３２は、台車２１を案内する一対のレール３２ａと、保持部３３と、チェンジャ９を支持する台車２１の支持ステージ２３とチェンジャ９との固定を解除する解除部７３と、を備える。一対のレール３２ａの間において、本体３１ａ側に、台車２１のゴミ箱２７と連結するゴミ回収機構７１と、保持部３３と、解除部７３とが配置されている。

ゴミ回収機構７１は、ノズル管理装置３１と連結した台車２１のゴミ箱２７内のゴミ（廃棄部品）を収容する。ゴミ回収機構７１は、台車２１のゴミ箱２７の底を開閉するレバー７１ａと、レバー７１ａを回転駆動するレバー駆動部７１ｂと、ゴミ箱２７のゴミを排出するゴミ排出ダクト７１ｃと、を備える。レバー駆動部７１ｂは、例えば、アクチュエータである。

次に、図９Ａ、図９Ｂを参照する。図９Ａは、台車２１の支持ステージ２３およびノズル管理装置３１の保持部３３の側面図である。図９Ｂは、ノズル管理装置３１の保持部３３周辺の縦断面図である。

ノズル管理装置３１と連結される台車２１の支持ステージ２３について説明する。台車２１の前端部に取り付けられた支持ステージ２３は、第１ベース部２３ａと、第２ベース部２３ｂと、柱部２３ｃと、ローラ２３ｄと、ステージ台２３ｅと、チェンジャ着脱機構２３ｆと、を備える。ステージ台２３ｅにはチェンジャ９の位置を規制するための位置決めピン２３ｈが配置されている。位置決めピン２３ｈはチェンジャ９に当接することでそはステージ台２３ｅにおけるチェンジャ９の位置を規制する。

支持ステージ２３の第１ベース部２３ａは略Ｕ字形の板状部材であり、台車２１の本体２１ａに固定されている。第２ベース部２３ｂは板状部材であり、第１ベース部２３ａから上方に突出したピン２３ｇに位置決めされて第１ベース部２３ａに着脱自在に載置されている。

第２ベース部２３ｂから上方に柱部２３ｃが延びる。柱部２３ｃのＸ軸方向のそれぞれの側面には、Ｘ軸方向を回転軸とするローラ２３ｄが取り付けられている。柱部２３ｃの上面にはステージ台２３ｅが固定されている。矩形のステージ台２３ｅの上面にはチェンジャ９が載置されている。ステージ台２３ｅの下面にはチェンジャ着脱機構２３ｆが配置されている。

次に、台車２１の支持ステージ２３と連結されるノズル管理装置３１の保持部３３について説明する。保持部３３は、支持ステージ２３の第２ベース部２３ｂと篏合するベース収容部３３ａと、ベース収容部３３ａを昇降させる昇降部３３ｂと、ローラ２３ｄを案内して位置決めする溝カム３３ｃと、を備える。

ベース収容部３３ａは、昇降部３３ｂと連結された矩形の第１プレート３３ａａと、第１プレート３３ａａの上方に平行に配置された第２プレート３３ａｂと、第１プレート３３ａａおよび第２プレート３３ａｂの本体３１ａ側をそれぞれ連結する第３プレート３３ａｃとを備える。

昇降部３３ｂは、ベース収容部３３ａを上方へ移動させることで、支持ステージ２３を台車２１から持ち上げる。昇降部３３ｂは、例えば、アクチュエータである。

溝カム３３ｃは、下方に向けて開口された凹部３３ｃａと、凹部３３ｃａの本体側３１ａの壁が下方に延びたカム壁３３ｃｂとを有する。

次に、図１０Ａ、図１０Ｂを参照する。図１０Ａは、ノズル管理装置３１の保持部３３に台車２１の支持ステージ２３が連結された状態の側面図である。図１０Ｂは、ノズル管理装置３１の保持部３３に台車２１の支持ステージ２３が連結された状態の縦断面図である。

台車２１がレール３２ａに案内されてノズル管理装置３１に接近し、やがて、台車２１の支持ステージ２３のローラ２３ｄが保持部３３の溝カム３３ｃのカム壁３３ｃｂに当接して停止する。この状態において、台車２１の第２ベース部２３ｂがノズル管理装置３１の保持部３３の第１プレート３３ａａと第２プレート３３ａｂとの間に挿入される。すなわち、第２ベース部２３ｂがベース収容部３３ａに嵌め込まれる。

台車２１がノズル管理装置３１に連結されたことを、接触センサ等により検出すると、機構制御部４２ｂが昇降部３３ｂを作動させて、例えば、アクチュエータのシリンダを引くことで第１プレート３３ａａを持ち上げる。図１１Ａ〜図１１Ｃに示すように、第１プレート３３ａａが台車２１の支持ステージ２３の第２ベース部２３ｂをその下面に接触して上方に持ち上げる。これにより、第２ベース部２３ｂは第１ベース部２３ａから離れて、支持ステージ２３が台車２１から分離される。

支持ステージ２３が上方へ移動されると、支持ステージ２３のローラ２３ｄが保持部３３の溝カム３３ｃのカム壁３３ｃｂ上を回転しながら上方の凹部３３ｃａへ案内される。やがて、ローラ２３ｄが凹部３３ｃａの上面に接触するとローラ２３ｄが凹部３３ｃａにより支持ステージ２３の進行方向（Ｙ軸方向）および上方への移動が規制され、支持ステージ２３が位置決めされる。

台車２１に支持ステージ２３が取り付けられている間は、台車２１の支持ステージ２３に支持されるチェンジャ９の高さは、作業ステージ３７に支持されるチェンジャ９の高さよりも低い。台車２１がノズル管理装置３１と連結し、支持ステージ２３が保持部３３により持ち上げられると、支持ステージ２３に支持されるチェンジャ９の高さは、作業ステージ３７に支持されるチェンジャ９の高さと同じ高さになる。この高さの状態で、移載部４１は、支持ステージ２３に支持されるチェンジャ９を移載することが可能となる。

なお、支持ステージ２３が保持部３３により持ち上げられている状態から台車２１がノズル管理装置３１から離れるまでの動作の流れは、上述した動作の逆を行う。

次に、図１２Ａから図１２Ｃを参照して、支持ステージ２３に保持されているチェンジャ９をチェンジャパレット３５へ移載する動作を説明する。

チェンジャ着脱機構２３ｆは、アーム２３ｆａと、押さえ部２３ｆｂと、バネ２３ｆｃを有する。アーム２３ｆａは上下方向に延びており、中央部にステージ台２３ｅに取り付けられている支点２３ｆｄを中心に回動可能である。アーム２３ｆａの上端には、チェンジャ９の側部に形成された突起９ｃを押さえる押さえ部２３ｆｂが取り付けられている。支持ステージ２３のステージ台２３ｅの下面から下方に突出する突出部２３ｋにバネ２３ｆｃの一端が接続され、アーム２３ｆａの中央部にバネ２３ｆｃの他端が接続されている。これにより、アーム２３ｆａは押さえ部２３ｆｂがステージ台２３ｅに保持されているチェンジャ９の方に付勢されており、押さえ部２３ｆｂとステージ台２３ｅとで突起９ｃを挟んでチェンジャ９を支持ステージ２３に固定する。

制御部４２は、支持ステージ２３が昇降部３３ｂにより持ち上げられたことを検出すると、機構制御部４２ｂは解除部７３を作動し、例えば、シリンダの先端をアーム２３ｆａの下端を支持ステージ２３側へ押し出す。これにより、アーム２３ｆａが支点２３ｆｄを中心に回動し、押さえ部２３ｆｂが外方へ離れ、チェンジャ９の固定が解除される。

移載制御部４２ｃは、解除部７３の駆動を検出すると、移載部４１を駆動して、移載ヘッド４３を支持ステージ２３へ移動させる。移載制御部４２ｃからの指示によりチャック装置４７がチェンジャ９を把持して支持ステージ２３からチェンジャパレット３５へ移載する。

次に、図１３Ａから図１３Ｃを参照して、作業ステージ３７に保持されているチェンジャ９からノズル６を移載する動作を説明する。図１３Ａは、シャッタ９ｂが閉状態のチェンジャ９の平面図である。図１３Ｂは、シャッタ９ｂが閉状態のチェンジャ９の側面図である。図１３Ｃは、シャッタ９ｂが開状態のチェンジャ９の平面図である。チェンジャ９は、ベース部９ａとベース部９ａの面上を長手方向にスライド可能なシャッタ９ｂと、シャッタ９ｂをスライドさせるスライド機構３７ｂ（図８Ａ参照）と、を有する。

ベース部９ａとシャッタ９ｂとの間には上下方向に隙間が空けられている。この隙間に、ベース部９ａに載置されたノズル６のフランジ６ｃが位置している。シャッタ９ｂには、ノズル６のフランジ６ｃよりも直径が大きい大孔部９ｂａと、フランジ６ｃの直径よりも狭く筒部６ａの直径よりも幅広のスリット部９ｂｂとがノズル６の配列方向に沿って交互に形成されている。

シャッタ９ｂが、ノズル６のフランジ６ｃ上にスリット部９ｂｂが位置する閉状態のとき、ノズル６はチェンジャ９に固定されている。また、シャッタ９ｂが、ノズル６のフランジ６ｃ上に大孔部９ｂａが位置する開状態の場合、ノズル６をチェンジャ９から取り外し可能な状態である。

作業ステージ３７は、チェンジャ９を支持するステージ台３７ａと、シャッタ９ｂをスライドさせるスライド機構３７ｂと、ステージ台３７ａとチェンジャ９との固定を解除する解除部３７ｃとを有する（図８Ａ参照）。スライド機構３７ｂは、凹部９ｄに嵌合するアーム３７ｂａとアーム３７ｂａをシャッタ９ｂのスライド方向に往復移動させるシリンダ３７ｂｂを備える。解除部３７ｃの構造および動作は、解除部７３と同様であるので、説明を省略する。

チェンジャ９が作業ステージ３７にセットされている状態において、アーム３７ｂａは凹部９ｄに挿入されている。ノズル６の移載作業を行う際、機構制御部４２ｂからスライド機構３７ｂへの指示により、アーム３７ｂａを閉位置から開位置へ移動させる。これにより、シャッタ９ｂが閉位置から開位置へスライドし、ノズル６が取り外し可能な状態になる。この状態で、移載ヘッド４３が必要なノズル６を作業ステージ３７上のチェンジャ９から取り出して、ノズルパレット３９へ移動させる。また、逆に、移載ヘッド４３は、ノズルパレット３９から、ノズル６を作業ステージ３７上のチェンジャ９へ移動させる。ノズルの移載作業が終了すると、機構制御部４２ｂからスライド機構３７ｂへの指示により、アーム３７ｂａを開位置から閉位置へ移動させる。これにより、シャッタ９ｂが開位置から閉位置へスライドし、ノズル６が取り外し不可の状態になる。

次に、図１４Ａ、１５Ｂを参照して、台車２１のゴミ箱２７内のゴミの回収について説明する。

ゴミ箱２７は、下方に凸の台形状の本体２７ａと、本体２７ａの一部に回転可能に取り付けられた底板２７ｂと、底板２７ｂを本体２７ａ側へ付勢する付勢部２７ｃと、付勢部２７ｃから下方に延びるプレート２７ｄを備える。台車２１がノズル管理装置３１に連結されると、ゴミ回収機構７１のレバー７１ａとプレート２７ｄとが対向して位置する。付勢部２７ｃは、例えば、巻きバネである。

台車２１と連結部３２の連結が検出されると、機構制御部４２ｂは、ゴミ回収機構７１のレバー駆動部７１ｂに指示してレバー７１ａをプレート２７ｄへ押し当てる。付勢部２７ｃの付勢力に対向してプレート２７ｄを解除位置へ移動させることで、底板２７ｂが下方に回転し、ゴミ箱２７の下部が開放される。ゴミ箱２７内のゴミは、ゴミ箱２７の下方に配置されたゴミ排出ダクト７１ｃへ排出される。

（実施形態２）
次に、本開示の実施形態２のノズル管理装置３１Ａについて図１５〜図１７を参照して説明する。図１５は、実施形態２にかかるノズル管理装置３１Ａの要部の平面図である。図１６は、入出庫ステージ８１Ａに支持されたチェンジャ９の側面図である。図１７は、入出庫ステージ８１Ａに支持されたチェンジャ９の正面図である。実施形態１では、ノズル管理装置３１は台車２１と連結する連結部３２を備えていた。実施形態２のノズル管理装置３１Ａは、台車２１と連結しないので、連結部３２を備えることなくチェンジャ９を受け渡す入出庫ステージ８１Ａを備える。この点、および以下に説明する点以外の構成および装置の動作については、ノズル管理装置３１と３１Ａとは共通であるので、詳細な説明を省略する。

実施形態２の入出庫ステージ８１Ａは、ノズル管理装置３１Ａに出し入れされるチェンジャ９を待機させるステージである。入出庫ステージ８１Ａは、保持部３３Ａと、チェンジャ９を支持する支持ステージ２３Ａとチェンジャ９との固定を解除する解除部７３と、を備える。実施形態２では、作業者または移送ロボットがチェンジャ９を入出庫ステージ８１Ａへ搬送する。支持ステージ２３Ａは、柱部２３ｃ、ステージ台２３ｅおよびチェンジャ着脱機構２３ｆを有する。

保持部３３Ａは、本体３１ａから外方に延びた柱状の支持部材である。保持部３３Ａの前部から柱部２３ｃが上方に延び、ステージ台２３ｅを支持している。ステージ台２３ｅからのチェンジャ９の着脱動作は実施の形態１と同様である。

移載部４１は、入出庫ステージ８１Ａからチェンジャ９を取り出してチェンジャパレット３５または作業ステージ３７へ搬送し、チェンジャパレット３５または作業ステージ３７からノズル６を収納したチェンジャ９を入出庫ステージ８１へ受け渡す。これらの移載動作は実施形態１と同様である。

実施形態２のノズル管理装置３１Ａにおいても、ノズル６とチェンジャ９を組み合わせて管理することができる。これにより、生産する基板の機種変更に伴う段取り換えを効率良く行うことができる。

本実施形態のノズル管理装置３１によれば、部品を基板３に装着する装着装置１で使用される部品保持用のノズル６を管理するノズル管理装置３１であって、装着装置１に着脱自在にセット可能で、複数のノズル６を収納するチェンジャ９を収納するチェンジャパレット３５を有するチェンジャマガジン５１と、複数のノズル６を収納するノズルパレット３９を有するノズル収納庫５４と、チェンジャ９を支持し、支持するチェンジャ９からノズル６の着脱を可能にする作業ステージ３７と、ノズル管理装置３１に出し入れされるチェンジャ９を待機させる入出庫ステージ８１、８１Ａと、作業ステージ３７に支持されたチェンジャ９とノズルパレット３９との間で、ノズル６を移動させる移載部４１と、入出庫ステージ８１、８１Ａからチェンジャ９を取り出してチェンジャパレット３５または作業ステージ３７へ搬送し、チェンジャパレット３５または作業ステージ３７からノズル６を収納したチェンジャ９を入出庫ステージ８１、８１Ａへ受け渡す移載部４１を備えてもよい。入出庫ステージ８１、８１Ａに受け入れたチェンジャ９をチェンジャパレット３５に移動し、さらに、作業ステージ３７に移動した後、ノズル６の移動を行うことできる。また、ノズル６を収容したチェンジャ９ごとチェンジャパレット３５に収容することができるので、ノズル６とチェンジャ９を組み合わせて管理することができる。また、作業ステージ３７に載置したチェンジャ９に必要なノズル６をノズルパレット３９から集めて用意しておくことができるので、新旧のチェンジャを入れ替える場合も、入出庫ステージ８１、８１Ａから入庫されたノズル６をチェンジャ９ごとノズル管理装置３１に保管して、新しいノズル６が用意されたチェンジャ９を作業ステージ３７から入出庫ステージ８１、８１Ａに移載することができるので、短時間でノズル６の入出庫を行うことができる。

チェンジャパレット３５は、複数のチェンジャ９を収納してもよい。チェンジャパレット３５が、複数のチェンジャ９を収納するので、入出庫ステージ８１、８１Ａにチェンジャ９を連続して搬送した場合でも、ノズル６をチェンジャ単位でチェンジャパレット３５へ次々と移載することができる。このように、チェンジャパレット３５へ次々とチェンジャ９を回収することができるので、ノズル６の移載のために待つ時間を大幅に短縮することができる。

また、チェンジャ収納庫は、複数のチェンジャパレット３５を収納するチェンジャマガジン５１と、チェンジャパレット３５を、チェンジャマガジン５１に搬入およびチェンジャマガジン５１から搬出するチェンジャパレット搬送機構５３と、を備えてもよい。

ノズル収納庫は、ノズルパレット３９を収納するノズルマガジン５５と、ノズルパレット３９をノズルマガジン５５に搬入およびノズルマガジン５５から搬出するノズルパレット搬送機構５７と、を有し、移載部４１は、ノズルマガジン５５から搬出されたノズルパレット３９に対してノズル６の移載作業を行ってもよい。

ノズル６は、個別の識別子６ｄを有し、識別子６ｄは、ノズル管理情報と関連づけられており、識別子６ｄの情報を読み取るカメラ４８および画像認識部と、ノズル管理情報に基づき、ノズルパレット３９におけるノズル６の移動先を移載部４１に指示する移載制御部４２ｃを備えてもよい。

ノズル管理情報は、メンテナンスの要否に関する情報、検査の要否に関する情報、使用可否に関する情報の少なくとも１つを有するノズル状態情報を含み、移載制御部４２ｃは、ノズルパレット３９において、ノズル状態情報の内容によって指定されたノズル収納箇所にノズル６を収納してもよい。

作業ステージ３７に、メンテナンスまたは検査が必要なノズル６を収納するためのチェンジャ９が支持されている場合、移載制御部４２ｃは、ノズル状態情報に基づいてメンテナンスまたは検査が必要なノズル６を、移載部４１により、ノズルパレット３９から取り出してチェンジャ９へ移載してもよい。

また、本実施形態のノズル管理装置３１によれば、部品を基板３に装着する装着装置１で使用される部品保持用のノズル６を管理するノズル管理装置３１であって、装着装置１に着脱自在にセット可能で、複数のノズル６を収納するチェンジャ９を収納するチェンジャパレット３５を有する、チェンジャマガジン５１と、装着装置１から取り外されたチェンジャ９を運搬する台車２１からチェンジャ９を取り出してチェンジャパレット３５へ搬送し、チェンジャパレット３５からノズル６を収納したチェンジャ９を台車２１へ受け渡す、移載部４１と、を備える。台車２１に支持されているチェンジャ９を直接ノズル管理装置３１のチェンジャパレット３５へ移載するので、チェンジャ単位でノズル６を収容することができ、ノズルの収容時間を短縮することができる。また、ノズル６を収容したチェンジャ９ごとチェンジャパレット３５に収容することができるので、ノズル６とチェンジャ９とを組み合わせて管理することができる。

また、台車２１は、装着装置１に着脱可能な台車であり、ノズル管理装置３１は、台車２１と連結する連結部３２を備える。ノズル管理装置３１と台車２１とが連結することで、ノズル管理装置３１に対する台車２１上のチェンジャ９の位置決めをすることができる。

また、台車２１は、チェンジャ９を着脱可能な支持ステージ２３を有し、連結部３２は、支持ステージ２３からチェンジャ９を取外し可能にする解除部を有してもよい。

また、連結部３２は、台車２１を案内するレール３２ａを有してもよい。

また、台車２１は、装着装置１で発生したゴミを収納するゴミ箱２７を備え、ノズル管理装置３１は、ゴミ箱２７のゴミを回収するゴミ回収機構７１を備えてもよい。

複数のノズル６を収納するノズルパレット３９を有するノズル収納庫と、チェンジャ９を支持し、支持するチェンジャ９からノズル６の着脱を可能にする作業ステージ３７と、作業ステージ３７に支持されたチェンジャ９とノズルパレット３９との間で、ノズル６を移動させる移載部４１と、を備え、移載部４１は、台車２１からチェンジャ９を取り出して作業ステージ３７へ搬送し、作業ステージ３７からノズル６を収納したチェンジャ９を台車２１へ受け渡してもよい。これにより、作業ステージ３７に載置したチェンジャ９に必要なノズル６をノズルパレット３９から集めて用意しておくことができるので、使用済みノズルをノズル管理装置３１に保管して新しいノズル６を別の実装装置１へ台車２１が搬送する場合も、短時間でノズル６の交換を行うことができる。

ノズルマガジンは、前後が開放された箱型であり、その内部に複数の前記ノズル収納容器を上下方向に間隔を空けて水平な姿勢で前後方向にスライド可能に収納し、
前記ノズル収納器搬送機構は、前記マガジンの前方で昇降して所望のノズル収納容器を前方へ出し入れしてもよい。

ノズルマガジン５５は、開放された後方から作業者による前記ノズル収納容器の出し入れが可能になっていてもよい。

なお、上述の実施形態１において、台車２１は、作業者によって押される手押しの台車でもよいし、装着装置１に付随する台車、自動搬送車、または、軌道（レール）上を移動する運搬用シャトルでもよい。

本開示は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した特許請求の範囲による本開示の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。また、各実施形態における要素の組合せや順序の変化は、本開示の範囲および思想を逸脱することなく実現し得るものである。

なお、前記様々な実施形態および変形例のうちの任意の実施形態あるいは変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。

本開示に係るノズル管理装置は、部品を基板に装着する装着装置で使用される部品保持用のノズルを管理するノズル管理装置に適用可能である。

１ 装着装置
１Ａ 基台
１Ｂ ベルトコンベア
１Ｃ 作業位置
３ 基板
４ 部品
５ 装着ヘッド
５Ａ 装着ヘッド移動機構
６ ノズル
６ａ 筒部
６ｂ 吸着管
６ｃ フランジ
６ｄ 識別子
７ Ｙ軸テーブル
８ 可動ビーム
９ チェンジャ
９ａ ベース部
９ｂ シャッタ
９ｂａ 大孔部
９ｂｂ スリット部
９ｃ 突起
９ｄ 凹部
１１ カメラ
１３ 制御部
１３ａ 画像認識部
１３ｂ ショット数カウント部
１３ｄ 記憶部
１５ 連結部
１５ａ ガイド
１９ ホストコンピュータ
１９ａ 情報処理部
１９ｂ 記憶部
２１ 台車
２１ａ 本体
２３、２３Ａ 支持ステージ
２３ａ 第１ベース部
２３ｂ 第２ベース部
２３ｃ 柱部
２３ｄ ローラ
２３ｅ ステージ台
２３ｆ チェンジャ着脱機構
２３ｆａ アーム
２３ｆｂ 押さえ部
２３ｆｃ バネ
２３ｇ ピン
２３ｈ ピン
２３ｋ 突出部
２５ 部品フィーダ
２７ ごみ箱
２７ａ 本体
２７ｂ 底板
２７ｃ 付勢部
２７ｄ プレート
３１、３１Ａ ノズル管理装置
３１ａ 本体
３２ 連結部
３２ａ レール
３３、３３Ａ 保持部
３３ａ ベース収容部
３３ａａ 第１プレート
３３ａｂ 第２プレート
３３ａｃ 第３プレート
３３ｂ 昇降部
３３ｃ 溝カム
３３ｃａ 凹部
３３ｃｂ カム壁
３５ チャンジャパレット
３５ａ 収納スペース
３５ｂ 識別子
３７ 作業ステージ
３７ａ ステージ台
３７ｂ スライド機構
３７ｂａ アーム
３７ｃ 解除部
３９ ノズルパレット
３９ａ 識別子
３９ｂ ノズル収納孔
４１ 移載部
４２ 制御部
４２ａ 画像認識部
４２ｂ 機構制御部
４２ｃ 移載制御部
４２ｄ 記憶部
４３ 移載ヘッド
４４ 移載ヘッド駆動機構
４４ａ レール
４４ｂ 可動ビーム
４５ チャック装置
４５ａ チャック
４５ｂ シリンダ
４５ｃ チャック爪
４６ チャック装置
４６ａ シリンダ
４６ｂ チャック
４６ｃ チャック爪
４７ チャック装置
４７ａ シリンダ
４７ｂ チャック
４７ｃ チャック爪
４８ カメラ
５０ チェンジャ収納庫
５１ チェンジャマガジン
５３ チェンジャパレット搬送機構
５４ ノズル収納庫
５５ ノズルマガジン
５７ ノズルパレット搬送機構
５９ ノズル保持チェンジャ
６１ 把持部
６１ａ アーム
６２ 把持部
６３ エレベータ
６４ エレベータ
６５ チャック交換器
７１ ゴミ収容装置
７１ａ レバー
７１ｂ レバー開閉部
７１ｃ ゴミ排出ダクト
７３ 解除部
８１ 入出庫ステージ

Claims (7)

1. 部品を基板に装着する装着装置で使用される部品保持用のノズルを管理するノズル管理装置であって、
   前記装着装置に着脱自在にセット可能で、複数の前記ノズルを収納するチェンジャを収納するチェンジャ収納容器を有するチェンジャ収納庫と、
   複数の前記ノズルを収納するノズル収納容器を有するノズル収納庫と、
   前記チェンジャを支持し、支持する前記チェンジャから前記ノズルの着脱を可能にする作業ステージと、
   ノズル管理装置に出し入れされる前記チェンジャを待機させる入出庫ステージと、
   前記作業ステージに支持された前記チェンジャと前記ノズル収納容器との間で、前記ノズルを移動させるノズル移載部と、
   前記入出庫ステージからチェンジャを取り出して前記チェンジャ収納容器または前記作業ステージへ搬送し、前記チェンジャ収納容器または前記作業ステージから前記ノズルを収納したチェンジャを前記入出庫ステージへ受け渡すチェンジャ移載部と、
   を備える、ノズル管理装置。
2. 前記チェンジャ収納容器は、複数個のチェンジャを収納する、
   請求項１に記載のノズル管理装置。
3. 前記チェンジャ収納庫は、
   複数の前記チェンジャ収納容器を収納するチェンジャマガジンと、
   前記チェンジャ収納容器を、前記チェンジャマガジンに搬入および前記チェンジャマガジンから搬出するチェンジャ収納容器搬送機構と、を有し、
   前記チェンジャ移載部は、前記チェンジャマガジンから搬出された前記チェンジャ収納容器に対してチェンジャの移載作業を行う、
   請求項１または２に記載のノズル管理装置。
4. 前記ノズル収納庫は、
   前記ノズル収納容器を収納するノズルマガジンと、
   前記ノズル収納容器を前記ノズルマガジンに搬入および前記ノズルマガジンから搬送するノズル収納容器搬送機構と、を有し、
   前記ノズル移載部は、前記ノズルマガジンから搬出された前記ノズル収納容器に対してノズルの移載作業を行う、
   請求項１から３のいずれか１つに記載のノズル管理装置。
5. 前記ノズルは、個別の識別子を有し、
   前記識別子は、ノズル管理情報と関連づけられており、
   前記識別子の情報を読み取る識別子検出部と、
   前記ノズル管理情報に基づき、前記ノズル収納容器における前記ノズルの移動先を前記移載部に指示する移載制御部を備える、
   請求項１から４のいずれか１つに記載のノズル管理装置。
6. 前記ノズル管理情報は、メンテナンスの要否に関する情報、検査の要否に関する情報、使用可否に関する情報の少なくとも１つを有するノズル状態情報を含み、
   前記移載制御部は、前記ノズル収納容器において、前記ノズル状態情報の内容に応じて指定したノズル収納箇所に、前記ノズル移載部により前記ノズルを収納する、
   請求項５に記載のノズル管理装置。
7. 前記作業ステージに、メンテナンスまたは検査が必要なノズルを収納するためのチェンジャが支持されている場合、前記移載制御部は、前記ノズル状態情報に基づいてメンテナンスまたは検査が必要なノズルを前記ノズル収納容器から取り出して前記チェンジャへ移載する、
   請求項６に記載のノズル管理装置。

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