JP2021048150A - ウエーハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2a:ウエーハの表面
2b:ウエーハの裏面
4:分割予定ライン
6:デバイス
8:保護部材
10:研削装置
12:チャックテーブル
38:熱圧着シート
50:切削ブレード
Claims (7)
- 複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハを個々のデバイスチップに分割するウエーハの加工方法であって、
ウエーハの表面に保護部材を配設し研削装置のチャックテーブルでウエーハを保持してウエーハの裏面を研削する研削工程と、
該研削工程の直後、研削され濡れ性が向上したウエーハの裏面に熱圧着シートを配設して加熱すると共に押圧して熱圧着シートをウエーハの裏面に圧着する熱圧着工程と、
ウエーハの表面に切削ブレードを位置づけて分割予定ラインを切削して個々のデバイスチップに分割する分割工程と、
から少なくとも構成されるウエーハの加工方法。 - 該分割工程の前に該保護部材をウエーハの表面から剥離する請求項1記載のウエーハの加工方法。
- 該熱圧着シートはポリオレフィン系シートまたはポリエステル系シートである請求項1記載のウエーハの加工方法。
- 該熱圧着シートは、該ポリオレフィン系シートのうち、ポリエチレンシート、ポリプロピレンシートまたはポリスチレンシートのいずれかである請求項3記載のウエーハの加工方法。
- 該熱圧着工程における該熱圧着シートの加熱温度は、該熱圧着シートが該ポリエチレンシートの場合には120℃〜140℃であり、該熱圧着シートが該ポリプロピレンシートの場合には160℃〜180℃であり、該熱圧着シートが該ポリスチレンシートの場合には220℃〜240℃である請求項4記載のウエーハの加工方法。
- 該熱圧着シートは、該ポリエステル系シートのうち、ポリエチレンテレフタレートシートまたはポリエチレンナフタレートシートのいずれかである請求項3記載のウエーハの加工方法。
- 該熱圧着工程における該熱圧着シートの加熱温度は、該熱圧着シートが該ポリエチレンテレフタレートシートの場合には250℃〜270℃であり、該熱圧着シートが該ポリエチレンナフタレートシートの場合には160℃〜180℃である請求項6記載のウエーハの加工方法。
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