JP2020517114A - ゲルマニウム‐シリコン光感知装置ii - Google Patents
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- H01L31/10—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors characterised by potential barriers, e.g. phototransistors
- H01L31/101—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation
- H01L31/102—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by only one potential barrier
- H01L31/103—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by only one potential barrier the potential barrier being of the PN homojunction type
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/10—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from different wavelengths
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
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- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
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- H01L27/14627—Microlenses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
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Abstract
Description
本出願は、2016年8月4日に出願した米国出願第15/288282号の一部継続出願であり、これは2015年12月28日に出願した米国仮出願第62/271386号、2015年11月6日に出願した米国仮出願第62/251691号、2015年9月11日に出願した米国仮出願第62/217031号、2015年8月28日に出願した米国仮出願第62/211004号、2015年8月28日に出願した米国仮出願第62/210991号、2015年8月27日に出願した米国仮出願第62/210946号、2015年8月25日に出願した米国仮出願第62/209349号、および2015年8月4日に出願した米国仮出願第62/200652号の優先権の権利を主張するものである。本出願は、2017年5月2日に出願した米国仮出願第62/500457号、2017年5月10日に出願した米国仮出願第62/504531号、2017年11月9日に出願した米国仮出願第62/583854号、2017年4月13日に出願した米国仮出願第62/485003号、2017年9月21日に出願した米国仮出願第62/561266号、2018年1月3日に出願した米国仮出願第62/613054号、2017年8月8日に出願した米国仮出願第62/542329号、2018年3月15日に出願した米国仮出願第62/643295号、および2018年3月31日に出願した米国仮出願第62/651085号の優先権の権利を主張するものである。
102 基板
104 集積回路層
106 相互接続層
108 センサ層
110 フィルタ層
112 レンズ層
122a、122b フォトダイオード
124a、124b フォトダイオード
126a、126b フォトダイオード
128a フォトダイオード
200 フォトダイオードアレイ
300 フォトダイオードアレイ
302a、302b フォトダイオード
400 フォトダイオード
402 NIRピクセル
404 可視光ピクセル
406 分離構造
408 光信号
412 n−Si領域
413 p+Si領域
414 p−Si領域
415 n+Si領域
416 第1のゲート
417 第1の制御信号
418 読み出し回路
422 n−Si領域
423 p+Si領域
424 p−Si領域
425 n+Si領域
426 第2のゲート
427 第2の制御信号
428 第2の読み出し回路
431 p+GeSi領域
433 真性GeSi領域
450 フォトダイオード
452 NIRピクセル
454 可視光ピクセル
456 酸化物層
458および460 光信号
462 真性GeSi領域
464 p+GeSi領域
466 p−Si領域
500 フォトダイオード
502 NIRピクセル
504 可視光ピクセル
506 分離構造
508 光信号
512 n−Si領域
513 p+Si領域
514 p−Si領域
515 n+Si領域
516 第1のゲート
517 第1の制御信号
518 読み出し回路
522 n−Si領域
524 p−Si領域
525 n+Si領域
526 第2のゲート
527 第2の制御信号
528 第2の読み出し回路
531 p+GeSi領域
533 真性GeSi領域
535 光信号
600 フォトダイオード
652 NIRピクセル
654 可視光ピクセル
656 酸化物層
658 光信号
660 光信号
662 真性GeSi領域
664 p+−GeSi領域
700 マルチゲートフォトダイオード
702 基板
704 n型井戸領域
706 吸収層、吸収領域
708 第1のゲート
710 第2のゲート
712 第1のn+Si領域、光信号
714 第2のn+Si領域、n型ドープ領域、読み出し領域
722 第1の制御信号
724 第1の読み出し回路
731 p+GeSi領域
732 第2の制御信号
734 第2の読み出し回路
800 マルチゲートフォトダイオード
802 基板
804 p型井戸領域
806 吸収層、吸収領域
808 第1のゲート
810 第2のゲート
812 第1のp+Si領域、光信号
814 第2のp+Si領域
822 第1の制御信号
824 第1の読み出し回路
831 n+GeSi領域
832 第2の制御信号
834 第2の読み出し回路
900 フォトディテクタ
902 基板
906 吸収層、吸収領域
908 第1の層
910 フォトディテクタ
912 スペーサ
920 フォトディテクタ
1000 バンド図
1008 VISゲート
1010 フォトダイオード
1012 フォトダイオード
1014 フォトダイオード
1020 フォトダイオード
1030 n型ドープ領域
1031 p型ドープ領域
1032 n型井戸、n型ドープ領域
1034 n型ドープ領域
1040 MOSFET
1100 フォトダイオード
1102 フォトダイオード
1104 フォトダイオード
1106 フォトダイオード
1108 フォトダイオード
1109 フォトダイオード
1130 第1のn型ドープ領域
1132 第2のn型ドープ領域
1133 第2のn型ドープ領域
1134 第2のn型ドープ領域
1140 フローティング拡散キャパシタ
1142 フローティング拡散キャパシタ
1150 相互接続部、分離構造
1160 ウェハ結合されたフォトダイオード
1162 フォトダイオード
1170 第1の半導体層
1172 第2の半導体層
1174 接合界面
1180 光信号
1200 フォトダイオード
1202 NIRピクセル
1204 可視光(VIS)ピクセル
1212 n−Si領域
1214 n+Si領域
1216 第1のゲート
1217 第1の制御信号
1218 第1の読み出し回路
1220 p−Si領域、p−Si層
1222 光信号
1242 n−Si領域
1244 p+Si領域
1246 第2のゲート
1247 第2の制御信号
1248 第2の読み出し回路
1250 n+GeSi領域、n+GeSi層
1252 真性GeSi領域
1254 p−GeSi領域
1256 酸化物領域
1260 光信号
1300 集積化フォトダイオードアレイ
1302 NIR/TOFピクセル
1304 VISピクセル
1306 NIRゲート
1308 VISゲート
1312 第1のTOFゲート
1314 第2のTOFゲート
1400 集積化フォトダイオードアレイ
1402 NIR/TOFピクセル
1404 VISピクセル
1408 VISゲート
1412 第1のTOFゲート
1414 第2のTOFゲート
1500 集積化フォトダイオードアレイ
1502 NIR/TOFピクセル
1504 VISピクセル
1506 NIRゲート
1508 VISゲート
1512 第1のTOFゲート
1514 第2のTOFゲート
1600 集積化フォトダイオードアレイ
1602 NIR/TOFピクセル
1604 VISピクセル
1606 第1のTOFゲート
1608 VISゲート
1612 第2のTOFゲート
1614 第3のTOFゲート
1616 第4のTOFゲート
1700 設計
1702 ゲルマニウム‐シリコン層
1704 ドナーウェハ
1706 相互接続層
1708 分離構造
1714 キャリア基板
1716 相互接続層
1718 層
1720 フィルタ層
1722 レンズ層
1800 設計
1802 基板
1804 陥凹部
1806 側壁スペーサ
1808 ゲルマニウム‐シリコン領域
1900 設計
1902 シリコンフォトダイオード、フォトディテクタ
1904 ドナーウェハ
1906 GeSiフォトダイオード、フォトディテクタ
1910 相互接続層
1914 キャリア基板
1916 相互接続層
1918 層
1920 フィルタ層
1922 レンズ層
2000 設計
2002 ゲルマニウム‐シリコン層
2004 第1のドナーウェハ
2006 相互接続層
2014 キャリア基板
2016 相互接続層
2018 層、集積回路
2020 第1のゲルマニウム‐シリコンフォトダイオード
2022 ビア
2032 相互接続層
2034 第2のドナーウェハ
2036 ゲルマニウム‐シリコンフォトダイオードアレイ
2038 ビア
2040 フィルタ層
2042 レンズ層
2044 誘電体層
2100 構成
2106 吸収領域
2106aから2106c 吸収領域
2110 ドナーウェハ、基板
2112 第1の接合層
2114 ビア
2116 金属パッド
2120 ピクセル
2120aから2120c ピクセル
2122 マイクロレンズ
2122aから2122c マイクロレンズ
2130 キャリアウェハ
2132 第2の接合層
2140 構成
2142 マイクロレンズ
2144 反射防止コーティング(ARC)層
2146 スペーサ層
2148 第1の層
2150 第2の層
2152 シリコン層
2154 フォトディテクタ
2200 撮像システム
2202 トランスミッタユニット
2204 レシーバユニット
2206 処理ユニット
2210 ターゲット物体
2212 光、光パルス
2214 反射光、反射された光パルス
2300 流れ図、プロセス
2400 回路
2402 第2の電源ノード、回路
2404 第1の制御電圧、回路
2405 第1の制御電圧源
2406 第2の制御電圧
2407 第2の制御電圧源
2408 第1の電源ノード
2410 第1の読み出し回路
2412 第1のMOSFETトランジスタ
2413 第2のMOSFET
2415および2435 ノード
2420 第1のリセットMOSFETトランジスタ
2422 第1のキャパシタ
2430 第2の読み出し回路
2432 第2のMOSFETトランジスタ
2440 第2のリセットMOSFETトランジスタ
2442 第2のキャパシタ
2450 電流ステアリング回路
2452 第1の電流ステアリングMOSFETトランジスタ
2454 第2の電流ステアリングMOSFETトランジスタ
2455 第3の制御電圧
2456 第3の制御電圧源
2457 第4の制御電圧
2458 第4の制御電圧源
2460 第1のソースフォロワ回路
2470 第2のソースフォロワ回路
2480 フォトダイオード
2482 マルチゲートフォトダイオード
2484 マルチゲートフォトダイオード
Claims (47)
- 第1の材料から形成された半導体基板であって、第1のn型ドープ領域を備える半導体基板と、
前記半導体基板によって支持されているフォトダイオードであって、光子を吸収し、吸収された前記光子から光キャリアを発生するように構成されている吸収領域を含むフォトダイオードと、を備え、
前記吸収領域が前記第1の材料と異なる第2の材料から形成されていて、
前記吸収領域が、
第1のp型ドープ領域と、
前記第1のn型ドープ領域に結合されている第2のn型ドープ領域と、を備え、
前記第2のn型ドープ領域の第2のドーピング濃度が、前記第1のn型ドープ領域の第1のドーピング濃度未満であるかまたは該第1のドーピング濃度に実質的に等しい、光学装置。 - 前記半導体基板が、第1の半導体層と第2の半導体層とを接合することによって形成されている、請求項1に記載の光学装置。
- 前記第1の材料がシリコンであり、前記第2の材料がゲルマニウムを含む、請求項1に記載の光学装置。
- 前記第1のn型ドープ領域の第1のドーピング濃度が、前記第2のn型ドープ領域の第2のドーピング濃度の16倍に実質的に等しい、請求項3に記載の光学装置。
- 前記第1のドーピング濃度および前記第2のドーピング濃度が、前記第1のn型ドープ領域の第1のフェルミ準位および前記第2のn型ドープ領域の第2のフェルミ準位が実質的に等しくなるように設定されている、請求項1に記載の光学装置。
- 前記第1のp型ドープ領域が前記吸収領域の第1の表面上に配置され、前記第2のn型ドープ領域が前記第1の表面に対向する第2の表面上に配置されている、請求項1に記載の光学装置。
- 前記第1のp型ドープ領域および前記第2のn型ドープ領域が、前記吸収領域の第1の表面上に配置されている、請求項1に記載の光学装置。
- 前記半導体基板が陥凹部をさらに備え、前記吸収領域の少なくとも一部が前記陥凹部内に埋め込まれている、請求項1に記載の光学装置。
- 前記陥凹部が側壁スペーサを備える、請求項8に記載の光学装置。
- 前記第1のn型ドープ領域が前記陥凹部の少なくとも一部を囲む、請求項8に記載の光学装置。
- 前記第1のn型ドープ領域が前記第2のn型ドープ領域と隣接している、請求項1に記載の光学装置。
- 前記第1のn型ドープ領域および前記第2のn型ドープ領域に結合されている第1の金属相互接続部をさらに備える請求項1に記載の光学装置。
- 1つまたは複数の読み出し回路に結合されている1つまたは複数の読み出し領域であって、前記フォトダイオードによって生成された光キャリアを前記1つまたは複数の読み出し回路に供給するように構成されている1つまたは複数の読み出し領域と、
前記フォトダイオードと前記1つまたは複数の読み出し領域との間のキャリア輸送を制御する1つまたは複数の制御信号に結合されている1つまたは複数のゲートとをさらに備える請求項1に記載の光学装置。 - 前記1つまたは複数の読み出し領域および前記1つまたは複数のゲートが、前記半導体基板によって支持されている、請求項13に記載の光学装置。
- 前記1つまたは複数の読み出し領域が、1つまたは複数のフローティング拡散キャパシタをさらに備える、請求項13に記載の光学装置。
- 前記半導体基板によって支持されているレンズをさらに備える請求項1に記載の光学装置。
- 前記レンズが前記半導体基板上に一体形成されている、請求項16に記載の光学装置。
- 前記半導体基板によって支持されているスペーサ層をさらに備え、
基板表面に対して法線方向において、前記スペーサ層が、前記吸収領域と前記レンズとの間に配置されている、請求項16に記載の光学装置。 - 前記スペーサ層が、前記レンズの焦点距離に対応する厚さを有する、請求項18に記載の光学装置。
- 前記半導体基板によって支持され、前記半導体基板と前記レンズとの間に配置されている反射防止層をさらに備える請求項16に記載の光学装置。
- 第1の材料から形成され、陥凹部を備える半導体基板と、
前記半導体基板によって支持されているフォトダイオードであって、光子を吸収し、吸収された前記光子から光キャリアを発生するように構成されている吸収領域を含むフォトダイオードと、を備え、
前記吸収領域が前記第1の材料と異なる第2の材料から形成され、前記吸収領域の少なくとも一部が前記陥凹部に埋め込まれ、
前記吸収領域が、
第1のp型ドープ領域と、
第1のn型ドープ領域と、
第2のn型ドープ領域と、
第1の制御信号に結合され、前記第1のn型ドープ領域と前記第2のn型ドープ領域との間のキャリア輸送を制御するように構成されている第1のゲートと、を備え、
前記第1のn型ドープ領域の第1のドーピング濃度が、前記第2のn型ドープ領域の第2のドーピング濃度未満であるかまたは該第2のドーピング濃度に実質的に等しい、光学装置。 - 第1の材料から形成され、陥凹部を備える第1の半導体基板と、
前記第1の半導体基板によって支持されているフォトダイオードであって、前記フォトダイオードが、光子を吸収し、吸収された前記光子から光キャリアを発生するように構成されている吸収領域を含み、前記吸収領域が前記第1の材料と異なる第2の材料から形成され、前記吸収領域の少なくとも一部が前記陥凹部に埋め込まれ、前記吸収領域が、
第1のp型ドープ領域と、
第1のn型ドープ領域と、を備える、フォトダイオードと、
前記第2の材料と異なる第3の材料から形成されている第2の半導体基板であって、前記第2の半導体基板が、
第2のn型ドープ領域と、
1つまたは複数の読み出し回路に結合されている1つまたは複数の読み出し領域であって、前記フォトダイオードによって生成された光キャリアを前記1つまたは複数の読み出し回路に供給するように構成されている1つまたは複数の読み出し領域と、
前記フォトダイオードと前記1つまたは複数の読み出し領域との間のキャリア輸送を制御する1つまたは複数の制御信号に結合されている1つまたは複数のゲートとを備える、第2の半導体基板と、
前記第1のn型ドープ領域および前記第2のn型ドープ領域に結合されている金属相互接続部と、を備え、
前記第1のn型ドープ領域の第1のドーピング濃度が、前記第2のn型ドープ領域の第2のドーピング濃度未満であるか、または該第1のドーピング濃度に実質的に等しい、光学装置。 - 光子を吸収し、吸収された前記光子から光キャリアを生成するように構成されているフォトダイオードと、
第1のMOSFETトランジスタであって、
前記フォトダイオードの第1の端子に結合され、前記フォトダイオードによって生成された前記光キャリアの一部を収集するように構成されている第1のチャネル端子と、
第2のチャネル端子と、
第1の制御電圧源に結合されているゲート端子とを備える、第1のMOSFETトランジスタと、
第1の読み出し電圧を出力するように構成されている第1の読み出し回路であって、
前記フォトダイオードによって生成される前記光キャリアを積分するように構成されている第1のキャパシタと、
前記第1のキャパシタを第1の電圧まで充電するように構成されている第1のリセットMOSFETトランジスタとを備える、第1の読み出し回路と、
第2の読み出し電圧を出力するように構成されている第2の読み出し回路であって、
前記フォトダイオードによって生成される前記光キャリアを積分するように構成されている第2のキャパシタと、
前記第2のキャパシタを第2の電圧まで充電するように構成されている第2のリセットMOSFETトランジスタとを備える、第2の読み出し回路と、
前記フォトダイオードによって生成された前記光キャリアをステアリングして前記第1の読み出し回路および前記第2の読み出し回路の一方または両方に導くように構成されている電流ステアリング回路であって、
第2の制御電圧源に結合されている第2のゲート端子、前記第2のチャネル端子に結合されている第3のチャネル端子、および前記第1の読み出し回路に結合されている第4のチャネル端子を備える第1の電流ステアリングMOSFETトランジスタと、
第3の制御電圧源に結合されている第3のゲート端子、前記第2のチャネル端子に結合されている第5のチャネル端子、および前記第2の読み出し回路に結合されている第6のチャネル端子を備える第2の電流ステアリングMOSFETトランジスタと、を備える電流ステアリング回路と、を備える回路であって、
該回路の動作時に、前記第1の制御電圧源が、前記第1の電圧と前記フォトダイオードの第1の端子の第3の電圧との間の第1の電圧差を生じさせ、前記第2の電圧と前記フォトダイオードの第1の端子の前記第3の電圧との間の第2の電圧差を生じさせるように構成されている第1の制御電圧を発生させる、回路。 - 第1の半導体層と第2の半導体層とをさらに備え、
前記フォトダイオードが前記第1の半導体層によって支持され、
前記第1のMOSFETトランジスタ、前記第1の読み出し回路、前記第2の読み出し回路、および前記電流ステアリング回路が前記第2の半導体層によって支持されている、請求項23に記載の回路。 - 第1の半導体層と第2の半導体層とをさらに備え、
前記フォトダイオードおよび前記第1のMOSFETトランジスタが前記第1の半導体層によって支持され、
前記第1の読み出し回路、前記第2の読み出し回路、および前記電流ステアリング回路が前記第2の半導体層によって支持されている、請求項23に記載の回路。 - 第1の半導体層と第2の半導体層とをさらに備え、
前記フォトダイオード、前記第1のMOSFETトランジスタ、および前記電流ステアリング回路が前記第1の半導体層によって支持され、
前記第1の読み出し回路および前記第2の読み出し回路が前記第2の半導体層によって支持されている、請求項23に記載の回路。 - 前記回路の動作時に、前記第1の制御電圧が、閾値下領域または飽和領域内で前記第1のMOSFETトランジスタを動作させるように構成されている、請求項23に記載の回路。
- 前記回路の動作時に、前記第1の制御電圧源が、前記第1のキャパシタによって積分される第1の暗電流と、前記第2のキャパシタによって積分される第2の暗電流とを、前記第1のMOSFETトランジスタを有しない相当する回路と比較して減少させる、請求項23に記載の回路。
- 光子を吸収し、吸収された前記光子から光キャリアを生成するように構成されているフォトダイオードと、
第1の読み出し電圧を出力するように構成されている第1の読み出し回路であって、
前記フォトダイオードによって生成される前記光キャリアを積分するように構成されている第1のキャパシタと、
前記第1のキャパシタを第1の電圧まで充電するように構成されている第1のリセットMOSFETトランジスタと、を備える第1の読み出し回路と、
第2の読み出し電圧を出力するように構成されている第2の読み出し回路であって、
前記フォトダイオードによって生成される前記光キャリアを積分するように構成されている第2のキャパシタと、
前記第2のキャパシタを第2の電圧まで充電するように構成されている第2のリセットMOSFETトランジスタと、を備える第2の読み出し回路と、
第1のMOSFETトランジスタであって、
第1のチャネル端子と、
前記第1の読み出し回路に結合されている第2のチャネル端子と、
第1の制御電圧源に結合されている第1のゲート端子と、を備える第1のMOSFETトランジスタと、
第2のMOSFETトランジスタであって、
第3のチャネル端子と、
前記第2の読み出し回路に結合されている第4のチャネル端子と、
前記第1の制御電圧源に結合されている第2のゲート端子と、を備える第2のMOSFETトランジスタと、
前記フォトダイオードによって生成された光キャリアをステアリングして前記第1の読み出し回路および前記第2の読み出し回路の一方または両方に導くように構成されている電流ステアリング回路であって、
第2の制御電圧源に結合されている第3のゲート端子、前記フォトダイオードの第1の端子に結合され、前記フォトダイオードによって生成される前記光キャリアの一部を収集するように構成されている第5のチャネル端子、および前記第1のチャネル端子に結合されている第6のチャネル端子を備える第1の電流ステアリングMOSFETトランジスタと、
第3の制御電圧源に結合されている第4のゲート端子、前記フォトダイオードの前記第1の端子に結合され、前記フォトダイオードによって生成される前記光キャリアの一部を収集するように構成されている第7のチャネル端子、および前記第3のチャネル端子に結合されている第8のチャネル端子を備える第2の電流ステアリングMOSFETトランジスタと、を備える電流ステアリング回路と、を備える回路であって、
該回路の動作時に、前記第1の制御電圧源が、前記第1の電圧と前記フォトダイオードの第1の端子の第3の電圧との間の第1の電圧差を生じさせ、前記第2の電圧と前記フォトダイオードの第1の端子の第3の電圧との間の第2の電圧差を生じさせるように構成されている第1の制御電圧を発生させる、回路。 - 第1の半導体層と第2の半導体層とをさらに備え、
前記フォトダイオードが前記第1の半導体層によって支持され、
前記第1のMOSFETトランジスタ、前記第2のMOSFETトランジスタ、前記第1の読み出し回路、前記第2の読み出し回路、および前記電流ステアリング回路が前記第2の半導体層によって支持されている、請求項29に記載の回路。 - 第1の半導体層と第2の半導体層とをさらに備え、
前記フォトダイオードおよび前記電流ステアリング回路が前記第1の半導体層によって支持され、
前記第1の読み出し回路、前記第2の読み出し回路、前記第1のMOSFETトランジスタ、および前記第2のMOSFETトランジスタが前記第2の半導体層によって支持されている、請求項29に記載の回路。 - 第1の半導体層と第2の半導体層とをさらに備え、
前記フォトダイオード、前記電流ステアリング回路、前記第1のMOSFETトランジスタ、および前記第2のMOSFETトランジスタが前記第1の半導体層によって支持され、
前記第1の読み出し回路および前記第2の読み出し回路が前記第2の半導体層によって支持されている、請求項29に記載の回路。 - 前記回路の動作時に、前記第1の制御電圧が、閾値下領域または飽和領域内で前記第1のMOSFETトランジスタおよび前記第2のMOSFETトランジスタを動作させるように構成されている、請求項29に記載の回路。
- 前記回路の動作時に、前記第1の制御電圧源が、前記第1のキャパシタによって積分される第1の暗電流と、前記第2のキャパシタによって積分される第2の暗電流とを、前記第1のMOSFETトランジスタおよび前記第2のMOSFETトランジスタを有しない相当する回路と比較して減少させる、請求項29に記載の回路。
- 光子を吸収し、吸収された前記光子から光キャリアを生成するように構成されているフォトダイオードと、
第1の読み出し電圧を出力するように構成されている第1の読み出し回路であって、
前記フォトダイオードによって生成される前記光キャリアを積分するように構成されている第1のキャパシタと、
前記第1のキャパシタを第1の電圧まで充電するように構成されている第1のリセットMOSFETトランジスタと、を備える第1の読み出し回路と、
第2の読み出し電圧を出力するように構成されている第2の読み出し回路であって、
前記フォトダイオードによって生成される前記光キャリアを積分するように構成されている第2のキャパシタと、
前記第2のキャパシタを第2の電圧まで充電するように構成されている第2のリセットMOSFETトランジスタと、を備える第2の読み出し回路と、
前記フォトダイオードによって生成された光キャリアをステアリングして前記第1の読み出し回路および前記第2の読み出し回路の一方または両方に導くように構成されている電流ステアリング回路であって、
第1の制御電圧源に結合されている第1のゲート端子、前記フォトダイオードの第1の端子に結合され、前記フォトダイオードによって生成される前記光キャリアの一部を収集するように構成されている第1のチャネル端子、および前記第1の読み出し回路に結合されている第2のチャネル端子を備える第1の電流ステアリングMOSFETトランジスタと、
第2の制御電圧源に結合されている第2のゲート端子、前記フォトダイオードの前記第1の端子に結合され、前記フォトダイオードによって生成される前記光キャリアの一部を収集するように構成されている第3のチャネル端子、および前記第2の読み出し回路に結合されている第4のチャネル端子を備える第2の電流ステアリングMOSFETトランジスタと、を備える電流ステアリング回路と、を備える回路であって、
該回路の動作時に、前記第1の制御電圧源が、前記第1の電圧と前記フォトダイオードの第1の端子の第3の電圧との間の第1の電圧差を生じさせるように構成されている第1の制御電圧を発生させ、前記第2の制御電圧源が、前記第2の電圧と前記フォトダイオードの前記第1の端子の前記第3の電圧との間の第2の電圧差を生じさせるように構成されている第2の制御電圧を発生させる、回路。 - 第1の半導体層と第2の半導体層とをさらに備え、
前記フォトダイオードが前記第1の半導体層によって支持され、
前記第1の読み出し回路、前記第2の読み出し回路、および前記電流ステアリング回路が前記第2の半導体層によって支持されている、請求項35に記載の回路。 - 第1の半導体層と第2の半導体層とをさらに備え、
前記フォトダイオードおよび前記電流ステアリング回路が前記第1の半導体層によって支持され、
前記第1の読み出し回路および前記第2の読み出し回路が前記第2の半導体層によって支持されている、請求項35に記載の回路。 - 前記回路の動作時に、前記第1の制御電圧が、閾値下領域または飽和領域内で前記第1の電流ステアリングMOSFETトランジスタを動作させるように構成され、前記第2の制御電圧が、前記閾値下領域または前記飽和領域内で前記第2の電流ステアリングMOSFETトランジスタを動作させるように構成されている、請求項35に記載の回路。
- 前記回路の動作時に、前記第1の制御電圧源および前記第2の制御電圧源が、第1の期間に前記光キャリアをステアリングして前記第1の読み出し回路に導き、第2の期間に前記光キャリアをステアリングして前記第2の読み出し回路に導くことによって前記回路を飛行時間型イメージングモードで動作させるように制御される、請求項35に記載の回路。
- 前記回路の動作時に、前記第1の制御電圧源および前記第2の制御電圧源が、前記光キャリアをステアリングして前記第1の読み出し回路および前記第2の読み出し回路に同期方式で導くことによって前記回路を強度イメージングモードで動作させるように制御される、請求項35に記載の回路。
- 前記回路の動作時に、前記第1の制御電圧源および前記第2の制御電圧源が、前記光キャリアをステアリングして前記第1の読み出し回路および前記第2の読み出し回路のうちの一方に強度イメージングモードで動作している間に導くことによって前記回路を前記強度イメージングモードで動作させるように制御される、請求項35に記載の回路。
- 前記第1の電圧差が前記第1の電圧の10%以上であり、
前記第2の電圧差が前記第2の電圧の10%以上である、請求項23、29、または35に記載の回路。 - 前記フォトダイオードが、ゲルマニウムを含む光吸収領域をさらに備える、請求項23、29、または35に記載の回路。
- 前記フォトダイオードが陥凹部を備え、前記光吸収領域の少なくとも一部が前記陥凹部内に埋め込まれている、請求項43に記載の回路。
- 前記回路の動作時に、前記第2の制御電圧源および前記第3の制御電圧源が、第1の期間に前記光キャリアをステアリングして前記第1の読み出し回路に導き、第2の期間に前記光キャリアをステアリングして前記第2の読み出し回路に導くことによって前記回路を飛行時間型イメージングモードで動作させるように制御される、請求項23または29に記載の回路。
- 前記回路の動作時に、前記第2の制御電圧源および前記第3の制御電圧源が、前記光キャリアをステアリングして前記第1の読み出し回路および前記第2の読み出し回路に同期方式で導くことによって前記回路を強度イメージングモードで動作させるように制御される、請求項23または29に記載の回路。
- 前記回路の動作時に、前記第2の制御電圧源および前記第3の制御電圧源が、前記光キャリアをステアリングして前記第1の読み出し回路および前記第2の読み出し回路のうちの一方に強度イメージングモードで動作している間に導くことによって前記回路を前記強度イメージングモードで動作させるように制御される、請求項23または29に記載の回路。
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