JP2021034628A - 半導体装置、半導体装置の実装構造、及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置、半導体装置の実装構造、及び半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021034628A JP2021034628A JP2019155128A JP2019155128A JP2021034628A JP 2021034628 A JP2021034628 A JP 2021034628A JP 2019155128 A JP2019155128 A JP 2019155128A JP 2019155128 A JP2019155128 A JP 2019155128A JP 2021034628 A JP2021034628 A JP 2021034628A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist
- bump
- semiconductor device
- opening
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 88
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 29
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 86
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 86
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 18
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 18
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 13
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 8
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 7
- 238000005429 filling process Methods 0.000 description 7
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 5
- -1 for example Substances 0.000 description 5
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSDREXVUYHZDNP-UHFFFAOYSA-N alumanylidynesilicon Chemical compound [Al].[Si] CSDREXVUYHZDNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 3
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 3
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 2
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 2
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229920001477 hydrophilic polymer Polymers 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229920002818 (Hydroxyethyl)methacrylate Polymers 0.000 description 1
- QRIMLDXJAPZHJE-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydroxypropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(O)CO QRIMLDXJAPZHJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KIZQNNOULOCVDM-UHFFFAOYSA-M 2-hydroxyethyl(trimethyl)azanium;hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)CCO KIZQNNOULOCVDM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017398 Au—Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002482 Cu–Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical group C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 229910007637 SnAg Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006913 SnSb Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005728 SnZn Inorganic materials 0.000 description 1
- KXNLCSXBJCPWGL-UHFFFAOYSA-N [Ga].[As].[In] Chemical compound [Ga].[As].[In] KXNLCSXBJCPWGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- JVPLOXQKFGYFMN-UHFFFAOYSA-N gold tin Chemical compound [Sn].[Au] JVPLOXQKFGYFMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 1
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 1
- 239000012766 organic filler Substances 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 230000002040 relaxant effect Effects 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)=O BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49811—Additional leads joined to the metallisation on the insulating substrate, e.g. pins, bumps, wires, flat leads
- H01L23/49816—Spherical bumps on the substrate for external connection, e.g. ball grid arrays [BGA]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4846—Leads on or in insulating or insulated substrates, e.g. metallisation
- H01L21/4853—Connection or disconnection of other leads to or from a metallisation, e.g. pins, wires, bumps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49838—Geometry or layout
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/562—Protection against mechanical damage
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/564—Details not otherwise provided for, e.g. protection against moisture
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/11—Manufacturing methods
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Geometry (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
Description
上記アンダーバンプメタル層上を覆うレジストを形成するレジスト形成工程と、
上記レジストの複数個の上記電極パッドが形成されている領域に対して、上記レジストの上面側からナノインプリント型を押し当て、上記レジストに上記電極パッドに未到達の複数個の開口部を形成するレジスト開口工程と、
上記レジストに対して、上記レジストの上面側から光エネルギーを与えた後、熱処理を施して、上記レジストを硬化させるレジスト硬化工程と、
上記レジストを現像液と反応させて、上記電極パッド側に向かうに連れて上記開口部の開口幅が拡がるように、上記開口部を上記電極パッドまで到達させる現像工程と、
上記開口部の内に金属を充填して、バンプを形成する金属充填工程と、
上記レジストを剥離する剥離工程と、を備える半導体装置の製造方法であって、
上記レジスト開口において、ナノインプリント型にレジスト開口用の突起部とは別に、空気の抜け穴用の微小突起部を形成し、バンプと接続された空気の抜け穴を形成する半導体装置の製造方法を用いる。
複数個の上記電極パッド上を覆うようにアンダーバンプメタル層を形成するアンダーバンプメタル層形成工程と、
上記アンダーバンプメタル層上を覆うレジストを形成するレジスト形成工程と、
上記レジストの複数個の上記電極パッドが形成されている領域に対して、上記レジストの上面側からナノインプリント型を押し当て、上記レジストに上記電極パッドに未到達の複数個の開口部を形成するレジスト開口工程と、
上記レジストに対して、上記レジストの上面側から光エネルギーを与えた後、熱処理を施して、上記レジストを硬化させるレジスト硬化工程と、
上記レジストを現像液と反応させて、上記電極パッド側に向かうに連れて上記開口部の開口幅が拡がるように、上記開口部を上記電極パッドまで到達させる現像工程と、
上記開口部内に金属を充填して、バンプを形成する金属充填工程と、
上記レジストを剥離する剥離工程と、を備える半導体装置の製造方法であって、
上記レジスト硬化工程において、上記経路形成用接着剤が揮発し、抜け穴を形成する半導体装置の製造方法を用いる。
[実施の形態1]
<半導体装置の構造>
図1(a)〜図1(b)は、実施の形態1に係る半導体装置Uの構造を説明する断面図である。
図2(a)〜図2(f)は、実施の形態1に係る半導体装置Uの製造方法を説明する断面図である。
以上のように、本発明の実施の形態によれば、レジスト開口形状が微小なテーパ形状であっても、底部まで安定して充填することが可能になる。これによって、先端部が尖ったバンプを形成することができ、脆弱な半導体であっても、応力を緩和しながら接合することができる。
実施の形態2は、空気の抜け穴が平面方向(電極パッド2に略平行)に接続されている点で実施の形態1と異なる。説明しない事項は実施の形態1と同様である。
図3(a)〜図3(b)は、実施の形態2に係る半導体装置Uの構造を説明する概念図である。
図4(a)〜図4(f)は、実施の形態2に係る半導体装置Uの製造方法を説明する断面図である。
図5は、実施の形態2に係る半導体装置Uの構造を説明する立体図である。
図6は、実施の形態2の変形例に係る半導体装置Uの製造方法におけるはんだ充填工程を説明する概念図である。図6(a)のように、図6(a)は半導体装置Uの断面図、図6(b)は半導体装置Uの平面図である。
以上のように、実施の形態2によれば、より微小な突起状バンプを形成することが可能となり、半導体装置Uを回路基板に実装する際、半導体装置U内の絶縁膜11に対して作用する応力をより一層緩和することが可能である。これによって、製造歩留まりを向上することが可能になる。
2 電極パッド
3 絶縁膜
4 アンダーバンプメタル層
5 バンプ
8 レジスト
8a 第1開口部
8b 第2開口部
8c 第3開口部
9 ナノインプリント型
9a 第1突起部
9b 第2突起部
U 半導体装置
10 空気の抜け穴
11 絶縁膜
13 経路形成用接着剤
15 ダミーバンプ
20 金属充填ユニット
21 タンク
22 圧力発生源
23 駆動制御装置
24 溶融金属
25 ダミーパッド
IC モノリシック
101 シリコン基板
102 絶縁膜
103 アルミパッド
104 保護膜
105 バリアメタル
106 バンプ
107 レジスト
Claims (8)
- 複数個の電極パッドの上に位置するバンプと、
前記バンプを覆うレジストと、
前記レジストの内部に、前記バンプと前記レジストの外部とを繋ぐ空気の抜け穴と、を有する半導体装置。 - 前記空気の抜け穴は、前記バンプの周囲に複数個設けられた請求項1記載の半導体素子。
- 前記空気の抜け穴は、電極パッドに略垂直である請求項1又は2記載の半導体素子。
- 複数個の前記電極パッドの上にバンプと、
前記バンプを覆うレジストと、
前記バンプと空気の抜け穴で連結されたダミーバンプと、を有する半導体装置。 - 前記ダミーバンプは、複数の前記バンプと前記空気の抜け穴で接続される請求項4記載の半導体素子。
- 前記空気の抜け穴は、電極パッドに略平行である請求項4又は5記載の半導体素子。
- 複数個の電極パッド上を覆うようにアンダーバンプメタル層を形成するアンダーバンプメタル層形成工程と、
前記アンダーバンプメタル層上を覆うレジストを形成するレジスト形成工程と、
前記レジストの複数個の前記電極パッドが形成されている領域に対して、前記レジストの上面側からナノインプリント型を押し当て、前記レジストに前記電極パッドに未到達の複数個の開口部を形成するレジスト開口工程と、
前記レジストに対して、前記レジストの上面側から光エネルギーを与えた後、熱処理を施して、前記レジストを硬化させるレジスト硬化工程と、
前記レジストを現像液と反応させて、前記電極パッド側に向かうに連れて前記開口部の開口幅が拡がるように、前記開口部を前記電極パッドまで到達させる現像工程と、
前記開口部の内に金属を充填して、バンプを形成する金属充填工程と、
前記レジストを剥離する剥離工程と、を備える半導体装置の製造方法であって、
前記レジスト開口において、ナノインプリント型にレジスト開口用の突起部とは別に、空気の抜け穴用の微小突起部を形成し、バンプと接続された空気の抜け穴を形成する半導体装置の製造方法。 - 複数個の電極パッド上に経路形成用接着剤を供給する工程と
複数個の前記電極パッド上を覆うようにアンダーバンプメタル層を形成するアンダーバンプメタル層形成工程と、
前記アンダーバンプメタル層上を覆うレジストを形成するレジスト形成工程と、
前記レジストの複数個の前記電極パッドが形成されている領域に対して、前記レジストの上面側からナノインプリント型を押し当て、前記レジストに前記電極パッドに未到達の複数個の開口部を形成するレジスト開口工程と、
前記レジストに対して、前記レジストの上面側から光エネルギーを与えた後、熱処理を施して、前記レジストを硬化させるレジスト硬化工程と、
前記レジストを現像液と反応させて、前記電極パッド側に向かうに連れて前記開口部の開口幅が拡がるように、前記開口部を前記電極パッドまで到達させる現像工程と、
前記開口部の内に金属を充填して、バンプを形成する金属充填工程と、
前記レジストを剥離する剥離工程と、を備える半導体装置の製造方法であって、
前記レジスト硬化工程において、前記経路形成用接着剤が揮発し、抜け穴を形成する半導体装置の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019155128A JP7403083B2 (ja) | 2019-08-28 | 2019-08-28 | 半導体装置、半導体装置の実装構造、及び半導体装置の製造方法 |
CN202010840377.3A CN112447657A (zh) | 2019-08-28 | 2020-08-19 | 半导体装置以及半导体装置的制造方法 |
JP2023202443A JP2024009340A (ja) | 2019-08-28 | 2023-11-30 | 半導体装置の製造方法および製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019155128A JP7403083B2 (ja) | 2019-08-28 | 2019-08-28 | 半導体装置、半導体装置の実装構造、及び半導体装置の製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023202443A Division JP2024009340A (ja) | 2019-08-28 | 2023-11-30 | 半導体装置の製造方法および製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021034628A true JP2021034628A (ja) | 2021-03-01 |
JP7403083B2 JP7403083B2 (ja) | 2023-12-22 |
Family
ID=74677731
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019155128A Active JP7403083B2 (ja) | 2019-08-28 | 2019-08-28 | 半導体装置、半導体装置の実装構造、及び半導体装置の製造方法 |
JP2023202443A Pending JP2024009340A (ja) | 2019-08-28 | 2023-11-30 | 半導体装置の製造方法および製造装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023202443A Pending JP2024009340A (ja) | 2019-08-28 | 2023-11-30 | 半導体装置の製造方法および製造装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP7403083B2 (ja) |
CN (1) | CN112447657A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023119700A1 (ja) * | 2021-12-21 | 2023-06-29 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | バンプ製造方法及びそれに用いるインプリント型 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11214418A (ja) * | 1998-01-20 | 1999-08-06 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の半田バンプの形成方法 |
JP2009220493A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Nec Electronics Corp | 金属ペースト印刷方法およびメタルマスク |
JP2019102763A (ja) * | 2017-12-08 | 2019-06-24 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015079648A1 (ja) | 2013-11-29 | 2015-06-04 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体装置 |
-
2019
- 2019-08-28 JP JP2019155128A patent/JP7403083B2/ja active Active
-
2020
- 2020-08-19 CN CN202010840377.3A patent/CN112447657A/zh active Pending
-
2023
- 2023-11-30 JP JP2023202443A patent/JP2024009340A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11214418A (ja) * | 1998-01-20 | 1999-08-06 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の半田バンプの形成方法 |
JP2009220493A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Nec Electronics Corp | 金属ペースト印刷方法およびメタルマスク |
JP2019102763A (ja) * | 2017-12-08 | 2019-06-24 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023119700A1 (ja) * | 2021-12-21 | 2023-06-29 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | バンプ製造方法及びそれに用いるインプリント型 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2024009340A (ja) | 2024-01-19 |
CN112447657A (zh) | 2021-03-05 |
JP7403083B2 (ja) | 2023-12-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6190940B1 (en) | Flip chip assembly of semiconductor IC chips | |
US5819406A (en) | Method for forming an electrical circuit member | |
US7002250B2 (en) | Semiconductor module | |
US6586322B1 (en) | Method of making a bump on a substrate using multiple photoresist layers | |
US5746868A (en) | Method of manufacturing multilayer circuit substrate | |
CN107134414B (zh) | 半导体装置及其制造方法、倒装芯片型半导体装置及其制造方法 | |
US7410090B2 (en) | Conductive bonding material fill techniques | |
US7694869B2 (en) | Universal mold for injection molding of solder | |
US20090196000A1 (en) | System, apparatus, and method for advanced solder bumping | |
JP2024009340A (ja) | 半導体装置の製造方法および製造装置 | |
KR20240023575A (ko) | 반도체 장치의 제조 방법 | |
JP2001332658A (ja) | 半導体集積回路装置およびその製造方法 | |
US20070155154A1 (en) | System and method for solder bumping using a disposable mask and a barrier layer | |
JP5672652B2 (ja) | 半導体素子用基板の製造方法および半導体装置 | |
TWI788520B (zh) | 半導體裝置的製造方法、半導體裝置的製造裝置、及半導體裝置 | |
US20210066239A1 (en) | Packaged semiconductor devices with uniform solder joints | |
KR20020062346A (ko) | 범프 형성방법 및 범프 형성장치 | |
JP7194921B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
WO2024116844A1 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP7357243B2 (ja) | 半導体装置、半導体装置の実装構造、及び半導体装置の製造方法 | |
US20230089483A1 (en) | Method for manufacturing semiconductor device and semiconductor device | |
JP2007095894A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JPH10112474A (ja) | 半導体装置、半導体装置の製造方法、接点の形成方法、および電子装置の製造方法 | |
JP2011119453A (ja) | 突起電極、電子装置、半導体装置、及び電子装置の製造方法 | |
JP2009059771A (ja) | ウエハレベルチップサイズパッケージ及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20211019 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20211025 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220608 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230525 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230530 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230728 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231031 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231130 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7403083 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |