JP2020526406A5

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Info

Publication number: JP2020526406A5
Application number: JP2020500814A
Authority: JP
Filing date: 2018-07-05
Publication date: 2021-08-12
Anticipated expiration: 2038-07-05

Claims

（ｉ）複数の個別のダイヤモンド粒子及び（ｉｉ）適合性ダイヤモンド層を有する複数の加工特徴部のうちの少なくとも１つを含む、疎水性外面を有する研磨層と、
前記複数の個別のダイヤモンド粒子及び前記適合性ダイヤモンド層のうちの少なくとも１つと接触して少なくとも部分的にコーティングする適合性疎水性層と、を備え、
前記適合性疎水性層は、ダイヤモンドライクガラスを含み、前記疎水性外面を形成しており、
前記疎水性外面の接触角は、１２０度より大きい、研磨物品。
前記適合性ダイヤモンド層は、ダイヤモンドライクカーボン、微結晶ダイヤモンド、及びナノ結晶ダイヤモンドのうちの少なくとも１つを含む、請求項１に記載の研磨物品。
前記ダイヤモンドライクガラスは、炭素、酸素、及びケイ素を含む、請求項１に記載の研磨物品。
前記酸素の量は、前記ダイヤモンドライクガラス中の炭素、酸素、及びケイ素の総モルを基準として、２５モルパーセント〜３５モルパーセントである、請求項３に記載の研磨物品。
前記酸素の量は、前記ダイヤモンドライクガラス中の炭素、酸素、及びケイ素の総モルを基準として、３０モルパーセント〜３５モルパーセントである、請求項３に記載の研磨物品。
前記ケイ素の量は、前記ダイヤモンドライクガラス中の炭素、酸素、及びケイ素の総モルを基準として、２５モルパーセント〜３５モルパーセントである、請求項３に記載の研磨物品。
前記炭素の量は、前記ダイヤモンドライクガラス中の炭素、酸素、及びケイ素の総モルを基準として、３５モルパーセント〜４５モルパーセントである、請求項３に記載の研磨物品。
前記疎水性外面の前記接触角は、１３０度より大きい、請求項１に記載の研磨物品。
研磨物品の製造方法であって、
適合性ダイヤモンド層を有する複数の加工特徴部を含む表面を有する研磨層を提供することと、
前記適合性ダイヤモンド層と接触して少なくとも部分的にコーティングする適合性疎水性層を堆積させることにより、疎水性外面を有する研磨層を形成することと、を含み、
前記適合性疎水性層は、ダイヤモンドライクガラスを含み、
前記疎水性外面の接触角は、１２０度より大きい、方法。
前記適合性ダイヤモンド層は、ダイヤモンドライクカーボン、微結晶ダイヤモンド、及びナノ結晶ダイヤモンドのうちの少なくとも１つを含む、請求項９に記載の研磨物品の製造方法。
前記ダイヤモンドライクガラスは、炭素、酸素、及びケイ素を含む、請求項９に記載の研磨物品の製造方法。
研磨物品の製造方法であって、
複数の個別のダイヤモンド粒子を含む表面を有する研磨層を提供することと、
前記複数の個別のダイヤモンド粒子と接触して少なくとも部分的にコーティングする適合性疎水性層を堆積させることにより、疎水性外面を有する研磨層を形成することと、を含み、
前記適合性疎水性層は、ダイヤモンドライクガラスを含み、
前記疎水性外面の接触角は、１１０度より大きい、方法。
前記適合性ダイヤモンド層は、ダイヤモンドライクカーボン、微結晶ダイヤモンド、及びナノ結晶ダイヤモンドのうちの少なくとも１つを含む、請求項１２に記載の研磨物品の製造方法。
前記ダイヤモンドライクガラスは、炭素、酸素、及びケイ素を含む、請求項１２に記載の研磨物品の製造方法。
材料を含む研磨パッドと、
研磨層を有するパッドコンディショナーと、を備え、
前記パッドコンディショナーは、請求項１に記載の少なくとも１つの研磨物品を含む、研磨システム。