CN111290066B - 红外波段截止滤波器及其应用 - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 99
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 61
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 claims description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 19
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 14
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- ZKATWMILCYLAPD-UHFFFAOYSA-N niobium pentoxide Chemical compound O=[Nb](=O)O[Nb](=O)=O ZKATWMILCYLAPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(IV) oxide Inorganic materials O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N tantalum pentoxide Inorganic materials O=[Ta](=O)O[Ta](=O)=O PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 13
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract description 6
- 230000009467 reduction Effects 0.000 abstract description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 97
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000012788 optical film Substances 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 206010070834 Sensitisation Diseases 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000008313 sensitization Effects 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000411 transmission spectrum Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
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- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/208—Filters for use with infrared or ultraviolet radiation, e.g. for separating visible light from infrared and/or ultraviolet radiation
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- G02B5/20—Filters
- G02B5/26—Reflecting filters
Abstract
本发明提供了一种红外波段截止滤波器及其应用。该红外波段截止滤波器通过在反射膜系中设置膜系结构为│(α1Hβ1Lα2Hβ2L...αnHβnL)│的膜堆，由于膜堆的高折射率材料层和低折射率材料层的光学厚度系数(即α、β)遵循余弦波形的规律递变，即相邻的高折射率层之间的距离以及相邻低折射率材料层之间的距离呈现余弦波形的规律递变，就会使得频率较小的波长(比如近红外波长)的干涉效应得到增强，利用上述干涉效应并通过设置Vθ来对红外波段截止滤波器中各膜层的光学厚度进行调整，能够使得膜堆中膜层的光学厚度差值较小，降低了在大角度入射时可见波长区域的透过率发生局部下降的几率。
Description
技术领域
本发明涉及光学膜领域，具体而言，涉及一种红外波段截止滤波器及其应用。
背景技术
随着智能手机等具有摄像功能的电子产品的广泛普及，人们对于电子产品的功能性要求、摄像性能要求不断提高，加之电子产品的轻薄化的趋势发展。对摄像模组的设计要求不断提高，也就意味着摄像模组要能够承受更大的入射光角度(＞30°)，来保证摄像的清晰和高还原度。
在摄像模组中，在成像探测器CCD或CMOS前放置有一片红外截止滤光片，作用就在于透过可见光，截止红外光。随着对于成像像素的越来越高，CCD和CMOS对于IRCF在降低镜间反射和大角度入射下无色偏的要求也越来越高。另外，由于任何在绝对零度(-273℃)以上的物体都对外发射红外线，也就是说无论在白天还是晚上，CCD或CMOS同时感应到可见光和红外光，可见光成像为彩色图像，红外光成像为黑白图像。由于不同波长的光在经过摄像模组透镜后聚焦位置不一样，所以红外光就会在可见光成像上出现虚像，影响成像颜色和质量。CCD或CMOS在800～1000nm的近红外光具有高灵敏性，且自然界中由于物质本身的热辐射发射出很多在这个波段的近红外光，这样就很容易是的CCD或CMOS的感光达到饱和。而降低摄像的效果出现失真的状况。
现在市场上使用的蓝玻璃或者蓝膜IRCF，仅仅能够解决随着角度漂移(0～30°)截止带不发生移动，保证角度下三基色波长的不漂移，但是消除不了在大角度入射下出现半波孔带来的RGB颜色比例变化造成的成像失真。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种红外波段截止滤波器及其应用，以解决现有技术中的红外截止滤光片在大角度入射下出现半波孔带来的RGB颜色比例变化造成的成像失真的问题。
为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种红外波段截止滤波器，包括：透明基材层，具有相对的第一表面和第二表面；第一近红外反射膜，设置在第一表面上；第二近红外反射膜，设置在第二表面上，第一近红外反射膜和第二近红外反射膜均用于截止波长范围在700～1300nm的光线，且第一近红外反射膜和第二近红外反射膜独立地包括多个对偶单元，各对偶单元包括一个高折射率材料层和与之相对的一个低折射率材料层，第一近红外反射膜中的对偶单元形成第一膜堆Aθ1，第二近红外反射膜中的对偶单元形成第二膜堆Aθ2，假设第一膜堆Aθ1的膜系结构为│Vθ1(α1Hβ1Lα2Hβ2L...αmHβmL)│，第二膜堆Aθ2的膜系结构为│Vθ2(αnHβnLαn-1Hβn-1L...αm+1Hβm+1L)│，其中，H表示高折射率材料层，L表示低折射率材料层，n、m为正整数，且m小于n，5＜n≤40，α1，α2，...，αm，...，αn以及β1，β2，...，βm，...，βn各自独立地满足同一个余弦或正弦波形上的同一递变规律；其中，对于第i个对偶单元αiHβiL，1≤i≤n，αi为第i个高折射率材料层沿与透明基材层垂直的方向的光学厚度系数，βi表示第i个低折射率材料层沿与透明基材层垂直的方向上的光学厚度系数，Vθ1表示相对于预设的监控波长相应第一膜堆Aθ1中对偶单元的光学厚度的调整倍数，Vθ2表示相对于预设的监控波长相应第二膜堆Aθ2中对偶单元的光学厚度的调整倍数；高折射率材料层和低折射率材料层的物理厚度d独立地满足：8≤d≤300nm。
进一步地，5＜n≤40。
进一步地，高折射率材料层在900nm处的折射率大于2.3。
进一步地，第一膜堆Aθ1的截止中心波长在850～1300nm范围内；第二膜堆Aθ2的截止中心波长在730～900nm范围内。
进一步地，各对偶单元中高折射率材料层和低折射率材料层之间的光学厚度差值为0.02～0.1中的任意一个值。
进一步地，高折射率材料层中高折射率材料的折射率大于2，低折射率材料层中低折射率材料的折射率小于1.7。
进一步地，高折射率材料包括TiO2、Nb2O5、Ta2O5、HfO2、CeO2中的任一种或多种；低折射率材料包括SiO2、Al2O3、MgF2中的任一种或多种。
根据本发明的另一方面，提供了一种滤光片，包括红外截止滤波器，该红外截止滤波器为上述的红外波段截止滤波器。
根据本发明的另一方面，提供了一种摄像头，包括滤光片，该滤光片为上述的滤光片。
根据本发明的另一方面，还提供了一种环境光传感器，包括滤光片，该滤光片为上述的滤光片。
应用本发明的技术方案，相邻的高折射率层之间的距离以及相邻低折射率材料层之间的距离即相当于间隔层的距离，而根据法布里-珀罗干涉原理，间隔层的距离为λ/4的倍数时干涉达到最大，且根据光的波粒二象性传输的余弦波特性，余弦的周期逐渐变大，因此通过在反射膜系中设置膜系结构为│(α1Hβ1Lα2Hβ2L...αnHβnL)│的膜堆，由于膜堆的高折射率材料层和低折射率材料层的光学厚度系数(即α、β)遵循余弦波形的规律递变，即相邻的高折射率层之间的距离以及相邻低折射率材料层之间的距离呈现余弦波形的规律递变，就会使得频率较小的波长(比如近红外波长)的干涉效应得到增强，利用上述干涉效应并通过设置Vθ来对红外波段截止滤波器中各膜层的光学厚度进行调整，能够使得膜堆中膜层的光学厚度差值较小，降低了在大角度入射时可见波长区域的透过率发生局部下降的几率；再通过严格控制镀膜膜层的非晶态占比率，能够得到较高的YH导纳以及具有低的波长散布范围，进而实现了高截止深度以及大角度消半波孔，保证了具有该红外波段截止滤波器的滤光片的光的颜色平衡，成像色彩真实。
附图说明
构成本发明的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
图1示出了根据本发明的一种实施例的红外波段截止滤波器的结构示意图；以及
图2示出了根据本发明利用Essential Macleod膜系设计软件对实施例1的红外波段截止滤波器的光反射性能的模拟测试图，其中，红外波段截止滤波器中的透明基材层为不具有吸收带的白膜；
图3示出了根据本发明利用Essential Macleod膜系设计软件对实施例1的红外波段截止滤波器的截止深度的模拟测试图，其中，红外波段截止滤波器中的透明基材层为不具有吸收带的白膜；
图4示出了根据本发明利用Essential Macleod膜系设计软件对实施例1的红外波段截止滤波器的光反射性能的模拟测试图，其中，红外波段截止滤波器中的透明基材层为具有吸收带的蓝膜。
其中，上述附图包括以下附图标记：
10、透明基材层；201、高折射率材料层；202、低折射率材料层；21、第一近红外反射膜；22、第二近红外反射膜。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。
需要说明的是，本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
如本申请背景技术所分析的，现有技术中的红外截止滤光片在大角度入射下出现半波孔带来的RGB颜色比例变化造成的成像失真。为了解决该问题，本申请提供了一种红外截止滤波器、滤光片、摄像头和环境光传感器。
在本申请一种典型的实施方式中，提供了一种红外波段截止滤波器，如图1所示，该红外波段截止滤波器包括：透明基材层10，具有相对的第一表面和第二表面；第一近红外反射膜21，设置在第一表面上；第二近红外反射膜22，设置在第二表面上，第一近红外反射膜21和第二近红外反射膜22均用于截止波长范围在700～1300nm的光线，且第一近红外反射膜21和第二近红外反射膜22独立地包括多个对偶单元，各对偶单元包括一个高折射率材料层201和与之相对的一个低折射率材料层202，第一近红外反射膜21中的对偶单元形成第一膜堆Aθ1，第二近红外反射膜22中的对偶单元形成第二膜堆Aθ2，假设第一膜堆Aθ1的膜系结构为│Vθ1(α1Hβ1Lα2Hβ2L...αmHβmL)│，第二膜堆Aθ2的膜系结构为│Vθ2(αnHβnLαn-1Hβn-1L...αm+1Hβm+1L)│，其中，H表示高折射率材料层201，L表示低折射率材料层202，n、m为正整数，且m小于n，5＜n≤40，α1，α2，...，αm，...，αn以及β1，β2，...，βm，...，βn各自独立地满足同一个余弦或正弦波形上的同一递变规律；其中，对于第i个对偶单元αiHβiL，1≤i≤n，αi为第i个高折射率材料层201沿与透明基材层10垂直的方向的光学厚度系数，βi表示第i个低折射率材料层202沿与透明基材层10垂直的方向上的光学厚度系数，Vθ1表示相对于预设的监控波长相应第一膜堆Aθ1中对偶单元的光学厚度的调整倍数，Vθ2表示相对于预设的监控波长相应第二膜堆Aθ2中对偶单元的光学厚度的调整倍数；高折射率材料层201和低折射率材料层202的物理厚度d独立地满足：8≤d≤300nm。
需要说明的是，本申请上述正弦波形和余弦波形为坐标系中的标准正弦波形和余弦波形的变化趋势(仅限于变化趋势，具体数值不受象限和正负值的限定)，即正弦波形包括对称设置的上半弦和下半弦，上半弦包括左上半弦和右上半弦，下半弦包括左下半弦和右下半弦；余弦波形包括对称设置的左半弦和右半弦，左半弦为递减弦，右半弦为递增弦，左半弦包括左上半弦和左下半弦，右半弦包括右上半弦和右下半弦。
由于余弦波形与正弦波形只是相位的差异产生的。为了表述方便，以下仅就余弦波形进行说明。目前为了实现红外宽波段截止，本申请发明人在研究中意外发现，当高折射率材料层和低折射率材料层的厚度变化对于反射峰的带宽存在直接相关性，基于此本申请发明人对高折射率材料层和低折射率材料层的厚度变化规律进行了深入研究，并发现高折射率材料层和低折射率材料层的光学厚度系数遵循余弦波形的规律递变形成的余弦膜堆对目标波段的带宽具有关键的影响。其中的作用原理，发明人认为：
根据法布里-珀罗(Fabry-Perot)干涉原理，当入射光的频率满足其共振条件时，其透射频谱会出现很高的峰值，对应着很高的透射率。假设干涉强度分布:
式中I0为入射光强；R为反射面的能量反射率；δ为相邻两相干光间的相位差，与入射光倾角有关，R+T＝1(R为膜系的表面反射率，T为透射率)。相邻的高折射率层之间的距离以及相邻低折射率材料层之间的距离即相当于间隔层的距离，而根据法布里-珀罗干涉原理，间隔层的距离为λ/4的倍数时干涉达到最大，且根据光的波粒二象性传输的余弦波特性，余弦的周期逐渐变大，因此通过在反射膜系中设置膜系结构为│(α1Hβ1Lα2Hβ2L...αnHβnL)│的膜堆，由于膜堆的高折射率材料层和低折射率材料层的光学厚度系数(即α、β)遵循余弦波形的规律递变，即相邻的高折射率层之间的距离以及相邻低折射率材料层之间的距离呈现余弦波形的规律递变，就会使得频率较小的波长(比如近红外波长)的干涉效应得到增强。
利用上述干涉效应并通过设置Vθ来对红外波段截止滤波器中各膜层的光学厚度进行调整，能够使得膜堆中膜层的光学厚度差值较小，降低了在大角度入射时可见波长区域的透过率发生局部下降的几率，从而避免了出现光学薄膜设计中常见的半波孔，保证了具有该红外波段截止滤波器的滤光片的光的颜色平衡，成像色彩真实。
为了更清楚地理解上述光学厚度的变化，以下进一步对第一膜堆以及第二膜堆的光学厚度进行说明：比如对于第i个高低折射率材料单元αiHβiL，高折射率材料层201的光学厚度为αi*λ/4，低折射率材料层202的光学厚度为βi*λ/4，高折射率材料层201的折射率为NH，高折射率材料层201的物理厚度为DH，则存在NH*DH＝αi*λ/4；低折射率材料层202的折射率为NL，低折射率材料层202的物理厚度为DL，则存在NL*DL＝βi*λ/4；其中，λ为膜堆的监控波长，α1，α2，...，αm，...，αn以及β1，β2，...，βm，...，βn各自独立地满足选自范围在0～2π的同一个正弦波形和余弦波形的左上半弦、左下半弦、右上半弦和右下半弦上的同一递变规律。上述监控波长以第一膜堆以及第二膜堆的使用环境的入射光波长来决定，比如选用550nm作为可见光的监控波长，以750nm作为红外光的监控波长，具体的可依据现有技术进行选择，在此不再赘述。
根据光学厚度和物理厚度的换算公式：n*d＝(k*λ)/4，上述高折射率材料层201和上述低折射率材料层202的光学厚度对应膜层物理厚度d独立地满足：8≤d≤300nm。上述物理厚度d在对应频率较小的波长时，能够使膜堆中膜层的光学厚度差值较小；并且，对于要求的高截止深度以及大角度消半波孔，而且使用较少的层数，就需要高的导纳以及小的折射率波长散布。低折射率材料的YL基本一致受工艺影响不大，所以提高高折射率材料的YH就能够有效的得到这个效果。通过严格控制镀膜膜层的非晶态占比率，就可以得到较高的YH导纳以及具有低的波长散布范围。根据软件统计计算，在膜层的非晶态比例小于40％时，300nm处的折射率约达到8左右；在非晶态比例＞80％以上时，300nm处的折射率小于5。从而通过严格控制镀膜膜层的非晶态占比率，能够得到较高的YH导纳以及具有低的波长散布范围，进而实现了高截止深度以及大角度消半波孔，保证了具有该红外波段截止滤波器的滤光片的光的颜色平衡，成像色彩真实。
优选地，对偶单元中各高折射率材料层201在900nm处的折射率大于2.3。
为了针对性地对不同波段的近红外光进行反射，上述第一近红外反射膜21中第一膜堆以及上述第二近红外反射膜22中第二膜堆的对偶单元的数量可以相等或不等。
从干涉原理来说，每一个膜堆中高折射率材料层201和低折射率材料层202的数量越多，对光线的截止深度越大，但是数量越多，各层的厚度越不容易控制，为了在较好地解决半波孔的问题基础上实现较大的截止深度，优选地，各膜堆中对偶单元的数量为5＜n≤40。
上述第一近红外反射膜21中的对偶单元形成第一膜堆Aθ1，上述第二近红外反射膜22中的对偶单元形成第二膜堆Aθ2，优选地，第一膜堆Aθ1的截止中心波长在850～1300nm范围内；第二膜堆Aθ2的截止中心波长在730～900nm范围内。第一膜堆Aθ1和第二膜堆Aθ2叠置在透明基材层10的两个表面上或者沿远离透明基材层10的方向叠置在透明基材层10的一个表面上。
为了更理想地缓解半波孔的问题，优选上述各对偶单元中高折射率材料层201和低折射率材料层202之间的光学厚度差值为0.02～0.1中的任意一个值。
为了更好地增强近红外波长的干涉效应，优选地，上述高折射率材料层201中高折射率材料的折射率大于2，上述低折射率材料层202中低折射率材料的折射率小于1.7。用于本申请的高折射率材料层201和低折射率材料层202的高折射率材料和低折射率材料可以依据上述折射率选择现有技术中红外截止滤波器常用的对应材料，比如本申请优选高折射率材料层201中的高折射率材料包括TiO2、Nb2O5、Ta2O5、HfO2、CeO2中的任一种或多种，低折射率材料包括SiO2、Al2O3、MgF2中的任一种或多种。
在本发明的上述红外波段截止滤波器中，透明基材层10包括光学玻璃(含染色)、光学高分子膜(含染色)、但不限于以上。
在本申请另一种典型的实施方式中，提供了一种滤光片，包括红外截止滤波器，该红外截止滤波器为上述任一种的红外波段截止滤波器。以有效解决半波孔的问题。
在本申请又一种典型的实施方式中，提供了一种摄像头，包括滤光片，该滤光片为前述的滤光片。采用本申请的滤光片的摄像头的成像更能符合人眼的观察感觉。
在本申请又一种典型的实施方式中，提供了一种环境光传感器，包括滤光片，该滤光片为上述任一种的滤光片。利用包含本申请红外截止滤波器的滤光片，屏蔽红外光线的干扰，提高环境光传感器对于可见光的感应效果，进而提高其灵敏性和准确性。
下将结合实施例和对比例，进一步说明本申请的有益效果。
实施例1
模拟实验数据：
红外波段截止滤波器结构如图1所示，包括顺序层叠的第一近红外反射膜21、透明基材层10和第二近红外反射膜22，形成对偶单元的高折射率材料层201为折射率为2.354的二氧化钛层，低折射率材料层202为折射率为1.46的二氧化硅层。自上而下的：
第一近红外反射膜21中第一膜堆Aθ1的监控波长为….nm，中心波长为….nm，Vθ1为….，表示相对于预设的监控波长相应膜堆中对偶单元的光学厚度的调整倍数，其膜系设计为：Sub|0.220H 0.473L 2.170H 2.009L 1.874H 1.854L 1.803H 1.823L 1.786H1.808L 1.777H 1.806L 1.781H 1.794L 1.787H 1.802L 1.777H 1.805L 1.789H 1.799L1.786H 1.818L 1.783H 1.824L 1.802H 1.845L 1.815H 1.892L 1.892H 1.975L 2.123H2.236L 2.379H 1.144L|Air。
第二近红外反射膜22中第二膜堆Aθ2的监控波长为455nm，中心波长为850nm，Vθ2为….，表示相对于预设的监控波长相应膜堆中对偶单元的光学厚度的调整倍数，其膜系设计为：Sub|0.246H 0.471L 2.515H 2.404L 2.500H 2.487L 2.528H 2.472L 2.506H2.442L 2.436H 2.385L 2.399H 2.378L 2.383H 2.332L 2.304H 2.301L 2.322H 2.320L2.265H 2.215L 2.164H 2.193L 2.123H 2.144L 2.032H 2.056L 1.997H 2.089L 2.006H1.027L|Air。
利用Essential Macleod膜系设计软件对上述红外波段截止滤波器的光透射性能及截止深度进行模拟，其模拟结果见图2至图4，其中，图2和图3中模拟的红外波段截止滤波器中的透明基材层为不具有吸收带的白膜，图4中模拟的红外波段截止滤波器中的透明基材层为具有吸收带的蓝膜。
根据上述图2至图4可以看出，本申请的红外波段截止滤波器中通过对高折射率材料层和低折射率材料层的光学厚度的变化进行调控，使其按照余弦波形的规律进行变化，能够使红外光具有全波段的深度截止，而使得可见光透过。
并且，图2至图4中分别模拟了0°、10°、20°以及30°四个入射角度下的光透射性能，从图中可以看出，在0°～30°的小角度入射时，入射光谱基本没有变化，均能够实现红外光全波段的深度截止，且使得可见光透过。
从以上的描述中，可以看出，本发明上述的实施例实现了如下技术效果：
相邻的高折射率层之间的距离以及相邻低折射率材料层之间的距离即相当于间隔层的距离，而根据法布里-珀罗干涉原理，间隔层的距离为λ/4的倍数时干涉达到最大，且根据光的波粒二象性传输的余弦波特性，余弦的周期逐渐变大，因此通过在反射膜系中设置膜系结构为│(α1Hβ1Lα2Hβ2L...αnHβnL)│的膜堆，由于膜堆的高折射率材料层和低折射率材料层的光学厚度系数(即α、β)遵循余弦波形的规律递变，即相邻的高折射率层之间的距离以及相邻低折射率材料层之间的距离呈现余弦波形的规律递变，就会使得频率较小的波长(比如近红外波长)的干涉效应得到增强，利用上述干涉效应并通过设置Vθ来对红外波段截止滤波器中各膜层的光学厚度进行调整，能够使得膜堆中膜层的光学厚度差值较小，降低了在大角度入射时可见波长区域的透过率发生局部下降的几率；从而通过严格控制镀膜膜层的非晶态占比率，能够得到较高的YH导纳以及具有低的波长散布范围，进而实现了高截止深度以及大角度消半波孔，保证了具有该红外波段截止滤波器的滤光片的光的颜色平衡，成像色彩真实。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种红外波段截止滤波器，其特征在于，包括：
透明基材层(10)，具有相对的第一表面和第二表面；
第一近红外反射膜(21)，设置在所述第一表面上；
第二近红外反射膜(22)，设置在所述第二表面上，
所述第一近红外反射膜(21)和所述第二近红外反射膜(22)均用于截止波长范围在700～1300nm的光线，且所述第一近红外反射膜(21)和所述第二近红外反射膜(22)独立地包括多个对偶单元，各所述对偶单元包括一个高折射率材料层(201)和与之相对的一个低折射率材料层(202)，所述第一近红外反射膜(21)中的所述对偶单元形成第一膜堆Aθ1，所述第二近红外反射膜(22)中的所述对偶单元形成第二膜堆Aθ2，所述第一膜堆Aθ1的截止中心波长在850～1300nm范围内；所述第二膜堆Aθ2的截止中心波长在730～900nm范围内；假设所述第一膜堆Aθ1的膜系结构为│Vθ1(α1Hβ1Lα2Hβ2L...αmHβmL)│，所述第二膜堆Aθ2的膜系结构为│Vθ2(αnHβnLαn-1Hβn-1L...αm+1Hβm+1L)│，其中，H表示高折射率材料层(201)，L表示低折射率材料层(202)，n、m为正整数，且m小于n，5＜n≤40，α1，α2，...，αm，...，αn以及β1，β2，...，βm，...，βn各自独立地满足同一个余弦或正弦波形上的同一递变规律；其中，对于第i个对偶单元αiHβiL，1≤i≤n，αi为第i个高折射率材料层(201)沿与所述透明基材层(10)垂直的方向上的光学厚度系数，βi表示第i个所述低折射率材料层(202)沿与所述透明基材层(10)垂直的方向上的光学厚度系数，Vθ1表示相对于预设的监控波长相应所述第一膜堆Aθ1中对偶单元的光学厚度的调整倍数，Vθ2表示相对于预设的监控波长相应所述第二膜堆Aθ2中对偶单元的光学厚度的调整倍数；所述高折射率材料层(201)和所述低折射率材料层(202)的物理厚度d独立地满足：8≤d≤300nm。
2.根据权利要求1所述的红外波段截止滤波器，其特征在于，所述高折射率材料层(201)在900nm处的折射率大于2.3。
3.根据权利要求2所述的红外波段截止滤波器，其特征在于，各所述对偶单元中所述高折射率材料层(201)和所述低折射率材料层(202)之间的光学厚度差值为0.02～0.1中的任意一个值。
4.根据权利要求1所述的红外波段截止滤波器，其特征在于，所述高折射率材料层(201)中高折射率材料的折射率大于2，所述低折射率材料层(202)中低折射率材料的折射率小于1.7。
5.根据权利要求4所述的红外波段截止滤波器，其特征在于，所述高折射率材料包括TiO2、Nb2O5、Ta2O5、HfO2、CeO2中的任一种或多种；所述低折射率材料包括SiO2、Al2O3、MgF2中的任一种或多种。
6.一种滤光片，包括红外波段截止滤波器，其特征在于，所述红外波段截止滤波器为权利要求1至5中任一项所述的红外波段截止滤波器。
7.一种摄像头，包括滤光片，其特征在于，所述滤光片为权利要求6所述的滤光片。
8.一种环境光传感器，包括滤光片，其特征在于，所述滤光片为权利要求6所述的滤光片。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201811498131.1A CN111290066B (zh) | 2018-12-07 | 2018-12-07 | 红外波段截止滤波器及其应用 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN111290066A CN111290066A (zh) | 2020-06-16 |
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Family
ID=71029330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201811498131.1A Active CN111290066B (zh) | 2018-12-07 | 2018-12-07 | 红外波段截止滤波器及其应用 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN111290066B (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113093322B (zh) * | 2021-03-30 | 2023-03-28 | 联合微电子中心有限责任公司 | Cmos图像传感器、干涉型滤光片及其制备方法 |
| CN113777686B (zh) * | 2021-08-20 | 2024-03-19 | 晋中学院 | 一种宽频全介质低辐射薄膜 |
| CN114702248A (zh) * | 2022-04-08 | 2022-07-05 | 广州大学 | 透可见反近红外光的微结构镀膜玻璃基板及制作方法 |
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| CN102798919A (zh) * | 2012-08-24 | 2012-11-28 | 杭州科汀光学技术有限公司 | 受抑波长漂移的截止滤光片 |
| CN103472514A (zh) * | 2013-09-26 | 2013-12-25 | 沈阳仪表科学研究院有限公司 | 一种类皱褶膜系结构的陷波滤光片 |
| CN108008479A (zh) * | 2017-12-20 | 2018-05-08 | 无锡奥芬光电科技有限公司 | 大角度入射无半波孔的红外截止滤光片及其膜系设计方法 |
| CN108169831A (zh) * | 2018-01-18 | 2018-06-15 | 无锡奥芬光电科技有限公司 | 940nm窄带滤光片及其递变膜系设计方法 |
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|---|---|
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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