JP2014006230A - コリオリ流量計 - Google Patents
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Abstract
【課題】 測定精度が高いコリオリ流量計を提供すること。
【解決手段】 流管2が直線状であるコリオリ流量計1は、直線状である流管2とそれに平行である直線状の振動体3を持つ。振動体3は断面が矩形状であるステンレス製の弾性体6に圧電素子4a、4bを接合した構成である。ステンレス製の流管2は、断面が矩形状でありその中心に円形の流路がある。流管2には、コリオリ力による歪を検出するための圧電素子4c、4d、4e、4fを接着する。流管2への圧電素子4c、4d、4e、4fの接着は、コリオリ力により最も歪を大きくする流管2の位置に接着する。またステンレス製の弾性体6の振動変位を最も大きくできる位置に圧電素子4a、4bを接着することにより振動体3を構成する。流管2と振動体3は両端がステンレス製の支持部5a、5bに溶接で接合されている。さらに支持部5a、5bはステンレス製のベース部7に溶接で接合されている。
【選択図】図1
【解決手段】 流管2が直線状であるコリオリ流量計1は、直線状である流管2とそれに平行である直線状の振動体3を持つ。振動体3は断面が矩形状であるステンレス製の弾性体6に圧電素子4a、4bを接合した構成である。ステンレス製の流管2は、断面が矩形状でありその中心に円形の流路がある。流管2には、コリオリ力による歪を検出するための圧電素子4c、4d、4e、4fを接着する。流管2への圧電素子4c、4d、4e、4fの接着は、コリオリ力により最も歪を大きくする流管2の位置に接着する。またステンレス製の弾性体6の振動変位を最も大きくできる位置に圧電素子4a、4bを接着することにより振動体3を構成する。流管2と振動体3は両端がステンレス製の支持部5a、5bに溶接で接合されている。さらに支持部5a、5bはステンレス製のベース部7に溶接で接合されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、コリオリ力を利用した質量流量計または密度計に関するものである。
質量流量を直接求めるコリオリ流量計は、流管内に流れる測定流体に振動を与えた場合に振動した測定流体に作用するコリオリ力が質量流量に比例することを利用した直接質量流量計である。しかしコリオリ力は加振力に対して微少な力であるから、コリオリ流量計には高感度で安定した力計測手段が要求される。
通常、コリオリの力はコリオリ力による流管の弾性変形またはひずみとして検出される。このため、従来、流管は変形量が大きく取れる湾曲した形状にしていた。湾曲形状のコリオリ流量計は、U字状に湾曲してなるため、被測定流体がセンサチューブ内を通過する際、センサチューブの形状による圧力損失が生じ易いう問題点もあった。また、湾曲形状のコリオリ流量計は、一般に形状が大きくなるという欠点もある。そして、被測定流体がスラリーである場合は、U字状の湾曲部にスラリー中の粉体が詰まる虞がある。このため、流管を直管形状とした直管式のコリオリ流量計の開発が行われている。
直管式のコリオリ流量計は、加振する流管に単一流管を使用したものと、複数の直管を並列に配置した方式がある。いずれの場合も直管の両端部を支持し、中間部で流管を加振する駆動手段と、駆動手段と支持部との間でコリオリ力による微少な変位またはひずみを検出する手段を有している。
このような構成からなる直管式のフローチューブは、通常、駆動手段により支持部を節部とした曲げ一次振動モードとして駆動される。この振動数をω、流速をv、単位体積当りの質量をmとすると、コリオリ力Fは振動数ωと流速vのベクトル積に比例し、−2m〔ω〕×〔v〕であらわされる。ここで、〔ω〕、〔v〕はベクトルである。
コリオリ流量計の計測精度を向上させるには、流量を計測する流管の振動が外部に漏らさないことが必要である。このために特許文献1のコリオリ流量計を本発明者が提案した。特許文献1のコリオリ流量計は以下のようなものである。被測定流体を流通させる1本のフローチューブとこの両側にほぼ平行に配置した2本のカウンタチューブを有し、これら3本の直管の軸方向の両側に基部の長さをフローチューブの軸方向に沿ってフローチューブの長さの3/10以上としているものである。直管状のフローチューブには被測定流体が流れる。そして、基部はケース板に固定されている。
ここでフローチューブとカウンタチューブの共振周波数はほぼ等しくなるように調整されている。さらに、フローチューブとカウンタチューブの中央部には、これらのチューブに曲げ一次振動モードを励起するための駆動装置が設置されている。そして、駆動装置の両側の対称位置に1対のセンサが設置されコリオリ力によるフローチューブの変位を検出する。このような平行カウンタバランスを備えた従来のコリオリ流量計は、マスバランスを取るように共振周波数はほぼ等しくなるように調整されている。
湾曲型のコリオリ流量計についても特許文献2に示す構成を本発明者が提案した。これは、被測定流体を流通させる1本の湾曲状のフローチューブとこの両側にほぼ平行に配置した2本の湾曲状のカウンタチューブを有する構成であるが、フローチューブ及びカウンタチューブに振動発生手段と振動検出手段を有している。
しかし、直線型そして湾曲型のコリオリ流量計のどちらも流管に振動発生手段と振動検出手段の両方を持つ。流管に振動発生手段を設けると、振動発生手段が発生する電気的ノイズが振動検出手段により検出されることによりSN比を悪化させる恐れがある。
また、流管に設ける振動発生手段は、流管を振動させるための流管に設けられるものであり、コリオリ力を検出する振動モードには、不要であるという問題もある。
本発明は、流体が流れる流管にコリオリ力を検出する検出手段のみを設け、かつ振動体のみに振動発生手段を設けるコリオリ流量計とするものである。
本発明はまた、流体が流れる流管にコリオリ力を検出する検出手段のみを設け、かつ振動体が、流体が流れる流管に振動発生手段を設けるコリオリ流量計とするものである。
本発明はまた、振動発生手段と振動検出手段に圧電素子を用いる上記に記載のコリオリ流量計とするものである。
本発明はまた、流管が直線状である上記に記載のコリオリ流量計とするものである。
本発明はまた、流管が湾曲状である上記に記載のコリオリ流量計とするものである。
本発明のコリオリ流量計は、高精度に流体の質量流量を測定することができる。
第1の実施の形態である基本的な構成を図1の斜視図を用いて説明する。
流管2が直線状であるコリオリ流量計1は、直線状である流管2とそれに平行である直線状の振動体3を持つ。振動体3は断面が矩形状であるステンレス製の弾性体6に圧電素子4a、4bを接合した構成である。ステンレス製の流管2は、断面が矩形状でありその中心に円形の流路がある。
流管2には、コリオリ力による歪を検出するための圧電素子4c、4d、4e、4fを接着する。流管2への圧電素子4c、4d、4e、4fの接着は、コリオリ力により最も歪を大きくする流管2の位置に接着する。またステンレス製の弾性体6の振動変位を最も大きくできる位置に圧電素子4a、4bを接着することにより振動体3を構成する。
流管2と振動体3は両端がステンレス製の支持部5a、5bに溶接で接合されている。さらに支持部5a、5bはステンレス製のベース部7に溶接で接合されている。流管2と支持部5a、5bそしてベース部7は、流体が流れる孔8が連続して形成してあることはもちろんである。支持部5とベース部7は一体の構成でもよい。
次にコリオリ流量計1の駆動振動モードと検出振動モードについて図2と図3を用いて説明する。駆動モードを図2中の実線で示すが、振動体3と流管2が、互いに逆位相の基本曲げ振動である。検出振動モードを図3中の破線で示すが、振動体3と流管2が、互いに逆位相の2次曲げ振動である。
ここで、コリオリ流量計1の測定方法について説明する。振動体3に基本の曲げ振動を励起するために圧電素子4aの電極間にリード線、圧電素子4bの電極間にリード線を通じて基本曲げ振動の固有振動数の電圧を印加する。なお、圧電素子4a、4bの分極方向と電圧の印加は、曲げ振動を励起する構成となっている。
流体が図2の実線で示す基本曲げ振動モードで振動する流管2中を流れることにより、流体にコリオリ力が発生し、流管2は、図3の破線で示すように2次曲げ振動モードで振動する。流管2は、2次曲げ振動モードの最大の電圧を検出できる位置に圧電素子を接合している。駆動振動用の質量を持たないため、いわゆる慣性が小さくできるので流量が変化時の検出振動の反応速度が向上する。コリオリ力により流管2は、2次曲げ振動モードで振動する。このコリオリ力による振動により圧電素子4c、4dの出力電圧V1と圧電素子4e、4fの出力電圧V2の差を測定することにより流量を測定する。
以上に説明したように、流管2には駆動振動を発生させるための駆動振動用の質量を持たないため、いわゆる慣性が小さくできるので流量が変化時の検出振動の立ち上がりが早い。そして、所望の検出モード以外の振動の発生が困難になっている。いわゆる検出モードだけを励起できる機械的フィルターとして検出用の圧電素子の質量が作用している。
また、歪みを検出する圧電素子は、コイルと磁石からなる電磁ピックアップに比較して一般に小型、軽量化できるため、流管2に取り付けたときの流管2のメカニカルQの減少を少なくできる。また、コイルと磁石のように2つの部分に分かれることがないので、構造が簡単だけでなく、漏れ磁界によって検出信号が歪むという問題も発生しない。
圧電素子では、流管2の曲げモーメントに比例した信号が得られる。したがって、速度を検出する電磁ピックアップとは異なった質量流量に比例した位相差(時間差)が検出される。圧電素子を両端が単純支持構造となっている直管状の流管2を質量流量計の振動検出手段として用いると、得られる質量流量に比例した位相差(時間差)は、電磁ピックアップに比べて大きくなる。したがって、流量計測の精度を高めることができる。
両端が固定端となっている直管式の流管2を持つ質量流量計では、その固定端近傍では、流管2の振動振幅はほとんど零であるが曲げモーメントは発生する。したがって、振動の検出手段として歪み検出素子を固定端近傍に取り付けても、質量流量に比例した位相差(時間差)を得ることができる。そして、固定端近傍では流管2の振動振幅はほとんど零なので、ここに歪み検出素子を取り付けても、歪み検出素子が流管2の振動に与える影響は少ない。したがって、より高い流管2のメカニカルQを得ることができる。
以上の説明では流管2の断面が矩形状のものを用いたが円環状でもよい。また振動体の断面形状は、いわゆる管形状でも中身のある中実形状でもよい。
第2の実施の形態である基本的な構成を図4の斜視図を用いて説明する。
流管2が直線状のコリオリ流量計1の構成は、チタン合金製の流管2の中心軸を含む対称面を持つように2個のチタン合金製の振動体3a、3bを配置する。そして流管2と振動体3a、3bの両端をチタン合金製の支持部5a、5bに溶接により接合する。支持部5は、流管2、振動体3a、3bが一体の振動体となることを目的としたものである。支持部5a、5bは、さらにチタン合金製のベース部7a、7bに接合され、ステンレス製のケース板9に図示しないねじで固定する。
振動体3aは弾性体にエポキシ樹脂により駆動用の圧電素子4a、4bを接合したものであり、振動体3bは弾性体にエポキシ樹脂により駆動用の圧電素子4c、4dを接合したものである。圧電素子4の接合位置は、弾性体の長さ方向の中央部であり、この位置は基本曲げ振動モードにおいて最も弾性体の歪の大きい位置である。
流管2には、エポキシ樹脂により検出用の圧電素子4eと検出用の圧電素子4fを接合する。検出用の圧電素子4e、4fは、2次曲げ振動モードにおいて、互いに逆位相であるが最も弾性体の歪の大きい位置である。
コリオリ流量計1の駆動振動モードについて図5を用いて説明する。所望の駆動モードは、図中の破線で示す振動体3a、3bと流管2が互いに逆位相となる基本曲げ振動である。なお、図の破線は図面の都合上、紙面方向に変位しているが、実際は紙面と直交方向に変位している。
次にコリオリ流量計1の検出振動モードについて図6を用いて説明する。所望の検出モードは、図中の破線で示す振動体3a、3bと流管2が互いに逆位相となる2次曲げ振動である。なお、図の破線は図面の都合上、紙面方向に変位しているが、実際は紙面と直交方向に変位している。
ここで、コリオリ流量計1の測定方法について説明する。振動体3a、3bに基本の曲げ振動を励起するために圧電素子4aの電極間にリード線、圧電素子4bの電極間にリード線、圧電素子4cの電極間にリード線そして圧電素子4dの電極間にリード線を通じて基本曲げ振動の固有振動数の電圧を印加する。なお、圧電素子4a、4bそして圧電素子4c、4dの分極方向と電圧の印加は、曲げ振動を励起する構成となっている。
流体が図5の実線で示す基本曲げ振動モードで振動する流管2中を流れることにより、流体にコリオリ力が発生し、流管2は、図6の破線で示すように2次曲げ振動モードで振動する。流管2は、2次曲げ振動モードの最大の電圧を検出できる位置に圧電素子を接合している。駆動振動用の質量を持たないため、いわゆる慣性が小さくできるので流量が変化時の検出振動の反応速度が向上する。コリオリ力により流管2は、2次曲げ振動モードで振動する。このコリオリ力による振動により圧電素子4c、4dの出力電圧V1と圧電素子4e、4fの出力電圧V2の差を測定することにより流量を測定する。
以上に説明したように、流管2には駆動振動を発生させるための付加質量がないため、当然検出感度が高くなる。また、質量が小さいため立ち上がり特性が向上する。そして、所望の検出モード以外の振動の発生が困難になっている。いわゆる検出モードだけを励起できる機械的フィルターとして検出用の圧電素子の質量が作用している。
さらに流管2の中心軸を通る対称面を持つため、不要なねじり振動の発生が抑制されるためコリオリ信号のSN比が大きくなる。
以上の説明では流管2の断面が矩形状のものを用いたが円環状でもよい。また振動体の弾性体の断面形状は、いわゆるパイプ形状でも中身のある中実形状でもよい。ただし左右の弾性体の形状は同じであることが必要である。
第3の実施の形態である基本的な構成を図7の平面図と図8の側面図を用いて説明する。
流管2がU字形状のコリオリ流量計1の構成は、流れ方向と平行方向の対称面と、流れ方向に直交する対称面を持つ形状である。チタン合金製の流管2a、チタン合金製の流管2bは、溶接によりチタン合金製の支持部5a、5bに接合される。支持部5aは内部に流管2aと流管2bに流体を等しく流すための分流部10aを内蔵する。同様に支持部5bは内部に流管2aと流管2bに流体を等しく流すための分流部10bを内蔵する。そして支持部5a、5bはチタン合金製のベース部7に接合される。
流管2aは駆動振動用の圧電素子4a、4bをエポキシ樹脂により接合している。流管2bはコリオリ振動を検出するための圧電素子4c、4dをエポキシ樹脂により接合している。対称面に対して対称であるから圧電素子の形状はすべて同じである。
図7の説明では、流管2の断面が矩形状のものを用いたが環状でもよい。また、このような構成は直線状の流管2(従来の音さ型コリオリ流量計)においても可能である。
図7の説明では、流管2の断面が矩形状のものを用いたが環状でもよい。また、このような構成は直線状の流管2(従来の音さ型コリオリ流量計)においても可能である。
流管2aにエポキシ樹脂により圧電素子4a、4bを接合することにより振動体3aを構成する。流管2bにエポキシ樹脂により圧電素子4c、4dを接合することにより振動体3bを作成する。振動体3bは、コリオリ力を検出する流管2bとしても作用する。
次にコリオリ流量計1の駆動振動モードと検出振動モードについて図9と図10を用いて説明する。駆動モードを図9中の破線で示すが、振動体と流管2が、互いに逆位相の基本曲げ振動である。検出振動モードを図10中の破線で示すが、基本ねじり振動モードである。
ここで、コリオリ流量計1の測定方法について説明する。流管2aに基本の曲げ振動を励起するために圧電素子4aと圧電素子4bの電極間にリード線を通じて基本曲げ振動の固有振動数の電圧を印加すると、中心線を含む対称面に対して曲げ振動が流管2a、流管2bに励起される。また、基本曲げ振動の固有振動数を測定することにより流体の密度を測定することができる。
流体が図9の破線で示す基本曲げ振動モードで振動する流管2a、流管2b中を流れることにより、流体にコリオリ力が発生し、流管2a、流管2bは、図10の破線で示すように基本ねじり振動モードで振動する。流管2bは、基本ねじり振動モードを最も効率よく検出できる圧電素子を接合しているだけであり、余分な質量を持たないため、いわゆる検出振動の立ち上がりが早い。このコリオリ力による振動により圧電素子4cの出力電圧V1と圧電素子4dの出力電圧V2の差を測定することにより流量を測定する。
以上に説明したように、流体も含めたコリオリ流量計は、対称構造であり駆動振動、検出振動も対称面11において対称であるので外部へ漏れる振動をキャンセルすることができる。そして流管2bには駆動振動を発生させるための付加質量がないため、当然検出感度が高くなる。また、質量が小さいため不要な慣性運動がないため立ち上がり特性が向上する。
以上は、振動を発生させる手段として、振動を検出する手段として圧電効果を用いた説明したが、電磁効果、静電効果を用いても所望の駆動モードと検出モードを実現できる。
1 コリオリ流量計
2 流管
3 振動体
4 圧電素子
5 支持部
6 弾性体
7 ベース部
8 孔
9 ケース板
10 分流部
11 対称面
2 流管
3 振動体
4 圧電素子
5 支持部
6 弾性体
7 ベース部
8 孔
9 ケース板
10 分流部
11 対称面
Claims (6)
- 流体が流れる流管にコリオリ力を検出する検出手段のみを設け、かつ振動体のみに振動発生手段を設けることを特徴とするコリオリ流量計。
- 振動体が、流体が流れる流管であることを特徴とする請求項1に記載のコリオリ流量計。
- 振動発生手段と振動検出手段が圧電素子を用いるものであることを特徴とする請求項1、2に記載のコリオリ流量計。
- 流管が直線状であることを特徴とする請求項1、2に記載のコリオリ流量計。
- 流管が湾曲状であることを特徴とする請求項1、2に記載のコリオリ流量計。
- 振動体と流管の振動位相が逆である固有振動モードを励起する固有振動数を振動発生手段に与えることを特徴とする請求項1、2に記載のコリオリ流量計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012156955A JP2014006230A (ja) | 2012-06-26 | 2012-06-26 | コリオリ流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012156955A JP2014006230A (ja) | 2012-06-26 | 2012-06-26 | コリオリ流量計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014006230A true JP2014006230A (ja) | 2014-01-16 |
Family
ID=50104064
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012156955A Pending JP2014006230A (ja) | 2012-06-26 | 2012-06-26 | コリオリ流量計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014006230A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017510806A (ja) * | 2014-04-07 | 2017-04-13 | マイクロ モーション インコーポレイテッド | 振動式流量計における非対称な流れを検出するための装置及び方法 |
-
2012
- 2012-06-26 JP JP2012156955A patent/JP2014006230A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2017510806A (ja) * | 2014-04-07 | 2017-04-13 | マイクロ モーション インコーポレイテッド | 振動式流量計における非対称な流れを検出するための装置及び方法 |
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