JP2021027363A - キャリア搬送装置およびそれを備える搬送体制御システム - Google Patents

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Abstract

【課題】渦電流を用いた非接触式ダンピング構造を用いてホイストおよびハンドを結合構成するキャリア搬送装置およびそれを備える搬送体制御システムを提供する。【解決手段】前記キャリア搬送装置は、ウエハが収納されたキャリアを搬送するキャリア搬送装置であって、前記キャリアを把持する把持部と、前記把持部を昇降させる昇降部を含み、前記把持部および前記昇降部は、非接触式ダンピング構造で連結され、相対的運動が抑制される。【選択図】図３

Description

本発明は、キャリア搬送装置およびそれを備える搬送体制御システムに関する。
より詳細には、半導体製造設備に用いられるキャリア搬送装置およびそれを備える搬送体制御システムに関する。
ウエハ（ｗａｆｅｒ）は、半導体素子製造ラインを備えたクリーンルーム（ｃｌｅａｎ ｒｏｏｍ）内で多様な工程を経て製造することができる。この際、ウエハは、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）に収納され、クリーンルームの天井に配置されるＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）を介してそれぞれの工程が行われる設備に搬送することができる。
ＯＨＴは、半導体素子を製造するのに使われる多様な設備が配置されているクリーンルーム内でＦＯＵＰを目的地まで安全に移送するために、ホイスト（ｈｏｉｓｔ）とハンド（ｈａｎｄ）を使うことができる。
ホイストおよびハンドは積み下ろし（ｌｏａｄ ａｎｄ ｕｎｌｏａｄ）の際ＯＨＴがＦＯＵＰを正確な位置に安着させ、ＯＨＴの走行時ＦＯＵＰの離脱を防止するために、ピン（ｐｉｎ）／ホルダ（ｈｏｌｄｅｒ）構造を使うことができる。この場合、ピンとホルダとの間に空間的な余裕を持たせて、強制拘束による破損を防止することができる。
しかし、ホイストおよびハンドがこのようにピン／ホルダ構造を使う場合、嵌め合い方式ではないため、ＦＯＵＰの移送時にピンおよびホルダの間のぶつかりにより、振動および衝撃が発生してＦＯＵＰ内のウエハに伝達され得る。
本発明で解決しようとする課題は、エディカレント（ｅｄｄｙ ｃｕｒｒｅｎｔ）を用いた非接触式ダンピング構造を用いてホイストおよびハンドを結合構成するキャリア搬送装置を提供することにある。
また、本発明で解決しようとする課題は、エディカレントを用いた非接触式ダンピング構造を用いてホイストおよびハンドを結合構成するキャリア搬送装置を備える搬送体制御システムを提供することにある。
本発明の課題は、以上で言及した課題に制限されず、言及されていない他の課題は以下の記載から当業者に明確に理解されるであろう。
前記課題を達成するための本発明のキャリア搬送装置の一面（ａｓｐｅｃｔ）は、ウエハが収納されたキャリアを搬送するキャリア搬送装置であって、前記キャリアを把持する把持部と、前記把持部を昇降させる昇降部を含み、前記把持部および前記昇降部は、非接触式ダンピング構造で連結され、相対的運動が抑制される。
前記把持部および前記昇降部は、マグネット部材およびプレートを用いて非接触式ダンピング構造で連結され得る。
前記把持部および前記昇降部は、前記マグネット部材および前記プレートの間に形成される電流を用いて相対的運動が抑制され得る。
前記電流はエディカレント（Ｅｄｄｙ Ｃｕｒｒｅｎｔ）であり得る。
前記昇降部は複数の連結部材を用いて前記把持部と連結され、前記マグネット部材は前記連結部材の端部に設置され、前記プレートは前記マグネット部材に隣接して前記把持部に設置され得る。
前記マグネット部材は非鉄金属を素材にして形成され得る。
前記マグネット部材は電磁石であり得る。
前記把持部および前記昇降部は、前記キャリア搬送装置が走行する時、相対的運動が抑制され得る。
前記マグネット部材の強度に応じて前記把持部と前記昇降部との間のダンピングが制御され得る。
前記キャリア搬送装置は、前記キャリア搬送装置の速度を測定する速度測定センサと、前記キャリア搬送装置の速度に基づいて前記マグネット部材の強度を調整する制御部をさらに含み得る。
前記速度測定センサは、前記プレートの表面に設置され得る。
前記キャリア搬送装置は、前記把持部および前記昇降部を含む本体部を支持し、駆動力を生成する駆動制御部と、前記駆動制御部の側面に設置され、前記駆動力に基づいてレール上で移動する駆動ホイールと、前記駆動制御部の下部に設置され、前記駆動ホイールが前記レール上で離脱することを防止するガイドホイールをさらに含み得る。
前記課題を達成するための本発明のキャリア搬送装置の他の面は、ウエハが収納されたキャリアを搬送するキャリア搬送装置であって、前記キャリアを把持し、プレートを含む把持部と、前記把持部を昇降させ、マグネット部材を含む昇降部を含み、前記把持部および前記昇降部は、前記マグネット部材および前記プレートを用いて非接触式ダンピング構造で連結され、前記キャリア搬送装置が走行する時、前記マグネット部材および前記プレートの間に形成されるエディカレントを用いて前記把持部および前記昇降部の相対的運動が抑制される。
前記課題を達成するための本発明の搬送体制御システムの一面は、天井に設置されるレールと、前記レール上で走行し、ウエハが収納されたキャリアを目的地まで搬送する複数のキャリア搬送装置と、前記キャリア搬送装置の移動を制御する搬送体制御装置を含み、前記キャリア搬送装置は、前記キャリアを把持する把持部と、前記把持部を昇降させる昇降部を含み、前記把持部および前記昇降部は、非接触式ダンピング構造で連結され、相対的運動が抑制される。
その他実施形態の具体的な内容は、詳細な説明および図面に含まれている。
本発明の一実施形態によるキャリア搬送装置の概略的な構造を示す断面図である。 本発明の一実施形態によるキャリア搬送装置の設置形態を示す断面図である。 本発明の一実施形態によるキャリア搬送装置を構成する把持部と昇降部の結合形態を示す部分拡大図である。 本発明の一実施形態によるキャリア搬送装置を構成する把持部と昇降部の非接触式ダンピング構造を説明するための例示図である。 本発明の他の実施形態によるキャリア搬送装置の部分拡大図である。 本発明の一実施形態によるキャリア搬送装置を備える搬送体制御システムの概略的な構造を示す概念図である。
以下、添付する図面を参照して本発明の好ましい実施形態について詳細に説明する。本発明の利点および特徴、並びにこれらを達成する方法は、添付する図面と共に後述する詳細な実施形態を参照することで明確になる。しかし、本発明は以下に開示される実施形態に限定されるものではなく、互いに異なる多様な形態に実現され得るものであり、単に本実施形態は本発明の開示を明確にし、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者に発明の範囲を明確に知らせるために提供するものであり、本発明は請求項の範囲によってのみ定義される。明細書全体にわたって同一参照符号は同一構成要素を示す。
素子（ｅｌｅｍｅｎｔｓ）または層が他の素子または層の「上（ｏｎ）」または「上（ｏｎ）」と称する場合、他の素子または層の真上だけでなく中間に他の層または他の素子を介在する場合をすべて含む。一方、素子が「直接上（ｄｉｒｅｃｔｌｙ ｏｎ）」または「真上」と称される場合、中間に他の素子または層を介在しない場合を示す。
空間的に相対的な用語である「下方（ｂｅｌｏｗ）」、「下（ｂｅｎｅａｔｈ）」、「底部（ｌｏｗｅｒ）」、「上方（ａｂｏｖｅ）」、「上部（ｕｐｐｅｒ）」などは図面に図示されているように一つの素子または構成要素と他の素子または構成要素との相関関係を容易に記述するために使われる。空間的に相対的な用語は図面に図示されている方向に加えて、使用時または動作時に素子の互いに異なる方向を含む用語として理解しなければならない。例えば、図面に示されている素子をひっくり返す場合、他の素子の「下方（ｂｅｌｏｗ）」または「下（ｂｅｎｅａｔｈ）」と記述された素子は、他の素子の「上方（ａｂｏｖｅ）」に置かれられ得る。したがって、例示的な用語である「の下」は下と上の方向をすべて含み得る。素子は他の方向にも配向され得るため、空間的に相対的な用語は配向によって解釈され得る。
第１、第２等が多様な素子、構成要素および／またはセクションを叙述するために使われるが、これら素子、構成要素および／またはセクションはこれらの用語によって制限されないことはもちろんである。これらの用語は単に一つの素子、構成要素またはセクションを他の素子、構成要素またはセクションと区別するために使う。したがって、以下で言及される第１素子、第１構成要素または第１セクションは、本発明の技術的思想内で第２素子、第２構成要素または第２セクションであり得ることはもちろんである。
本明細書で使われた用語は実施形態を説明するためのものであり、本発明を制限するものではない。本明細書で、単数形は文面で特記しない限り、複数形も含む。明細書で使われる「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｅｓ）」および／または「含み（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」は、言及された構成要素、段階、動作および／または素子が、一つ以上の他の構成要素、段階、動作および／または素子の存在や追加を排除しない。
他に定義のない限り、本明細書で使われるすべての用語（技術的および科学的用語を含む）は、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者に共通して理解され得る意味で使われる。また、一般的に使われる辞典に定義されている用語は明白に特に定義されない限り理想的にまたは過度に解釈されない。
以下、添付する図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明し、添付図面を参照して説明することにあって図面符号に関係なく同一または対応する構成要素は同じ参照番号を付与し、それに関する重複する説明は省略する。
ＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）は、ホイスト（ｈｏｉｓｔ）とハンド（ｈａｎｄ）の相対的運動を抑制するためにピン（ｐｉｎ）／ホルダ（ｈｏｌｄｅｒ）構造を使うことができる。しかし、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）の移送時ピンとホルダのぶつかりによって振動および衝撃が発生してＦＯＵＰ内のウエハ（ｗａｆｅｒ）に伝達される問題がある。
本発明は、マグネット（ｍａｇｎｅｔ）と非鉄金属を用いた非接触式ダンピング構造でエディカレント（ｅｄｄｙ ｃｕｒｒｅｎｔ）を発生させてホイストとハンドの相対的運動を抑制するキャリア搬送装置およびそれを備える搬送体制御システムに関するものである。以下では図面などを参照して本発明を詳しく説明する。
図１は本発明の一実施形態によるキャリア搬送装置の概略的な構造を示す断面図である。そして、図２は本発明の一実施形態によるキャリア搬送装置の設置形態を示す断面図である。
図１および図２によれば、キャリア搬送装置１００は、本体部１１０、駆動制御部１２０、駆動ホイール（ｄｒｉｖｉｎｇ ｗｈｅｅｌ；１３０）およびガイドホイール（ｇｕｉｄｅ ｗｈｅｅｌ；１４０）を含んで構成されることができる。
キャリア搬送装置１００は、クリーンルーム（ｃｌｅａｎ ｒｏｏｍ）内でキャリア（ｃａｒｒｉｅｒ）を半導体素子の製造工程が行われる各種設備に搬送するものである。このようなキャリア搬送装置１００は、例えば、ＯＨＴに実現することができる。一方、上記キャリアは複数のウエハ（ｗａｆｅｒ）が収納されたものであって、例えばＦＯＵＰに実現することができる。
本体部１１０は、キャリア１５０を次の工程が行われる設備まで搬送するために、キャリア１５０を把持（ｇｒｉｐｐｉｎｇ）した後、クリーンルームの天井付近まで上昇させ得る。本体部１１０は、このために駆動制御部１２０の下部に設置され得る。また、本体部１１０は、把持部１１１と昇降部１１２を含んで構成されることができる。
把持部１１１はキャリア１５０を把持するものである。このような把持部１１１は、昇降部１１２によりキャリア１５０が位置した方向に下降され、キャリア搬送装置１００の下の方に位置するキャリア１５０を把持することができる。把持部１１１は、例えば、ハンドグリッパ（ｈａｎｄ ｇｒｉｐｐｅｒ）で実現することができる。
昇降部１１２は、把持部１１１をキャリア１５０が位置した方向に下降させて把持部１１１がキャリア１５０を把持できるようにするものである。このような昇降部１１２は、把持部１１１によりキャリア１５０が把持されると、キャリア１５０を把持した把持部１１１をクリーンルームの天井側に上昇させることができる。
キャリア１５０は把持部１１１により把持された後、昇降部１１２によりクリーンルームの天井側に上昇され、この状態で次の工程が行われる設備まで搬送され得る。昇降部１１２はキャリア搬送装置１００が目的地に到達すると、キャリア１５０を下降させてキャリア１５０を次の工程が行われる設備に伝達することができる。昇降部１１２は、例えば、ホイスト（ｈｏｉｓｔ）に実現することができる。
把持部１１１および昇降部１１２は、マグネットと非鉄金属を用いて非接触式ダンピング構造で結合されることができる。これと関連するより詳しい説明は図面を参照して後述する。
駆動制御部１２０は、レール２１０に沿って移動する駆動ホイール１３０を制御する。このような駆動制御部１２０は、両側面を介して一対の駆動ホイール１３０と結合され、下部面を介して本体部１１０と結合され得る。駆動制御部１２０は下部に位置する本体部１１０を支持する役割も担うことができる。
駆動制御部１２０は、駆動モータ（図示せず）、駆動軸（図示せず）、速度調整部（図示せず）等を含んで構成されることができる。
駆動モータは駆動力を生成する。
駆動軸は駆動モータによって生成された駆動力を駆動ホイール１３０に伝達する。
速度調整部は駆動ホイール１３０の回転速度を調整する。
駆動制御部１２０は、駆動モータ、駆動軸等を介して駆動ホイール１３０に駆動力を提供することができ、速度調整部等を介して駆動ホイール１３０の回転速度を制御することができる。
駆動ホイール１３０は駆動制御部１２０から提供される駆動力を用いてレール２１０上で回転する。駆動ホイール１３０はこのために駆動制御部１２０の両側面に少なくとも一対設置され得る。
ガイドホイール１４０は、キャリア搬送装置１００がレール２１０上で走行する時、レール２１０から離脱することを防止するためのものである。ガイドホイール１４０はこのために駆動制御部１２０の下部面の両側に駆動ホイール１３０に垂直方向に少なくとも一対設置され得る。
レール２１０は、キャリア搬送装置１００が移動できる経路を提供する。このようなレール２１０は半導体素子を製造する製造ラインが備えられるクリーンルームの天井（ｃｅｉｌｉｎｇ）に設置され得る。
クリーンルームの天井にはレール２１０と共にレール支持部２２０が設置され得る。この時、レール２１０はクリーンルームの天井に固定されるレール支持部２２０の両側にそれぞれ結合されて一対で備えられ得る。
レール２１０はクリーンルーム内のレイアウトに沿って直線区間、曲線区間、傾斜区間、分岐区間など多様な形態の区間が混在して形成され得る。しかし、本実施形態はこれに限定されるものではない。レール２１０は単一形態の区間（例えば、直線区間）のみで形成されることも可能である。
レール支持部２２０はクリーンルームの天井に設置されてレール２１０を支持する。このようなレール支持部２２０は、キャップ（ｃａｐ）形状、例えばＵの逆向きの形状またはΠの形状に形成され得る。
キャリア搬送装置１００は、ケーブル固定部（図示せず）、補正部（図示せず）等をさらに含み得る。
ケーブル固定部はレール２１０の下に配置されるケーブルを固定する。このようなケーブル固定部は、例えば、リッツワイヤ支持部材（ｌｉｔｚ ｗｉｒｅ ｓｕｐｐｏｒｔｅｒ）で実現することができる。
補正部はキャリア１５０を目的地まで移送させる時にキャリア１５０の位置を補正する。このような補正部は本体部１１０と駆動制御部１２０との間に配置され、キャリア１５０の位置を補正し得る。
補正部は、スライダ（ｓｌｉｄｅｒ）とロテータ（ｒｏｔａｔｏｒ）を含んで構成されることができる。
スライダはキャリア１５０を移動させる。このようなスライダは駆動制御部１２０の下部面に設置され得る。スライダはキャリア１５０を上側方向、下側方向、左側方向、右側方向などに移動させることができる。
ロテータはキャリア１５０を回転させる。このようなロテータはスライダの下部面に設置され得る。ロテータはキャリア１５０を時計回り、反時計回りなどに回転させることができる。
先立って説明した通り、本実施形態で把持部１１１および昇降部１１２はマグネット（ｍａｇｎｅｔ）と非鉄金属を用いて非接触式ダンピング構造で結合され得る。以下ではこれについて説明する。
図３は本発明の一実施形態によるキャリア搬送装置を構成する把持部と昇降部の結合形態を示す部分拡大図である。以下、説明は図３を参照する。
把持部１１１は、昇降部１１２と非接触式ダンピング構造を構成することができる。把持部１１１はこのために昇降部１１２に結合されるプレート（ｐｌａｔｅ；３１０）が金属を素材にして形成され得る。このようなプレート３１０は、例えば、銅（Ｃｕ）のような非鉄金属を素材にして形成され得る。
プレート３１０は、把持部１１１のボディーの上部面に形成され得る。しかし、本実施形態はこれに限定されるものではない。プレート３１０は把持部１１１のボディー全面にわたって形成されることも可能である。
昇降部１１２は複数の連結部材を介して把持部１１１のプレート３１０と結合され得る。昇降部１１２は、例えば、第１連結部材３２１と第２連結部材３２２を介して把持部１１１のプレート３１０と結合され得る。このような昇降部１１２は、第１連結部材３２１と第２連結部材３２２を用いて把持部１１１を昇降させ得る。
第１連結部材３２１および第２連結部材３２２の端部には第１マグネット部材３３１と第２マグネット部材３３２がそれぞれ設置され得る。具体的には、把持部１１１と昇降部１１２が非接触式ダンピング構造を構成するために、把持部１１１のプレート３１０と結合する部分に第１マグネット部材３３１と第２マグネット部材３３２が設置され得る。
マグネット部材３３１、３３２は、本実施形態で連結部材３２１、３２２の個数に対応して複数設置され得る。このようなマグネット部材３３１、３３２は、例えば、電磁石で実現することができる。
把持部１１１と昇降部１１２は、プレート３１０とマグネット部材３３１、３３２との間の相互作用によりエディカレント（ｅｄｄｙ ｃｕｒｒｅｎｔ）を発生させることができる。以下ではこれについて説明する。
図４は本発明の一実施形態によるキャリア搬送装置を構成する把持部と昇降部の非接触式ダンピング構造を説明するための例示図である。以下の説明は図４を参照する。
キャリア搬送装置１００がキャリア１５０を目的地まで搬送するためにレール２１０上で走行すると、第１マグネット部材３３１と第２マグネット部材３３２の磁束が変化して起電力が発生し得る。
この時、この起電力によってプレート３１０上には渦巻き形状の電流、すなわちエディカレント（ｅｄｄｙ ｃｕｒｒｅｎｔ；４１０）を形成することができる。そして、エディカレント４１０の流れによって二次的な電場、すなわち、第２電場４２０が発生し得る。
第２電場４２０は、既に発生した電場（すなわち、第１電場）との間で引力および斥力を作用させ、キャリア搬送装置１００の移動方向に対して相対的なダンピングフォース（ｄａｍｐｉｎｇ ｆｏｒｃｅ；４３０）を発生させることができる。
本実施形態ではこのようなダンピングフォース４３０によりキャリア搬送装置１００の移動時、把持部１１１と昇降部１１２の相対的運動を抑制することができる。また、従来とは異なり、ピン／ホルダ構造を使わないので、振動および衝撃がウエハに及ぼす影響を最小化することができる。また、把持部１１１と昇降部１１２の非接触構造の特性によりパーティクル（ｐａｒｔｉｃｌｅ）の発生を最大に抑制して衝撃緩和特性も有するようにすることができる。
一方、本実施形態では速度測定センサを活用してダンピング（ｄａｍｐｉｎｇ）の程度を能動的に制御することも可能である。以下ではこれについて説明する。
図５は本発明の他の実施形態によるキャリア搬送装置の部分拡大図である。以下の説明では図５を参照する。
速度測定センサ５１０はキャリア搬送装置１００の移動速度を測定する。このような速度測定センサ５１０は把持部１１０に設置され得る。速度測定センサ５１０は、例えば、プレート３１０の表面に設置され得る。
制御部５２０は、速度測定センサ５１０の測定値に基づいてマグネット部材３３１、３３２の強度を調整する。制御部５２０はこれにより把持部１１１および昇降部１１２の間のダンピングを能動的に制御することができる。制御部５２０は本実施形態で演算機能を備えたプロセッサが搭載されたコンピュータで実現することができる。
次に、キャリア搬送装置１００を備える搬送体制御システムについて説明する。
図６は本発明の一実施形態によるキャリア搬送装置を備える搬送体制御システムの概略的な構造を示す概念図である。
図６によれば、搬送体制御システム６００はキャリア搬送装置１００、搬送体制御装置６１０およびデータベース６２０を含んで構成されることができる。
キャリア搬送装置１００は、複数備えられてレール２１０上に配置され得る。この時、それぞれのキャリア搬送装置１００は搬送体制御装置６１０から受信された情報に基づいてキャリア１５０を目的地まで搬送することができる。
キャリア搬送装置１００は、搬送体制御装置６１０と無線で通信し、搬送体制御装置６１０から情報を受信することができる。しかし、本実施形態がこれに限定されるものではない。キャリア搬送装置１００は搬送体制御装置６１０と有線で連結されて、有線信号を介して搬送体制御装置６１０から情報を受信することも可能である。
搬送体制御装置６１０は、キャリア搬送装置１００を制御する。このような搬送体制御装置６１０は演算機能を備えたプロセッサが搭載されたコンピュータで実現することができる。
データベース６２０は、搬送体制御装置６１０と有線や無線で連結されて搬送体制御装置６１０が複数のキャリア搬送装置１００を制御するために必要な情報を提供する。
データベース６２０は、搬送体制御装置６１０の内部にメモリ部の形態を実現することができる。しかし、本実施形態がこれに限定されるものではない。データベース６２０は、搬送体制御装置６１０とは別に搬送体制御システム６００内に備えられることも可能である。
以上、図１ないし図６を参照してキャリア搬送装置１００について説明した。本実施形態によるキャリア搬送装置１００は、物流自動化サービスに適用され得、次のような効果を得ることができる。
第一に、従来の振動発生原因を除去することによってキャリア搬送装置１００の走行時移送物の振動影響を最小化することができる。
第二に、エディカレント効果を利用することによって、ピン／ホルダ除去時に憂慮される離脱を防止することができる。
第三に、エディカレントによって発生するダンピングフォース（ｄａｍｐｉｎｇ ｆｏｒｃｅ）により左右運動に伴う衝撃影響を最小化することができる。
第四に、分岐走行速度を向上させることが可能になる。
第五に、非接触構造によりパーティクル発生量を従来より低くすることができる。
第六に、ダンピング量および抗力を能動制御することによって、キャリア搬送装置１００の離脱防止およびエネルギ吸収を実現することができる。
以上、添付する図面を参照して本発明の実施形態について説明したが、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者は、本発明がその技術的思想や必須の特徴を変更せず他の具体的な形態で実施できることを理解することができる。したがって、前述した一実施形態はすべての面で例示的なものであり、限定的なものではないと理解しなければならない。
１００：キャリア搬送装置
１１０：本体部
１１１：把持部
１１２：昇降部
１２０：駆動制御部
１３０：駆動ホイール
１４０：ガイドホイール
１５０：キャリア
２１０：レール
２２０：レール支持部
３１０：プレート
３２１，３２２：連結部材
３３１，３３２：マグネット部材
５１０：速度測定センサ
５２０：制御部
６００：搬送体制御システム
６１０：搬送体制御装置
６２０：データベース

Claims (20)

  1. ウエハが収納されたキャリアを搬送するキャリア搬送装置であって、
    前記キャリアを把持する把持部と、
    前記把持部を昇降させる昇降部とを含み、
    前記把持部および前記昇降部は、非接触式ダンピング構造で連結され、相対的運動が抑制される、キャリア搬送装置。
  2. 前記把持部および前記昇降部は、マグネット部材およびプレートを用いて非接触式ダンピング構造で連結される、請求項１に記載のキャリア搬送装置。
  3. 前記把持部および前記昇降部は、前記マグネット部材および前記プレートの間に形成される電流を用いて相対的運動が抑制される、請求項２に記載のキャリア搬送装置。
  4. 前記電流は、エディカレント（Ｅｄｄｙ Ｃｕｒｒｅｎｔ）である、請求項３に記載のキャリア搬送装置。
  5. 前記昇降部は複数の連結部材を用いて前記把持部と連結され、
    前記マグネット部材は前記連結部材の端部に設置され、
    前記プレートは前記マグネット部材に隣接して前記把持部に設置される、請求項２に記載のキャリア搬送装置。
  6. 前記マグネット部材は、電磁石である、請求項２に記載のキャリア搬送装置。
  7. 前記プレートは、非鉄金属を素材にして形成される、請求項２に記載のキャリア搬送装置。
  8. 前記把持部および前記昇降部は、前記キャリア搬送装置が走行する時、相対的運動が抑制される、請求項１に記載のキャリア搬送装置。
  9. 前記マグネット部材の強度に応じて前記把持部と前記昇降部との間のダンピングが制御される、請求項２に記載のキャリア搬送装置。
  10. 前記キャリア搬送装置の速度を測定する速度測定センサと、
    前記キャリア搬送装置の速度に基づいて前記マグネット部材の強度を調整する制御部とをさらに含む、請求項２に記載のキャリア搬送装置。
  11. 前記速度測定センサは、前記プレートの表面に設置される、請求項１０に記載のキャリア搬送装置。
  12. 前記把持部および前記昇降部を含む本体部を支持し、駆動力を生成する駆動制御部と、
    前記駆動制御部の側面に設置され、前記駆動力に基づいてレール上で移動する駆動ホイールと、
    前記駆動制御部の下部に設置され、前記駆動ホイールが前記レール上で離脱することを防止するガイドホイールをさらに含む、請求項１に記載のキャリア搬送装置。
  13. ウエハが収納されたキャリアを搬送するキャリア搬送装置であって、
    前記キャリアを把持し、プレートを含む把持部と、
    前記把持部を昇降させ、マグネット部材を含む昇降部とを含み、
    前記把持部および前記昇降部は、前記マグネット部材および前記プレートを用いて非接触式ダンピング構造で連結され、
    前記キャリア搬送装置が走行する時前記マグネット部材および前記プレートの間に形成されるエディカレントを用いて前記把持部および前記昇降部の相対的運動が抑制される、キャリア搬送装置。
  14. 天井に設置されるレールと、
    前記レール上で走行し、ウエハが収納されたキャリアを目的地まで搬送する複数のキャリア搬送装置と、
    前記キャリア搬送装置の移動を制御する搬送体制御装置とを含み、
    前記キャリア搬送装置は、
    前記キャリアを把持する把持部と、
    前記把持部を昇降させる昇降部とを含み、
    前記把持部および前記昇降部は、非接触式ダンピング構造で連結され、相対的運動が抑制される、搬送体制御システム。
  15. 前記把持部および前記昇降部は、マグネット部材およびプレートを用いて非接触式ダンピング構造で連結される、請求項１４に記載の搬送体制御システム。
  16. 前記把持部および前記昇降部は、前記マグネット部材および前記プレートの間に形成される電流を用いて相対的運動が抑制される、請求項１５に記載の搬送体制御システム。
  17. 前記昇降部は、複数の連結部材を用いて前記把持部と連結され、
    前記マグネット部材は、前記連結部材の端部に設置され、
    前記プレートは、前記マグネット部材に隣接して前記把持部に設置される、請求項１５に記載の搬送体制御システム。
  18. 前記把持部および前記昇降部は、前記キャリア搬送装置が走行する時、相対的運動が抑制される、請求項１４に記載の搬送体制御システム。
  19. 前記マグネット部材の強度に応じて前記把持部と前記昇降部との間のダンピングが制御される、請求項１５に記載の搬送体制御システム。
  20. 前記キャリア搬送装置は、
    前記キャリア搬送装置の速度を測定する速度測定センサと、
    前記キャリア搬送装置の速度に基づいて前記マグネット部材の強度を調整する制御部をさらに含む、請求項１５に記載の搬送体制御システム。
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