JP2021026134A - 埋め込み型半導体光素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1Aは、第1の実施形態に係る埋め込み型半導体光素子の平面図である。図1Bは、図1Aに示す埋め込み型半導体光素子のIB−IB線断面図である。図1Cは、図1Aに示す埋め込み型半導体光素子のIC−IC線断面図である。図1Dは、図1Aに示す埋め込み型半導体光素子のID−ID線断面図である。
半導体光素子は、半導体基板18(n型InP基板)を有する。半導体基板18は、第1方向D1に延びる一対の溝20を有する。一対の溝20の形成によって、「ラビットイヤー」が形成されなくなり、寄生容量の低減が可能になる。詳しくは、製造方法の説明で述べる。半導体基板18は、凸部22を有する。凸部22は、一対の溝20の間に第1方向D1にストライプ状に延びる。凸部22は、メサストライプ構造14の下端部を構成する。
メサストライプ構造14は、図1Dに示すように、レーザ用の第1メサストライプ構造14Aを含む。第1メサストライプ構造14Aは、半導体基板18(凸部22)に近い側から順に、下光ガイド層(InGaAsP層)、第1量子井戸層24A(活性層)、上光ガイド層(InGaAsP層)、回折格子層、キャップ層(p−InP層)を含む。
半導体光素子は、量子井戸層24を有する。量子井戸層24は、レーザ用の第1量子井戸層24A及び変調器用の第2量子井戸層24Bを含む。量子井戸層24は、p型又はn型の不純物が意図的にドープされていない真正半導体からなる。量子井戸層24は、メサストライプ構造14の一部を構成する。量子井戸層24は、凸部22の上で第1方向D1にストライプ状に延びる。
メサストライプ構造14は、量子井戸層24の上にクラッド層26を有する。クラッド層26は、第1方向D1にストライプ状に延びる。クラッド層26は、p型の不純物である亜鉛(Zn)がドープされた半導体(p型InP)からなる。
メサストライプ構造14は、コンタクト層28を含む。コンタクト層28は、p型InGaAsP層及びp型InGaAs層からなり、それぞれ、p型の不純物(Zn)がドープされている。
半導体光素子は、ダミー量子井戸層30を有する。ダミー量子井戸層30は、一対の溝20との重なりを避けて、埋め込み層16と半導体基板18との間に介在する。ダミー量子井戸層30は、量子井戸層24と同じ材料からなり、量子井戸層24と厚みにおいて均しい。
半導体光素子は、埋め込み層16を有する。埋め込み層16は、半絶縁性半導体材料からなる。埋め込み層16は、鉄(Fe)やルテニウム(Ru)がドープされた半導体(例えばInP)からなる。埋め込み層16は、半導体基板18の上面に載る。
半導体光素子は、パッシベーション膜40を有する。埋め込み層16は、パッシベーション膜40によって覆われている。パッシベーション膜40は、スルーホール42を有する。スルーホール42内には、メサストライプ構造14(コンタクト層28)の上面が露出し、これに隣接して埋め込み層16の上面の一部(第1領域34及び接続領域38)も露出する。本実施形態では、ラビットイヤーが形成されていないために、第2領域36の始点を図15の状態と比べてメサストライプ構造14に近づけることが可能となる。そのため、スルーホール42の開口幅を狭くすることが可能となる。
半導体光素子は、電極44(p電極)を有する。電極44は、メサストライプ構造14の上面(コンタクト層28の上面)から埋め込み層16の上に連続的に広がる。電極44は、メサストライプ構造14の上面(コンタクト層28の上面)に接触する。電極44は、スルーホール42内でコンタクト層28と電気的に接続している。パッシベーション膜40の上に電極44が載っている。電極44は、レーザ用の第1電極44A及び変調器用の第2電極44Bを含む。本実施形態では、上述のようにラビットイヤーを形成しないことでスルーホール42の開口幅を狭くすることが可能となり、それに合わせて第2電極44Bの幅を狭くすることが可能となる。さらにラビットイヤーが大きく形成されるような厚い埋め込み層16を形成したとしてもスルーホール42幅は小さくできるために、埋め込み層16を厚くしつつ電極幅を低減するという構成を両立し、寄生容量を低減することが可能となる。
次に、第1の実施形態に係る埋め込み型半導体光素子の製造方法を説明する。
半導体材料(例えばInP)は、(111)面方向に結晶成長が進む性質を有する。そのため、図15に示すように、メサストライプ構造514の高さを超えると、その両側で約55度の角度で傾斜して結晶成長が進む。結晶成長がある程度進むと、頂点を境に傾斜が逆向きとなり、「ラビットイヤー」と呼ばれる突起500が埋め込み層516に形成される。突起500の隣に、埋め込み層516は平坦領域502を有する。
図2は、連続量子井戸層の形成プロセスを説明するための図である。半導体基板18(n型InP基板)の上に、量子井戸層24にされる部分を含む連続量子井戸層124を形成する。連続量子井戸層124は、レーザ用の第1連続量子井戸層124Aを含む。第1連続量子井戸層124Aは、図示しないレーザ用連続多層に含まれる。
図6Aは、エッチングマスクを示す図である。図6Bは、図6Aに示す構造のVIB−VIB線断面図である。図6Cは、図6Aに示す構造のVIC−VIC線断面図である。
図7Aは、エッチングを説明するための図である。図7Bは、図7Aに示す構造のVIIB−VIIB線断面図である。図7Cは、図7Aに示す構造のVIIC−VIIC線断面図である。
図8Aは、埋め込み層の形成プロセスを説明するための図である。図8Bは、図8Aに示す構造のVIIIB−VIIIB線断面図である。図8Cは、図8Aに示す構造のVIIIC−VIIIC線断面図である。
図10Aは、連続パッシベーション膜の形成プロセスを説明するための図である。図10Bは、図10Aに示す構造のXB−XB線断面である。図10Cは、図10Aに示す構造のXC−XC線断面である。図10Dは、図10Aに示す構造のXD−XD線断面である。連続パッシベーション膜140を、コンタクト層28の上及び埋め込み層16の上に形成する。
図1A〜図1Dに示すように、電極44(p電極)を形成する。電極44は、メサストライプ構造14の上面に接触するように形成する。電極44は、メサストライプ構造14の上面からパッシベーション膜40の上に連続的に広がるように形成する。また、半導体基板18の裏面には、他の電極46(n電極)を形成する。
第2の実施形態に係る埋め込み型半導体光素子の製造方法を説明する。本実施形態によって製造された埋め込み型半導体光素子は、図1に示す埋め込み型半導体光素子と同じである。本実施形態は、図5Bに示すプロセスまで、第1の実施形態と同じである。
Claims (12)
- 第1方向に延びる一対の溝を有し、前記一対の溝の間に前記第1方向にストライプ状に延びてメサストライプ構造の下端部を構成する凸部を有する半導体基板と、
前記メサストライプ構造の一部を構成するように、前記凸部の上で前記第1方向にストライプ状に延びる量子井戸層と、
埋め込みヘテロ構造を構成するように、前記第1方向に直交する第2方向に、前記メサストライプ構造の両側のそれぞれに隣接して、前記半導体基板に載る埋め込み層と、
前記メサストライプ構造の上面から前記埋め込み層の上に連続的に広がり、前記メサストライプ構造の前記上面に接触する電極と、
前記埋め込み層の上面の一部と前記電極との間に介在するパッシベーション膜と、
を有し、
前記埋め込み層の前記上面は、
前記メサストライプ構造に隣接し、前記一対の溝の対応する1つに重なって、前記メサストライプ構造から前記第2方向に高くなるように傾斜し、前記パッシベーション膜が形成されていない第1領域と、
前記一対の溝のいずれにも重ならず、平坦であり、前記第1領域以上の高さにあり、前記パッシベーション膜が形成されている第2領域と、
前記第2領域を超えない高さで、前記第1領域と前記第2領域の間にある接続領域と、
を含むことを特徴とする埋め込み型半導体光素子。 - 請求項1に記載された埋め込み型半導体光素子であって、
前記埋め込み層は、半絶縁性半導体材料からなることを特徴とする埋め込み型半導体光素子。 - 請求項1に記載された埋め込み型半導体光素子であって、
前記第1領域の下端は、前記メサストライプ構造の前記上面と同じ高さにあることを特徴とする埋め込み型半導体光素子。 - 請求項1に記載された埋め込み型半導体光素子であって、
前記一対の溝との重なりを避けて、前記埋め込み層と前記半導体基板との間に介在し、前記量子井戸層と同じ材料からなり、前記量子井戸層と厚みにおいて均しいダミー量子井戸層をさらに有することを特徴とする埋め込み型半導体光素子。 - 請求項4に記載された埋め込み型半導体光素子であって、
前記メサストライプ構造は、前記量子井戸層の上にクラッド層を有し、
前記埋め込み層と前記ダミー量子井戸層との間に介在し、前記クラッド層と同じ材料からなり、前記クラッド層よりも厚みにおいて小さいダミークラッド層をさらに有することを特徴とする埋め込み型半導体光素子。 - 請求項1に記載された埋め込み型半導体光素子であって、
前記埋め込み層は、前記一対の溝で、前記半導体基板に直接的に接触していることを特徴とする埋め込み型半導体光素子。 - 請求項1に記載された埋め込み型半導体光素子であって、
前記メサストライプ構造は、レーザ用の第1メサストライプ構造及び変調器用の第2メサストライプ構造を含み、
前記量子井戸層は、前記レーザ用の第1量子井戸層及び前記変調器用の第2量子井戸層を含み、
前記電極は、前記レーザ用の第1電極及び前記変調器用の第2電極を含むことを特徴とする埋め込み型半導体光素子。 - 第1方向に延びる一対の溝を有し、前記一対の溝の間に凸部を有し、前記凸部を下端部として前記第1方向にストライプ状に延びるメサストライプ構造を備え、前記メサストライプ構造は前記凸部の上で前記第1方向にストライプ状に延びる量子井戸層、クラッド層及びコンタクト層を含む半導体基板を用意する工程と、
前記第1方向に直交する第2方向に、前記メサストライプ構造の両側のそれぞれに隣接して、前記半導体基板に載るように、結晶成長によって、埋め込みヘテロ構造を構成する埋め込み層を形成する工程と、
前記メサストライプ構造の上面を避けて、前記埋め込み層の上面の第1領域を避けて、前記埋め込み層の前記上面の第2領域に、パッシベーション膜を形成する工程と、
前記メサストライプ構造の前記上面に接触し、前記メサストライプ構造の前記上面から前記パッシベーション膜の上に連続的に広がるように、電極を形成する工程と、
を含み、
前記第1領域は、前記メサストライプ構造に隣接し、前記一対の溝の対応する1つに重なって、前記メサストライプ構造から前記第2方向に高くなるように傾斜し、
前記第2領域は、前記一対の溝のいずれにも重ならず、平坦であり、前記第1領域以上の高さにあり、
前記埋め込み層の前記上面は、前記第2領域を超えない高さで、前記第1領域と前記第2領域の間にある接続領域をさらに含むことを特徴とする埋め込み型半導体光素子の製造方法。 - 請求項8に記載された埋め込み型半導体光素子の製造方法であって、
前記半導体基板を用意する工程は、
前記半導体基板の上に、前記量子井戸層にされる部分を含む連続量子井戸層を形成する工程と、
前記連続量子井戸層の上に、前記クラッド層にされる部分を含む連続クラッド層を形成する工程と、
前記連続クラッド層の上に、前記コンタクト層にされる部分を含む連続コンタクト層を形成する工程と、
前記連続コンタクト層、前記連続クラッド層、前記連続量子井戸層及び前記半導体基板をエッチングする工程と、
を含むことを特徴とする埋め込み型半導体光素子の製造方法。 - 請求項9に記載された埋め込み型半導体光素子の製造方法であって、
前記エッチングする工程の前に、
前記連続コンタクト層の上に、前記一対の溝に対応する開口を有するエッチングマスクを形成する工程と、
前記エッチングマスクを介して、前記半導体基板に至らないように、前記連続コンタクト層及び前記連続クラッド層に、前記一対の溝に対応する凹部を形成する工程と、
前記メサストライプ構造に対応する領域に、一部をメサマスク部として残して、前記エッチングマスクを除去する工程と、
をさらに含み、
前記エッチングする工程では、前記連続コンタクト層が前記メサマスク部に覆われた状態で、前記連続コンタクト層、前記連続クラッド層、前記連続量子井戸層及び前記半導体基板を、前記一対の溝が形成されるまでエッチングすることを特徴とする埋め込み型半導体光素子の製造方法。 - 請求項9に記載された埋め込み型半導体光素子の製造方法であって、
前記エッチングする工程の前に、
前記連続コンタクト層の上に、前記メサストライプ構造及び前記一対の溝に対応する領域を避けて、前記連続クラッド層と同じ材料からなる追加連続層を形成する工程と、
前記連続コンタクト層の上に、前記メサストライプ構造に対応する領域にメサマスク部を形成する工程と、
をさらに含み、
前記エッチングする工程では、前記連続コンタクト層が前記メサマスク部に覆われた状態で、前記追加連続層、前記連続コンタクト層、前記連続クラッド層、前記連続量子井戸層及び前記半導体基板を、前記一対の溝が形成されるまでエッチングすることを特徴とする埋め込み型半導体光素子の製造方法。 - 請求項9に記載された埋め込み型半導体光素子の製造方法であって、
前記エッチングする工程で、前記一対の溝に対応する領域を除いて、前記連続クラッド層の下層部分を残し、
前記結晶成長は、前記第1領域の下方では前記半導体基板の結晶が元になっており、
前記結晶成長は、前記第2領域の下方では前記連続クラッド層の結晶が元になっていることを特徴とする埋め込み型半導体光素子の製造方法。
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