JP2021052460A - 圧電アクチュエータ、撮像装置 - Google Patents

圧電アクチュエータ、撮像装置 Download PDF

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Abstract

【課題】駆動力を向上させる。【解決手段】本技術に係る圧電アクチュエータは、略直方体形状を有し、長手方向が伸縮方向とされるとともに一つの面が載置面とされた圧電素子と、前記圧電素子の前記載置面に所定の接着面積で接着された被接着面と、駆動対象物と所定の接触面積で接触するための接触部とを有し、前記所定の接着面積が前記所定の接触面積より大きく構成されて成る駆動力伝達部と、を備えるものである。これにより、駆動力伝達部と圧電素子との良好な接着状態を確保し、高い駆動力を確保する。【選択図】図1

Description

本技術は、電圧の印加により振動を発生させ駆動対象物を移動させる圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータを用いた撮像装置についての技術分野に関する。
圧電アクチュエータとして、電圧の印加によって振動する圧電素子と、圧電素子で発生した振動に基づいて周回運動を行うことにより駆動対象物を所定方向に駆動させる駆動力を該駆動対象物に伝達する駆動力伝達部(チップ)とを備えるものがある(例えば特許文献1)。
駆動力伝達部は、駆動対象物に押し付けられることで圧電素子において発生する振動を駆動力として駆動対象物に伝達し駆動対象物を移動させるものである。
WO2008/152821号公報
例えば特許文献1では、駆動力伝達部(駆動子)が円柱形状となっているため、駆動力が不十分である可能性があった。
そこで、本技術は、駆動力を向上させることを目的とする。
本技術に係る圧電アクチュエータは、略直方体形状を有し、長手方向が伸縮方向とされるとともに一つの面が載置面とされた圧電素子と、前記圧電素子の前記載置面に所定の接着面積で接着された被接着面と、駆動対象物と所定の接触面積で接触するための接触部とを有し、前記所定の接着面積が前記所定の接触面積より大きく構成されて成る駆動力伝達部と、を備えるものである。
圧電素子と駆動力伝達部の接着面積が広くされる。
上述した圧電アクチュエータにおける前記接触面は、前記駆動対象物の平面と接触してもよい。
これにより、駆動対象物に対して適切に駆動力が伝達される。
上述した圧電アクチュエータにおける前記圧電素子は、前記圧電素子の曲げ方向への変位量の小さい節部と前記曲げ方向への変位量の大きい腹部とを含み、
前記接触部は、前記節部よりも前記腹部に近い接触位置で前記駆動対象物と接触してもよい。
これにより、駆動対象物に対して駆動力が効率的に伝達される。
上述した圧電アクチュエータにおける前記圧電素子は、前記節部と前記腹部を複数含み、前記複数の節部と前記複数の腹部は前記長手方向に交互に位置するように構成されており、前記複数の腹部のうち前記接触位置に最も近い腹部は、前記圧電素子の端面に最も近い位置にあってもよい。
これにより、曲げ振動及び伸縮振動による駆動力伝達部の動きが大きくされる。
上述した圧電アクチュエータにおける前記駆動力伝達部は、前記被接着面を前記載置面の中央部よりも前記端面に近い位置に接着することで前記圧電素子に固定されて成るように構成されてもよい。
即ち、曲げ振動及び伸縮振動による駆動力伝達部の動きが大きくされる。
上述した圧電アクチュエータにおける前記駆動力伝達部は、前記被接着面が前記複数の腹部のうちの一つに位置するように前記圧電素子に接着されて成るように構成されてもよい。
これにより、圧電素子の振動が妨げられずに駆動力伝達部に伝わる。
上述した圧電アクチュエータにおいては、前記駆動力伝達部における前記被接着面は、前記長手方向における長さが前記載置面の前記長手方向における長さの6分の1未満とされてもよい。
これにより、圧電素子の振動が妨げられずに駆動力伝達部に伝わる。
上述した圧電アクチュエータにおける前記駆動力伝達部は、前記被接着面が前記載置面における長手方向の端部に接着されて成るように構成されていてもよい。
これにより、接触部が圧電素子の伸縮方向において離隔して位置される。
上述した圧電アクチュエータにおける前記接触部は、前記長手方向において前記被接着面の中央部よりも前記圧電素子の前記端面に近い位置で前記駆動対象物と接触してもよい。
これにより、圧電素子の両端部に位置する駆動力伝達部の接触面同士の距離が大きくされる。
上述した圧電アクチュエータにおける前記駆動力伝達部は、前記被接着面から前記接触部に向かうに従って前記長手方向の幅が短くなるように形成された側面を持っていてもよい。
即ち、駆動力伝達部は先細り形状とされる。
上述した圧電アクチュエータにおける前記駆動力伝達部の前記側面は、三角形とされてもよい。
これにより、圧電素子に対する駆動力伝達部の接着面積が大きくされる。
上述した圧電アクチュエータける前記駆動力伝達部の前記側面は、直角三角形であり、前記直角三角形の側面は、短手方向から見て前記端面側に直角が形成されていてもよい。
これにより、接触面が長手方向における端に位置する。
上述した圧電アクチュエータにおいては、前記駆動力伝達部は複数あり、前記複数の駆動力伝達部の少なくとも一部は前記長手方向の異なる位置にあってもよい。
これにより、これにより、駆動対象物の駆動方向に離隔した位置で駆動力が伝達される。
上述した圧電アクチュエータにおいては、前記駆動力伝達部は複数あり、前記複数の駆動力伝達部それぞれは前記長手方向の同じ位置であって前記載置面の短手方向の異なる位置にあってもよい。
これにより、圧電素子の少なくとも一方の端部に伸縮方向と異なる方向に離隔して複数の駆動力伝達部が接着される。
上述した圧電アクチュエータにおける前記接触面は凸の曲面(前記被接着面から離隔する方向に凸の曲面)とされてもよい。
これにより、圧電素子の接触面を含む部分の強度が高くなる。
本技術の撮像装置は、光学系を介して取り込まれる光を受光し光電変換する撮像素子と、駆動対象物を動作させる圧電アクチュエータと、を備え、前記圧電アクチュエータは、略直方体形状を有し、長手方向が伸縮方向とされるとともに一つの面が載置面とされた圧電素子と、前記圧電素子の前記載置面に所定の接着面積で接着された被接着面と、駆動対象物と所定の接触面積で接触するための接触部とを有し、前記所定の接着面積が前記所定の接触面積より大きく構成されて成る駆動力伝達部と、を備えるものである。
本技術の実施の形態の圧電アクチュエータについての斜視図である。 圧電素子と駆動力伝達部を分解した状態で示す圧電アクチュエータの斜視図である。 圧電アクチュエータの正面図である。 圧電アクチュエータと駆動対象物の正面図である。 圧電素子の曲げ振動を示す模式図である。 圧電素子の曲げ振動を示す模式図である。 圧電素子の伸縮振動を示す模式図である。 圧電素子の伸縮振動を示す模式図である。 駆動力伝達部の周回運動を示す模式図である。 円柱形状の駆動力伝達部を用いた例を示す図である。 三角柱形状の駆動力伝達部を用いた例を示す図である。 接着領域の広さによるインピーダンス変化の違いを示すグラフである。 接着領域の広さに応じた駆動対象物の重さと速度の関係を示すグラフである。 駆動力伝達部の形状の違いによる駆動対象物の重さと速度の関係を示すグラフである。 第1の変形例に係る圧電アクチュエータを示す図である。 第2の変形例に係る圧電アクチュエータを示す図である。 第3の変形例に係る圧電アクチュエータを示す図である。 第3の変形例に係る圧電アクチュエータの別の例を示す図である。 圧電素子と駆動力伝達部が一体に形成されている圧電アクチュエータの例を示す図である。 駆動力伝達部の形状の変形例を示す図である。 駆動力伝達部の形状の別の変形例を示す図である。 圧電アクチュエータの寸法例を示す図である。 圧電アクチュエータを備えた撮像装置を示す図である。
以下、実施の形態について添付図面を参照しながら次の順序で説明する。
<1.圧電アクチュエータの構成>
<2.圧電アクチュエータの動作>
<3.変形例>
<4.寸法例>
<5.まとめ>
<6.本技術>
<1.圧電アクチュエータの構成>
図1を参照して本実施の形態に係る圧電アクチュエータ1の構成について説明する。
圧電アクチュエータ1は、電圧を印加することにより曲げ振動及び伸縮振動を行う圧電素子2と、圧電素子2の伸縮方向における両端部に接着される一対の駆動力伝達部3,3とを有して構成されている。
圧電素子2は、例えば、略直方体形状に形成され、複数の圧電体層と複数の電極層が交互に積層されて成る。以降の説明においては、圧電体層と電極層が積層される方向をX軸方向(積層方向)として記載する(図1参照)。また、電圧の印加により圧電素子2が伸縮する方向をY軸方向(伸縮方向)として記載する。X軸方向とY軸方向の何れにも直交する方向をZ軸方向として記載する。Z軸方向は、曲げ振動における曲げ方向とされる。
即ち、圧電体層と電極層はそれぞれ面が向く方向がX軸方向とされる。
圧電素子2はY軸方向が長手方向とされている。
圧電素子2のY軸方向における両面はそれぞれ端面7とされている。
圧電素子2のZ軸方向における両面のうちの一面が載置面4とされる。なお、本実施の形態において、接着面4aは、載置面4のうち駆動力伝達部3が接着される領域(仮想的な領域)を示すものであって、特定の表面処理等を施すことにより接着面4a以外の部分と異なるように形成されている必要はない。即ち、見た目上は接着面4aとそれ以外の部分が同じ態様で設けられていてもよい。
但し、載置面4の接着面4aとそれ以外の部分とで異なる表面処理等を施すことにより明確に他とは異なる部分として接着面4aが設けられていてもよい。
圧電素子2は、図示しない電極部を備えており、電極部を介して各電極層に電圧が供給される。
駆動力伝達部3は、例えば、略直角三角形とされ対向する二つの面であり請求項でいうところの側面とされた面(第1面9)と第1面9に直交する三つの面(第2面)によって形成された三角柱形状とされ、第1面9のうち、成す角度が直角とされた二つの側面のうちの一つが接着面4aに接着される被接着面5とされている。
成す角度が直角とされた二つの側面のうちのもう一つは端面7と同一平面とされた第2面8とされている。
被接着面5と第2面8によって形成される稜線は稜線10とされる(図2参照)。
圧電素子2における端面7と載置面4によって形成される稜線は稜線11とされる(図2参照)。
稜線10と稜線11が一致するように接着することで位置決めを容易に行うことができる。
また、接着面4aと被接着面5は共に平面とされている。これにより、圧電素子2と駆動力伝達部3の良好な接着状態を確保することができる。
なお、接着面4aと被接着面5がZ軸方向において同方向に湾曲された曲面とされてもよい。例えば、接着面4aが凹面とされ被接着面5が凸面とされていてもよい。このような構成であっても圧電素子2と駆動力伝達部3の良好な接着状態を確保することができる。
駆動力伝達部3のX軸方向の幅は圧電素子2のX軸方向の幅と略同じとされている。また、駆動力伝達部3のY軸方向の幅は、例えば、圧電素子2のY軸方向の幅の6分の1未満の長さとされている。
駆動力伝達部3は接着剤によって圧電素子2の接着面4aに接着される。被接着面5における接着領域は、被接着面5の全領域とされていてもよいし、一部の領域とされていてもよい。少なくとも、被接着面5の半分以上の領域が接着領域とされることで、駆動力伝達部3の圧電素子2に対する良好な固定状態を確保することができる。
駆動力伝達部3において被接着面5に対してZ軸方向に最も離隔された部分は、駆動対象物に接触する接触面6とされている。接触面6は、被接着面5と離隔する方向に凸とされた曲面として形成されている。接触面6が曲面とされていることにより、駆動対象物に接触した際の欠けや摩耗などが軽減され、圧電アクチュエータ1の長寿命化を図ることができる。
なお、接触面6は必ずしも曲面に形成されていなくてもよい。例えば、接触面6がZ軸方向を向く平面として形成されていてもよい。また、接触面6がZ軸方向に凸とされた鋭角に形成されていてもよい。
駆動力伝達部3は、例えば、超硬合金やジルコニア、アルミナ、水晶、或いはサファイアなどの高硬度の材料で形成される。駆動力伝達部3が高硬度の材料で形成されることにより、駆動力伝達部3の摩耗が更に軽減される。
駆動力伝達部3の接触面6のY軸方向における幅は、被接着面5のY軸方向における幅よりも小さくされているため、駆動力伝達部3の圧電素子2に対する接着面積を大きくした上で駆動力伝達部3を軽量化することができる。
また、図1及び図2に示すように、駆動力伝達部3の形状は、被接着面5から接触面6に近づくにつれてY軸方向の幅が小さくなるように形成されていることにより、駆動力伝達部3の圧電素子2に対する接着面積を大きくした上で駆動力伝達部3の軽量化が図られる。
駆動力伝達部3の接触面6は、被接着面5のY軸方向における中心よりも外方側に位置されている(図3参照)。換言すれば、圧電素子2のY軸方向における中心と被接着面5のY軸方向における中心の距離D1よりも、圧電素子2のY軸方向における中心と接触面6のY軸方向における中心の距離D2の方が長くされている。これにより、接触面6のY軸方向における位置は、圧電素子2の伸縮方向における両端部に近い位置とされる。
<2.圧電アクチュエータの動作>
図4は、圧電アクチュエータ1の駆動力伝達部3が駆動対象物100に接触された状態を示している。
圧電素子2に電圧が印加されることにより圧電素子2の曲げ振動及び伸縮振動が発生し、曲げ振動及び伸縮振動に伴って駆動力伝達部3の周回運動が発生する。駆動対象物100は、該周回運動に基づいてY軸方向に移動される。なお、周回運動とは、例えば、円運動や楕円運動とされる。
具体的に、圧電アクチュエータ1の動きについて、図5から図9の各図を参照して説明する。
図5及び図6は、圧電素子2の曲げ振動の様子を模式的に示したものである。電圧を印加していない状態の圧電素子2は破線で示している。なお、図5から図9の各図においては、圧電素子2の状態の理解を容易にするために、圧電素子2の変形状態を誇張して示す。
圧電素子2に電圧を印加すると、図5に示す状態と図6に示す状態が交互に繰り返される曲げ振動が発生する。
図示するように、圧電素子2にはZ軸方向の変位量が大きい腹部P1とZ軸方向の変位量が小さい節部P2が存在する。腹部P1と節部P2はY軸方向において交互に位置される。
本実施の形態においては、圧電素子2の両端部、即ち、曲げ振動の腹部P1を含む部分に接着面4aが設けられている。接着面4aは、圧電素子2のY軸方向における幅の6分の1よりも小さい領域に設けられることが望ましい。これにより、節部P2に掛からないように接着面4aが設定されるため、腹部P1のZ軸方向の変位が駆動力伝達部3によって妨げられ難い。
図7及び図8は、圧電素子2の伸縮振動の様子を模式的に示したものである。
図7に示す状態は圧電素子2がY軸方向に縮んだ状態を示している。また、図8に示す状態は圧電素子2がY軸方向に伸びた状態を示している。
本実施の形態における圧電素子2は、図5及び図6に示す曲げ振動と、図7及び図8に示す伸縮振動を同時に行う。具体的には、例えば、曲げ振動と伸縮振動の位相が相対的に90度ずれたものとなるように制御する。これにより、駆動力伝達部3が周回運動を行う。例えば、図9に示すように、駆動力伝達部3は楕円運動を行う。
なお、曲げ振動と伸縮振動の位相を相対的に90度ずらすことはあくまで一例である。曲げ振動と伸縮運動の位相のずれが0度から360度の間の何れかの値となるように設定することにより、駆動力伝達部3が円運動や楕円運動などの周回運動を行う。
なお、曲げ振動に対して伸縮振動の位相を90度進めた状態と90度遅らせた状態とでは、駆動対象物100の移動方向が異なる。即ち、各振動の位相を適切に制御することで、駆動対象物100をY軸方向の何れの方向へ動かすかを制御することができる。
なお、圧電素子2の伸縮振動における変位量は、圧電素子2の部位ごとに異なる。圧電素子2のY軸方向における中央部は変位量が少なく、Y軸方向における中央部から両端部に近づく程変位量が大きくされる。本実施の形態における圧電アクチュエータ1は、前述したように、接触面6のY軸方向における位置が圧電素子2の両端部に応じた位置とされる。即ち、先端部6は圧電素子2の伸縮振動に応じてY軸方向に大きく変位する。
これにより、1回の曲げ振動及び伸縮振動に応じて駆動対象物100がY軸方向に動かされる距離が大きくされる。即ち、駆動対象物100を所定の距離動かす際の効率を高めることができる。
また、前述のように、駆動力伝達部3の第2面8と圧電素子2の端面7が同一平面となるように面一に合わせることで、駆動力伝達部3を変位量の大きな位置に容易に接着することができるため、駆動力伝達部3の接着位置がずれてしまうことによるX軸方向やY軸方向の変位量の不足を防止することができ、効率的に駆動対象物100に駆動力を伝達することができる。
特に、駆動力伝達部3が三角柱形状とされ更に駆動力伝達部3の第2面8と圧電素子2の端面7が同一平面となるように接着されることで、接触面6は端面7の延長線上に位置されるため、接触面6と節部P2を大きく離して位置させることができる。具体的に、図10及び図11を参照して説明する。
図10は、円柱形状の駆動力伝達部3Aの周面を接着面4aに接着した状態を示している。なお、図中には駆動力伝達部3Aを圧電素子2に接着するための接着剤ABについても示している。
図10に示す状態においては、駆動力伝達部3Aにおける駆動対象物100に接触する部分、即ち接触面6と、近傍の節部P2は、距離D3だけ離れた位置とされる。
図11は、本実施の形態の圧電アクチュエータ1であり、駆動力伝達部3が三角柱形状とされ更に駆動力伝達部3の第2面8と圧電素子2の端面7が同一平面となるように接着されている状態を示している。
図11に示す状態においては、駆動力伝達部3における駆動対象物100に接触する接触面6と近傍の節部P2は距離D4だけ離れている。距離D4は隣り合う腹部P1と節部P2の距離と略同じとされる。
距離D3は距離D4よりも大きくされている。
即ち、円柱形状の駆動力伝達部3を用いるよりも三角柱形状の駆動力伝達部3を用いた方が、節部P2から離れた位置に接触面6が位置される。また、三角柱形状の駆動力伝達部3を用いた方が接触面6の位置を腹部P1に近い位置とすることができる。
これにより、伸縮振動における駆動力伝達部3のY軸方向の変位量が大きくされるため、駆動対象物100の移動速度や推進力を増し、効率的に移動させることが可能となる。
なお、円柱形状とした駆動力伝達部3Aの接触面6の位置を腹部P1の位置と合わせるために、図10に示す状態よりも更に圧電素子2の端部に寄せることも可能である。しかし、その場合には、円柱形状の駆動力伝達部3の半分が圧電素子2よりも外方へはみ出してしまうことになる。これにより、駆動力伝達部3と圧電素子2の接着面積が減少してしまい、駆動力伝達部3の良好な固定状態が確保できなくなってしまう。
また、駆動力伝達部3と圧電素子2の接着面積が小さくなってしまうと、圧電素子2の振動効率も悪化してしまう。具体的に、図12を参照して説明する。
図12は、駆動力伝達部3の被接着面5の全体を接着領域として設定した場合のインピーダンスの変化のグラフ(図中の実線グラフ)と、Y軸方向において被接着面5の半分程度の領域を接着領域として設定した場合のインピーダンスの変化を示したグラフ(図中の破線グラフ)を示している。なお、図中におけるインピーダンスが最小となる周波数は、圧電アクチュエータ1の振動特性が良好な共振点とされる。
図12に丸印で示すように、接着領域を小さくした場合(破線グラフ)の特性は、接着領域を大きくした場合(実線グラフ)と比較して波形が乱れており、インピーダンスの最小値も大きい。即ち、接着領域を小さくしてしまうと圧電素子2の振動効率が悪化してしまうことが見てとれる。
また、接着領域を小さくした場合には、駆動対象物100の速度特性が悪化する。具体的に、図13を参照して説明する。
図13の実線グラフは、接着領域を大きくした場合の駆動対象物100の重さと速度の関係を示したものである。また、図13の破線グラフは、接着領域を小さくした場合の駆動対象物100の重さと速度の関係を示したものである。
図示するように、接着領域を大きくした方が駆動対象物100の重さに対する速度特性が良好である。
また、図14は、駆動対象物100の重さと速度の関係について、円柱形状の駆動力伝達部3(図10参照)と三角柱形状の駆動力伝達部3(図11参照)とを比較したものである。図14の実線グラフは、三角柱形状の駆動力伝達部3を用いた場合の特性である。図14の破線グラフは、円柱形状の駆動力伝達部3を用いた場合の特性である。
図示するように、三角柱形状の駆動力伝達部3を用いた方が接触面6が節部P2から離れ腹部P1の位置と略同じ位置とされることから、良好な特性を維持している。
従って、三角柱形状の駆動力伝達部3を用いることにより、駆動対象物100の移動速度を高めることができるだけでなく、より重い駆動対象物100を高速で移動させることが可能となる。
<3.変形例>
圧電アクチュエータ1の変形例について説明する。
第1の変形例に係る圧電アクチュエータ1Aは、図15に示すように、伸縮方向におけるそれぞれの端部に二つの駆動力伝達部3,3が設けられている。具体的には、圧電素子2の載置面4の四隅それぞれに三角柱形状の駆動力伝達部3がそれぞれ接着されている。
圧電素子2と駆動力伝達部3の接着状態が不安定とされた場合には、駆動対象物100に対して駆動力が伝達され難くなり、駆動対象物100を正常に移動させることが困難になってしまう虞がある。
本変形例における圧電アクチュエータ1Aでは、一方の端部に複数の駆動力伝達部3が接着されているため、駆動力伝達部3のうちの一つと圧電素子2の接着状態が不安定になったとしても、他の駆動力伝達部3を介して駆動対象物100に対する駆動力の伝達が行われるため、駆動対象物100を移動させることができる。即ち、動作信頼性の高い圧電アクチュエータ1Aを実現できる。
また、駆動力伝達部3が圧電素子2のX軸方向の全幅に亘って設けられるよりも駆動力伝達部3の軽量化が図られるため、圧電素子2の振動効率を向上させることができる。
第2の変形例に係る圧電アクチュエータ1Bは、図16に示すように、伸縮方向における圧電素子2の長さよりも駆動力伝達部3の接触面6同士の距離が大きくされている。具体的には、圧電素子2の端面7よりも駆動力伝達部3の接触面6がY軸方向において外方に位置した状態とされる。これにより、駆動対象物100の移動距離が大きくされ、アクチュエータとしての性能を向上させることができる。
第3の変形例に係る圧電アクチュエータ1Cは、図17に示すように、端面7が載置面とされ、載置面である端面7の一部が接着面4aとされている。接着面4aには、駆動力伝達部3がそれぞれ接着され、駆動力伝達部3は圧電素子2の曲げ振動及び伸縮振動に基づいて周回運動を行う。
これにより、圧電素子2の伸縮方向における端面7(載置面4)の動きに応じて駆動力伝達部3の接触面6がY軸方向に大きく移動される。従って、駆動対象物100の移動距離も大きくなり、効率的な駆動が可能となる。
なお、図17に示す駆動力伝達部3は、例えば、かまぼこ形とされ、Y軸に直交する平面を備えている。また、該平面が被接着面5とされることにより、圧電素子2の端面7と良好な接着状態が確保される。
なお、第3の変形例に係る圧電アクチュエータ1Cにおいては、図18に示すように、駆動力伝達部3の2面に亘って被接着面5が設けられていてもよい。図18に示す例では、Y軸に直交する平面及びZ軸に直交する平面の一部が被接着面5とされている。
駆動力伝達部3における複数の面が被接着面5とされていることにより、圧電素子2と駆動力伝達部3の接着強度が更に向上される。
なお、上述した各種の圧電アクチュエータ1(1A,1B,1C)においては、圧電素子2と駆動力伝達部3が一体に形成されていてもよい(図19参照)。圧電素子2と駆動力伝達部3が一体に形成された圧電アクチュエータ1であっても、上述した各種の効果や後述する効果を得ることが可能である。
駆動力伝達部3の形状の変形例について、図20、図21を参照して説明する。
図20に示す圧電アクチュエータ1は、接触面6が凸形状のかまぼこ形状とされた駆動力伝達部3を備え、駆動力伝達部3が載置面4のY軸方向における両端部に接着されている。接着面4aに接着される被接着面5は平面形状とされているため、圧電素子2と駆動力伝達部3の良好な接着状態が確保される。
図21に示す圧電アクチュエータ1は、L字形状とされた駆動力伝達部3を備え、駆動力伝達部3が載置面4のY軸方向における両端部に接着されている。被接着面5は、接触面6よりも面積が広くされている。
駆動力伝達部3はL字の高い面が低い面よりY軸方向における外側に位置している。
これにより、圧電素子2と駆動力伝達部3の良好な接着状態が確保される。また、接触面6の位置を節部P2から離すことができると共に腹部P1に近づけることができるため、圧電素子2の伸縮振動における駆動力伝達部3のY軸方向の変位量が大きくされ、駆動対象物100の移動速度を増すことやより重い駆動対象物100を駆動させることが可能となる。
なお、駆動力伝達部3の形状は他にも考えられる。例えば、X軸方向の断面形状において台形とされた駆動力伝達部3であってもよい。被接着面5が接着面4aに対向する形状であれば、種々の形状の駆動力伝達部3を使用することが可能である。
また、特に、接着面4aが平面、被接着面5が平面とされた形状が望ましい。
但し、先細り形状の方がより好適である。
<4.寸法例>
圧電アクチュエータ1を構成する各部の寸法について、具体的な例を図22に示す。
略直方体形状に形成された圧電素子2は、Y軸方向(伸縮方向)の幅が20mm、X軸方向(積層方向)の幅が2.9mm、Z軸方向の幅が4.7mmとされている。
略三角柱形状に形成された駆動力伝達部3は、対向面とされた第1面9を形成する直角三角形における二つの隣辺がそれぞれ1.4mm(Y軸方向の幅)と1.2mm(Z軸方向の幅)とされ、三角柱の高さ(X軸方向の幅)が2.9mmとされている。
図22に示す例では、被接着面5の伸縮方向における長さ(1.4mm)は、圧電素子2の伸縮方向における長さ(20mm)の6分の1(約3.3mm)未満とされている。
これにより、接着された駆動力伝達部3が圧電素子2の振動、特に、曲げ振動の動きを妨げることが防止される。
また、図22に示す例では、圧電素子2の長手方向が伸縮方向とされている。これにより、伸縮振動による両端部の変位量が大きくされ、効率的に駆動対象物100を移動させることができる。
<5.適用例>
本実施の形態の圧電アクチュエータ1を撮像装置200に適用した例について説明する。
撮像装置200は、図23に示すように、カメラ筐体201とレンズ鏡筒202を備えている。
カメラ筐体201の内部には、受光した光に基づいて光電変換処理を行う撮像素子203が配置されている。
また、レンズ鏡筒202の内部には被写体からの反射光を撮像素子203に集光するための光学系と光学系を駆動する駆動部としての圧電アクチュエータ1が設けられている。
図23においては、光学系の一部としてのレンズ204と、レンズ204を保持する保持部205と、保持部205を光軸方向に駆動する圧電アクチュエータ1を例示している。
圧電アクチュエータ1は、駆動力伝達部3の接触面6が保持部205の下面に接触した状態で配置される。即ち、図23における保持部205は前述した駆動対象物100の一例とされる。
圧電アクチュエータ1に電圧を印加することにより、圧電素子2の曲げ振動及び伸縮振動が発生し、駆動力伝達部3の周回運動が行われる。これにより、保持部205を光軸方向に移動させるための駆動力が駆動力伝達部3を介して保持部205に伝達され、保持部205がレンズ204と共に光軸方向に移動され、例えば、フォーカシングやズーミングが行われる。
これにより、圧電アクチュエータ1を用いたレンズ駆動が実現される。
<6.まとめ>
上述した各例で説明したように、圧電アクチュエータ1(1A,1B,1C)は、曲げ振動と伸縮振動を行う圧電素子2における伸縮方向の両端部に設けられた接着面4aに接着される被接着面5と、駆動対象物100に接触する接触面6と、を有し、圧電素子2の動作に伴って周回運動を行うことにより伸縮方向への駆動力を駆動対象物100に与える複数の駆動力伝達部3(3A)を備え、圧電素子2と駆動力伝達部3は接着面4aと被接着面5が対向した状態で接着されている。
即ち、圧電素子2と駆動力伝達部3の接着面積が広くされる。
これにより、駆動力伝達部3と圧電素子2の接着強度が高くされ圧電素子2で発生した駆動力を効率よく駆動対象物100に伝達することができる。また、圧電アクチュエータ1の耐久力を強化することができ、圧電アクチュエータ1の長寿命化を図ることができる。また、接着面4aに対して駆動力伝達部3が略点接触や線接触の状態で取り付けられるよりも接着作業性を向上させることができる。
更に、駆動力伝達部3が圧電素子2における伸縮方向の両端部に取り付けられることにより、圧電素子2における伸縮方向の伸びが大きい箇所に駆動力伝達部3が位置するため、伸縮方向における駆動力伝達部3の位置の変位量が大きくなり、効率よく駆動対象物100を移動させることができる。従って、駆動対象物100を所定距離動かすために要する時間の短縮化を図ることができる。
また、圧電素子2の両端部に駆動力伝達部3が配置されることにより、駆動力伝達部3同士を可能な限り離隔して配置することができるため、駆動力伝達部3の接着作業の際に他の駆動力伝達部3が干渉し難く、作業の容易性を確保することができる。
また、圧電アクチュエータ1(1A,1B,1C)は、略直方体形状を有し、長手方向が伸縮方向とされるとともに一つの面が載置面4とされた圧電素子2と、圧電素子2の載置面4に所定の接着面積で接着された被接着面5と、駆動対象物100と所定の接触面積で接触するための接触部(接触面6)とを有し、所定の接着面積が所定の接触面積より大きく構成されて成る駆動力伝達部3と、を備えている。
これにより、上述した各種の効果を得ることができる。
また、駆動力伝達部3は複数あり、少なくとも一部の駆動力伝達部3が長手方向(Y軸方向)の異なる位置にある。これにより、駆動対象物100の駆動方向に離隔した位置で駆動力が伝達されるため、効率よく駆動対象物を移動させることができる。
また、接触面6は伸縮方向において圧電素子2の両端部に設けられていてもよい。
これにより、複数の駆動力伝達部3が離れた状態で駆動対象物100に接触する。即ち、接触面6同士の距離が大きくされる。
従って、1回の曲げ振動及び伸縮振動による駆動対象物100の移動距離を大きくすることができるため、駆動対象物100を効率的に動かすことができる。また、駆動力伝達部3の接着作業において他の駆動力伝達部3が干渉し難く接着作業効率の向上を図ることができる。
また、圧電アクチュエータ1の構成で説明したように、圧電素子2の接着面4aと駆動力伝達部3の被接着面5は平面とされていてもよい。
これにより、平面が対向された状態で圧電素子2と駆動力伝達部3が接着される。
従って、圧電素子2と駆動力伝達部3の良好な接着状態を確保することができる。
また、上述したように、圧電アクチュエータ1の駆動力伝達部3は、接触面6の面積が被接着面5の面積よりも小さくされていてもよい。
このような駆動力伝達部3の形状の一例として、例えば、接触面6の表面積が被接着面5の面積よりも小さくされた先細り形状や、L字形状が挙げられる。
駆動力伝達部3の圧電素子2に対する接着面積を大きくした上で駆動力伝達部3が軽量化される。
これにより、駆動力伝達部3が圧電素子2の振動を妨げ難くされ圧電素子2が効率的に振動することができ高い駆動力を発生させることができる。
更に、上述したように、圧電アクチュエータ1の駆動力伝達部3は、被接着面5から接触面6にいくに従って伸縮方向の幅が小さくされていてもよい。
換言すれば、駆動力伝達部3は、被接着面5から接触部(接触面6)に向かうに従って長手方向(Y軸方向)の幅が短くなるように形成された側面(第1面9)を持つように形成されていてもよい。
即ち、駆動力伝達部3は先細り形状とされる。
これにより、圧電素子2と駆動力伝達部3の高い接着強度と駆動力伝達部の高い強度が確保され駆動力を駆動対象物に効率的に伝達することができる。
更にまた、圧電アクチュエータ1は、接触面6は伸縮方向において被接着面5の中央よりも外方に位置するようにされていてもよい。
換言すれば、接触部(接触面6)は、手方向において被接着面5の中央部よりも圧電素子2の端面7に近い位置で駆動対象物100と接触してもよい。
即ち、これにより、圧電素子2の両端部に位置する駆動力伝達部3の接触面6同士の距離が大きくされる。
従って、1回の曲げ振動及び伸縮振動による駆動対象物100の移動距離を大きくすることができるため、駆動対象物100を効率的に動かすことができる。
また、第2の変形例で説明したように、圧電アクチュエータ1は、接触面6が圧電素子2の伸縮方向における端面7よりも外方に位置するように構成してもよい。
即ち、これにより、接触面6同士の距離が更に大きくされる。
従って、駆動力伝達部3の接着作業において他の駆動力伝達部3が干渉し難く接着作業効率の向上を図ることができる。また、1回の曲げ振動及び伸縮振動によって駆動対象物100が移動する距離が更に大きくされ、駆動対象物100を効率よく動かすことができる。
加えて、圧電アクチュエータ1の構成で説明したように、駆動力伝達部3は三角柱形状とされていてもよい。
換言すれば、駆動力伝達部3の側面(第1面9)は、三角形とされていてもよい。
即ち、圧電素子2に対する駆動力伝達部3の接着面積が大きくされる。
これにより、駆動力伝達部3の圧電素子2に対する接着強度の向上を図ることができる。また、駆動力伝達部3の軽量化を図ることができるため、圧電素子2の効率的な振動を確保することができる。また、駆動力伝達部3と駆動対象物100の接触面積を小さくすることができるため、効率的に駆動力を伝達することができる。
また、駆動力伝達部3が簡素な形状とされるため、駆動力伝達部3の製造が容易とされる。
また、駆動力伝達部3の側面(第1面9)は、直角三角形であり、直角三角形の側面(第1面9)は、短手方向から見て端面側に直角が形成されていてもよい。
これにより、接触面6がY軸方向における端に位置するため、駆動力を大きくすることができる。
また、圧電アクチュエータ1の構成で説明したように、駆動力伝達部3は第1面9が直角三角形とされ、駆動力伝達部3は直交する二つの第2面によって形成される稜線10が圧電素子2の伸縮方向における一端の稜線11と一致されてもよい。
換言すれば、駆動力伝達部3は、被接着面5が載置面4における長手方向の端部に接着されて成る構成とされていてもよい。
これにより、接触部6が圧電素子2の伸縮方向における端面7の延長線上に位置される。
従って、駆動力伝達部3の接触面6同士の距離が大きくされ駆動力伝達部3の接着作業において他の駆動力伝達部3が干渉し難く接着作業効率の向上を図ることができる。更に、1回の曲げ振動及び伸縮振動によって駆動対象物100が移動する距離が大きくされ、駆動対象物100を効率よく動かすことができる。
また、上述したように稜線同士を一致させるように圧電素子2と駆動力伝達部3を接着するため、駆動力伝達部3の位置決めが容易とされる。これにより、駆動力伝達部3の取り付け作業の効率化を図ることができる。また、駆動力伝達部3の取り付け位置がずれることによる駆動力の伝達効率が低下してしまうことを防止することができ、良好な動作状態を確保することができる。
更にまた、圧電アクチュエータ1は、被接着面5の伸縮方向における長さは、圧電素子2の伸縮方向における長さの6分の1未満とされていてもよい。
換言すれば、駆動力伝達部3における被接着面5は、長手方向における長さが載置面4の長手方向における長さの6分の1未満とされていてもよい。
圧電素子2においては、伸縮方向における中央部から端部に向けて曲げ振動における腹部P1と節部P2が交互に位置される。また、圧電素子2の伸縮方向における端部は腹部P1とされ、端部から6分の1内側にずれた位置は節部P2とされる。即ち、被接着面5は節部P2に接着されない。
これにより、圧電素子2の振動が妨げられずに駆動力伝達部3に伝わるため、駆動対象物100の移動を効率的に行うことができる。
加えて、第1の変形例で説明したように、伸縮方向における圧電素子2の少なくとも一方の端部に少なくとも二つの駆動力伝達部3が取り付けられてもよい。
換言すれば、駆動力伝達部3は複数あり、複数の駆動力伝達部3それぞれは長手方向の同じ位置であって載置面4の短手方向の異なる位置にあってもよい。
これにより、圧電素子2の少なくとも一方の端部に伸縮方向と異なる方向に離隔して複数の駆動力伝達部3が接着される。
これにより、一つの駆動力伝達部3が圧電素子2の接着状態が不安定となってしまっても他の駆動力伝達部3によって駆動対象物100に駆動力を伝達することが可能となり、駆動対象物100の安定した移動を実現することができる。
また、第3の変形例で説明したように、伸縮方向における圧電素子2の少なくとも一方の端面7に接着面4aが形成されていてもよい。
これにより、伸縮方向において駆動力伝達部3間の距離が大きくなる。
従って、駆動力伝達部3の接触面6同士の距離が大きくされ駆動力伝達部3の接着作業において他の駆動力伝達部3が干渉し難く接着作業効率の向上を図ることができる。特に、駆動力伝達部3が圧電素子2の異なる面に接着されることにより、接着作業の効率化を更に向上させることができる。
また、1回の曲げ振動及び伸縮振動によって駆動対象物100が移動する距離が大きくされ、駆動対象物100を効率よく移動させることができる。
加えて、駆動力伝達部3における少なくとも2面が被接着面5とされてもよい。
これにより、圧電素子2と駆動力伝達部3の接着強度が更に向上される。
従って、圧電素子2によって発生される駆動力が駆動対象物100に確実に伝達され、良好な駆動状態を確保することができる。
更に、圧電アクチュエータ1において、圧電素子2が長手方向と短手方向を有する形状に形成され、伸縮方向は圧電素子2の長手方向とされてもよい。
これにより、伸縮方向における圧電素子2の両端部は伸縮振動による変位量が大きくされる。
従って、伸縮方向における圧電素子2の両端部に接着された駆動力伝達部3の移動量も大きくされ、駆動対象物100を効率的に移動させることができる。
更にまた、圧電アクチュエータ1における接触面6は被接着面5から離隔する方向に凸の曲面とされた曲面とされていてもよい。
これにより、接触面6を含む部分の強度が高くなる。
従って、駆動対象物100を安定した状態で接触面6に接触させることができる。また、接触面6が角部のない形状とされることにより、接触面6の摩耗が軽減され、圧電アクチュエータ1の長寿命化を図ることができる。
加えて、駆動力伝達部3の伸縮方向における第2面8は圧電素子2の伸縮方向における端面7と同一平面とされてもよい。
これにより、これにより、接触面6が圧電素子2の伸縮方向における端面7の延長線上に位置させることが可能とされる。
従って、接触面6同士が大きく離隔して位置されるため、駆動対象物100を効率的に移動させることができる。また、圧電素子2の端面7の伸縮方向における位置と駆動力伝達部3の第2面のうちの一つの面(第2面8)の伸縮方向における位置を合わせるように駆動力伝達部3の位置決めを行うことが可能である。これにより、駆動力伝達部3の取り付け作業の効率化を図ることができる。また、駆動力伝達部3の取り付け位置がずれることによる駆動力の伝達力の低下を防止することができ、良好な動作状態を確保することができる。
また、圧電アクチュエータ1は圧電素子を備えて構成されていてもよい。
これにより、圧電素子2で発生した振動に基づいて駆動力伝達部3から駆動対象物100に効率よく駆動力が伝達される。
圧電アクチュエータ1(1A,1B,1C)の接触部(接触面6)は、駆動対象物100の平面と接触するように構成されていてもよい。
これにより、駆動対象物100に対して適切に駆動力を伝達することができるため、駆動対象物100を効率的に駆動することが可能となる。
圧電アクチュエータ1(1A,1B,1C)の圧電素子2は、圧電素子2の曲げ方向(Z軸方向)への変位量の小さい節部P2と曲げ方向への変位量の大きい腹部P1とを含み、接触部(接触面6)は、節部P2よりも腹部P1に近い接触位置で駆動対象物100と接触する。
これにより、駆動対象物100に対して駆動力を効率的に伝達することができ、駆動力向上を図ることができる。
圧電アクチュエータ1(1A,1B,1C)の圧電素子2は、節部P2と腹部P1を複数含み、複数の節部P2と複数の腹部P1は長手方向(Y軸方向)に交互に位置するように構成されており、複数の腹部P1のうち接触位置に最も近い腹部P1は、圧電素子2の端面7に最も近い位置にある。
これにより、曲げ振動及び伸縮振動による駆動力伝達部3の動きが最大化され駆動対象物100を効率的に駆動させることができる。
駆動力伝達部3は、被接着面5を載置面4の中央部よりも端面7に近い位置に接着することで圧電素子2に固定されて成る。
これにより、曲げ振動及び伸縮振動による駆動力伝達部3の動きが最大化され駆動対象物100を効率的に駆動させることができる。
駆動力伝達部3は、被接着面5を複数の節部P2のうちの隣接する二つの節部P2の間に位置するように圧電素子2に接着されて成る。換言すれば、駆動力伝達部3は、被接着面5が複数の腹部P1のうちの一つに位置するように圧電素子2に接着されて成る。
これにより、圧電素子2の振動が妨げられずに駆動力伝達部3に伝わるため、駆動対象物100の移動を効率的に行うことができる。
なお、本技術の圧電アクチュエータ1(1A,1B,1C)を撮像装置が備える可動部に用いることで、可動部の移動に要する時間を短縮することができる。
具体的には、撮像装置200は、光学系を介して取り込まれる光を受光し光電変換する撮像素子203と、駆動対象物100(ズームレンズやフォーカスレンズや絞り機構などの可動部)を動作させる圧電アクチュエータ1と、を備え、圧電アクチュエータ1は、曲げ振動と伸縮振動を行う圧電素子2における伸縮方向の両端部に設けられた接着面4aに接着される被接着面5と、駆動対象物100に接触する接触面6と、を有し、圧電素子2の動作に伴って周回運動を行うことにより伸縮方向への駆動力を駆動対象物100に与える複数の駆動力伝達部3を備え、圧電素子2と駆動力伝達部3は接着面4aと被接着面5が対向した状態で接着されるように構成されてもよい。
これにより、撮影者の意図に添って迅速に可動部(駆動対象物100)を動かすことができる撮像装置200を提供することができる。
撮像装置200が備える可動部とは、例えば、手ぶれ補正機構やズームレンズなどの各種レンズなどである。
手ぶれ補正機構に上述の圧電アクチュエータ1を適用することにより、ぶれの少ない撮像画像を得ることができる。
また、各種のレンズの駆動に上述の圧電アクチュエータ1を用いることにより、迅速に所望のレンズ位置にレンズを駆動させることができ、最適な撮影タイミングを逃してしまうことを防止することができる。
また、光学系を介して取り込まれる光を受光し光電変換する撮像素子203と、駆動対象物100を動作させる圧電アクチュエータ1と、を備え、圧電アクチュエータ1は、略直方体形状を有し、長手方向(Y軸方向)が伸縮方向とされるとともに一つの面が載置面4とされた圧電素子2と、圧電素子2の載置面4に所定の接着面積で接着された被接着面5と、駆動対象物100と所定の接触面積で接触するための接触部(接触面6)とを有し、所定の接着面積が前記所定の接触面積より大きく構成されて成る駆動力伝達部3と、を備えている。
これにより、上述した各種の効果を得ることができる。
尚、本明細書に記載された効果はあくまでも例示であって限定されるものではなく、また他の効果があってもよい。
<6.本技術>
本技術は以下のような構成も採ることができる。
(1)
略直方体形状を有し、長手方向が伸縮方向とされるとともに一つの面が載置面とされた圧電素子と、
前記圧電素子の前記載置面に所定の接着面積で接着された被接着面と、駆動対象物と所定の接触面積で接触するための接触部とを有し、前記所定の接着面積が前記所定の接触面積より大きく構成されて成る駆動力伝達部と、を備える
圧電アクチュエータ。
(2)
前記接触部は、前記駆動対象物の平面と接触する
請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
(3)
前記圧電素子は、前記圧電素子の曲げ方向への変位量の小さい節部と前記曲げ方向への変位量の大きい腹部とを含み、
前記接触部は、前記節部よりも前記腹部に近い接触位置で前記駆動対象物と接触する
請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
(4)
前記圧電素子は、前記節部と前記腹部を複数含み、前記複数の節部と前記複数の腹部は前記長手方向に交互に位置するように構成されており、
前記複数の腹部のうち前記接触位置に最も近い腹部は、前記圧電素子の端面に最も近い位置にある
請求項3に記載の圧電アクチュエータ。
(5)
前記駆動力伝達部は、前記被接着面を前記載置面の中央部よりも前記端面に近い位置に接着することで前記圧電素子に固定されて成る
請求項4に記載の圧電アクチュエータ。
(6)
前記駆動力伝達部は、前記被接着面が前記複数の腹部のうちの一つに位置するように前記圧電素子に接着されて成る
請求項5に記載の圧電アクチュエータ。
(7)
前記駆動力伝達部における前記被接着面は、前記長手方向における長さが前記載置面の前記長手方向における長さの6分の1未満である
請求項6に記載の圧電アクチュエータ。
(8)
前記駆動力伝達部は、前記被接着面が前記載置面における長手方向の端部に接着されて成る
請求項6に記載の圧電アクチュエータ。
(9)
前記接触部は、前記長手方向において前記被接着面の中央部よりも前記圧電素子の前記端面に近い位置で前記駆動対象物と接触する
請求項8に記載の圧電アクチュエータ。
(10)
前記駆動力伝達部は、前記被接着面から前記接触部に向かうに従って前記長手方向の幅が短くなるように形成された側面を持つ
請求項9に記載の圧電アクチュエータ。
(11)
前記駆動力伝達部の前記側面は、三角形である
請求項10に記載の圧電アクチュエータ。
(12)
前記駆動力伝達部の前記側面は、直角三角形であり、
前記直角三角形の側面は、短手方向から見て前記端面側に直角が形成される
請求項11に記載の圧電アクチュエータ。
(13)
前記駆動力伝達部は複数あり、前記複数の駆動力伝達部の少なくとも一部は前記長手方向の異なる位置にある
請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
(14)
前記駆動力伝達部は複数あり、前記複数の駆動力伝達部それぞれは前記長手方向の同じ位置であって前記載置面の短手方向の異なる位置にある
請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
(15)
前記接触部は、凸の曲面とされた
請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
(16)
光学系を介して取り込まれる光を受光し光電変換する撮像素子と、
駆動対象物を動作させる圧電アクチュエータと、を備え、
前記圧電アクチュエータは、
略直方体形状を有し、長手方向が伸縮方向とされるとともに一つの面が載置面とされた圧電素子と、前記圧電素子の前記載置面に所定の接着面積で接着された被接着面と、駆動対象物と所定の接触面積で接触するための接触部とを有し、前記所定の接着面積が前記所定の接触面積より大きく構成されて成る駆動力伝達部と、を備える
撮像装置。
1 圧電アクチュエータ、1A 圧電アクチュエータ、1B 圧電アクチュエータ、1C 圧電アクチュエータ、2 圧電素子、3 駆動力伝達部、4a 接着面、5 被接着面、6 接触面、7 端面、8 第2面、10 稜線、11 稜線、100 駆動対象物、200 撮像装置、203 撮像素子

Claims (16)

  1. 略直方体形状を有し、長手方向が伸縮方向とされるとともに一つの面が載置面とされた圧電素子と、
    前記圧電素子の前記載置面に所定の接着面積で接着された被接着面と、駆動対象物と所定の接触面積で接触するための接触部とを有し、前記所定の接着面積が前記所定の接触面積より大きく構成されて成る駆動力伝達部と、を備える
    圧電アクチュエータ。
  2. 前記接触部は、前記駆動対象物の平面と接触する
    請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
  3. 前記圧電素子は、前記圧電素子の曲げ方向への変位量の小さい節部と前記曲げ方向への変位量の大きい腹部とを含み、
    前記接触部は、前記節部よりも前記腹部に近い接触位置で前記駆動対象物と接触する
    請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
  4. 前記圧電素子は、前記節部と前記腹部を複数含み、前記複数の節部と前記複数の腹部は前記長手方向に交互に位置するように構成されており、
    前記複数の腹部のうち前記接触位置に最も近い腹部は、前記圧電素子の端面に最も近い位置にある
    請求項3に記載の圧電アクチュエータ。
  5. 前記駆動力伝達部は、前記被接着面を前記載置面の中央部よりも前記端面に近い位置に接着することで前記圧電素子に固定されて成る
    請求項4に記載の圧電アクチュエータ。
  6. 前記駆動力伝達部は、前記被接着面が前記複数の腹部のうちの一つに位置するように前記圧電素子に接着されて成る
    請求項5に記載の圧電アクチュエータ。
  7. 前記駆動力伝達部における前記被接着面は、前記長手方向における長さが前記載置面の前記長手方向における長さの6分の1未満である
    請求項6に記載の圧電アクチュエータ。
  8. 前記駆動力伝達部は、前記被接着面が前記載置面における長手方向の端部に接着されて成る
    請求項6に記載の圧電アクチュエータ。
  9. 前記接触部は、前記長手方向において前記被接着面の中央部よりも前記圧電素子の前記端面に近い位置で前記駆動対象物と接触する
    請求項8に記載の圧電アクチュエータ。
  10. 前記駆動力伝達部は、前記被接着面から前記接触部に向かうに従って前記長手方向の幅が短くなるように形成された側面を持つ
    請求項9に記載の圧電アクチュエータ。
  11. 前記駆動力伝達部の前記側面は、三角形である
    請求項10に記載の圧電アクチュエータ。
  12. 前記駆動力伝達部の前記側面は、直角三角形であり、
    前記直角三角形の側面は、短手方向から見て前記端面側に直角が形成される
    請求項11に記載の圧電アクチュエータ。
  13. 前記駆動力伝達部は複数あり、前記複数の駆動力伝達部の少なくとも一部は前記長手方向の異なる位置にある
    請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
  14. 前記駆動力伝達部は複数あり、前記複数の駆動力伝達部それぞれは前記長手方向の同じ位置であって前記載置面の短手方向の異なる位置にある
    請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
  15. 前記接触部は、凸の曲面とされた
    請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
  16. 光学系を介して取り込まれる光を受光し光電変換する撮像素子と、
    駆動対象物を動作させる圧電アクチュエータと、を備え、
    前記圧電アクチュエータは、
    略直方体形状を有し、長手方向が伸縮方向とされるとともに一つの面が載置面とされた圧電素子と、前記圧電素子の前記載置面に所定の接着面積で接着された被接着面と、駆動対象物と所定の接触面積で接触するための接触部とを有し、前記所定の接着面積が前記所定の接触面積より大きく構成されて成る駆動力伝達部と、を備える
    撮像装置。
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