JP2020530593A - 複数パターン領域を有するモジュールの製造方法、その製造方法による複数パターン領域を有するモジュール、および回折格子モジュールまたは回折格子モジュール用モールドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
200 ・・・回折格子モジュール用2次モールド
210 ・・・ベース基材
220 ・・・第1基材
230 ・・・第2基材
P1’ ・・・第1パターン
P2’ ・・・第2パターン
P3’ ・・・第3パターン
C1 ・・・第1カットライン
C2 ・・・第2カットライン
C3 ・・・第3カットライン
DOE1 ・・・第1回折格子素子
DOE2 ・・・第2回折格子素子
DOE3 ・・・第3回折格子素子
DOE1’ ・・・第1領域部
DOE2’ ・・・第2領域部
DOE3’ ・・・第3領域部
Claims (11)
- 互いに異なる回折格子パターンを有する第1回折格子素子および第2回折格子素子を含む回折格子モジュールを製造するために複数パターン領域を有するモジュールを製造する方法であって、
(a)第1パターンが形成された第1基材をベース基材に配置するステップ、
(b)第1回折格子素子のレイアウトに対応するレイアウトの第1カットラインを前記第1基材に形成するステップ、
(c)第2回折格子素子のレイアウトに対応するレイアウトの第2カットラインを前記第1基材に形成するステップ、
(d)前記第1カットラインにより定義される第1領域および前記第2カットラインにより定義される第2領域のいずれか一つを前記第1基材から除去するステップ、
(e)第1パターンとは異なる第2パターンが形成されており、前記第1基材から除去された除去領域に対応するレイアウトを有する第2基材を前記除去領域に配置するステップ、および
(f)前記第1領域および第2領域を残して前記第1基材を前記ベース基材から除去するステップ
を含む、複数パターン領域を有するモジュールの製造方法。 - 前記回折格子モジュール内で前記第1回折格子素子および第2回折格子素子の相互間には整列関係が定められており、
前記(b)および(c)ステップにおいては前記整列関係に対応するように第1カットラインまたは第2カットラインを形成する、請求項1に記載の複数パターン領域を有するモジュールの製造方法。 - 前記第1カットラインのレイアウトは前記第1回折格子素子のレイアウトと一致する像であり、
前記第2カットラインのレイアウトは前記第2回折格子素子のレイアウトと一致する像である、請求項1に記載の複数パターン領域を有するモジュールの製造方法。 - 前記第1カットラインのレイアウトは前記第1回折格子素子のレイアウトに対して逆像であり、
前記第2カットラインのレイアウトは前記第2回折格子素子のレイアウトに対して逆像である、請求項1に記載の複数パターン領域を有するモジュールの製造方法。 - 前記回折格子モジュールは、前記第1回折格子素子および第2回折格子素子のうち少なくとも一つとは異なる回折格子パターンを有する第3回折格子素子を含み、
前記製造方法は、
(g)第3素子のレイアウトに対応するレイアウトの第3カットラインを前記第1基材に形成するステップをさらに含み、
前記第3カットラインにより第3領域が定義され、
前記(f)ステップは、前記第1領域、第2領域および第3領域を残して前記第1基材を前記ベース基材から除去する、請求項1に記載の複数パターン領域を有するモジュールの製造方法。 - 前記回折格子モジュール内で前記第1回折格子素子、第2回折格子素子および第3回折格子素子の相互間には整列関係が定められており、
前記(b)、(c)および(g)ステップにおいては前記整列関係に対応するように第1カットライン、第2カットラインまたは第3カットラインを形成する、請求項5に記載の複数パターン領域を有するモジュールの製造方法。 - 前記第1カットラインのレイアウトは前記第1回折格子素子のレイアウトと一致する像であり、
前記第2カットラインのレイアウトは前記第2回折格子素子のレイアウトと一致する像であり、
前記第3カットラインのレイアウトは前記第3回折格子素子のレイアウトと一致する像である、請求項5に記載の複数パターン領域を有するモジュールの製造方法。 - 前記第1カットラインのレイアウトは前記第1回折格子素子のレイアウトに対して逆像であり、
前記第2カットラインのレイアウトは前記第2回折格子素子のレイアウトに対して逆像であり、
前記第3カットラインのレイアウトは前記第3回折格子素子のレイアウトに対して逆像である、請求項5に記載の複数パターン領域を有するモジュールの製造方法。 - 請求項1〜8のいずれか1項に記載の製造方法により製造された複数パターン領域を有するモジュール。
- 前記複数パターン領域を有するモジュールは、互いに異なる回折格子パターンを有する第1回折格子素子および第2回折格子素子を含む回折格子モジュールを製造するための回折格子モジュール用モールドである、請求項9に記載の複数パターン領域を有するモジュール。
- 請求項9に記載の複数パターン領域を有するモジュールを準備するステップ、
前記複数パターン領域を有するモジュール上に樹脂組成物を塗布するステップ、
前記樹脂組成物を硬化して前記複数パターン領域に対応する対応パターン領域を形成するステップ、および
前記複数パターン領域を有するモジュールと前記対応パターン領域を互いに分離するステップ
を含む、回折格子モジュールまたは回折格子モジュール用モールドの製造方法。
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