JP2020534585A - 光学フィルタ及び当該光学フィルタを含む赤外線画像センシングシステム - Google Patents

光学フィルタ及び当該光学フィルタを含む赤外線画像センシングシステム Download PDF

Info

Publication number
JP2020534585A
JP2020534585A JP2020537281A JP2020537281A JP2020534585A JP 2020534585 A JP2020534585 A JP 2020534585A JP 2020537281 A JP2020537281 A JP 2020537281A JP 2020537281 A JP2020537281 A JP 2020537281A JP 2020534585 A JP2020534585 A JP 2020534585A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
refractive index
material layer
index material
layer
optical filter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2020537281A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6979730B2 (ja
Inventor
策 陳
策 陳
維紅 丁
維紅 丁
念恭 肖
念恭 肖
吉利 陳
吉利 陳
Original Assignee
信陽舜宇光学有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 信陽舜宇光学有限公司 filed Critical 信陽舜宇光学有限公司
Publication of JP2020534585A publication Critical patent/JP2020534585A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6979730B2 publication Critical patent/JP6979730B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/208Filters for use with infrared or ultraviolet radiation, e.g. for separating visible light from infrared and/or ultraviolet radiation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3429Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
    • C03C17/3482Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising silicon, hydrogenated silicon or a silicide
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/11Anti-reflection coatings
    • G02B1/113Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
    • G02B1/115Multilayers
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/28Interference filters
    • G02B5/281Interference filters designed for the infrared light
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/28Interference filters
    • G02B5/285Interference filters comprising deposited thin solid films
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/20Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from infrared radiation only
    • H04N23/21Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from infrared radiation only from near infrared [NIR] radiation
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N5/00Details of television systems
    • H04N5/30Transforming light or analogous information into electric information
    • H04N5/33Transforming infrared radiation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/20Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21Oxides
    • C03C2217/213SiO2
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/20Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21Oxides
    • C03C2217/214Al2O3
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/70Properties of coatings
    • C03C2217/73Anti-reflective coatings with specific characteristics
    • C03C2217/734Anti-reflective coatings with specific characteristics comprising an alternation of high and low refractive indexes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00Methods for coating glass
    • C03C2218/10Deposition methods
    • C03C2218/15Deposition methods from the vapour phase
    • C03C2218/154Deposition methods from the vapour phase by sputtering
    • C03C2218/155Deposition methods from the vapour phase by sputtering by reactive sputtering
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/28Interference filters
    • G02B5/285Interference filters comprising deposited thin solid films
    • G02B5/288Interference filters comprising deposited thin solid films comprising at least one thin film resonant cavity, e.g. in bandpass filters

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

光学フィルタ及び当該光学フィルタを含む赤外画像センシングシステムが提供される。光学フィルタは、ガラス基板1と、ガラス基板1の両面にめっきされるIR膜層2及びAR膜層3と、を備え、IR膜層2は、第1屈折率材料層と、第2屈折率材料層と、第1屈折率材料層の屈折率より大きく、かつ第2屈折率材料層の屈折率よりも小さい第3屈折率材料層を有する。当該光学フィルタによれば、近赤外線の反射防止効果に優れ、顔識別、ジェスチャ識別の精度が高まる。また、光学フィルの膜層の薄化型を図るとともに膜層の付着力を効果的に向上させることができる。【選択図】図1

Description

本発明は、光学センシング技術に関し、特に光学フィルタ及び当該光学フィルタを含む赤外線画像センシングシステムに関する。
技術の発展に伴い、スマートフォン、車載ライダー、セキュリティアクセス制御、スマートホーム、バーチャルリアリティー、3D体感ゲーム、3D撮像及び3D表示等の端末には、顔識別、ジェスチャ識別等の機能が導入されるようになった。
そして、顔識別、ジェスチャ識別を行う際に、赤外幅狭帯域光学フィルタを用いる必要がある。当該光学フィルタは、通過帯域における近赤外線の反射防止を行うとともに環境における可視光を遮断する機能を発揮する。通常、赤外幅狭帯域光学フィルタは、IRバンドパス膜系及びARロングパス膜系を有する。しかしながら、先行技術の光学フィルタでは、近赤外線の反射防止効果及び可視光の遮断効果が悪く、膜系の膜層の厚みが厚く、かつ膜層の付着力が弱いため、このような光学フィルタを人の顔識別やジェスチャ識別を行う装置に組み付けた場合であっても、結像効果が悪く、識別制度が低下するという問題があった。
本発明は、従来の光学フィルタによる近赤外線の反射防止効果が悪く、膜層の付着力が弱いという問題を解決するための光学フィルタ及び当該光学フィルタを含む赤外画像センシングシステムを提供することを目的とする。
上記目的を実現するため、本発明のある態様によれば、ガラス基板と、前記ガラス基板の両面にめっきされるIR膜層及びAR膜層と、を備え、前記IR膜層は、第1屈折率材料層と、第2屈折率材料層と、前記第1屈折率材料層の屈折率より大きく、かつ前記第2屈折率材料層の屈折率よりも小さい第3屈折率材料層を有する光学フィルタが提供される。
本発明のある態様では、前記AR膜層は、前記第1屈折率材料層及び前記第2屈折率材料層、又は前記第1屈折率材料層、前記第2屈折率材料層及び前記第3屈折率材料層を有する。
本発明のある態様では、最も前記ガラス基板から離間する前記IR膜層の外層及び前記AR膜層の外層は、いずれも、前記第1屈折率材料層である。
本発明のある態様では、前記IR膜層は、前記ガラス基板から離間する方向に沿って順にM、(LH)×n、Lに構成され、ただし、Mは、前記第3屈折率材料層を示し、Lは、前記第1屈折率材料層を示し、Hは、前記第2屈折率材料層を示し、(LH)×nは、前記第1屈折率材料層と前記第2屈折率材料層とがn回交互に設けられることを示し、nは、1以上の整数である。
本発明のある態様では、前記IR膜層は、前記ガラス基板から離間する方向に沿って順に(LH)×s、L、M、(LH)×p、Lに構成され、ただし、Mは、前記第3屈折率材料層を示し、Lは、前記第1屈折率材料層を示し、Hは、前記第2屈折率材料層を示し、(LH)×sは、前記第1屈折率材料層と前記第2屈折率材料層とがs回交互に設けられることを示し、sは、0以上の整数であり、(LH)×pは、前記第1屈折率材料層と前記第2屈折率材料層とがp回交互に設けられることを示し、pは、1以上の整数である。
本発明のある態様では、前記AR膜層は、前記ガラス基板から離間する方向に沿って順に(LH)×q、Lに構成され、ただし、Lは、前記第1屈折率材料層を示し、Hは、前記第2屈折率材料層を示し、(LH)×qは、前記第1屈折率材料層と前記第2屈折率材料層とがq回交互に設けられることを示し、qは、1以上の整数である。
本発明のある態様では、前記AR膜層は、前記ガラス基板から離間する方向に沿って順にM、(LH)×k、Lに構成され、ただし、Mは、第3屈折率材料層を示し、Lは、前記第1屈折率材料層を示し、Hは、前記第2屈折率材料層を示し、(LH)×kは、前記第1屈折率材料層と前記第2屈折率材料層とがk回交互に設けられることを示し、kは、1以上の整数である。
本発明のある態様では、前記AR膜層は、前記ガラス基板から離間する方向に沿って順に(LH)×i、L、M、(LH)×f、Lに構成され、ただし、Mは、第3屈折率材料層を示し、Lは、前記第1屈折率材料層を示し、Hは、前記第2屈折率材料層を示し、(LH)×iは、前記第1屈折率材料層と前記第2屈折率材料層とがi回交互に設けられることを示し、iは、0以上の整数であり、(LH)×fは、前記第1屈折率材料層と前記第2屈折率材料層とがf回交互に設けられることを示し、fは、1以上の整数である。
本発明のある態様では、0.05≦DL/DH≦20の条件式を満たし、0.02≦DM/DH≦50の条件式を満たし、ただし、DLは、前記第1屈折率材料層の厚みを示し、DHは、前記第2屈折率材料層の厚みを示し、DMは、第3屈折率材料層の厚みを示す。
本発明のある態様では、前記IR膜層の前記第2屈折率材料層は、水素化ケイ素層であり、800から1200nmの波長範囲における前記第2屈折率材料層の屈折率が3よりも大きく、消衰係数が0.02よりも小さく、850nmにおける前記第2屈折率材料層の屈折率が3.6よりも大きく、940nmにおける前記第2屈折率材料層の屈折率が3.55よりも大きい。
本発明のある態様では、前記水素化ケイ素層は、スパッタリングによりめっきされる材料層であり、スパッタリングの温度範囲は、80から300℃であり、水素の流量は、10から50sccmであり、前記スパッタリングの速度は、0.1nm/sから1nm/sである。
本発明のある態様では、800から1200nmの波長範囲における前記第3屈折率材料層の屈折率が4よりも小さく、800から1200nmの波長範囲における前記第1屈折率材料層の屈折率が3よりも小さい。
本発明のある態様では、800から1200nmの波長範囲における前記IR膜層は、一つの通過帯域と、それぞれ前記通過帯域の両側に位置する二つの遷移帯域と、それぞれ二つの前記遷移帯域の外側に位置する二つの遮断帯域と、を有し、前記通過帯域は、帯域幅が400nmよりも小さく、透過率が90%よりも大きく、前記遷移帯域は、透過率が0.1%から90%であり、前記遮断帯域は、透過率が0.1%よりも小さい。
本発明のある態様では、350から1200nmの波長範囲における前記AR膜層は、350nmから1200nmに向かう方向に沿って順に配列される遮断帯域、遷移帯域及び通過帯域を有し、前記通過帯域は、透過率が90%よりも大きく、前記遷移帯域は、透過率が0.1%から90%であり、前記遮断帯域は、透過率が0.1%よりも小さい。
本発明のある態様では、半値幅は、120nmよりも小さく、前記IR膜層及び前記AR膜層の合計厚みは、9.8μmよりも小さい。
本発明のある態様では、入射角が0°から30°に変化すると、通過帯域の中心波のシフト量は、20nmよりも小さい。
上記目的を実現するため、本発明のある他の態様によれば、IR発射光源と第1レンズユニットとを有する光源手段と、第2レンズユニットと、請求項1から16のいずれか1項に記載の光学フィルタと、赤外画像センサと、を有する受光手段と、を備える赤外画像センシングシステムが提供される。
本発明のある態様によれば、IR膜層及びAR膜層を上記のように設けることで、近赤外線の高透過率を有効に保証するとともに、光学フィルタの通過帯域の中心波長のシフト量を20nm以下にすることができる。また、IR膜層及びAR膜層に第3屈折率材料層Mを上記のように配列されるように設けることで、本発明の光学フィルタの合計膜層厚みを有効に減少するとともに、膜層の付着力を向上させることができる。
本発明のある他の態様によれば、本発明の光学フィルタを含む赤外画像センシングシステムが提供される。本発明の光学フィルタを設けることで、撮像時における近赤外線の反射防止及びその他の帯域の光線の遮断を行うことができ、人の顔識別やジェスチャ識別の精度を向上させることができる。
本発明の実施形態に係るIR膜層の構成を示す概略構成図である。 本発明の実施形態に係るAR膜層の構成を示す概略構成図である。 実施例1におけるIR膜層の光線波長透過率を示す曲線図である。 実施例1におけるAR膜層の光線波長透過率を示す曲線図である。 実施例2におけるIR膜層の光線波長透過率を示す曲線図である。 実施例2におけるAR膜層の光線波長透過率を示す曲線図である。 実施例3におけるIR膜層の光線波長透過率を示す曲線図である。 実施例3におけるAR膜層の光線波長透過率を示す曲線図である。 本発明の光学フィルタを含む赤外画像センシングシステムを示す概略構成図である。
本発明の実施形態又は先行技術の技術手段をより明確に説明するために、以下実施形態に用いられる図面を簡単に紹介する。明らかに、下記の図面は、本発明の実施形態を説明するためのものに過ぎない。当業者ならば、これらの図面に基づいて、その他の図面を容易になし得てもよい。
本発明の実施形態を説明するための用語として、「横方向」、「縦方向」、「上」、「下」、「前」、「後」、「左」、「右」、「立直」、「水平」、「頂」、「底」、「内」、「外」等が用いられる。これらの用語で示される方位又は位置関係は、図面で示される方位又は位置関係に基づき、本発明を分かりやすく説明するためのものであり、本発明を限定するものではない。
以下、図面を参照しながら本発明を実施形態を用いて詳細に説明する。本発明の実施形態は、以下の実施形態に限定されるものではない。
図1は、本発明の実施形態に係るIR膜層の構成を示す概略構成図である。図2は、本発明の実施形態に係るAR膜層の構成を示す概略構成図である。図1及び図2に示すように、本発明の光学フィルタは、ガラス基板1、IR膜層2及びAR膜層3を備える。本発明のガラス基板1は、D263T又はAF32を用いてもよい。IR膜層2は、赤外線遮断膜層である。AR膜層3は、反射低減膜、すなわち、反射防止膜であり、特定範囲の波長において反射防止の効果を奏する。IR膜層2及びAR膜層3は、それぞれガラス基板1の両面にめっきされる。本実施形態では、IR膜層2は、ガラス基板1の上面にめっきさるとともに、AR膜層3は、ガラス基板1の下面にめっきされる。
図1に示すように、本実施形態では、本発明の光学フィルタのIR膜層2は、第1屈折率材料層L、第3屈折率材料層M及び第2屈折率材料層Hを有する。本実施形態では、IR膜層2は、四層の材料層を有し、具体的には、ガラス基板1から離間する方向に沿って順に積層される第3屈折率材料層M、第1屈折率材料層L、第2屈折率材料層H及び第1屈折率材料層Lを有する。このような構成をM、(LH)、Lとすることができる。すなわち、本実施形態では、IR膜層2は、それぞれガラス基板1の上面にめっきされる第3屈折率材料層M、最もガラス基板1から離間する外層としての第1屈折率材料層L、及び第3屈折率材料層Mと第1屈折率材料層Lとの間に位置する中間材料層を有する三層構造である。本実施形態では、中間材料層は、順に積層される第1屈折率材料層L及び第2屈折率材料層Hを有する。本発明のIR膜層2の中間材料層は、複数の第1屈折率材料層Lと第2屈折率材料層Hとが交互に設けられることにより構成される。すなわち、本発明のIR膜層2の構成をM、(LH)×n、Lとすることができる。すなわち、IR膜層2は、ガラス基板1から離間する方向に沿って順に積層される第3屈折率材料層M、中間材料層及び第1屈折率材料層Lを有し、中間材料層は、第1屈折率材料層Lと第2屈折率材料層Hとがn回交互に設けられることにより構成され、nは、1以上の整数である。
また、本発明のIR膜層2は、上述した実施形態の構成形態のほか、他の実施形態を有してもよい。本発明の第2実施形態に係るIR膜層2によれば、IR膜層2の構成を(LH)×s、L、M、(LH)×p、Lとすることができる。すなわち、IR膜層2は、ガラス基板1から離間する方向に沿って順に積層される五層構成を有する。ここでは、第1層構成は、第1屈折率材料層Lと第2屈折率材料層Hとがs回交互に設けられることにより構成され、sは、0以上の整数である。第2層構成は、第1屈折率材料層Lであり、第3層構成は、第3屈折率材料層Mである。第4層構成は、第1屈折率材料層Lと第2屈折率材料層Hとがp回交互に設けられることにより構成され、pは、1以上の整数である。第5層構成は、最もガラス基板1から離間する外層としての第1屈折率材料層Lである。
本発明のIR膜層2は、第3屈折率材料層M、第1屈折率材料層L及び第2屈折率材料層Hを有し、これらを上述した実施形態のように設けることで、膜層の付着力を有効に向上させることができるので、近赤外線の透過率曲線特性を向上させることができる。
図2に示すように、本発明のAR膜層3は、ガラス基板1の下面にめっきされる。本実施形態では、AR膜層3は、低屈折率材料層L及び高屈折率材料層Hを有し、具体的には、ガラス基板1から離間する方向に沿って順に積層される第1屈折率材料層L、第2屈折率材料層H及び第1屈折率材料層Lを有する。本実施形態では、AR膜層3の構成を(LH)、Lとすることができる。すなわち、AR膜層3は、ガラス基板1から離間する方向に沿って順に積層される第1構成層及び最もガラス基板1から離間する外層としての第1屈折率材料層Lを有する。ここでは、第1構成層は、第1屈折率材料層Lと第2屈折率材料層Hが交互にめっきされることにより構成される。また、本発明のAR膜層3の第1構成層では、第1屈折率材料層Lと第2屈折率材料層Hとが交互に積層されるのは、複数回であってもよい。すなわち、AR膜層3の構成を(LH)×q、Lとすることができる。ここでは、(LH)×qは、第1屈折率材料層Lと第2屈折率材料層Hとがq回交互に設けられることを示し、qは、1以上の整数である。
本発明の第2実施形態に係るAR膜層3によれば、AR膜層3の構成をM、(LH)×k、Lとすることができる。すなわち、AR膜層3は、ガラス基板1から離間する方向に沿って順に積層される第3屈折率材料層M、中間材料層及び第1屈折率材料層Lを有する。ここでは、中間材料層は、第1屈折率材料層Lと第2屈折率材料層Hとがk回交互に設けられることにより構成され、kは、1以上の整数である。
また、本発明のAR膜層3が第1屈折率材料層、第2屈折率材料層及び第3屈折率材料層を有する場合、AR膜層3の構成を(LH)×i、L、M、(LH)×f、Lとすることができる。すなわち、AR膜層3は、ガラス基板1から離間する方向に沿って順に積層される五層構成を有する。第1層構成は、第1屈折率材料層Lと第2屈折率材料層Hとがi回交互に設けられることにより構成され、iは、0以上の整数である。第2層構成は、第1屈折率材料層Lであり、第3層構成は、第3屈折率材料層Mである。第4層構成は、第1屈折率材料層Lと第2屈折率材料層Hとがf回交互に設けられることにより構成され、fは、1以上の整数である。第5層構成は、最もガラス基板1から離間する外層としての第1屈折率材料層Lである。
本発明の光学フィルタが有するIR膜層2及びAR膜層3は、上述した実施形態から選択されてもよい。すなわち、本発明のIR膜層2は、二つの実施形態を有し、AR膜層3は、三つの実施形態を有し、本発明の光学フィルタを製造するとき、IR膜層2及びAR膜層3の実施形態を自由に組み合わせてもよい。ここで注意されたいのは、いかなる実施形態を用いた場合であっても、IR膜層2の外層及びAR膜層3の外層は、いずれも低屈折率材料層である。
本発明の光学フィルタでは、IR膜層2における高屈折率材料層Hは、水素化ケイ素層である。水素化ケイ素層は、スパッタリングによりめっきされる。スパッタリングの温度範囲を80から300℃とし、水素の流量を10から50sccmとし、スパッタリングの速度を0.1nm/sから1nm/sとすることにより、本発明の第2屈折率材料層Hは、800から1200nmの範囲内における屈折率が3よりも大きく、消衰係数が0.002よりも小さく、850nmにおける屈折率が3.6よりも大きく、960nmにおける屈折率が3.55よりも大きくなる。このため、本発明の光学フィルタの通過帯域の中心波長のシフト量を容易に調整することができる。本発明のAR膜層3における第2屈折率材料層Hは、水素化ケイ素層から構成されてもよいし、その他の材料層から実現されてもよい。すなわち、第2屈折率材料層Hの屈折率を第3屈折率材料層M及び第1屈折率材料層Lの屈折率よりも大きくすればよい。
IR膜層2及びAR膜層3における第3屈折率材料層Mに用いる材料は、Sb23、Nb25、Ta25、TiO2、Al23、ZrO2、Pr611、La23、Si2N、SiN、Si23、Si34の一つ又は複数から選択されてもよい。IR膜層2及びAR膜層3における第1屈折率材料層Lに用いる材料は、SiO2、Nb25、Ta25、TiO2、Al23、ZrO2、Pr611、La23、Si2N、SiN、Si23、Si34の一つ又は複数から選択されてもよい。800から1200nm波長範囲内において、第3屈折率材料層Mの屈折率が4よりも小さく、第1屈折率材料層Lの屈折率が3よりも小さい。第3屈折率材料層Mの屈折率が第1屈折率材料層Lの屈折率よりも大きいことを保証する必要がある。すなわち、第1屈折率材料層Lが用いる材料を選択した後、第3屈折率材料層Mに用いる材料の屈折率が第1屈折率材料層Lに用いる材料の屈折率よりも大きくなるように第3屈折率材料層Mが用いる材料を選択すればよい。第3屈折率材料層M及び第1屈折率材料層Lは、スパッタリングによりめっきされてもよいし、真空蒸着設備によりめっきされてもよい。
以下、本発明の光学フィルタを具体的な実施例により詳細に説明する。
実施例1
本実施形態では、光学フィルタのIR膜層2の構成を、ガラス基板1から離間する方向に沿ってM、(LH)×n、Lとし、nは、11である。ここでは、第2屈折率材料層H、第3屈折率材料層M及び第1屈折率材料層Lの光学厚みは、それぞれ参考波長の1/4であり、第2屈折率材料層Hの物理的厚みと第1屈折率材料層Lの物理的厚みとの間の関係は、0.05≦DL/DH≦20を満たし、第3屈折率材料層Mの物理的厚みと第2屈折率材料層Hの物理的厚みとの間の関係は、0.02≦DM/DH≦50を満たす。IR膜層2の合計厚みは、3.41μmである。AR膜層3の構成を、ガラス基板1から離間する方向に沿って(LH)×q、Lとし、qは、12である。第2屈折率材料層Hの物理的厚みと第1屈折率材料層Lの物理的厚みとの間の関係は、0.05≦DL/DH≦20を満たし、第3屈折率材料層Mの物理的厚みと第2屈折率材料層Hの物理的厚みとの間の関係は、0.02≦DM/DH≦50を満たす。
すなわち、本実施形態では、IR膜層2は、24の材料層を有し、AR膜層3は、25の材料層を有する。本実施形態では、水素化ケイ素層を第2屈折率材料層Hとし、アルミナを第3屈折率材料層Mとし、シリカを第1屈折率材料層Lとする。次式(1)を用いて、次式(2)に代入することにより、次表(1−1)、次表(1−2)及び次表(2)に示すような膜層パラメータが得られる。
Figure 2020534585
Figure 2020534585
ただし、OTiは、第i層膜層の光学厚みを示し、OT0は、設計波長の光学厚みの1/4を示し、piは、円周率を示し、fは、変調係数を示し、0から1の間にある。
次表(1−1)及び次表(1−2)は、IR膜層2の各材料層のパラメータを示す。
Figure 2020534585
Figure 2020534585
次表(2)は、AR膜層3の各材料のパラメータを示す。
Figure 2020534585
図3に示すように、実施例1における各条件パラメータを参照しながら本発明の光学フィルタのIR膜層2を設ける。800から1200nm波長範囲内において、本発明のIR膜層2は、一つの通過帯域、二つの遮断帯域及び二つの遷移帯域を有する。すなわち、IR膜層2は、800から1200nmの方向に沿って順に設けられる遮断帯域、遷移帯域、通過帯域、遷移帯域及び遮断帯域を有する。通過帯域は、光線が通過可能な帯域である。遮断帯域は、光線が通過不能な帯域である。遷移帯域は、遮断帯域と通過帯域との間に位置する帯域である。図3に示すように、通過帯域の帯域幅は、400nmよりも小さく、透過率が90%よりも大きい。遷移帯域の透過率は、0.1%から90%である。遮断帯域は、透過率が0.1%よりも小さい。
図4に示すように、実施例1における各条件パラメータを参照しながら本発明の光学フィルタのAR膜層3を設ける。350から1200nm波長範囲内において、本発明のAR膜層3は、一つの通過帯域、一つの遮断帯域及び一つの遷移帯域を有する。すなわち、AR膜層3は、350から1200nmの方向に沿って順に設けられる、遮断帯域、遷移帯及び域通過帯域を有する。図4に示すように、通過帯域の帯域幅は、透過率が90%よりも大きい。遷移帯域の透過率は、0.1%から90%である。遮断帯域は、透過率が0.1%よりも小さい。
本発明の光学フィルタを実施例1における各条件パラメータに従って設けることにより、本発明の光学フィルタの半値幅が120nmよりも小さく、IR膜層2及びAR膜層3の合計厚みが9.8μmよりも小さく、入射角が0°から30°に変化すると、通過帯域の中心波長のシフト量は、20nmよりも小さいことを保証することができる。
実施例2
本実施形態では、光学フィルタのIR膜層2の構成を、ガラス基板1から離間する方向に沿って(LH)×s、L、M、(LH)×p、Lとし、s及びpは、それぞれ5及び6である。ここでは、第2屈折率材料層H、第3屈折率材料層M及び第1屈折率材料層Lの光学厚みは、それぞれ参考波長の1/4であり、第2屈折率材料層Hの物理的厚みと第1屈折率材料層Lの物理的厚みとの間の関係は、0.05≦DL/DH≦20を満たし、第3屈折率材料層Mの物理的厚みと第2屈折率材料層Hの物理的厚みとの間の関係は、0.02≦DM/DH≦50を満たす。IR膜層2の合計厚みは、3.2μmである。AR膜層3の構成を、ガラス基板1から離間する方向に沿って(LH)×q、Lとし、qは、12である。第2屈折率材料層Hの物理的厚みと第1屈折率材料層Lの物理的厚みとの間の関係は、0.05≦DL/DH≦20を満たし、第3屈折率材料層Mの物理的厚みと第2屈折率材料層Hの物理的厚みとの間の関係は、0.02≦DM/DH≦50を満たす。
すなわち、本実施形態では、IR膜層2は、25の材料層を有し、AR膜層3は、25の材料層を有する。本実施形態では、水素化ケイ素層を第2屈折率材料層Hとし、アルミナを第3屈折率材料層Mとし、シリカを第1屈折率材料層Lとする。上式(1)を用いて、上式(2)に代入することにより、次表(3−1)、次表(3−2)、次表(4)に示すような膜層パラメータが得られる。
次表(3−1)及び次表(3−2)は、IR膜層2の各材料層のパラメータを示す。
Figure 2020534585
Figure 2020534585
次表(4)は、AR膜層3の各材料のパラメータを示す。
Figure 2020534585
図5に示すように、実施例2における各条件パラメータを参照しながら本発明の光学フィルタのIR膜層2を設ける。800から1200nm波長範囲内において、本発明のIR膜層2は、一つの通過帯域、二つの遮断帯域及び二つの遷移帯域を有する。すなわち、IR膜層2は、800から1200nmの方向に沿って順に設けられる遮断帯域、遷移帯域、通過帯域、遷移帯域及び遮断帯域を有する。通過帯域は、光線が通過可能な帯域である。遮断帯域は、光線が通過不能な帯域である。遷移帯域は、遮断帯域と通過帯域との間に位置する帯域である。図3に示すように、通過帯域の帯域幅は、400nmよりも小さく、透過率が90%よりも大きい。遷移帯域の透過率は、0.1%から90%である。遮断帯域は、透過率が0.1%よりも小さい。
図6に示すように、実施例2における各条件パラメータを参照しながら本発明の光学フィルタのAR膜層3を設ける。350から1200nm波長範囲内において、本発明のAR膜層3は、一つの通過帯域、一つの遮断帯域及び一つの遷移帯域を有する。すなわち、AR膜層3は、350から1200nmの方向に沿って順に設けられる、遮断帯域、遷移帯及び域通過帯域を有する。図6に示すように、通過帯域の帯域幅は、透過率が90%よりも大きい。遷移帯域の透過率は、0.1%から90%である。遮断帯域は、透過率が0.1%よりも小さい。
本発明の光学フィルタを実施例2における各条件パラメータに従って設けることにより、同様に、本発明の光学フィルタの半値幅が120nmよりも小さく、IR膜層2及びAR膜層3の合計厚みが9.8μmよりも小さく、入射角が0°から30°に変化すると、通過帯域の中心波長のシフト量は、20nmよりも小さいことを保証することができる。
実施例3
本実施形態では、光学フィルタのIR膜層2の構成を、ガラス基板1から離間する方向に沿ってM、(LH)×n、Lとし、nは、11である。ここでは、第2屈折率材料層H、第3屈折率材料層M及び第1屈折率材料層Lの光学厚みは、それぞれ参考波長の1/4であり、第2屈折率材料層Hの物理的厚みと第1屈折率材料層Lの物理的厚みとの間の関係は、0.05≦DL/DH≦20を満たし、第3屈折率材料層Mの物理的厚みと第2屈折率材料層Hの物理的厚みとの間の関係は、0.02≦DM/DH≦50を満たす。IR膜層2の合計厚みは、4.64μmである。AR膜層3の構成を、ガラス基板1から離間する方向に沿って(LH)×q、Lとし、qは、12である。第2屈折率材料層Hの物理的厚みと第1屈折率材料層Lの物理的厚みとの間の関係は、0.05≦DL/DH≦20を満たし、第3屈折率材料層Mの物理的厚みと第2屈折率材料層Hの物理的厚みとの間の関係は、0.02≦DM/DH≦50を満たす。
すなわち、本実施形態では、IR膜層2は、24の材料層を有し、AR膜層3は、25の材料層を有する。本実施形態では、水素化ケイ素層を第2屈折率材料層Hとし、Nb25を第3屈折率材料層Mとし、シリカを第1屈折率材料層Lとする。上式(1)を用いて、上式(2)に代入することにより、次表(5)、次表(6−1)及び次表(6−2)に示すような膜層パラメータが得られる。
次表(5)は、IR膜層2の各材料層のパラメータを示す。
Figure 2020534585
次表(6−1)及び次表(6−2)は、AR膜層3の各材料のパラメータを示す。
Figure 2020534585
Figure 2020534585
図7に示すように、実施例3における各条件パラメータを参照しながら本発明の光学フィルタのIR膜層2を設ける。800から1200nm波長範囲内において、本発明のIR膜層2は、一つの通過帯域、二つの遮断帯域及び二つの遷移帯域を有する。すなわち、IR膜層2は、800から1200nmの方向に沿って順に設けられる遮断帯域、遷移帯域、通過帯域、遷移帯域及び遮断帯域を有する。通過帯域は、光線が通過可能な帯域である。遮断帯域は、光線が通過不能な帯域である。遷移帯域は、遮断帯域と通過帯域との間に位置する帯域である。図3に示すように、通過帯域の帯域幅は、400nmよりも小さく、透過率が90%よりも大きい。遷移帯域の透過率は、0.1%から90%である。遮断帯域は、透過率が0.1%よりも小さい。
図8に示すように、実施例3における各条件パラメータを参照しながら本発明の光学フィルタのAR膜層3を設ける。350から1200nm波長範囲内において、本発明のAR膜層3は、一つの通過帯域、一つの遮断帯域及び一つの遷移帯域を有する。すなわち、AR膜層3は、350から1200nmの方向に沿って順に設けられる、遮断帯域、遷移帯及び域通過帯域を有する。図8に示すように、通過帯域の帯域幅は、透過率が90%よりも大きい。遷移帯域の透過率は、0.1%から90%である。遮断帯域は、透過率が0.1%よりも小さい。
本発明の光学フィルタを実施例3における各条件パラメータに従って設けることにより、同様に、本発明の光学フィルタの半値幅が120nmよりも小さく、IR膜層2及びAR膜層3の合計厚みが9.8μmよりも小さく、入射角が0°から30°に変化すると、通過帯域の中心波長のシフト量は、20nmよりも小さいことを保証することができる。
本発明の光学フィルタは、IR膜層2及びAR膜層3を上記のように設けることで、近赤外線の高透過率を有効に保証するとともに、光学フィルタの通過帯域の中心波長のシフト量を20nm以下にすることができる。また、IR膜層2及びAR膜層に第3屈折率材料層Mを上記のように配列されるように設けることで、本発明の光学フィルタの合計膜層厚みを有効に減少するとともに、膜層の付着力を向上させることができる。
本発明によれば、本発明の光学フィルタを含む赤外画像センシングシステムが提供される。図9は、本発明の光学フィルタを含む赤外画像センシングシステムを示す概略構成図である。図9に示すように、本発明の赤外画像センシングシステムは、光源手段4及び受光手段5を備える。本実施形態では、光源手段4は、IR発射光源41と第1レンズユニット42とを有する。受光手段5は、第2レンズユニット51と、本発明の光学フィルタ52と、赤外画像センサ53と、を有する。本実施形態では、IR発射光源41は、VCSEL(垂直共振器面発光レーザ)、LD又はLEDから構成されてもよい。第1レンズユニット42は、近赤外線コリメートレンズ及び光回折素子を含む。第2レンズユニット51は、普通の光学レンズを用いてもよい。
本発明の赤外画像センシングシステムの動作は、下記のフローを含む。IR発射光源41がオンにされると、光が第1レンズユニット42によってコリメートされた後、顔/手6に投射される。第2レンズユニット51は、画像を撮像し、赤外画像センサ53は、アルゴリズム計算を実行した後に3D画像を生成する。そして、顔識別又はジェスチャ識別を行う。本発明の光学フィルタ52を設けることにより、撮像時における近赤外線の反射防止及びその他の帯域の光線の遮断を行うことができ、人の顔識別やジェスチャ識別の精度を向上させることができる。
以上、本実施形態について説明したが、上記実施形態は、本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。
本願は2018年8月6日に中国特許庁に出願された出願番号201810884048.1(発明の名称:光学フィルタ及び当該光学フィルタを含む近赤外線画像センシングシステム)に基づく優先権を主張し、この出願の全ての内容は参照により本明細書に組み込まれる。
1 ガラス基板
2 IR膜層
3 AR膜層
L 低屈折率材料層
M 中屈折率材料層
H 高屈折率材料層
4 光源手段
41 IR光源
42 第1レンズユニット
5 受光手段
51 第2レンズユニット
52 光学フィルタ
53 赤外画像センシングシステム
6 人の顔/手

Claims (17)

  1. ガラス基板(1)と、
    前記ガラス基板(1)の両面にめっきされるIR膜層(2)及びAR膜層(3)と、を備え、
    前記IR膜層(2)は、第1屈折率材料層と、第2屈折率材料層と、前記第1屈折率材料層の屈折率より大きく、かつ前記第2屈折率材料層の屈折率よりも小さい第3屈折率材料層を有する、
    ことを特徴とする光学フィルタ。
  2. 前記AR膜層(3)は、前記第1屈折率材料層及び前記第2屈折率材料層、又は前記第1屈折率材料層、前記第2屈折率材料層及び前記第3屈折率材料層を有する、
    ことを特徴とする請求項1に記載の光学フィルタ。
  3. 最も前記ガラス基板(1)から離間する前記IR膜層(2)の外層及び前記AR膜層(3)の外層は、いずれも、前記第1屈折率材料層である、
    ことを特徴とする請求項1に記載の光学フィルタ。
  4. 前記IR膜層(2)は、前記ガラス基板(1)から離間する方向に沿って順にM、(LH)×n、Lに構成され、
    ただし、Mは、前記第3屈折率材料層を示し、Lは、前記第1屈折率材料層を示し、Hは、前記第2屈折率材料層を示し、(LH)×nは、前記第1屈折率材料層と前記第2屈折率材料層とがn回交互に設けられることを示し、nは、1以上の整数である、
    ことを特徴とする請求項3に記載の光学フィルタ。
  5. 前記IR膜層(2)は、前記ガラス基板(1)から離間する方向に沿って順に(LH)×s、L、M、(LH)×p、Lに構成され、
    ただし、Mは、前記第3屈折率材料層を示し、Lは、前記第1屈折率材料層を示し、Hは、前記第2屈折率材料層を示し、(LH)×sは、前記第1屈折率材料層と前記第2屈折率材料層とがs回交互に設けられることを示し、sは、0以上の整数であり、(LH)×pは、前記第1屈折率材料層と前記第2屈折率材料層とがp回交互に設けられることを示し、pは、1以上の整数である、
    ことを特徴とする請求項3に記載の光学フィルタ。
  6. 前記AR膜層(3)は、前記ガラス基板(1)から離間する方向に沿って順に(LH)×q、Lに構成され、
    ただし、Lは、前記第1屈折率材料層を示し、Hは、前記第2屈折率材料層を示し、(LH)×qは、前記第1屈折率材料層と前記第2屈折率材料層とがq回交互に設けられることを示し、qは、1以上の整数である、
    ことを特徴とする請求項2に記載の光学フィルタ。
  7. 前記AR膜層(3)は、前記ガラス基板(1)から離間する方向に沿って順にM、(LH)×k、Lに構成され、
    ただし、Mは、第3屈折率材料層を示し、Lは、前記第1屈折率材料層を示し、Hは、前記第2屈折率材料層を示し、(LH)×kは、前記第1屈折率材料層と前記第2屈折率材料層とがk回交互に設けられることを示し、kは、1以上の整数である、
    ことを特徴とする請求項2に記載の光学フィルタ。
  8. 前記AR膜層(3)は、前記ガラス基板(1)から離間する方向に沿って順に(LH)×i、L、M、(LH)×f、Lに構成され、
    ただし、Mは、第3屈折率材料層を示し、Lは、前記第1屈折率材料層を示し、Hは、前記第2屈折率材料層を示し、(LH)×iは、前記第1屈折率材料層と前記第2屈折率材料層とがi回交互に設けられることを示し、iは、0以上の整数であり、(LH)×fは、前記第1屈折率材料層と前記第2屈折率材料層とがf回交互に設けられることを示し、fは、1以上の整数である、
    ことを特徴とする請求項2に記載の光学フィルタ。
  9. 0.05≦DL/DH≦20の条件式を満たし、
    0.02≦DM/DH≦50の条件式を満たし、
    ただし、DLは、前記第1屈折率材料層の厚みを示し、DHは、前記第2屈折率材料層の厚みを示し、DMは、第3屈折率材料層の厚みを示す、
    ことを特徴とする請求項3から8のいずれか1項に記載の光学フィルタ。
  10. 前記IR膜層(3)の前記第2屈折率材料層は、水素化ケイ素層であり、
    800から1200nmの波長範囲における前記第2屈折率材料層の屈折率が3よりも大きく、消衰係数が0.002よりも小さく、
    850nmにおける前記第2屈折率材料層の屈折率が3.6よりも大きく、940nmにおける前記第2屈折率材料層の屈折率が3.55よりも大きい、
    ことを特徴とする請求項1に記載の光学フィルタ。
  11. 前記水素化ケイ素層は、スパッタリングによりめっきされる材料層であり、
    スパッタリングの温度範囲は、80から300℃であり、
    水素の流量は、10から50sccmであり、
    前記スパッタリングの速度は、0.1nm/sから1nm/sである、
    ことを特徴とする請求項10に記載の光学フィルタ。
  12. 800から1200nmの波長範囲における前記第3屈折率材料層の屈折率が4よりも小さく、
    800から1200nmの波長範囲における前記第1屈折率材料層の屈折率が3よりも小さい、
    ことを特徴とする請求項1に記載の光学フィルタ。
  13. 800から1200nmの波長範囲における前記IR膜層(2)は、一つの通過帯域と、それぞれ前記通過帯域の両側に位置する二つの遷移帯域と、それぞれ二つの前記遷移帯域の外側に位置する二つの遮断帯域と、を有し、
    前記通過帯域は、帯域幅が400nmよりも小さく、透過率が90%よりも大きく、
    前記遷移帯域は、透過率が0.1%から90%であり、
    前記遮断帯域は、透過率が0.1%よりも小さい、
    ことを特徴とする請求項1に記載の光学フィルタ。
  14. 350から1200nmの波長範囲における前記AR膜層(3)は、350nmから1200nmに向かう方向に沿って順に配列される遮断帯域、遷移帯域及び通過帯域を有し、
    前記通過帯域は、透過率が90%よりも大きく、
    前記遷移帯域は、透過率が0.1%から90%であり、
    前記遮断帯域は、透過率が0.1%よりも小さい、
    ことを特徴とする請求項1に記載の光学フィルタ。
  15. 半値幅は、120nmよりも小さく、
    前記IR膜層(2)及び前記AR膜層(3)の合計厚みは、9.8μmよりも小さい、
    ことを特徴とする請求項1に記載の光学フィルタ。
  16. 入射角が0°から30°に変化すると、通過帯域の中心波長のシフト量は、20nmよりも小さい、
    ことを特徴とする請求項1に記載の光学フィルタ。
  17. IR発射光源(41)と第1レンズユニット(42)とを有する光源手段(4)と、
    第2レンズユニット(51)と、請求項1から16のいずれか1項に記載の光学フィルタ(52)と、赤外画像センサ(53)と、を有する受光手段(5)と、を備える、
    ことを特徴とする赤外画像センシングシステム。
JP2020537281A 2018-08-06 2019-03-12 光学フィルタ及び当該光学フィルタを含む赤外線画像センシングシステム Active JP6979730B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810884048.1A CN108897085B (zh) 2018-08-06 2018-08-06 滤光片及包含该滤光片的红外图像传感系统
CN201810884048.1 2018-08-06
PCT/CN2019/077849 WO2020029579A1 (zh) 2018-08-06 2019-03-12 滤光片及包含该滤光片的红外图像传感系统

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020534585A true JP2020534585A (ja) 2020-11-26
JP6979730B2 JP6979730B2 (ja) 2021-12-15

Family

ID=64353520

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020537281A Active JP6979730B2 (ja) 2018-08-06 2019-03-12 光学フィルタ及び当該光学フィルタを含む赤外線画像センシングシステム

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11828961B2 (ja)
EP (1) EP3671294A4 (ja)
JP (1) JP6979730B2 (ja)
KR (1) KR20210038408A (ja)
CN (1) CN108897085B (ja)
WO (1) WO2020029579A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022515987A (ja) * 2018-12-27 2022-02-24 ヴァイアヴィ・ソリューションズ・インコーポレイテッド 光学フィルタ

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108897085B (zh) * 2018-08-06 2024-07-16 信阳舜宇光学有限公司 滤光片及包含该滤光片的红外图像传感系统
WO2020104381A2 (en) * 2018-11-19 2020-05-28 Essilor International Optical lens having a mirror coating and a multilayer system for improving abrasion-resistance
EP3654072B1 (en) 2018-11-19 2024-09-04 Essilor International Optical lens having a filtering interferential coating and a multilayer system for improving abrasion-resistance
EP3654071B1 (en) 2018-11-19 2024-07-31 Essilor International Optical lens having an interferential coating and a multilayer system for improving abrasion-resistance
CN109655954B (zh) * 2019-03-05 2024-04-16 浙江水晶光电科技股份有限公司 滤光片及其制备方法、指纹识别模组及电子设备
WO2020203991A1 (ja) * 2019-03-29 2020-10-08 積水化学工業株式会社 合わせガラス、及び車両システム
US11314004B2 (en) 2019-04-08 2022-04-26 Visera Technologies Company Limited Optical filters and methods for forming the same
CN110177191B (zh) * 2019-05-10 2024-02-06 惠州市航泰光电有限公司 一种用于3d摄像头人脸识别模块的盖板及其生产方法
CN110058342A (zh) * 2019-06-05 2019-07-26 信阳舜宇光学有限公司 近红外带通滤光片及其制备方法以及光学传感系统
CN110082849A (zh) * 2019-06-05 2019-08-02 信阳舜宇光学有限公司 近红外窄带滤光片及制作方法
CN110426768A (zh) * 2019-07-15 2019-11-08 杭州美迪凯光电科技股份有限公司 一种红外双波峰镀膜滤光片及镀膜工艺
JP7323787B2 (ja) * 2019-07-31 2023-08-09 日亜化学工業株式会社 照明装置及び赤外線カメラ付き照明装置
CN112444898B (zh) * 2019-08-30 2023-06-16 福州高意光学有限公司 一种宽角度应用的滤光片
CN110550868B (zh) * 2019-09-11 2021-12-10 江西科技学院 一种单向透光玻璃及制备方法
CN113075758B (zh) * 2021-04-19 2022-09-23 广州市佳禾光电科技有限公司 一种红外带通滤光片及传感器系统
CN113900171B (zh) * 2021-08-05 2024-10-18 浙江晶驰光电科技有限公司 一种近红外双波段带通滤光片及其制备方法
CN114296248B (zh) * 2021-12-09 2023-07-14 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室)) 分光膜、选择性分光镜、光学设备及分光方法
CN114545543A (zh) * 2022-02-11 2022-05-27 湖南麓星光电科技有限公司 一种红外滤光片及其制备方法和在海洋气体遥感探测器中的应用

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011033984A1 (ja) * 2009-09-15 2011-03-24 株式会社大真空 光学フィルタ
WO2014104370A1 (ja) * 2012-12-28 2014-07-03 旭硝子株式会社 近赤外線カットフィルタ
WO2018043500A1 (ja) * 2016-08-31 2018-03-08 株式会社大真空 光学フィルタ

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH077124B2 (ja) 1986-10-31 1995-01-30 キヤノン株式会社 反射防止膜
JP3898357B2 (ja) * 1998-09-28 2007-03-28 日東電工株式会社 プラズマディスプレイパネル用フィルター
JP2006251380A (ja) * 2005-03-10 2006-09-21 Mitsumi Electric Co Ltd カメラモジュール
US20070030569A1 (en) * 2005-08-04 2007-02-08 Guardian Industries Corp. Broad band antireflection coating and method of making same
US9796619B2 (en) * 2010-09-03 2017-10-24 Guardian Glass, LLC Temperable three layer antirefrlective coating, coated article including temperable three layer antirefrlective coating, and/or method of making the same
US8693097B2 (en) * 2010-09-03 2014-04-08 Guardian Industries Corp. Temperable three layer antireflective coating, coated article including temperable three layer antireflective coating, and/or method of making the same
US8668990B2 (en) * 2011-01-27 2014-03-11 Guardian Industries Corp. Heat treatable four layer anti-reflection coating
CN103608705B (zh) * 2011-06-06 2016-10-12 旭硝子株式会社 滤光片、固体摄像元件、摄像装置用透镜和摄像装置
TWI756606B (zh) * 2012-07-16 2022-03-01 美商唯亞威方案公司 光學濾波器及感測器系統
CN203287553U (zh) * 2013-05-31 2013-11-13 温岭市现代晶体有限公司 一种红外截止滤光片
US9977160B1 (en) * 2014-10-21 2018-05-22 Gooch And Housego Plc Optical assembly for protection of optical devices
JP6662299B2 (ja) * 2014-12-19 2020-03-11 Agc株式会社 光学フィルタ及びこれを用いた装置
KR102502192B1 (ko) * 2015-01-23 2023-02-21 마테리온 코포레이션 개선된 투과를 갖는 근적외선 광학 간섭 필터
EP4414756A3 (en) * 2015-02-18 2024-10-30 Materion Corporation Near infrared optical interference filters with improved transmission
WO2016146153A1 (en) * 2015-03-13 2016-09-22 Rupp + Hubrach Optik Gmbh Optical article comprising an antireflective coating in the visible region for low luminance conditions
CN107850713B (zh) 2015-07-31 2020-05-12 Agc株式会社 光学滤波器和近红外线截止滤波器
CN205720755U (zh) * 2016-04-27 2016-11-23 深圳力合光电传感股份有限公司 截止滤光片
CN105911625A (zh) * 2016-05-09 2016-08-31 浙江水晶光电科技股份有限公司 一种混合吸收型红外截止滤光片及其制备方法
US10168459B2 (en) * 2016-11-30 2019-01-01 Viavi Solutions Inc. Silicon-germanium based optical filter
CN206339678U (zh) * 2016-12-26 2017-07-18 信阳舜宇光学有限公司 红外截止滤光片
CN206638842U (zh) * 2017-03-29 2017-11-14 杭州美迪凯光电科技有限公司 手机用蓝玻璃高清滤光片组立件
CN110737040B (zh) * 2018-07-18 2022-03-01 福州高意光学有限公司 3d识别滤光片
CN108897085B (zh) * 2018-08-06 2024-07-16 信阳舜宇光学有限公司 滤光片及包含该滤光片的红外图像传感系统
CN208421291U (zh) * 2018-08-06 2019-01-22 信阳舜宇光学有限公司 滤光片及包含该滤光片的红外图像传感系统
US11650361B2 (en) * 2018-12-27 2023-05-16 Viavi Solutions Inc. Optical filter
US11314004B2 (en) * 2019-04-08 2022-04-26 Visera Technologies Company Limited Optical filters and methods for forming the same
TWI752677B (zh) * 2020-11-12 2022-01-11 晶瑞光電股份有限公司 紅外截止濾光片結構

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011033984A1 (ja) * 2009-09-15 2011-03-24 株式会社大真空 光学フィルタ
WO2014104370A1 (ja) * 2012-12-28 2014-07-03 旭硝子株式会社 近赤外線カットフィルタ
WO2018043500A1 (ja) * 2016-08-31 2018-03-08 株式会社大真空 光学フィルタ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022515987A (ja) * 2018-12-27 2022-02-24 ヴァイアヴィ・ソリューションズ・インコーポレイテッド 光学フィルタ
JP7404367B2 (ja) 2018-12-27 2023-12-25 ヴァイアヴィ・ソリューションズ・インコーポレイテッド 光学フィルタ

Also Published As

Publication number Publication date
CN108897085B (zh) 2024-07-16
JP6979730B2 (ja) 2021-12-15
WO2020029579A1 (zh) 2020-02-13
US20200393601A1 (en) 2020-12-17
CN108897085A (zh) 2018-11-27
EP3671294A1 (en) 2020-06-24
EP3671294A4 (en) 2021-10-06
US11828961B2 (en) 2023-11-28
KR20210038408A (ko) 2021-04-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6979730B2 (ja) 光学フィルタ及び当該光学フィルタを含む赤外線画像センシングシステム
US12032182B2 (en) Diffractive grating
JP7404367B2 (ja) 光学フィルタ
JP7299346B2 (ja) 近赤外帯域通過光フィルター及び光センシングシステム
JP5796140B2 (ja) 反射防止多層膜
TW201326880A (zh) 防反射膜及光學元件
CN108761614A (zh) 滤光片及包含该滤光片的红外图像传感系统
JP2019023722A5 (ja)
JP2008242000A (ja) 光学フィルタ
JP2007171735A (ja) 広帯域反射防止膜
CN203012173U (zh) 用于体感识别系统的近红外窄带滤光片
CN109061785B (zh) 用于近红外窄带滤光片的ar膜层及滤光片
TW201348758A (zh) 紅外截止濾光片及鏡頭模組
JP6174379B2 (ja) 可視光透過フィルタ
JP2010032867A (ja) Irカットフィルタ
JP2022174348A (ja) 光学フィルタ
CN111290066B (zh) 红外波段截止滤波器及其应用
CN208421291U (zh) 滤光片及包含该滤光片的红外图像传感系统
US20240061150A1 (en) Optical lens assembly, imaging apparatus and electronic device
CN208421292U (zh) 滤光片及包含该滤光片的红外图像传感系统
JP2013083885A (ja) Ndフィルタ
TW201344254A (zh) 紅外截止濾光片及鏡頭模組
KR102130995B1 (ko) 광학 필터용 글라스 기판의 강도 개선 방법 및 이에 의한 강화 글라스 기반 광학 필터
TW201616156A (zh) 濾光片及具有該濾光片的鏡頭模組
JP2017181927A (ja) 赤外線カットフィルタ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200317

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20210330

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210406

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210604

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210713

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210929

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20211102

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20211109

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6979730

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150