JP2021044590A - 部品供給装置、部品実装装置、部品供給方法および実装基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】トレイより部品を取り出す位置から基板の実装点までの距離を短くすることができる部品供給装置、部品実装装置、部品供給方法および実装基板の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】部品供給装置（トレイフィーダ５）は、部品が格納されたトレイ７を保持するパレット２４を各々収納する複数のパレット収納部２３と、パレット載置部上面２９ａの少なくとも一部にパレット２４を載置させて部品実装装置によって部品が取り出されるパレット載置部２９を有し、部品供給装置が部品実装装置に装着された状態で部品実装装置の内部方向に突き出した突出し部２８と、上面に保持されたパレット２４を水平方向に移動させて複数のパレット収納部２３およびパレット載置部２９に出し入れする水平移動部２６と、水平移動部２６を昇降させるリフト部２７を備え、パレット載置部２９は、水平移動部２６と一緒に昇降する。【選択図】図３

Description

本発明は、トレイに格納された部品を部品実装装置に供給する部品供給装置、部品供給装置を備える部品実装装置、部品供給方法および実装基板の製造方法に関するものである。

部品実装装置に装着されて、半導体チップなどの部品を供給するパーツフィーダの一種としてトレイフィーダが知られている。このトレイフィーダは、部品を格納したトレイを保持するパレットを、上下多段に並設された複数のパレット収納部の各々に収納する構成となっている。部品実装作業では、部品実装装置に装着されたトレイフィーダがパレットを実装順序に応じて引き出して部品取出し位置まで上昇させ、部品実装装置が実装ヘッドを部品取り出し位置まで移動させて、パレットが保持するトレイに収納された部品を取り出して部品実装装置に保持された基板の実装点に実装している（例えば特許文献１参照）。

特開２０１２−１１４３２４号公報

しかしながら、特許文献１を含む従来技術では、部品取り出し位置はトレイフィーダがパレットをパレット収納部から引き出して上昇させた位置にあり、部品実装作業では実装ヘッドをこの部品取り出し位置まで移動させる必要がある。そのため、トレイフィーダを装着した部品実装装置のサイズが大きくなり、また、部品取り出し位置から基板の実装点までの距離が長くなるため実装ヘッドの移動時間も長くなってしまうという課題があった。

そこで本発明は、トレイより部品を取り出す位置から基板の実装点までの距離を短くすることができる部品供給装置、部品実装装置、部品供給方法および実装基板の製造方法を提供することを目的とする。

本発明の部品供給装置は、部品が格納されたトレイを保持するパレットを各々収納する複数のパレット収納部と、上面の少なくとも一部にパレットを載置させて部品実装装置によって前記部品が取り出されるパレット載置部を有し、部品供給装置が前記部品実装装置に装着された状態で前記部品実装装置の内部方向に突き出した突出し部と、上面に保持されたパレットを水平方向に移動させて前記複数のパレット収納部および前記パレット載置部に出し入れする水平移動部と、前記水平移動部を昇降させるリフト部と、を備え、前記パレット載置部は、前記水平移動部と一緒に昇降する。

本発明の部品実装装置は、搬入された基板を保持し、部品が格納されたトレイを保持するパレットを複数のパレット収納部に各々収納し、前記収納されたパレットを取り出し、実装ヘッドによって前記パレットが保持するトレイより前記部品を取り出して前記保持された基板に実装する部品実装装置であって、上面の少なくとも一部に前記パレットを載置させて前記実装ヘッドによって前記部品が取り出されるパレット載置部を有し、前記保持された基板の方向に突き出した突出し部と、上面に保持されたパレットを水平方向に移動させて前記複数のパレット収納部および前記パレット載置部に出し入れする水平移動部と、前記水平移動部を昇降させるリフト部と、を備え、前記パレット載置部は、前記水平移動部と一緒に昇降する。

本発明の部品供給方法は、部品を基板に実装する部品実装装置に装着されて前記部品実装装置に前記部品を供給する部品供給装置における部品供給方法であって、前記部品供給装置は、部品が格納されたトレイを保持するパレットを各々収納する複数のパレット収納部と、上面の少なくとも一部にパレットを載置させて前記部品実装装置によって前記部品が取り出される昇降可能なパレット載置部を有し、前記部品供給装置が前記部品実装装置に装着された状態で前記部品実装装置の内部方向に突き出した突出し部と、上面に保持させたパレットを水平方向に移動させて前記複数のパレット収納部および前記パレット載置部に出し入れする昇降可能な水平移動部と、を備えており、前記水平移動部によって前記複数のパレット収納部のいずれかから前記パレットを引き出して前記水平移動部の上面に保持させるパレット引き出し工程と、前記上面に前記パレットを保持した前記水平移動部を上昇させる水平移動部上昇工程と、前記パレット載置部を前記水平移動部と一緒に上昇させるパレット載置部上昇工程と、前記水平移動部の上面に保持された前記パレットを前記パレット載置部に移動させるパレット移動工程と、を含む。

本発明の実装基板の製造方法は、搬入された基板を保持し、部品が格納されたトレイを保持するパレットを複数のパレット収納部に各々収納し、前記収納されたパレットを取り出し、実装ヘッドによって前記パレットが保持するトレイより前記部品を取り出して前記保持された基板に実装する部品実装装置による部品を基板に実装した実装基板の製造方法であって、前記部品実装装置は、上面の少なくとも一部にパレットを載置させて前記実装ヘッドによって前記部品が取り出される昇降可能なパレット載置部を有し、前記保持された基板の方向に突き出した突出し部と、上面に保持させたパレットを水平方向に移動させて前記複数のパレット収納部および前記パレット載置部に出し入れする昇降可能な水平移動部と、を備えており、前記水平移動部によって前記複数のパレット収納部のいずれかから前記パレットを引き出して前記水平移動部の上面に保持させるパレット引き出し工程と、前記上面に前記パレットを保持した前記水平移動部を上昇させる水平移動部上昇工程と、前記パレット載置部を前記水平移動部と一緒に上昇させるパレット載置部上昇工程と、前記水平移動部の上面に保持された前記パレットを前記パレット載置部に移動させるパレット移動工程と、前記パレット載置部の上面に移動した前記パレットが保持するトレイより部品を取り出して前記保持された基板に実装する部品実装工程と、を含む。

本発明によれば、トレイより部品を取り出す位置から基板の実装点までの距離を短くすることができる。

本発明の一実施の形態の部品実装装置の平面図 本発明の一実施の形態の部品実装装置の部分断面図 本発明の一実施の形態のトレイフィーダの構成説明図 本発明の一実施の形態のトレイフィーダの構成説明図 本発明の一実施の形態のトレイフィーダの突出し部付近の構成説明図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態のトレイフィーダの係合部の断面形状の説明図 本発明の一実施の形態の部品実装装置の制御系の構成を示すブロック図 本発明の一実施の形態の部品実装装置における実装基板の製造方法を示すフロー図 本発明の一実施の形態のトレイフィーダにおけるパレットの部品取り出し位置への移送方法を示すフロー図 本発明の一実施の形態のトレイフィーダにおけるパレットのパレット収納部への移送方法を示すフロー図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態のトレイフィーダにおけるパレットの部品取り出し位置への移送の工程説明図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態のトレイフィーダにおけるパレットの部品取り出し位置への移送の工程説明図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態のトレイフィーダにおけるパレットの部品取り出し位置からの移送の工程説明図 本発明の一実施の形態のトレイフィーダの第２の実施例の構成説明図

以下に図面を用いて、本発明の一実施の形態を詳細に説明する。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、部品実装装置、部品供給装置（トレイフィーダ）の仕様に応じ、適宜変更が可能である。以下では、全ての図面において対応する要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図１、及び後述する一部では、水平面内で互いに直交する２軸方向として、基板搬送方向のＸ方向（図１における左右方向）、基板搬送方向に直交するＹ方向（図１における上下方向）が示される。図２、及び後述する一部では、水平面と直交する高さ方向としてＺ方向（図２における上下方向）が示される。Ｚ方向は、部品実装装置が水平面上に設置された場合の上下方向または直交方向である。

まず図１、図２を参照して、部品実装装置１の構成について説明する。図１において、基台１ａの上面には、基板搬送機構２がＸ方向に配設されている。基板搬送機構２は、部品実装対象となる基板３を搬送して、以下に説明する部品実装機構による作業位置に位置決め保持する。基板搬送機構２の両側方には、基板３に実装される部品を供給する部品供給部４Ａ、４Ｂが配設されている。

部品供給部４Ａにはトレイフィーダ５が、部品供給部４Ｂには複数のテープフィーダ６が、それぞれ着脱自在に配置されている。トレイフィーダ５は、部品Ｄが格子配列で格納されたトレイ７を、部品実装機構による部品取り出し位置Ｐ（図２参照）に移動させることにより、部品Ｄを実装ヘッドに供給する。テープフィーダ６は、部品Ｄを保持したキャリアテープをピッチ送りすることにより、部品Ｄを部品実装機構に供給する。

基台１ａのＸ方向の一端部には、リニアモータ駆動機構を備えたＹ軸ビーム８がＹ方向に配設されている。Ｙ軸ビーム８には、同様にリニアモータ駆動機構を備えた２基のＸ軸ビーム９Ａ，９Ｂが、それぞれ部品供給部４Ａ，４Ｂに対応してＹ方向に移動自在に結合されている。Ｘ軸ビーム９Ａ，９Ｂには、それぞれ実装ヘッド１０Ａ，１０Ｂが、リニア駆動機構によってＸ方向に移動自在に装着されている。実装ヘッド１０Ａ，１０Ｂはいずれも複数の単位移載ヘッド１１を備えている。それぞれの単位移載ヘッド１１の下端部には、吸着ノズル１１ａ（図２参照）が交換自在に装着されている。

Ｙ軸ビーム８およびＸ軸ビーム９Ａを駆動することにより、実装ヘッド１０Ａは部品供給部４Ａと基板搬送機構２に保持された基板３との間で水平移動し、トレイ７に格納された部品Ｄを吸着ノズル１１ａによって吸着保持してピックアップし、基板３の実装点に実装する。Ｙ軸ビーム８およびＸ軸ビーム９Ｂを駆動することにより、実装ヘッド１０Ｂは部品供給部４Ｂと基板３との間で水平移動し、テープフィーダ６によってピッチ送りされたキャリアテープから部品Ｄを吸着ノズル１１ａによって吸着保持して取り出し、基板３の実装点に実装する。したがってＹ軸ビーム８、Ｘ軸ビーム９Ａ，９Ｂ、実装ヘッド１０Ａ，１０Ｂは、単位移載ヘッド１１の吸着ノズル１１ａによって部品Ｄを吸着保持して基板３に実装する部品実装機構１２（図７参照）を構成する。

図１において、実装ヘッド１０Ａ，１０Ｂが取り付けられたプレート９ａには、基板認識カメラ１３が取り付けられている。基板認識カメラ１３は、実装ヘッド１０Ａ，１０Ｂと一体的に移動する。実装ヘッド１０Ａ，１０Ｂが移動することにより、基板認識カメラ１３は基板搬送機構２に位置決めされた基板３の上方に移動し、基板３に設けられた基板マーク（図示せず）を撮像して基板３の位置を認識する。部品供給部４Ａ，４Ｂと基板搬送機構２との間には、部品認識カメラ１４が配設されている。部品Ｄを保持した実装ヘッド１０Ａ，１０Ｂが部品認識カメラ１４の上方を移動することにより部品認識カメラ１４はこれらの部品Ｄを撮像する。この撮像結果を認識処理することにより、実装ヘッド１０Ａ，１０Ｂに保持された状態における部品Ｄの識別や位置認識が行われる。

図２は、部品供給部４Ａにトレイフィーダ５を装着した状態を示している。トレイフィーダ５は、車輪２１によって作業床上で移動自在なベース部２０を備えている。ベース部２０の上面において、作業者ＯＰによる操作側にはフィーダ本体部２２が配置されている。フィーダ本体部２２には、複数のパレット収納部２３が上下多段に設けられている。各パレット収納部２３には、１枚または２枚以上のトレイ７を上面に保持するパレット２４が収納される。すなわち、複数のパレット収納部２３には、部品Ｄが格納されたトレイ７を保持するパレット２４が各々収納される。

フィーダ本体部２２の前面側（部品実装装置１側）には、ベース部２０の上面より垂直方向に延伸する前面フレーム２５が配設されている。前面フレーム２５の背面側（フィーダ本体部２２側）には、水平移動部２６を昇降（矢印ａ）させるリフト部２７が設けられている。リフト部２７は、水平移動部２６を昇降させて各パレット収納部２３の高さ位置に位置させる。水平移動部２６は、パレット収納部２３の高さ位置に位置する状態で（図３参照）、パレット収納部２３からパレット２４を引き出して水平移動部２６の上面（以下、「水平移動部上面２６ａ」と称す。）に保持し、また、水平移動部上面２６ａに保持するパレット２４をパレット収納部２３に収納させる。

図２において、前面フレーム２５の前面側（部品実装装置１側）の上部には、トレイフィーダ５（部品供給装置）が部品実装装置１に装着された状態で部品実装装置１の内部方向に突き出している突出し部２８が着脱可能に配設されている。突出し部２８の内部には、パレット載置部２９が配設されている。パレット載置部２９は、突出し部２８の内側に配設されたスライダ３０に沿って、上下方向（Ｚ方向）に移動自在となっている。

パレット載置部２９は、水平移動部上面２６ａの高さとパレット載置部２９の上面（以下、「パレット載置部上面２９ａ」と称す。）の高さが略同じになって水平移動部２６に保持されているパレット２４がパレット載置部２９に出し入れ可能となった状態（以下、「上面一致状態」と称す。）で、水平移動部２６と一緒に昇降する。この上面一致状態で、パレット載置部上面２９ａの少なくとも一部には、水平移動部２６が保持するパレット２４が移動して載置される。すなわち、水平移動部２６は、水平移動部上面２６ａに保持されたパレット２４を水平方向に移動させて複数のパレット収納部２３およびパレット載置部２９に出し入れする。

図２において、リフト部２７がパレット２４を保持した水平移動部２６を上昇させる過程において上面一致状態となると、水平移動部２６とパレット載置部２９が一体となって部品取り出し高さ位置まで上昇する。そして、水平移動部２６が水平移動部上面２６ａの保持するパレット２４をパレット載置部上面２９ａに移動させることにより、パレット２４が実装ヘッド１０Ａによってトレイ７に格納された部品Ｄが取り出される部品取り出し位置Ｐに位置される。

部品実装作業では、この状態のトレイ７から実装ヘッド１０Ａが吸着ノズル１１ａによって部品Ｄをピックアップし、基板搬送機構２の作業位置に位置決め保持された基板３に移動（矢印ｂ）して部品Ｄを基板３の実装点に実装する。このように、少なくともパレット２４の一部をパレット載置部上面２９ａに移動させて、部品取り出し位置Ｐを基板３に近づけることにより、トレイ７より部品Ｄを取り出して基板３に実装するまでの移動距離を短くすることができる。これによって、実装時間を短縮することができる。

このように、突出し部２８は、トレイフィーダ５（部品供給装置）が部品実装装置１に装着された状態で部品実装装置１の内部方向に突き出しており、パレット載置部上面２９ａの少なくとも一部にパレット２４を載置させて部品実装装置１によって部品Ｄが取り出されるパレット載置部２９を有している。

図２において、フィーダ本体部２２においてパレット収納部２３とは別の領域（ここでは、最上段のパレット収納部２３の上方）には、パレット交換部３１が設けられている。パレット交換部３１には、部品切れとなったトレイ７を保持するパレット２４がトレイ交換のために載置される。パレット交換部３１の上面側は、フィーダ本体部２２の天井部によって覆われている。フィーダ本体部２２の天井部の手前側（作業者ＯＰによる操作側）には、パレット交換部３１にパレット２４を搬入・搬出するための開閉カバー３２が開閉自在に設けられている。部品実装作業中は、開閉カバー３２は閉じた状態にある。

部品実装作業の実行過程においてパレット２４に保持されたトレイ７を交換する必要が生じた場合には、当該パレット２４を保持する水平移動部２６はリフト部２７によってパレット交換部３１の高さ位置に移動して、当該パレット２４をパレット交換部３１に移動させる。そして作業者ＯＰは、開閉カバー３２を開放してパレット交換部３１からパレット２４を取り出して、部品切れが生じた空のトレイ７を他のトレイ７と交換するトレイ交換を行う。トレイ交換後のパレット２４は開閉カバー３２を介してパレット交換部３１に再び載置され、水平移動部２６およびリフト部２７によって、所定のパレット収納部２３または部品取り出し位置Ｐに移動される。

図２において、部品実装装置１は、本体制御装置１５を備えている。トレイフィーダ５は、フィーダ制御部３３を備えている。トレイフィーダ５が部品実装装置１に装着されると、フィーダ制御部３３は本体制御装置１５と電気的に接続される（図７参照）。部品実装装置１による部品実装作業は、本体制御装置１５によって制御される。トレイフィーダ５におけるパレット２４の移動動作は、フィーダ制御部３３によって制御される。

次に図３〜５を参照して、トレイフィーダ５の詳細構成および機能について説明する。図３は、トレイフィーダ５を側方（Ｘ方向）から見た概略図であり、便宜上、トレイフィーダ５と突出し部２８の側方手前（紙面における前側）のカバーと、突出し部２８の手前側のスライダ３０は図示が省略されている。フィーダ本体部２２内に多段に設けられたパレット収納部２３は、それぞれが収納アドレス（ここでは、最上段より下方に向かって、（１）（２）（３）・・・の順序）に対応している。この収納アドレスを特定することにより、フィーダ本体部２２においてトレイ７を保持した個々のパレット２４が収納される収納位置を特定できるようになっている。

次に図３、図４を参照して、リフト部２７の構成を説明する。ベース部２０の上面に立設された前面フレーム２５には、ナット部材３４に螺合する送りねじ３５を昇降駆動モータ３６によって回転駆動する構成のリフト部２７が設けられている。ナット部材３４には、水平移動部２６を構成する水平なパレット保持プレート３７が結合されている。水平移動部２６（パレット保持プレート３７）は、昇降駆動モータ３６を駆動することにより昇降する。このとき、個々のパレット収納部２３に付された収納アドレスを指定することにより、水平移動部２６をこの収納アドレスに対応したパレット収納部２３の高さ位置に位置させることができる。また、水平移動部２６は、部品取り出し高さ位置またはパレット交換部３１の高さ位置にも位置させることができる。

水平移動部２６は、パレット保持プレート３７の下面側に配設されたスライド駆動モータ３８を駆動することにより、パレット保持プレート３７の上面（水平移動部上面２６ａ）に沿ってパレット２４をスライド移動（矢印ｃ）させることができるようになっている。図４に示すように、水平移動部上面２６ａには、Ｙ方向（パレット収納部２３に接近・離反する方向）に水平移動部スライドガイド３９が配設されている。水平移動部スライドガイド３９には、スライド部材４０がＹ方向にスライド自在に嵌合している。スライド部材４０は、スライド駆動モータ３８を駆動源とする移動機構（図示省略）によって、水平移動部スライドガイド３９に沿って往復動自在となっている。

スライド部材４０は、パレット２４の前端部に設けられた被係止部２４ａを係止可能な係止部４０ａを備えている。パレット２４は、被係止部２４ａを係止部４０ａが係止可能なように、引き出し方向に突出させた状態でパレット収納部２３に収納されている。水平移動部上面２６ａには、パレット２４のＹ方向の移動をガイドするための水平移動部ガイド部材４１が水平移動部スライドガイド３９の両側に設けられている。水平移動部２６をパレット収納部２３の高さ位置に位置させた状態で、係止部４０ａによってパレット２４を係止して、スライド部材４０をＹ方向に往復動させることにより、パレット２４がパレット収納部２３より出し入れされる。

図４において、パレット載置部上面２９ａには、パレット載置部スライドガイド４２が配設されている。パレット載置部スライドガイド４２は、上面一致状態で水平移動部スライドガイド３９と一体化し、スライド部材４０（係止部４０ａ）を水平移動部上面２６ａとパレット載置部上面２９ａとの間で往復運動させることができる。また、パレット載置部上面２９ａには、パレット２４のＹ方向の移動をガイドするためのパレット載置部ガイド部材４３がパレット載置部スライドガイド４２の両側に設けられている。上面一致状態で、パレット２４を保持した係止部４０ａを水平移動部２６からパレット載置部２９に移動させることにより、パレット２４の少なくとも一部がパレット載置部２９に載置される。

次に図３〜５を参照して、突出し部２８の構成を説明する。突出し部２８は、底部４４ａ、前側壁４４ｂ、左右の側方壁４４ｃを含んで構成される筐体部４４によって、前面フレーム２５の前面側の上部に装着されている。底部４４ａは水平方向に広がる略長方形の板である。前側壁４４ｂは、底部４４ａの前面フレーム２５と反対側の外縁から上方に延伸している。左右の側方壁４４ｃは、底部４４ａのＸ方向の両側（左右）の外縁から上方に延伸している。パレット載置部２９は、筐体部４４の内部に配設されている。筐体部４４は、前面フレーム２５に装着された状態で、パレット２４のパレット載置部２９への出し入れ、パレット載置部２９の昇降動作を干渉しないように前面フレーム２５側と上部が開放されている構造をしている。

左右の側方壁４４ｃの対向する面には、Ｚ方向に延伸するスライダ３０が配設されている。パレット載置部２９は、スライダ３０に沿って昇降する。パレット載置部２９の下方の中央付近には、パレット載置部２９から下方に延伸するパレット載置部延伸部４５が配設されている。パレット載置部延伸部４５において、前側壁４４ｂと対向する位置には、受け板４６が配設されている。前側壁４４ｂには、Ｘ方向に延伸する回転軸４７ａを有する固定部４７が配設されている。固定部４７には、回転軸４７ａを揺動中心として搖動し、先端が受け板４６の上面に当接する搖動部材４８が配設されている。

搖動部材４８は、図示省略するねじりコイルばねなどの弾性体によって、受け板４６を下方に押し下げる方向に付勢されている。すなわち、パレット載置部２９は、受け板４６、固定部４７、搖動部材４８、弾性体を含んで構成される付勢部によって下方に付勢されている。なお付勢部は、パレット載置部２９を下方に付勢する構成であればよく、例えば、筐体部４４の底部４４ａの上面とパレット載置部延伸部４５を接続する引張コイルばねにより付勢する構成であってもよい。パレット載置部２９は、付勢部による力以外に外から力が加わっていない状態で、パレット載置部延伸部４５の下部が筐体部４４の底部４４ａの上面と干渉する高さ位置（以下、「パレット載置部待機高さ位置」と称す。）で待機する。

図３〜５において、パレット載置部延伸部４５のフィーダ本体部２２側には、フィーダ本体部２２側に延伸するパレット載置部側係合部４９が配設されている。水平移動部２６の下方の前面フレーム２５側（フィーダ本体部２２側とは反対側）には、水平移動部２６から下方に延伸する水平移動部延伸部５０が配設されている。水平移動部延伸部５０の前面フレーム２５側には、前面フレーム２５側に延伸する水平移動部側係合部５１が配設されている。

パレット載置部側係合部４９と水平移動部側係合部５１のＸ方向の位置は一致しており、上方（Ｚ方向）から見てパレット載置部側係合部４９の先端側と水平移動部側係合部５１の先端側の一部が重なる位置にそれぞれ配設されている。これにより、水平移動部２６が下方から上昇すると、水平移動部側係合部５１の上部がパレット載置部待機高さ位置で待機しているパレット載置部側係合部４９の下部に当接して係合する（図６参照）。水平移動部側係合部５１がパレット載置部側係合部４９に当接している状態で水平移動部２６がさらに上昇すると、パレット載置部２９は水平移動部２６と一緒に上昇する。

パレット載置部２９がパレット載置部待機高さ位置より上方にある状態から水平移動部２６が下降すると、パレット載置部２９は水平移動部２６と一緒に下降する。そして、パレット載置部２９がパレット載置部待機高さ位置に到達した後、水平移動部２６が更に下降すると、水平移動部側係合部５１がパレット載置部側係合部４９より離反する。このように、水平移動部２６は水平移動部側係合部５１を有し、パレット載置部２９はパレット載置部側係合部４９を有し、水平移動部２６が上昇して水平移動部側係合部５１がパレット載置部側係合部４９と係合すると、パレット載置部２９は水平移動部２６と一緒に昇降する。

図６（ａ）、図６（ｂ）は、図４に示すＷＷ断面におけるパレット載置部側係合部４９と水平移動部側係合部５１の断面を示している。図６（ａ）において、水平移動部側係合部５１の上部には、上端が狭まっている当接部５１ａが形成されている。パレット載置部側係合部４９の下部には、当接部５１ａと逆形状の凹部４９ａが形成されている。水平移動部２６が上昇（矢印ｄ）すると、水平移動部側係合部５１の当接部５１ａがパレット載置部側係合部４９の凹部４９ａに当接して係合する（図６（ｂ））。

この例では、当接部５１ａのＺＸ平面における断面形状は、上に凸の三角形をしている。すなわち、水平移動部側係合部５１は、パレット載置部側係合部４９に当接する当接部５１ａを有しており、当接部５１ａの上部は当接部５１ａの下部より狭い。この形状により、トレイ７より落下した部品Ｄなどの異物が当接部５１ａに滞留し、当接部５１ａと凹部４９ａの間に挟まってトレイフィーダ５が誤動作することを防止することができる。なお、当接部５１ａは上部が下部より狭い形状であればよく、例えば、横倒しの円柱形でもかまぼこ形（上部が半円形の板状）であってもよい。

図４、図５において、パレット載置部側係合部４９の下方には、くさび部５２が配設されている。くさび部５２においてフィーダ本体部２２とは反対側には、パレット載置部延伸部４５に配設されたシリンダ５３のロッド５３ａに接続されている。シリンダ５３は、圧縮空気または電磁力によりロッド５３ａをＹ方向に出し入れする。これにより、くさび部５２は、フィーダ本体部２２側に突出したり、突出し部２８の内部側に戻ったり往復移動する。

水平移動部側係合部５１とパレット載置部側係合部４９が係合している状態で、シリンダ５３がロッド５３ａを突出させてくさび部５２をフィーダ本体部２２側に突き出させると、水平移動部側係合部５１のフィーダ本体部２２とは反対側の側面に設けられたくさび受け部５１ｂと係合する（図１２（ｂ）参照）。くさび部５２は、くさび受け部５１ｂと係合してパレット載置部側係合部４９と一緒に水平移動部側係合部５１を挟みこむことで、水平移動部側係合部５１を保持する。

すなわち、くさび部５２とシリンダ５３は、パレット載置部２９に設けられ、相手側の係合部（水平移動部側係合部５１）と係合している状態で相手側の係合部を保持する保持部となる。保持部は、昇降する水平移動部２６とパレット載置部２９を相互に保持させることができる。また、保持部と付勢部は、部品実装作業中に吸着ノズル１１ａがトレイ７の部品Ｄを吸着する際の衝撃などで発生する振動を低減させ、トレイ７から部品Ｄが飛び出す不具合を防止することができる。

次に図７を参照して、部品実装装置１の制御系の構成について説明する。部品実装装置１は、本体制御装置１５、記憶部６０、機構駆動部６１、基板認識カメラ１３、部品認識カメラ１４、入力部６２、表示部６３を備えている。また、部品実装装置１には、トレイフィーダ５、テープフィーダ６が装着されている。トレイフィーダ５が部品実装装置１に装着された状態で、トレイフィーダ５が備えるフィーダ制御部３３は、本体制御装置１５と電気的に接続される。

本体制御装置１５は、記憶部６０に記憶された各種のデータを参照して、以下の各部を制御することにより、部品実装装置１による部品実装作業を実行させる。記憶部６０には、実装データ６０ａ、パレット情報データ６０ｂなどが記憶されている。実装データ６０ａは、基板３を対象とする部品実装作業を実行するためのデータであり、基板３に実装される部品種を示す部品データ、基板３における実装点の位置データ、実装順序を示すシーケンスデータなどが含まれる。

図７において、パレット情報データ６０ｂには、トレイフィーダ５にあるパレット２４またはトレイ交換作業のためにパレット交換部３１から取り出されているパレット２４の情報が含まれる。パレット情報データ６０ｂには、トレイ７に格納された部品Ｄの情報（部品種、部品ＩＤ、部品残数など）、そのトレイ７を保持するパレット２４、そのパレット２４の所在（パレット収納部２３の収納アドレス、部品取り出し位置Ｐ、パレット交換部３１、トレイフィーダ５の外など）などの情報が、パレット２４を特定する情報に紐付けられて記憶されている。

本体制御装置１５は、実装データ６０ａとパレット情報データ６０ｂに基づいて、トレイフィーダ５が供給する部品Ｄを格納するトレイ７を保持するパレット２４を特定して、部品Ｄの供給指示を部品実装動作毎にトレイフィーダ５に対して送信する。機構駆動部６１は、本体制御装置１５に制御されて、基板搬送機構２、部品実装機構１２を駆動する。これにより、部品実装装置１によって複数の基板３を対象として連続的に部品実装作業が実行される。入力部６２は、キーボード、タッチパネル、マウスなどの入力装置であり、操作コマンドやデータ入力時などに用いられる。表示部６３は液晶パネルなどの表示装置であり、入力部６２による操作のための操作画面などの各種情報を表示する。

図７において、トレイフィーダ５は、フィーダ制御部３３、フィーダ記憶部６４、水平移動部２６、リフト部２７、シリンダ５３を備えている。フィーダ制御部３３は、本体制御装置１５より送信された供給指示と、フィーダ記憶部６４に記憶された各種のデータを参照して、以下の各部を制御することにより部品供給作業を実行させる。また、フィーダ制御部３３は、本体制御装置１５より供給指示を受け取った後、指示された部品Ｄを格納するトレイ７を保持するパレット２４を部品取り出し位置Ｐに位置させて部品Ｄを供給可能な状態となると、準備完了報告を本体制御装置１５に送信する。

フィーダ記憶部６４には、パレット情報データ６４ａなどが記憶されている。パレット情報データ６４ａは、部品実装装置１が備える記憶部６０に記憶されるパレット情報データ６０ｂと同等の情報である。フィーダ記憶部６４に記憶されるパレット情報データ６４ａと記憶部６０に記憶されるパレット情報データ６０ｂは、フィーダ制御部３３を介して相互に送信されて適宜更新される。フィーダ制御部３３は、パレット情報データ６４ａに基づいて、本体制御装置１５から指示された部品Ｄを格納するトレイ７を保持するパレット２４を特定し、パレット収納部２３の収納アドレスなどの当該パレット２４の所在を特定する。

次に図８〜図１０のフローに沿って、図１１〜図１３を参照しながら、部品実装装置１によって基板３に部品Ｄを実装する実装基板の製造方法について説明する。部品実装装置１では、トレイフィーダ５およびテープフィーダ６が供給する部品Ｄを基板３に実装して実装基板が製造される。以下では、トレイフィーダ５が装着された部品実装装置１において、実装ヘッド１０Ａによってパレット２４が保持するトレイ７より部品Ｄを取り出して基板３に実装する実装基板の製造方法について説明する。

図８において、まず、部品実装装置１の基板搬送機構２は、上流側の装置から搬入された基板３を作業位置に搬送して位置決め保持する（ＳＴ１：基板搬入工程）。次いでフィーダ制御部３３は、本体制御装置１５より指示された部品Ｄを供給するトレイ７を保持するパレット２４を部品取り出し位置Ｐに移送するように制御する（ＳＴ２：部品取り出し位置移送工程）。次いで本体制御装置１５は、パレット載置部２９の上面（パレット載置部上面２９ａ）に移動したパレット２４が保持するトレイ７より部品Ｄを取り出して保持された基板３に実装する（ＳＴ３：部品実装工程）。

次いで本体制御装置１５は、部品取り出し位置Ｐに保持されたトレイ７の部品Ｄ（該当部品）を作業位置に保持されている基板３に実装する作業が全て終了したか否かを判断する（ＳＴ４：該当部品実装終了判断工程）。未実装の実装点がある場合は（ＳＴ４においてＮｏ）、部品実装工程（ＳＴ３）が実行されて未実装の実装点に該当部品が実装される。該当部品の基板３への実装作業が終了すると（ＳＴ４においてＹｅｓ）、フィーダ制御部３３は、部品取り出し位置Ｐにあるパレット２４を空いているパレット収納部２３に移送するように制御する（ＳＴ５：パレット収納部移動工程）。

次いで本体制御装置１５は、作業位置に保持されている基板３に予定された全ての部品Ｄが実装されたか否かを判断する（ＳＴ６：実装完了判断工程）。未実装の部品Ｄがある場合（ＳＴ６においてＮｏ）、部品取り出し位置移送工程（ＳＴ２）に戻って次の部品Ｄの実装が実行される。全ての部品Ｄが実装された場合（ＳＴ６においてＹｅｓ）、基板搬入工程（ＳＴ１）に戻って、全ての部品Ｄが実装された実装基板が部品実装装置１より搬出され、次に部品実装対象となる基板３が搬入される。

次に図９のフローに沿って、部品実装装置１に装着されたトレイフィーダ５（部品供給装置）におけるパレット２４の部品取り出し位置への移送方法（部品取り出し位置移送工程（ＳＴ２））の詳細について説明する。まずフィーダ制御部３３はリフト部２７を制御して、部品取り出し位置Ｐに移送するパレット２４が収納されているパレット収納部２３の高さ位置に水平移動部２６を移動させる（図３参照）。次いでフィーダ制御部３３は水平移動部２６を制御して、係止部４０ａをパレット収納部２３に収納されているパレット２４に向けて移動させ（図１１（ａ）の矢印ｅ）、係止部４０ａをパレット２４の被係止部２４ａに係止させる。

次いでフィーダ制御部３３は水平移動部２６を制御して、パレット２４を係止している係止部４０ａを水平移動部上面２６ａに移動させて（図１１（ｂ）の矢印ｆ）、パレット２４を水平移動部上面２６ａに引き出す（ＳＴ１１：パレット引き出し工程）。すなわち、水平移動部２６によって複数のパレット収納部２３のいずれかからパレット２４を引き出して水平移動部２６の上面（水平移動部上面２６ａ）に保持させる。次いでフィーダ制御部３３はリフト部２７を制御して、水平移動部上面２６ａにパレット２４を保持した水平移動部２６を上昇（図１２（ａ）の矢印ｈ）させる（ＳＴ１２：水平移動部上昇工程）。

水平移動部２６が上昇する過程で、水平移動部側係合部５１がパレット載置部待機高さ位置にあるパレット載置部側係合部４９と当接して係合する（図１２（ａ））。この状態で、水平移動部上面２６ａの高さとパレット載置部上面２９ａの高さが略同じになって、水平移動部２６に保持されているパレット２４がパレット載置部２９に出し入れ可能となった上面一致状態となる。水平移動部側係合部５１とパレット載置部側係合部４９が係合した状態で、水平移動部２６がさらに上昇（図１２（ｂ）の矢印ｉ）すると、上面一致状態で、パレット載置部２９が水平移動部２６と一緒になって上昇する（ＳＴ１３：パレット載置部上昇工程）。

パレット載置部２９が水平移動部２６と一緒に上昇している間に、フィーダ制御部３３はシリンダ５３を制御して、くさび部５２を移動（図１２（ｂ）の矢印ｊ）させて水平移動部側係合部５１のくさび受け部５１ｂに係合させ、水平移動部側係合部５１を保持させる（ＳＴ１４：係合部保持工程）。

また、パレット載置部２９が水平移動部２６と一緒に上昇している間に、フィーダ制御部３３は水平移動部２６を制御し、パレット２４を係止している係止部４０ａをパレット載置部上面２９ａに移動（図１１（ｃ）の矢印ｇ、図１２（ｂ）の矢印ｋ）させて、水平移動部２６の上面（水平移動部上面２６ａ）に保持されたパレット２４をパレット載置部２９に移動させる（ＳＴ１５：パレット移動工程）。すなわち、パレット移動工程（ＳＴ１５）は、パレット載置部上昇工程（ＳＴ１３）の間に開始される。これによって、パレット２４を部品取り出し位置Ｐに移送する時間を短縮することができる。

なお、係合部保持工程（ＳＴ１４）は、パレット移動工程（ＳＴ１５）が開始された後に、開始するようにしてもよい。このように、パレット２４が部品取り出し位置Ｐまで移動（図１２（ｃ）参照）することにより、トレイ７より部品Ｄを取り出す位置から基板３の実装点までの距離を縮小することができる。なお、水平移動部２６が上昇を停止する高さは、吸着ノズル１１ａが部品Ｄの上面を吸着する吸着高さ（部品取り出し高さ位置）が一定となるように、トレイ７に格納された部品Ｄの高さに応じて設定される。

次に図１０のフローに沿って、部品実装装置１に装着されたトレイフィーダ５（部品供給装置）におけるパレット２４のパレット収納部２３への移送方法（パレット収納部移送工程（ＳＴ５））の詳細について説明する。まずフィーダ制御部３３は水平移動部２６を制御して、パレット載置部上面２９ａにあるパレット２４を水平移動部２６に移動（図１３（ａ）の矢印ｍ）させる（ＳＴ２１：水平移動部移動工程）。

次いでフィーダ制御部３３はリフト部２７を制御して、水平移動部２６を下降（図１３（ａ）の矢印ｎ）させる（ＳＴ２２：水平移動部下降工程）。水平移動部２６が下降すると、水平移動部側係合部５１がパレット載置部側係合部４９又はくさび部５２（保持部）を引っ張り下げる力と、搖動部材４８が受け板４６を押し下げる力（図１３（ａ）の矢印ｐ）により、パレット載置部２９は上面一体状態で水平移動部２６と一緒に下降する。

パレット載置部２９がパレット載置部待機高さ位置まで下降した時、もしくは、パレット載置部待機高さ位置に到達する前に、フィーダ制御部３３はシリンダ５３を制御して、くさび部５２をシリンダ５３の方向に移動させて（図１３（ａ）の矢印ｑ）、水平移動部側係合部５１の保持を解除させる（ＳＴ２４：係合部保持解除工程）。水平移動部２６がパレット２４を収納させるパレット収納部２３の高さ位置まで下降（図１３（ｂ）の矢印ｒ）すると、フィーダ制御部３３は水平移動部２６を制御して、水平移動部上面２６ａに保持されるパレット２４をパレット収納部２３に収納させる（ＳＴ２５：パレット収納工程）。

次に図１４を参照して、トレイフィーダ７０の第２の実施例について説明する。第２の実施例のトレイフィーダ７０は、くさび部７３が水平移動部２６側に配設されているところが第１の実施例のトレイフィーダ５とは異なる。また、この変更に伴って、パレット載置部側係合部７１と水平移動部側係合部７２の形状も第１の実施例と異なっている。くさび部７３は、水平移動部延伸部５０に設けられたシリンダ７４によって、Ｙ方向に往復移動する（矢印ｓ）。パレット載置部側係合部７１の側面には、くさび部７３と係合するくさび受け部が形成されている。くさび部７３とシリンダ７４は、パレット載置部側係合部７１と水平移動部側係合部７２が係合している状態で、パレット載置部側係合部７１を保持する保持部となる。

すなわち、トレイフィーダ５およびトレイフィーダ７０は、水平移動部２６またはパレット載置部２９の少なくともいずれかは、相手側の係合部と係合している状態で相手側の係合部を保持する保持部を有している。このように、第２の実施例のトレイフィーダ７０は、シリンダ７４を水平移動部２６に移設したことにより、突出し部７５には、電気や圧縮空気を供給する必要があるモータやシリンダなどの能動部を排除することができる。これにより、突出し部７５の構造を簡素化にして、突出し部７５のトレイフィーダ７０への着脱を容易にすることができる。

上記説明したように、本実施の形態の部品実装装置１は、パレット載置部上面２９ａの少なくとも一部にパレット２４を載置させて実装ヘッド１０Ａによって部品Ｄが取り出されるパレット載置部２９を有し、保持された基板３の方向に突き出した突出し部２８と、水平移動部上面２６ａに保持されたパレット２４を水平方向に移動させて複数のパレット収納部２３およびパレット載置部２９に出し入れする水平移動部２６と、水平移動部２６を昇降させるリフト部２７を備えている。これによって、トレイ７より部品Ｄを取り出す位置から基板３の実装点までの距離を短くして、部品実装時間を短縮することができる。

本発明の部品供給装置、部品実装装置、部品供給方法および実装基板の製造方法は、トレイより部品を取り出す位置から基板の実装点までの距離を短くすることができるという効果を有し、部品を基板に実装する分野において有用である。

１ 部品実装装置
３ 基板
５、７０ トレイフィーダ（部品供給装置）
７ トレイ
１０Ａ 実装ヘッド
２３ パレット収納部
２４ パレット
２６ 水平移動部
２６ａ 水平移動部上面（水平移動部の上面）
２７ リフト部
２８、７５ 突出し部
２９ パレット載置部
２９ａ パレット載置部上面（パレット載置部の上面）
４９、７１ パレット載置部側係合部
５１、７２ 水平移動部側係合部
５１ａ 当接部
５２、７３ くさび部（保持部）
５３、７４ シリンダ（保持部）
Ｄ 部品

Claims (23)

1. 部品が格納されたトレイを保持するパレットを各々収納する複数のパレット収納部と、
   上面の少なくとも一部にパレットを載置させて部品実装装置によって前記部品が取り出されるパレット載置部を有し、部品供給装置が前記部品実装装置に装着された状態で前記部品実装装置の内部方向に突き出した突出し部と、
   上面に保持されたパレットを水平方向に移動させて前記複数のパレット収納部および前記パレット載置部に出し入れする水平移動部と、
   前記水平移動部を昇降させるリフト部と、を備え、
   前記パレット載置部は、前記水平移動部と一緒に昇降することを特徴とする、部品供給装置。
2. 前記パレット載置部と前記水平移動部が一緒に昇降する際は、前記水平移動部に保持されているパレットが前記パレット載置部に出し入れ可能となった状態であることを特徴とする、請求項１に記載の部品供給装置。
3. 前記パレット載置部と前記水平移動部が一緒に昇降する際は、前記水平移動部の上面の高さと前記パレット載置部の上面の高さが略同じであることを特徴とする、請求項２に記載の部品供給装置。
4. 前記水平移動部は、前記パレット載置部と一緒に昇降している間に、前記パレットの前記パレット載置部への出し入れを開始することを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載の部品供給装置。
5. 前記水平移動部は、水平移動部側係合部を有し、
   前記パレット載置部は、パレット載置部側係合部を有し、
   前記水平移動部が上昇して前記水平移動部側係合部が前記パレット載置部側係合部と係合すると、前記パレット載置部は前記水平移動部と一緒に昇降することを特徴とする、請求項１から４のいずれかに記載の部品供給装置。
6. 前記水平移動部または前記パレット載置部の少なくともいずれかは、相手側の係合部と係合している状態で前記相手側の係合部を保持する保持部を有していることを特徴とする、請求項５に記載の部品供給装置。
7. 前記水平移動部側係合部は、前記パレット載置部側係合部に当接する当接部を有しており、
   前記当接部の上部は前記当接部の下部より狭いことを特徴とする、請求項５または６に記載の部品供給装置。
8. 前記突出し部は、部品供給装置に着脱可能であることを特徴とする、請求項１から７のいずれかに記載の部品供給装置。
9. 搬入された基板を保持し、部品が格納されたトレイを保持するパレットを複数のパレット収納部に各々収納し、前記収納されたパレットを取り出し、実装ヘッドによって前記パレットが保持するトレイより前記部品を取り出して前記保持された基板に実装する部品実装装置であって、
   上面の少なくとも一部に前記パレットを載置させて前記実装ヘッドによって前記部品が取り出されるパレット載置部を有し、前記保持された基板の方向に突き出した突出し部と、
   上面に保持されたパレットを水平方向に移動させて前記複数のパレット収納部および前記パレット載置部に出し入れする水平移動部と、
   前記水平移動部を昇降させるリフト部と、を備え、
   前記パレット載置部は、前記水平移動部と一緒に昇降することを特徴とする、部品実装装置。
10. 前記パレット載置部と前記水平移動部が一緒に昇降する際は、前記水平移動部に保持されているパレットが前記パレット載置部に出し入れ可能となった状態であることを特徴とする、請求項９に記載の部品実装装置。
11. 前記パレット載置部と前記水平移動部が一緒に昇降する際は、前記水平移動部の上面の高さと前記パレット載置部の上面の高さが略同じであることを特徴とする、請求項１０に記載の部品実装装置。
12. 前記水平移動部は、前記パレット載置部と一緒に昇降している間に、前記パレットの前記パレット載置部への出し入れを開始することを特徴とする、請求項９から１１のいずれかに記載の部品実装装置。
13. 前記水平移動部は、水平移動部側係合部を有し、
    前記パレット載置部は、パレット載置部側係合部を有し、
    前記水平移動部が上昇して前記水平移動部側係合部が前記パレット載置部側係合部と係合すると、前記パレット載置部は前記水平移動部と一緒に昇降することを特徴とする、請求項９から１２のいずれかに記載の部品実装装置。
14. 前記水平移動部または前記パレット載置部の少なくともいずれかは、相手側の係合部と係合している状態で前記相手側の係合部を保持する保持部を有していることを特徴とする、請求項１３に記載の部品実装装置。
15. 前記水平移動部側係合部は、前記パレット載置部側係合部に当接する当接部を有しており、
    前記当接部の上部は前記当接部の下部より狭いことを特徴とする、請求項１３または１４に記載の部品実装装置。
16. 部品を基板に実装する部品実装装置に装着されて前記部品実装装置に前記部品を供給する部品供給装置における部品供給方法であって、
    前記部品供給装置は、
    部品が格納されたトレイを保持するパレットを各々収納する複数のパレット収納部と、
    上面の少なくとも一部にパレットを載置させて前記部品実装装置によって前記部品が取り出される昇降可能なパレット載置部を有し、前記部品供給装置が前記部品実装装置に装着された状態で前記部品実装装置の内部方向に突き出した突出し部と、
    上面に保持させたパレットを水平方向に移動させて前記複数のパレット収納部および前記パレット載置部に出し入れする昇降可能な水平移動部と、を備えており、
    前記水平移動部によって前記複数のパレット収納部のいずれかから前記パレットを引き出して前記水平移動部の上面に保持させるパレット引き出し工程と、
    前記上面に前記パレットを保持した前記水平移動部を上昇させる水平移動部上昇工程と、
    前記パレット載置部を前記水平移動部と一緒に上昇させるパレット載置部上昇工程と、
    前記水平移動部の上面に保持された前記パレットを前記パレット載置部に移動させるパレット移動工程と、を含むことを特徴とする、部品供給方法。
17. 前記パレット載置部上昇工程において、前記パレット載置部を前記水平移動部と一緒に上昇させる際は、前記水平移動部に保持されている前記パレットが前記パレット載置部に出し入れ可能となった状態であることを特徴とする、請求項１６に記載の部品供給方法。
18. 前記パレット載置部上昇工程において、前記パレット載置部を前記水平移動部と一緒に上昇させる際は、前記水平移動部の上面の高さと前記パレット載置部の上面の高さが略同じであることを特徴とする、請求項１７に記載の部品供給方法。
19. 前記パレット移動工程は、前記パレット載置部上昇工程の間に開始されることを特徴とする、請求項１６から１８のいずれかに記載の部品供給方法。
20. 搬入された基板を保持し、部品が格納されたトレイを保持するパレットを複数のパレット収納部に各々収納し、前記収納されたパレットを取り出し、実装ヘッドによって前記パレットが保持するトレイより前記部品を取り出して前記保持された基板に実装する部品実装装置による部品を基板に実装した実装基板の製造方法であって、
    前記部品実装装置は、
    上面の少なくとも一部にパレットを載置させて前記実装ヘッドによって前記部品が取り出される昇降可能なパレット載置部を有し、前記保持された基板の方向に突き出した突出し部と、
    上面に保持させたパレットを水平方向に移動させて前記複数のパレット収納部および前記パレット載置部に出し入れする昇降可能な水平移動部と、を備えており、
    前記水平移動部によって前記複数のパレット収納部のいずれかから前記パレットを引き出して前記水平移動部の上面に保持させるパレット引き出し工程と、
    前記上面に前記パレットを保持した前記水平移動部を上昇させる水平移動部上昇工程と、
    前記パレット載置部を前記水平移動部と一緒に上昇させるパレット載置部上昇工程と、
    前記水平移動部の上面に保持された前記パレットを前記パレット載置部に移動させるパレット移動工程と、
    前記パレット載置部の上面に移動した前記パレットが保持するトレイより部品を取り出して前記保持された基板に実装する部品実装工程と、を含むことを特徴とする、実装基板の製造方法。
21. 前記パレット載置部上昇工程において、前記パレット載置部を前記水平移動部と一緒に上昇させる際は、前記水平移動部に保持されている前記パレットが前記パレット載置部に出し入れ可能となった状態であることを特徴とする、請求項２０に記載の実装基板の製造方法。
22. 前記パレット載置部上昇工程において、前記パレット載置部を前記水平移動部と一緒に上昇させる際は、前記水平移動部の上面の高さと前記パレット載置部の上面の高さが略同じであることを特徴とする、請求項２１に記載の実装基板の製造方法。
23. 前記パレット移動工程は、前記パレット載置部上昇工程の間に開始されることを特徴とする、請求項２０から２２のいずれかに記載の実装基板の製造方法。

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