JP2020524290A - シート抵抗及び薄膜センサ - Google Patents
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Abstract
Description
前記混晶の個々の結晶が前記ピエゾ抵抗層に存在する。
10 シート抵抗
11 ピエゾ抵抗層
20 膜
30 キャリアボディ
31 開口部
40 接点
50 ボンディングワイヤ
ピエゾ抵抗層を含むシート抵抗(10)であって、前記ピエゾ抵抗層(11)は第1の遷移金属炭化物を包含する、シート抵抗(10)。
[請求項2]
請求項1に記載のシート抵抗(10)であって、前記第1の遷移金属炭化物は、Ti、V、Cr、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、及びそれらの組み合わせを含む群から選択される遷移金属を包含する、シート抵抗(10)。
[請求項3]
前記第1の遷移金属炭化物がCr3C2である、前記請求項のいずれか一項に記載のシート抵抗(10)。
[請求項4]
前記第1の遷移金属炭化物が遷移金属過剰を含む、前記請求項のいずれか一項に記載のシート抵抗(10)。
[請求項5]
前記請求項のいずれか一項に記載のシート抵抗(10)であって、前記ピエゾ抵抗層(11)は、前記第1の遷移金属炭化物からなる、シート抵抗(10)。
[請求項6]
請求項1〜4のいずれか一項に記載のシート抵抗(10)であって、前記ピエゾ抵抗層(11)は、遷移金属窒化物、第2の遷移の金属炭化物、及びそれらの混合物から選択される、少なくとも1つの追加の材料を含む、シート抵抗(10)。
[請求項7]
前記追加の材料が炭化タングステンである、前記請求項に記載のシート抵抗(10)。
[請求項8]
前記第1の遷移金属炭化物と前記追加の材料とが混晶を形成している、請求項6又は7に記載のシート抵抗(10)。
[請求項9]
前記第1の遷移金属炭化物が多結晶である、前記請求項のいずれか一項に記載のシート抵抗(10)。
[請求項10]
前記第1の遷移金属炭化物の結晶は、その表面に酸化物層を有する、前記請求項に記載のシート抵抗(10)。
[請求項11]
前記ピエゾ抵抗層(11)が、9ppm/K以上15ppm/K以下の熱膨張係数を有する、前記請求項のいずれか一項に記載のシート抵抗(10)。
[請求項12]
前記請求項のいずれか一項に記載のシート抵抗(10)であって、前記第1の遷移金属炭化物を含む電気接点(40)をさらに含む、シート抵抗(10)。
[請求項13]
前記請求項のいずれか一項に記載のシート抵抗(10)を含む薄膜センサ。
[請求項14]
前記シート抵抗(10)が配置される膜(20)と、前記膜(20)が取り付けられるキャリア本体(30)とを備える前記請求項に記載の薄膜センサであって、前記膜(20)は前記キャリア本体(30)に対して移動可能である、薄膜センサ。
[請求項15]
前記膜(20)及び前記キャリア本体(30)は、セラミック及び金属から選択される材料を含む、前記請求項に記載の薄膜センサ。
[請求項16]
前記請求項に記載の薄膜センサであって、前記膜(20)及びキャリア本体(30)は、ステンレス鋼及びイットリウム安定化ジルコニアから選択される材料を含む、薄膜センサ。
[請求項17]
請求項1〜11のいずれか一項に記載のシート抵抗(10)を少なくとも2つ含む、請求項12〜15のいずれか一項に記載の薄膜センサ。
[請求項18]
前記請求項に記載の薄膜センサであって、前記シート抵抗(10)の1つは、温度測定用に設計されている、薄膜センサ。
Claims (19)
- ピエゾ抵抗層を含むシート抵抗(10)であって、前記ピエゾ抵抗層(11)は第1の遷移金属炭化物を包含する、シート抵抗(10)。
- 請求項1に記載のシート抵抗(10)であって、前記第1の遷移金属炭化物は、Ti、V、Cr、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、及びそれらの組み合わせを含む群から選択される遷移金属を包含する、シート抵抗(10)。
- 前記第1の遷移金属炭化物がCr3C2である、請求項1〜2のいずれか一項に記載のシート抵抗(10)。
- 前記第1の遷移金属炭化物が遷移金属過剰を含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載のシート抵抗(10)。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載のシート抵抗(10)であって、前記ピエゾ抵抗層(11)は、前記第1の遷移金属炭化物からなる、シート抵抗(10)。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載のシート抵抗(10)であって、前記ピエゾ抵抗層(11)は、遷移金属窒化物、第2の遷移金属炭化物、及びそれらの混合物から選択される、少なくとも1つの追加の材料を含む、シート抵抗(10)。
- 請求項6に記載のシート抵抗(10)であって、前記ピエゾ抵抗層(11)は主要構成要素として前記第1の遷移金属炭化物を含む、シート抵抗(10)。
- 前記追加の材料が炭化タングステンである、請求項6〜7のいずれか一項に記載のシート抵抗(10)。
- 前記第1の遷移金属炭化物と前記追加の材料とが混晶を形成している、請求項6〜8のいずれか一項に記載のシート抵抗(10)。
- 前記第1の遷移金属炭化物が多結晶である、請求項1〜9のいずれか一項に記載のシート抵抗(10)。
- 前記第1の遷移金属炭化物の結晶は、その表面に酸化物層を有する、請求項10に記載のシート抵抗(10)。
- 前記ピエゾ抵抗層(11)が、9ppm/K以上15ppm/K以下の熱膨張係数を有する、請求項1〜11のいずれか一項に記載のシート抵抗(10)。
- 請求項1〜12のいずれか一項に記載のシート抵抗(10)であって、前記第1の遷移金属炭化物を含む電気接点(40)をさらに含む、シート抵抗(10)。
- 請求項1〜13のいずれか一項に記載のシート抵抗(10)を含む薄膜センサ。
- 前記シート抵抗(10)が配置される膜(20)と、前記膜(20)が取り付けられるキャリア本体(30)とを備える請求項14に記載の薄膜センサであって、前記膜(20)は前記キャリア本体(30)に対して移動可能である、薄膜センサ。
- 前記膜(20)及び前記キャリア本体(30)は、セラミック及び金属から選択される材料を含む、請求項15に記載の薄膜センサ。
- 請求項16に記載の薄膜センサであって、前記膜(20)及びキャリア本体(30)は、ステンレス鋼及びイットリウム安定化ジルコニアから選択される材料を含む、薄膜センサ。
- 請求項1〜11のいずれか一項に記載のシート抵抗(10)を少なくとも2つ含む、請求項14〜16のいずれか一項に記載の薄膜センサ。
- 請求項18に記載の薄膜センサであって、前記シート抵抗(10)の1つは、温度測定用に設計されている、薄膜センサ。
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