JP2021038928A - コリオリ流量計 - Google Patents

Abstract

【課題】真空二重管に取り付けられるコリオリ流量計において、測定用内管への入熱を抑制可能な構成を提供する。【解決手段】コリオリ流量計５は、測定用内管１０，２０と、駆動用磁石１１，２１と、駆動用コイル４２と、検出用磁石１２，２２と、検出用コイル５５，５６と、演算装置１００と、を備える。駆動用磁石１１，２１は、測定用内管１０，２０と一体的に振動する磁石支柱，に取り付けられている。駆動用コイル４２は、外管１ｂに支持されており、測定用内管１０，２０を非接触で振動させる。検出用磁石１２，２２は、測定用内管１０，２０と一体的に振動する磁石支柱，に取り付けられている。検出用コイル５５，５６は、外管１ｂに支持されており、測定用内管１０，２０の振動を非接触で検出する。演算装置１００は、検出用コイル５５，５６の検出値に基づいて、内管を流れる流体の質量流量を算出する。【選択図】図２

Description

本発明は、主として、真空二重管に取り付けられるコリオリ流量計に関する。

従来から、管を振動させて、この管を流体が通過する際に発生するコリオリの力に基づいて、流体の質量流量を算出するコリオリ流量計が知られている。

特許文献１は、直線状の支持管と、その内部に配置される直線状の測定管と、を備える二重管に取り付けられるコリオリ流量計を開示する。このコリオリ流量計は、励振器と、２つの振動センサと、を備える。励振器は、測定管を振動させるための装置であり、測定管に固定された永久磁石と、支持管に形成された貫通孔に配置されたコイルと、から構成されている。このコイルに電流を流すことで、永久磁石を介して測定管を振動させることができる。振動センサは、測定管の振動を検出するための装置であり、測定管に固定された永久磁石と、支持管に形成された貫通孔に配置されたコイルと、から構成されている。永久磁石の振動に基づいてコイルに発生した電気信号に基づいて、測定管の振動を検出できる。

特許文献２のコリオリ流量計は、Ｕ字状に湾曲した２つの並列されたフローチューブを備える。このコリオリ流量計は、フローチューブを振動させるための駆動部と、フローチューブの振動を検出するセンサと、を備える。駆動部は、一方のフローチューブに設けられたコアと、他方のフローチューブに設けられたドライブコイルから構成されている。センサは、一方のフローチューブに設けられた棒磁石と、他方のフローチューブに設けられたセンシングコイルから構成されている。

特開２００１−２１４０２号公報 特開平８−３３８７４９号公報

例えば極低温の流体を搬送するために、真空二重管が用いられることがある。真空二重管とは、内管と外管の間を真空にすることで、外部からの入熱を抑制したものである。また、真空二重管を用いて極低温の流体を搬送する際にも、その質量流量を計測することが望まれる。

ここで、特許文献１の構成は、支持管に貫通孔を形成するため、真空二重管に適用することはできない。更に、特許文献１では、測定管が直線状かつ１本の構成のみが開示されており、それ以外の測定管への適用方法は記載されていない。

また、特許文献２の構成は、フローチューブの一方にドライブコイル及びセンシングコイルが取り付けられており、これらのコイルは配線を介して電子機器に接続される。そのため、特許文献２の構成を真空二重管に適用しても、配線を介してフローチューブへの入熱が発生してしまう。

本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その主要な目的は、真空二重管に取り付けられるコリオリ流量計において、測定用内管への入熱を抑制可能な構成を提供することにある。

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。

本発明の観点によれば、真空二重管に取り付けられる以下のコリオリ流量計が提供される。即ち、このコリオリ流量計は、第１測定用内管と、第２測定用内管と、第１駆動用磁石と、第２駆動用磁石と、駆動用コイルと、第１検出用磁石と、第２検出用磁石と、第１検出用コイルと、第２検出用コイルと、演算装置と、を備える。前記第１測定用内管は、前記内管に接続され、湾曲した形状の管であり、流体が流れる。前記第２測定用内管は、前記内管に接続され、前記第１測定用内管と同じ方向に湾曲した形状の管でおり、流体が流れる。前記第１駆動用磁石は、前記第１測定用内管又は当該第１測定用内管と一体的に振動する部材に取り付けられている。前記第２駆動用磁石は、前記第２測定用内管又は当該第２測定用内管と一体的に振動する部材に取り付けられている。前記駆動用コイルは、前記外管に支持されており、前記第１駆動用磁石及び前記第２駆動用磁石を介して、前記第１測定用内管及び前記第２測定用内管を非接触で振動させる。前記第１検出用磁石は、前記第１測定用内管又は当該第１測定用内管と一体的に振動する部材に取り付けられている。前記第２検出用磁石は、前記第２測定用内管又は当該第２測定用内管と一体的に振動する部材に取り付けられている。前記第１検出用コイルは、前記外管に支持されており、前記第１検出用磁石を介して、前記第１測定用内管の振動を非接触で検出する。前記第２検出用コイルは、前記外管に支持されており、前記第２検出用磁石を介して、前記第２測定用内管の振動を非接触で検出する。前記演算装置は、前記駆動用コイルが作動している間の前記第１検出用コイル及び前記第２検出用コイルの検出値に基づいて、前記内管を流れる流体の質量流量を算出する。

これにより、配線が必要な駆動用コイルと検出用コイルが何れも外管に支持されているため、測定用内管が外管や常温の部材と接触しない。そのため、測定用内管への入熱を抑制できる。

本発明によれば、真空二重管に取り付けられるコリオリ流量計において、測定用内管への入熱を抑制可能な構成を提供できる。

本発明の一実施形態に係るコリオリ流量計が真空二重管に取り付けられている状態を示す斜視図。 コリオリ流量計のブロック図。 加振部の全体的な構成と駆動用コイルの内部の構成を示す図。 検出部の構成を示す断面図。

次に、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。

図１に示す真空二重管１は、例えば液体水素や液化天然ガス等のような極低温の流体を搬送するための管である。真空二重管１は、内管１ａと外管１ｂを備える。内管１ａは、搬送対象の流体を流すための管である。外管１ｂは、内管１ａの周囲を３６０°にわたって覆うように配置されている。内管１ａと外管１ｂの間の空間は密閉されており、この空間は真空に保たれている。内管１ａと外管１ｂの間の空間は真空断熱層となるため、真空二重管１の外部から流体への入熱を抑制することができる。以下の説明では、流体流れ方向の上流側及び下流側を、単に上流側及び下流側と称する。

コリオリ流量計５は、分岐部３を介して、真空二重管１に取り付けられる。分岐部３は内部に分岐構造を有している。コリオリ流量計５の上流側の分岐部３は、内管１ａを流れる流体を２つに分けてコリオリ流量計５に供給する。コリオリ流量計５の下流側の分岐部３は、コリオリ流量計５の２つの管を流れる流体を１つにまとめて内管１ａに供給する。

図１に示すように、コリオリ流量計５は、第１測定用内管１０と、第２測定用内管２０と、振動抑制板３０と、加振部４０と、検出部５０と、を備える。

第１測定用内管１０は、上流直線部１０ａと、湾曲部１０ｂと、下流直線部１０ｃと、を含んでいる。上流直線部１０ａは、上流側の分岐部３に接続される直線状の管部分である。湾曲部１０ｂは、上流直線部１０ａの下流端に接続されており、略Ｕ字状に湾曲している管部分である。なお、略Ｕ字状は一例であり、それ以外の形状に曲がっている構成であってもよい。下流直線部１０ｃは、湾曲部１０ｂの下流端に接続されるとともに、下流側の分岐部３に接続される直線状の管部分である。

第２測定用内管２０は、上流直線部２０ａと、湾曲部２０ｂと、下流直線部２０ｃと、を含んでいる。第２測定用内管２０は、第１測定用内管１０と同じ構成であるため、説明を省略する。なお、第１測定用内管１０と第２測定用内管２０は、厳密に同じ形状である必要まではないが、湾曲部１０ｂと湾曲部２０ｂは、管形状や曲がる方向等がおおよそ同じであることが好ましい。

振動抑制板３０は、測定用内管１０，２０の上流側の端部（具体的には上流直線部１０ａ，２０ａ）と、測定用内管１０，２０の下流側の端部（具体的には下流直線部１０ｃ，２０ｃ）と、を接続する板状の部材である。なお、端部とは、端だけでなく、その近傍を含む概念である。振動抑制板３０を設けることにより、測定用内管１０，２０の不要な振動を抑制できる。不要な振動とは、後述の加振部４０によって生じる振動とは異なる方向の振動を意味する。

本実施形態の振動抑制板３０は、上流側及び下流側の分岐部３にも取り付けられて支持されているが、測定用内管１０，２０のみに取り付けられて支持される構成であってもよい。また、本実施形態の振動抑制板３０は、湾曲部１０ｂ，２０ｂに干渉する位置に配置される。そのため、振動抑制板３０には、湾曲部１０ｂ，２０ｂを通過させる開口部が形成されている。これに代えて、湾曲部１０ｂ，２０ｂに干渉しない位置に振動抑制板３０を配置することで、開口部を省略することもできる。また、振動抑制板３０自体を省略してもよい。

加振部４０は、湾曲部１０ｂ，２０ｂの近傍（流体流れ方向の中間位置の近傍）に配置されている。なお、図１では、加振部４０を模式的に示している。加振部４０は、測定用内管１０，２０を非接触で振動させる。加振部４０の具体的な構成は後述する。

検出部５０は、流体流れ方向で加振部４０を挟むように２箇所に配置されている。なお、図１では、検出部５０を模式的に示している。検出部５０は、測定用内管１０，２０の振動（速度変化）を非接触で検出する。検出部５０の具体的な構成は後述する。

図２に示すように、コリオリ流量計５は、演算装置１００を備える。演算装置１００は、コリオリ流量計５が備える加振部４０等を駆動するための駆動回路及び増幅器等を備える。また、演算装置１００は、検出部５０の検出値を処理して質量流量（単位時間あたりに通過した流体の質量）を算出するための、増幅器、ＡＤ変換器、及び演算器等を備える。

次に、図２及び図３を参照して、加振部４０の詳細について説明する。図３は、図１のＡ−Ａ断面図である。

加振部４０は、外管１ｂ側の部材として、コイル支柱４１と、駆動用コイル４２と、を備える。コイル支柱４１は非磁性体である。コイル支柱４１の一端は、外管１ｂの内壁に取り付けられている。コイル支柱４１の他端には、駆動用コイル４２が取り付けられている。コイル支柱４１の形状は、測定用内管１０，２０や駆動用コイル４２の位置等に応じて適宜変更可能である。また、コイル支柱４１を省略して、駆動用コイル４２を直接的に外管１ｂに接続することもできる。

駆動用コイル４２は、コイル支柱４１を介して、（測定用内管１０，２０ではなく）外管１ｂに支持されている（取り付けられている）。この構成により、駆動用コイル４２は、測定用内管１０，２０の振動とは独立している。駆動用コイル４２は、第１測定用内管１０と第２測定用内管２０の間に配置されている。図２に示すように、駆動用コイル４２は配線によって演算装置１００と接続されており、演算装置１００が出力した駆動用信号（交流電流）が駆動用コイル４２に供給される。

加振部４０は、測定用内管１０，２０側の部材として、磁石支柱１４，２４と、第１駆動用磁石１１と、第２駆動用磁石２１と、を備える。磁石支柱１４，２４は、非磁性体であり、測定用内管１０，２０にそれぞれ接続されている。磁石支柱１４は、第１測定用内管１０から第２測定用内管２０に近づくように延びている。磁石支柱２４は、第２測定用内管２０から第１測定用内管１０に近づくように延びている。磁石支柱１４，２４は、何れも駆動用コイル４２の内部に入り込むように位置している。

磁石支柱１４の端部には、第１駆動用磁石１１が取り付けられている。磁石支柱２４の端部には、第２駆動用磁石２１が取り付けられている。駆動用コイル４２の軸方向の長さの中央に対して一側に第１駆動用磁石１１が配置されており、他側に第２駆動用磁石２１が配置されている。このように、駆動用磁石１１，２１は、磁石支柱１４，２４を介して、測定用内管１０，２０にそれぞれ支持されている（取り付けられている）。この構成により、駆動用磁石１１，２１は、駆動用コイル４２の軸方向に沿うように、測定用内管１０，２０と一体的に振動する。また、磁石支柱１４，２４は、それぞれヨーク１５，２５によって覆われている。なお、ヨーク１５，２５は省略することもできる。

以上により、駆動用信号が駆動用コイル４２に供給されることで、駆動用磁石１１，２１を介して、測定用内管１０，２０を非接触で振動させることができる。また、加振部４０は、測定用内管１０，２０を固有振動数で振動させる。測定用内管１０，２０は互いに逆方向に振動する（一方に対して他方の振動の位相が反転している）。また、測定用内管１０，２０が振動したり、外部の影響で外管１ｂが振動したりしても、駆動用磁石１１，２１が駆動用コイル４２の内部に位置し続けることができるために、駆動用コイル４２は軸方向の長さが長いことが好ましい。具体的には、駆動用コイル４２の軸方向の長さは、駆動用コイル４２による駆動用磁石１１，２１のそれぞれの振動範囲の合計よりも長いことが好ましい。

このように、本実施形態の加振部４０は、配線接続が必要である駆動用コイル４２が測定用内管１０，２０ではなく外管１ｂに支持されている。また、駆動用コイル４２は、非接触で測定用内管１０，２０を振動させる。そのため、極低温の流体が流れる測定用内管１０，２０は外部（外管１ｂ及びその外側）と接続されていない。従って、測定用内管１０，２０（内管１ａ）への入熱を抑制することができる。

次に、図２及び図４を参照して、検出部５０の詳細について説明する。図４は、図１のＢ−Ｂ断面図である。上述したようにコリオリ流量計５は２つの検出部５０を備えるが、これらは同一又は対称の構成であるため、両者をまとめて説明する。

検出部５０は、外管１ｂ側の部材として、連結部材５１と、第１検出用コイル５５と、第２検出用コイル５６と、補助コイル５７と、を備える。

連結部材５１は、非磁性体である。連結部材５１は、外管１ｂの内壁に取り付けられて支持されている。本実施形態では、連結部材５１の図４における下端部が外管１ｂの内壁に取り付けられているが、別の位置又は構成で外管１ｂの内壁に取り付けられていてもよい。連結部材５１には、測定用内管１０，２０を通過させるための開口部がそれぞれ形成されている。また、連結部材５１には、第１取付部５２と、第２取付部５３と、第３取付部５４と、が形成されている。連結部材５１は一体的に構成されるとともに外管１ｂに固定されている。そのため、取付部５２，５３，５４は外管１ｂと一体的に振動する。

測定用内管１０，２０の軸方向に垂直な平面で切った断面（図４）において、第１取付部５２は、第１測定用内管１０に対して第２測定用内管２０の反対側に位置している。第１取付部５２には、第１検出用コイル５５が取り付けられている。この断面において、第２取付部５３は、第２測定用内管２０に対して第１測定用内管１０の反対側に位置している。第２取付部５３には、第２検出用コイル５６が取り付けられている。この断面において、第３取付部５４は、第１測定用内管１０と第２測定用内管２０の間に位置している。第３取付部５４には、補助コイル５７が取り付けられている。

検出部５０は、測定用内管１０，２０側の部材として、磁石支柱１６，１７，２６，２７と、第１検出用磁石１２と、第２検出用磁石２２と、第１補助磁石１３と、第２補助磁石２３と、を備える。

磁石支柱１６，２６は、非磁性体であり、測定用内管１０，２０にそれぞれ接続されている。磁石支柱１６は、第１測定用内管１０を起点として第２測定用内管２０から離れるように延びており、第１検出用コイル５５の内部に入り込んでいる。磁石支柱１６の先端部には第１検出用磁石１２が取り付けられている。磁石支柱２６は、第２測定用内管２０を起点として第１測定用内管１０から離れるように延びており、第２検出用コイル５６の内部に入り込んでいる。磁石支柱２６の先端部には第２検出用磁石２２が取り付けられている。なお、検出用磁石１２，２２は、駆動用磁石１１，２１と同様に、ヨークによって覆われていてもよい。

これにより、第１測定用内管１０の振動に応じて第１検出用磁石１２が第１検出用コイル５５内を振動するため、その振動に応じた電流（振動検出用の電気信号、検出値）が発生する。同様に、第２測定用内管２０の振動に応じて第２検出用磁石２２が第２検出用コイル５６内を振動するため、その振動に応じた電流（振動検出用の電気信号、検出値）が発生する。また、図２に示すように、検出用コイル５５，５６は配線によって演算装置１００と接続されている。検出用コイル５５，５６で発生した振動検出用の電気信号は演算装置１００に供給される。

測定用内管１０，２０の振動に基づいて流体の質量流量を算出する方法は、従来のコリオリ流量計と同様の方法を採用できる。この方法は公知であるため、以下で簡単に説明する。即ち、加振部４０によって測定用内管１０，２０が振動している状態で、流体が測定用内管１０，２０を流れることで、湾曲部１０ｂ，２０ｂの上流側と下流側とで、コリオリの力が作用する方向が異なる。そのため、湾曲部１０ｂ、２０ｂの上流側と下流側とでは、振動の位相にズレが生じる。また、コリオリの力は物体の質量と相関性がある。以上により、上流側の検出部５０の検出用コイル５５，５６で発生した電気信号と、下流側の検出部５０の検出用コイル５５，５６で発生した電気信号と、を比較してコリオリの力の評価を行うことで、測定用内管１０，２０を流れる流体の合計の質量流量（即ち、内管１ａを流れる流体の質量流量）を算出することができる。

ここで、例えば外部からの影響により、内管１ａに対して外管１ｂが相対的に振動した場合、この振動に応じて検出用磁石１２，２２に対して検出用コイル５５，５６が振動する。その結果、流体の質量流量の算出結果の精度が低下する。この外部からの影響を軽減するために、検出部５０は、上述の補助磁石１３，２３と補助コイル５７を備えている。

補助磁石１３，２３は、それぞれ磁石支柱１７，２７を介して、測定用内管１０，２０に取り付けられている。磁石支柱１７，２７は非磁性体であり、測定用内管１０，２０にそれぞれ接続されている。磁石支柱１７は、第１測定用内管１０を起点として第２測定用内管２０に近づくように延びており、補助コイル５７の内部に入り込んでいる。磁石支柱１７の先端部には第１補助磁石１３が取り付けられている。磁石支柱２７は、第２測定用内管２０を起点として第１測定用内管１０に近づくように延びており、補助コイル５７の内部に入り込んでいる。磁石支柱２７の先端部には第２補助磁石２３が取り付けられている。補助コイル５７の軸方向の長さの中央に対して一側に第１補助磁石１３が配置されており、他側に第２補助磁石２３が配置されている。なお、補助磁石１３，２３は、駆動用磁石１１，２１と同様に、ヨークによって覆われていてもよい。

また、検出用磁石１２、２２の振動方向と、補助磁石１３，２３の振動方向とは同一方向である（平行である）。また、第１検出用磁石１２と第１補助磁石１３は、何れも第１測定用内管１０に取り付けられているため、一体的に振動する。第２検出用磁石２２と第２補助磁石２３についても同様である。補助磁石１３，２３が補助コイル５７内を振動することで、その振動に応じた電流（補助電気信号）が発生する。図２に示すように、補助コイル５７は配線によって演算装置１００と接続されている。補助コイル５７で発生した電気信号は演算装置１００に供給される。

補助コイル５７で発生した電気信号は、内管１ａに対する外管１ｂの相対振動の方向及び大きさを示している。即ち、仮に内管１ａに対する外管１ｂの相対振動が発生していない場合、補助磁石１３，２３は互いに逆方向かつ対称に振動するだけであるため、補助コイル５７に電流は殆ど又は全く発生しない。一方で、相対振動が存在する場合、補助磁石１３，２３の振動には、両者が一体的に同じ方向に動く要素（成分）が更に含まれる。そのため、補助磁石１３，２３が一体的に振動した方向及びその速度に応じて、補助コイル５７に電気信号が発生する。以上により、演算装置１００は、補助コイル５７の電気信号（電流の方向と大きさ）に基づいて、内管１ａに対する外管１ｂの相対振動の方向及び大きさを算出することができる。

演算装置１００は、補助コイル５７の電気信号に基づいて、検出用コイル５５，５６の電気信号を補正することで、内管１ａに対する外管１ｂの相対振動の影響を排除した、測定用内管１０，２０の振動を求めることができる。以上により、演算装置１００は、内管１ａを流れる流体の質量流量を正確に算出することができる。

また、本実施形態の検出部５０は、配線接続が必要である検出用コイル５５，５６及び補助コイル５７が測定用内管１０，２０ではなく外管１ｂに支持されている。また、これらのコイルは、非接触で測定用内管１０，２０の振動を検出可能である。そのため、加振部４０だけでなく検出部５０においても、極低温の流体が流れる測定用内管１０，２０は外部（外管１ｂ及びその外側）と接続されていない。従って、測定用内管１０，２０（内管１ａ）への入熱を更に抑制することができる。

以上に説明したように、本実施形態のコリオリ流量計５は真空二重管１に取り付けられる。コリオリ流量計５は、第１測定用内管１０と、第２測定用内管２０と、第１駆動用磁石１１と、第２駆動用磁石２１と、駆動用コイル４２と、第１検出用磁石１２と、第２検出用磁石２２と、第１検出用コイル５５と、第２検出用コイル５６と、演算装置１００と、を備える。第１測定用内管１０は、内管１ａに接続され、湾曲した形状の管であり、流体が流れる。第２測定用内管２０は、内管１ａに接続され、第１測定用内管１０と同じ方向に湾曲した形状の管でおり、流体が流れる。第１駆動用磁石１１は、第１測定用内管１０と一体的に振動する磁石支柱１４に取り付けられている。第２駆動用磁石２１は、第２測定用内管２０と一体的に振動する磁石支柱２４に取り付けられている。駆動用コイル４２は、外管１ｂに支持されており、第１駆動用磁石１１及び第２駆動用磁石２１を介して、第１測定用内管１０及び第２測定用内管２０を非接触で振動させる。第１検出用磁石１２は、第１測定用内管１０と一体的に振動する磁石支柱１６に取り付けられている。第２検出用磁石２２は、第２測定用内管２０と一体的に振動する磁石支柱２６に取り付けられている。第１検出用コイル５５は、外管１ｂに支持されており、第１検出用磁石１２を介して、第１測定用内管１０の振動を非接触で検出する。第２検出用コイル５６は、外管１ｂに支持されており、第２検出用磁石２２を介して、第２測定用内管２０の振動を非接触で検出する。演算装置１００は、駆動用コイル４２が作動している間の第１検出用コイル５５及び第２検出用コイル５６の検出値に基づいて、内管１ａを流れる流体の質量流量を算出する。

これにより、配線が必要な駆動用コイル４２と検出用コイル５５，５６が何れも外管１ｂに支持されているため、測定用内管１０，２０が外管１ｂや常温の部材と接触しない。そのため、測定用内管１０，２０への入熱を抑制できる。

また、上記実施形態のコリオリ流量計５は、第１補助磁石１３と、第２補助磁石２３と、補助コイル５７と、を備える。第１補助磁石１３は、第１測定用内管１０と一体的に振動する磁石支柱１７に取り付けられている。第２補助磁石２３は、第２測定用内管２０と一体的に振動する磁石支柱２７に取り付けられている。補助コイル５７は、外管１ｂに支持されており、第１補助磁石１３及び第２補助磁石２３の両方の振動に基づく補助電気信号を生じさせる。演算装置１００は、補助電気信号に基づいて、第１検出用コイル５５及び第２検出用コイル５６の検出値から、内管１ａに対する外管１ｂの相対振動の影響を打ち消す。

これにより、測定用内管１０，２０と外管１ｂ等の接触を防止しつつ、内管１ａに対する外管１ｂの相対振動の影響を考慮した質量流量を算出することができる。

また、上記実施形態のコリオリ流量計５において、第１検出用コイル５５、第２検出用コイル５６、及び補助コイル５７は、外管１ｂに支持されるとともに当該外管１ｂと一体的に振動する連結部材５１に取り付けられている。

これにより、検出用コイル５５，５６と補助コイル５７が一体的に振動するため、内管１ａに対する外管１ｂの相対振動の影響を更に確実に取り除くことができる。

また、上記実施形態のコリオリ流量計５において、駆動用コイル４２は、第１駆動用磁石１１と第２駆動用磁石２１を振動させる１つのコイルで構成されている。

これにより、駆動用コイル４２をシンプルにすることができる。

また、上記実施形態のコリオリ流量計５は、第１測定用内管１０及び第２測定用内管２０のそれぞれの流体流れ方向の上流側の端部を、第１測定用内管１０及び第２測定用内管２０のそれぞれの流体流れ方向の下流側の端部に接続する振動抑制板３０を備える。

これにより、測定用内管１０，２０に不要な振動が発生することを抑制することができる。

以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。

上記実施形態では、駆動用コイル４２は１つのコイルで測定用内管１０，２０の両方を振動させる。これに代えて、駆動用コイル４２が２つのコイルを含んで構成されており、２つのコイルが測定用内管１０，２０をそれぞれ振動させる構成であってもよい。

上記実施形態では、各磁石は棒状の磁石支柱を介して測定用内管１０，２０に取り付けられているが、棒状ではない別形状の部材を介して各磁石が取り付けられていてもよい。また、測定用内管１０，２０に直接的に各磁石が取り付けられていてもよい。

振動抑制板３０は、板状に限られず、厚みが大きいブロック形状であってもよいし、箱状であってもよい。

１ 真空二重管
５ コリオリ流量計
１０ 第１測定用内管
１１ 第１駆動用磁石
１２ 第１検出用磁石
１３ 第１補助磁石
２０ 第２測定用内管
２１ 第２駆動用磁石
２２ 第２検出用磁石
２３ 第２補助磁石
３０ 振動抑制板（振動抑制部）
４０ 加振部
４１ コイル支柱
４２ 駆動用コイル
５０ 検出部
５１ 連結部材
５５ 第１検出用コイル
５６ 第２検出用コイル
５７ 補助コイル
１００ 演算装置

Claims (5)

1. 内管及び外管を有する真空二重管に取り付けられるコリオリ流量計において、
   前記内管に接続され、湾曲した部分を含む管であり、流体が流れる第１測定用内管と、
   前記内管に接続され、前記第１測定用内管と同じ方向に湾曲した部分を含む管であり、流体が流れる第２測定用内管と、
   前記第１測定用内管又は当該第１測定用内管と一体的に振動する部材に取り付けられている第１駆動用磁石と、
   前記第２測定用内管又は当該第２測定用内管と一体的に振動する部材に取り付けられている第２駆動用磁石と、
   前記外管に支持されており、前記第１駆動用磁石及び前記第２駆動用磁石を介して、前記第１測定用内管及び前記第２測定用内管を非接触で振動させる駆動用コイルと、
   前記第１測定用内管又は当該第１測定用内管と一体的に振動する部材に取り付けられている第１検出用磁石と、
   前記第２測定用内管又は当該第２測定用内管と一体的に振動する部材に取り付けられている第２検出用磁石と、
   前記外管に支持されており、前記第１検出用磁石を介して、前記第１測定用内管の振動を非接触で検出するための第１検出用コイルと、
   前記外管に支持されており、前記第２検出用磁石を介して、前記第２測定用内管の振動を非接触で検出するための第２検出用コイルと、
   前記駆動用コイルが作動している間の前記第１検出用コイル及び前記第２検出用コイルの検出値に基づいて、前記内管を流れる流体の質量流量を算出する演算装置と、
   を備えることを特徴とするコリオリ流量計。
2. 請求項１に記載のコリオリ流量計であって、
   前記第１測定用内管又は当該第１測定用内管と一体的に振動する部材に取り付けられている第１補助磁石と、
   前記第２測定用内管又は当該第２測定用内管と一体的に振動する部材に取り付けられている第２補助磁石と、
   前記外管に支持されており、前記第１補助磁石及び前記第２補助磁石の両方の振動に基づく補助電気信号を生じさせる補助コイルと、
   を備え、
   前記演算装置は、前記補助電気信号に基づいて、前記第１検出用コイル及び前記第２検出用コイルの検出値から、前記内管に対する前記外管の相対振動の影響を打ち消すことを特徴とするコリオリ流量計。
3. 請求項２に記載のコリオリ流量計であって、
   前記第１検出用コイル、前記第２検出用コイル、及び前記補助コイルは、前記外管に支持されるとともに当該外管と一体的に振動する連結部材に取り付けられていることを特徴とするコリオリ流量計。
4. 請求項１から３までの何れか一項に記載のコリオリ流量計であって、
   前記駆動用コイルは、前記第１駆動用磁石と前記第２駆動用磁石を振動させる１つのコイルで構成されていることを特徴とするコリオリ流量計。
5. 請求項１から４までの何れか一項に記載のコリオリ流量計であって、
   前記第１測定用内管及び前記第２測定用内管のそれぞれの流体流れ方向の上流側の端部を、前記第１測定用内管及び前記第２測定用内管のそれぞれの流体流れ方向の下流側の端部に接続する振動抑制部を備えることを特徴とするコリオリ流量計。

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