JP2020526800A - 対物レンズ保護装置、対物レンズシステムおよびリソグラフィ装置 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図6
Description
図2aは、本願の一実施形態に係る対物レンズ保護装置の上面図である。
図2bおよび図2cは、本願の別の実施形態に係る対物レンズ保護装置の上面図である。
図3は、図2aのA−Aに沿った断面図である。
図4は、図2aのB−Bに沿った断面図である。
図5は、本願の一実施形態に係る対物レンズ保護装置の正面図である。
図6は、図5のC−Cに沿った断面図である。
10−本体;11−ガス注入ユニット;111−ガス吸込口;112−ガス注入口;12−第1の取り出しユニット;121−ガス排出口;122−第1のガス取り出し口;123−第2のガス取り出し口;13−接続部;14−ガス流路;20−物理的保護層;30−シーリング要素;A−ガス注入面;B−非ガス注入面;C−第1のガス取り出し面;およびD−非ガス取り出し面。
本願で提案する、対物レンズ保護装置、対物レンズシステムおよびフォトリソグラフィ装置を、添付の図面および特定の実施形態を参照して、以下により詳細に説明する。本願の特徴および利点は、以下の詳細な説明および添付の特許請求の範囲からより明らかになるであろう。添付の図面は、非常に簡略化された形式で示されており、必ずしも縮尺通りに示されているわけではなく、本願を説明する際の便宜および明確さを容易にすることのみを意図していることに留意されたい。
Claims (23)
- 本体を備え、該本体は、対向して配置される、第1の取り出しユニットと、ガス注入ユニットとを有し、該ガス注入ユニットは、ガスを送達するように構成され、該第1の取り出しユニットは、該ガス注入ユニットによって送達されるガスを取り出すように構成され、該ガス注入ユニットと該第1の取り出しユニットとの間に、少なくとも1層のエアカーテンが形成される、ことを特徴とする対物レンズ保護装置。
- 前記ガス注入ユニットが、該ガス注入ユニットのガス注入方向に垂直でかつその上に複数のガス注入口が設けられたガス注入面を有し、
前記第1の取り出しユニットが、その上に複数の第1のガス取り出し口が設けられた第1のガス取り出し面を有し、
該複数のガス注入口のそれぞれは、該複数の第1のガス取り出し口の対応する1つに対応し、かつそれに対向配置される、ことを特徴とする請求項1に記載の対物レンズ保護装置。 - 前記ガス注入面および前記第1のガス取り出し面のそれぞれが、階段状のプロファイルを有する、ことを特徴とする請求項2に記載の対物レンズ保護装置。
- 前記ガス注入面と、前記第1のガス取り出し面とが、軸対称に分布されている、ことを特徴とする請求項2に記載の対物レンズ保護装置。
- 前記ガス注入面が、同一平面上に位置しない複数のガス注入面部分を含み、該複数のガス注入面部分が、互いに平行である、ことを特徴とする請求項2に記載の対物レンズ保護装置。
- 前記ガス注入ユニットが、さらに、複数の非ガス注入面を備え、該非ガス注入面のそれぞれが、2つの隣り合うガス注入面部分を接続するように構成され、ガス注入口を有しておらず、該非ガス注入面の1つと、該ガス注入面部分の対応する1つとの間の角度が、85°〜95°である、ことを特徴とする請求項5に記載の対物レンズ保護装置。
- 前記第1のガス取り出し面が、同一平面上に位置しない複数の第1のガス取り出し面部分を含み、該複数の第1のガス取り出し面部分が、互いに平行である、ことを特徴とする請求項2に記載の対物レンズ保護装置。
- 前記第1の取り出しユニットが、さらに、非ガス取り出し面を備え、該非ガス取り出し面のそれぞれが、2つの隣り合うガス取り出し面部分を接続するように構成され、第1のガス取り出し口を有しておらず、該非ガス取り出し面の1つと、前記第1のガス取り出し面との間の角度が、85°〜95°である、ことを特徴とする請求項7に記載の対物レンズ保護装置。
- 前記ガス注入ユニットが、さらに、前記複数のガス注入口のそれぞれに連通するガス吸込口を備え、前記第1の取り出しユニットが、さらに、前記複数の第1のガス取り出し口のそれぞれに連通するガス排出口を備える、ことを特徴とする請求項2に記載の対物レンズ保護装置。
- 前記本体が、さらに、環状の第2のガス取り出し面を有する第2の取り出しユニットを備え、該第2のガス取り出し面が、該本体の下面に位置する、ことを特徴とする請求項2に記載の対物レンズ保護装置。
- 前記第2のガス取り出し面には、複数の第2のガス取り出し孔が設けられている、ことを特徴とする請求項10に記載の対物レンズ保護装置。
- 前記第2のガス取り出し面のガス取り出し方向が、前記ガス注入ユニットのガス注入方向と平行ではない、ことを特徴とする請求項10に記載の対物レンズ保護装置。
- 前記第2のガス取り出し面のガス取り出し方向が、前記ガス注入ユニットのガス注入方向に対して垂直である、ことを特徴とする請求項10に記載の対物レンズ保護装置。
- 前記第2の取り出しユニットが、前記第2のガス取り出し面によって、ガスが取り出される、第2の取り出しチャンバを備える、ことを特徴とする請求項10に記載の対物レンズ保護装置。
- 前記第1の取り出しユニットが、ガス排出口に連通する第1の取り出しチャンバを備え、前記複数の第1のガス取り出し口を通ってガスが取り出され、該第1の取り出しチャンバへ入り、該ガス排出口を通って排出され、該第1の取り出しチャンバと、前記第2の取り出しチャンバとが互いに連通している、ことを特徴とする請求項14に記載の対物レンズ保護装置。
- 前記本体が、さらに、対物レンズを接続するように構成されかつ該本体の一側に位置する接続部を備える、ことを特徴とする請求項1に記載の対物レンズ保護装置。
- 前記接続部が、ねじ式インターフェイスである、ことを特徴とする請求項16に記載の対物レンズ保護装置。
- さらに、前記本体に接続されかつ保護対象の対物レンズと前記少なくとも1層のエアカーテンとの間に位置する、物理的保護層を備える、ことを特徴とする請求項1に記載の対物レンズ保護装置。
- 前記物理的保護層が、ガラスまたは樹脂から構成される、ことを特徴とする請求項18に記載の対物レンズ保護装置。
- さらに、前記物理的保護層と前記本体との間のギャップをシールするように構成され、かつ該物理的保護層と該本体との間に配置される、シーリング要素を備える、ことを特徴とする請求項18に記載の対物レンズ保護装置。
- 前記本体が、一体的に形成されている、ことを特徴とする請求項1に記載の対物レンズ保護装置。
- 請求項1〜21のいずれか一項に記載の対物レンズ保護装置を備える、ことを特徴とする対物レンズシステム。
- 請求項22に記載の対物レンズシステムを備える、ことを特徴とするフォトリソグラフィ装置。
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