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Description
本発明は放射線検出装置に関する。
デジタルラジオグラフィー(DR)などの用途においては、フラットパネルディテクター(FPD)を使用して間接的にX線画像を取得することができる。FPDは、典型的には、個々の画素センサ回路からなるマトリックスを備え、ディテクターの全領域にわたって「蛍光体」(図示せず)を用いるX線光子から光学光子への間接的変換を使用する。X線撮像に使用される典型的なシンチレーション物質は、例えば構造化ヨウ化セシウム(CsI(Tl))やGadOxまたはGOSとしても知られる酸硫化ガドリニウム(Gd2O2S)Tb))などの、蛍光体である。それぞれの画素回路内のフォトダイオードに到達する蛍光体からの光学光子は、単一の電子―正孔対へと変換され、結果として生じる電荷は、個別キャパシタおよび/または寄生容量のいずれかまたは両方を用いて画素回路内に蓄えられる。
図1は、アクティブマトリックス(AM)順次アドレッシング方式を使用する、従来のアモルファスシリコンバックプレーンシリコンFPDの3x3画素部分の回路図を示す。図2は、図1で示したマトリックス部分の個々の画素の第1の例の断面を示す。図3は、シリコンオングラスプロセスを用いて形成した個々の画素の第2の例の断面を示す。図2および3に示すように、個々の画素は、対応する薄膜スイッチングトランジスタに電気的に接続された単一の検出ダイオードを備える。
動作時には、画素回路のX線照射の間に(図示しないキャパシタ内に)蓄積された電荷は、行ゲート電極に順次アドレスすることにより読み出され、これによって、画素回路のスイッチング薄膜トランジスタがオフ状態からオン状態になる。結果として生じる電荷は、当該画素位置におけるX線強度に比例しており、列のそれぞれの読出し回路へ伝導される。
特許文献1(RowlandsおよびZhao)は、アクティブマトリックスアドレッシング方式を用いた、X線撮像間接変換検出器におけるアバランシェ層の使用を記載している。ここで、X線はヨウ化セシウム(CsI)などの蛍光体に入り、光学光子のシャワーを生成し、光学光子が更に、アモルファスセレンまたはアモルファスシリコンでもよいアバランシェ層における光電効果により電子―正孔対を生成する。
しかし、これらの検出器には、入射電磁放射線の線量が低い場合、検出量子効率(DQE)によって限界がある。
したがって、高リスクカテゴリに入る妊婦、子供、または肥満者などの被検者の高品質で広範囲のX線画像は、有用な画像を得るためには高い線量レベルを必要とする。続行するには被爆リスクが高すぎると思われる場合、より劣った別の診断方法を使用しなければならない。
これとは別に、バーチャルリアリティでの用途では、現在、ジェスチャー認識や眼球追跡が、典型的には赤外波長範囲において、照明下で体または眼を撮像することにより実施されている。しかし、近赤外撮像センサ、特に眼球追跡用の近赤外撮像センサには、取得/集積時間によって制限される速度およびシーン照明強度により、限界がある。
国際公開第2013/018006号には、光子の衝突に応答して破壊するように構成された単一光子アバランシェダイオード(SPAD)検出器からなる検出器アレイを含む光子検出器が開示されている。
本発明の目的は、これらの弱点を軽減することである。
本発明によれば、請求項1に係る放射線検出装置が提供される。
本発明は、放射線検出装置のダイオードにおけるアバランシェ増倍ガイガーモード降伏に基づき、信号に変換された電磁放射線量子または光子ごとに高電荷パルスを生成する。これは、数千の電子電荷が単一の光子により生成された信号に寄与し得ることを意味する。これは、変換利得が均一でない従来のアモルファスシリコンダイオード実施例におけるプロセスとは異なるものである。
放射線検出装置の各セルまたは画素は、複数のダイオードセグメントを含むセグメント化構造を有し、アバランシェ増倍の利得を制御する。高抵抗の抵抗器がセルの各ダイオードセグメントに直列接続されており、一旦アバランシェが始まると、個々のダイオードセグメントの暴走アバランシェを防止またはクエンチする。したがって、本発明の実施形態は、高リスクカテゴリに入る被検者などの高品質広範囲のX線撮像を、より低くより安全な照射線量で可能にする。いくつかの使用例においては、被検者の例えば血管造影などの高フレームレートのシーケンシャル撮像が、現在の技術よりも低い線量かつ高いフレームレートで行われ得る。
あるいは、検出装置を使用する際にX線線量を制限する必要のない場合では、1フレームあたりの照射時間を低減させることができる。これによって、照射の間の、例えば血流や心拍などの患者の動きによる画像のぶれが低減され、結果として、画像品質が改善される。また、貨物を動的に走査する、危険や脅威のある場面での適用では、照射時間をより短くすると、走査中に物体の動きが少なくなるため、ぶれが少なくなる。
本発明による放射線検出装置の医療用途には、CT撮像、PET撮像、SPECT撮像、およびDR(デジタルラジオグラフィー)撮像がある。
他の非医療用途には、空港での貨物走査もしくは検出、または(例えば、核物理実験、
非破壊検査、もしくは広範囲にわたる危険および脅威のための)放射線検出が含まれる。
非破壊検査、もしくは広範囲にわたる危険および脅威のための)放射線検出が含まれる。
本電磁放射線検出装置の使用によって恩恵を受ける他の撮像用途には、LiDAR撮像、VR網膜カメラ、低光レベルのコンタクトイメージセンサ(CIS)、および(例えば低光レベルカメラ用の)セキュリティ用途がある。
他の形態では、ダイオード内で単一の光子が複数の電子を生成する際に当該光子の到着時刻を特定し当該装置の検出品質を向上することを目的とする場合に、適用することができる。
この態様の実施形態の用途には、測距または三角測量用途が含まれる。
図4を参照して、本発明によるアクティブマトリックスFPD1の例示の実施形態が開示されている。FPD1は、複数M列に分割された複数N行のセル2(その3x3部分のみ示す)を有するマトリックスを備える。マトリックスは、集束用光学素子(図示せず)を備え得る検出器に組み込まれている。集束用光学素子は検出器の視野を定めるものであり、それ以外は従来のものと同じである。
各セル2は、FPD1に入射する電磁放射線に反応する複数のダイオードセグメント3を備える。実施形態において、各セルは、3x3の格子状にレイアウトされた9個のダイオードセグメントを備える。しかし、この配置は、変更可能であり、別の配置にレイアウトされた様々な数のセグメントを含んでよいことが、理解されるであろう。それにもかかわらず、本用途の実施形態のダイオードセグメントは、先行技術の単一式ダイオード実施例と同様の面積を占め、したがって、それと同様の解決策を提供できる。
各セル2は、読取り部5に関連付けられたデータ線6にセル2のダイオードセグメント3を選択的に接続するためのトランジスタ10を更に備える。ダイオードセグメント3の各々は、それぞれのアバランシェクエンチング抵抗器8を介してトランジスタ10と並列
に接続されている。
に接続されている。
間接的にX線を検出する用途のために、FPD1は、入射X線光子をセル2のダイオードセグメント3に到達し得る光学光子へ変換するための、例えば蛍光体などの少なくとも1つのシンチレーション物質の層を備えることができる。入射光学光子に応じて、ダイオードセグメント3は電荷信号を生成する。このようにして、FPD1は間接的X線/電荷信号変換を行うことができる。
ダイオードセグメント3の動作には、ダイオードセグメント3のカソードへ電力供給手段7により付与された逆駆動電圧バイアスがかかっている。逆電圧バイアスはダイオードセグメント3の降伏電圧より大きいため、ダイオードセグメント3はアバランシェ増倍ガイガーモードで動作する。このモードでは、単一の光子吸収イベントに対して、多数の電子―正孔対がダイオードセグメント3によって生成され、その結果、図12のグラフに示すように、あるX線照射に対し先行技術の解決策と比べてより高い電荷が生成される。
図4には図示していないが、この電荷は、セル内に設けられた個別キャパシタ内に、または寄生容量を使用して、蓄えることができる。
ダイオードセグメント3の降伏電圧に依存して、逆電圧バイアスの典型的な値は、10Vから30Vの範囲にあってよい。かけられる逆電圧バイアスはDC電圧であるが、フレーム時間(一般的には、50Hzフレームレートで20ms)によって、ゲートされ得る。あるいは、逆電圧バイアスは、パルス幅がX線パルス幅(一般的には約2ms)によって定められる、パルスモードでかけられてもよい。このようにすると、信頼性が向上し、FPD1の読み出す動作が、DCバイアスを用いるときよりも低い電圧で起こり得る。
図5、10、11、および14に示す例示の実施形態を参照して、セル2内のダイオードセグメント3の側壁22が、誘電材料23によって互いから横方向に離間されており、これによって、横方向に制限された構造を提供してガイガーアバランシェ増倍の利得を制御している。ダイオードセグメントのサイズは、2μm(典型的なフォトリソグラフィック製造方法フィーチャーサイズによる限界)から150μm(最大画素サイズ限界)であり得る。
各抵抗器8は、アバランシェイベントの後、ダイオードセグメント3を降伏前の状態に戻すのに十分高い限流抵抗を提供するように、設計されている。抵抗値は、使用するダイオードセグメント3に依存するが、50kΩから2MΩの範囲、より典型的には100kΩから400kΩの範囲であり得る。
図4に戻って、セル2の読み出しは、図1に示した先行技術の例におけるのと同様に生じる。特に、FPD1は、
複数N個の走査線信号をマトリックスのそれぞれの行に提供する走査ドライバ4であって、各走査線信号は選択された行のセル2からの電荷値を読み取り可能にする、走査ドライバ4と、
マトリックスのそれぞれの列から複数M個の可変電荷値信号を読み取る読取り部5であって、各可変電荷値信号は選択された行内のセル2に対応する、読取り部5と、
を備える。
複数N個の走査線信号をマトリックスのそれぞれの行に提供する走査ドライバ4であって、各走査線信号は選択された行のセル2からの電荷値を読み取り可能にする、走査ドライバ4と、
マトリックスのそれぞれの列から複数M個の可変電荷値信号を読み取る読取り部5であって、各可変電荷値信号は選択された行内のセル2に対応する、読取り部5と、
を備える。
走査ドライバ4からの走査線信号は、選択された行内のトランジスタ10のゲート11に送られ、これらのトランジスタ10をオンにする。このように、選択された行内のセル2のダイオードセグメント3は、対応するデータ線6に動作可能に接続されており、読取り部5は、選択された行内のセル2のダイオードセグメント3によって生成された可変電荷値信号を、データ線6から順次読み取ることができる。このように、行のラインの順次アクティブマトリックスアドレッシングを行って、FPD1の各セル位置における電荷値、したがって入射放射線強度を、求めることができる。
製造に関連して、図5、10、および11に示した例示の実施形態において、セル2は基板20上に形成された金属層11、21を備え、セル2のダイオードセグメント3は、金属層21のそれぞれの部分上で互いから離間して形成されている。上述したように、金属部分11は、トランジスタ10のゲートコンタクトとして機能する。金属層21の部分はダイオードセグメント3のカソードとして機能し、電力供給手段7へ接続されている。このようにして、動作逆バイアス電圧をダイオードセグメント3にかけることができる。
セル2は、更に、ダイオードセグメント3にわたって形成された、電磁放射線に対して透明である、透明導電層25を備える。例えば、層25は、導電性酸化物、例えば酸化インジウムスズ(ITO)、からできていてもよい。
シンチレーション物質の層は、FPD1内に存在する場合、層25の上に配置され、層25により、シンチレーション物質によって生成された光子は、層25を通りぬけてダイオードセグメント3に到達可能となる。
層25を堆積させる前に、不動態化誘電材料23、例えば酸化ケイ素、をダイオードセグメント3の側壁22の周りに堆積させる。材料23の露出表面はダイオードセグメント3の露出表面と同一平面上になくてもよく、したがって、実施形態に示すように、ダイオードセグメント3および誘電材料23にわたって堆積される層25は、平面でなくてもよく、したがって、この場合、層25は、ダイオードセグメント3ごとに、ダイオードセグメント3の上端にあるパッド27と、パッド27から離れるように不動態化材料の上に延びる2つの側方部分28とを備える。
ダイオードセグメントおよび層3、23、25の表面を成形できるため、図10の実施形態に示すようなものが可能となる。図10の実施形態では、パッド27が、ドーム形29で形成されて光学レンズとして機能し、下にある対応するダイオードセグメント3の中心に入射放射線を合焦させる。このドーム形は、複数の堆積工程を用いてウェル内で層25の連続部分を堆積することによって、作成および制御できる。
図5および10の実施形態において、層25は、セル2のダイオードセグメント3のアノードと、トランジスタ10との間の電気接続として機能し、その接続トラックが抵抗器8を提供している。トランジスタ10は、セル2が属するマトリックス列のデータ線6に、金属層12を介して動作可能に接続されている。このように、走査ドライバ4からの走査行信号がゲート11に送られてトランジスタ10をオンにすると、ダイオードセグメント3によって生成された電荷信号は、データ線6に到達して読取り部5によって読み取られることができる。
図5および10に示すセル2の構造をより明確に示すために、図6は、セル2の単一のダイオードセグメント構造26の平面図を、この構造26を構成する基本的な層の平面図とともに示している。まず、部分11、21を備える金属層が堆積され、次いで半導体ダイオード層3が堆積される。次いで、不動態化層23が堆積される(図6(c)において、矩形はこの層における開口を表しており、この開口を通してダイオード層3および金属コンタクト11とのコンタクトが実現され得る)。次いで、ITO層25が堆積され、図6(d)はダイオードセグメントをトランジスタ10に接続する抵抗器8を形成するトラックを示している。トランジスタ10およびコンタクト層12を形成する更なる層は図示していないが、それ以外は従来のものである。
図7は完全なセル2の平面図を、層21、11、3、23、および25の平面図とともに示す。ここで、ダイオードセグメント3とそれらの抵抗器8とは互いに並列に接続されている。
ここで図13を参照して、セル2’内のダイオードセグメント3’の極性を逆にすることも可能である。この場合、各ダイオードアノードはクエンチング抵抗器8を介して電力供給手段7に接続され、一方、各カソードはトランジスタ10に接続される。図14は、基板20を備えるそのようなセル2’を示す。基板20上には、ダイオードセグメント3’と薄膜トランジスタ10がシリコンオングラスプロセスを用いて形成されている。この場合、セル2’は、トランジスタ10に接続する第1の金属層部分31と第2の金属層部分32とを備える。金属層31はセル2が属するマトリックス列のデータ線6に関連付けられている。
誘電材料23aの第1の層が、金属層部分31、32と基板20との間の空間を埋めている。材料23aと同時に誘電体23cを堆積することができる。誘電材料23bの第2の層が第1および第2の金属層部分31、32にわたって配置されており、金属材料33の第3の層は、誘電材料23bの第2の層の上に配置され、第2の金属層部分32に接続されている。
ダイオードセグメント3’は、金属材料33の第3の層にわたって配置されており、透明導電層25はダイオードセグメント3’および不動態化材料23の各上端の上にある。再び、層25は、ダイオードセグメント3のアノードを電力供給手段7へ繋ぐコンタクトとして機能し、ダイオードカソードは、層33および32を介してトランジスタ10に接続され、抵抗器8は層25内に画成される。
走査ドライバ4からの走査駆動信号がトランジスタ10のゲート11を駆動してトランジスタ10をオンにすると、ダイオードセグメント3’によって生成された電荷信号は、金属層33、32、31を通ってデータ線6に到達し、読取り部5によって読み取られることができる。
図4および13に例示した実施形態の変形例において、抵抗器8はダイオードセグメント3と電力供給手段7との間、またはダイオードセグメント3’とトランジスタ10との間にそれぞれ接続され得ることが、理解されるであろう。
この場合も、シンチレーション物質の層が、FPD1内に存在する場合には、層25上に配置される。
この場合も、シンチレーション物質の層が、FPD1内に存在する場合には、層25上に配置される。
図11に示す実施形態において、セル2は、図5および10に示す構造と同様に、基板20上の金属層21、11上にある互いに離間したダイオードセグメント3aの下側アレイを備える。セル2は、更に、互いに離間したダイオードセグメント3bの上側アレイを備え、ダイオードセグメント3aは、上側アレイのダイオードセグメント3bに対してダイオードセグメント3b同士の間の空間の下に配置されるように、オフセットされている。ITO層25a、25bが、ダイオードセグメント3a、3bの各アレイ上にわたってそれぞれ形成されている。
ダイオードセグメント3bは、対応する互いに離間した金属部分30上にあり、金属部分30はダイオードセグメント3bのためのカソードコンタクトとして機能する。金属部分30は、下側の並びのダイオードセグメント3aの上端にある透明導電層25に対し、Z方向上方に配置されているが、横方向にはオフセットしている。層25aおよび25bは、ダイオードセグメント3bならびにセグメント3aのためのアノード接続として機能するように、仲介部25cを介して接続されている。
このように、上側アレイのダイオードセグメント3bによって吸収されない光子は、下側の並びのダイオードセグメント3aによって吸収される。これにより、セグメント化ダイオード構造を用いた100%のフィルファクタ検出が達成される。
更に、図11に示すように、ダイオードセグメント3bのうちのいくつかがトランジスタ10の上に配置されるようにダイオードセグメント3bの上側の並びを延ばすことによって、検出率を更に上昇できる。
図11に例示した原理は、図14のシリコンオングラス実施形態にも同様に適用可能である。
ここで図15および16を参照して、先の実施形態の更なる変形例において、読取り部5’’ではなくマトリックスが、リセット回路9を含む。したがって、各セルは、電力供給手段7とダイオード2’’との間に接続された更なるトランジスタ12を含む。トランジスタゲートは、リセット回路9によって駆動され、必要に応じて各ダイオード2’’の電荷をクリアする。以前と同様に、各ダイオード2’’は、信号回収が始まる前に初期化されなければならない。これは、リセットされたトランジスタ12にパルスを送り、ダイオードにかける電圧をガイガーモード動作用に設定することによって、達成される。一旦リセットされたトランジスタ12がオフになると、集積期間が開始する。入射光(放射線)は、各ダイオード2’’においてアバランシェイベントを開始可能な電子―正孔対を生成し、その結果、画素の電荷に変化が生じる。集積期間の終わりに、トランジスタ11をオンにすることよって読み出しTFT(行)が選択され、総蓄積電荷が読取り部回路5’’へ送られる。図15の例では、図4および13の実施形態の電荷増幅器13ではなく、負荷抵抗器13’が、読取り部回路5’’にデータ線6を接続する。また、これらは互換的に使用され得ることが、理解されるであろう。図16は、図14の実施例と同様の方式での本回路の例示のシリコンオングラス実施例を示す。ここでは、ITO層25がダイオードセグメント3’’を別々の抵抗器(図示せず)を介して更なるトランジスタ12に接続している。
FPD撮像システムに共通の読み出しシステムで実施される本発明の実施形態は、画素における所与の光子率につき、電磁放射線検出装置の信号対雑音比を増加させる。結果として生じる検出装置の検出量子効率(DQE)は、入射電磁放射線の所与の線量につき、増加する。逆に、所与のDQE値での線量は減少する。例示のために、図1の従来の手法と図4の実施形態とで比較した、DQE対線量のグラフを図12に示す。図12は、本発明の実施形態のS字型のDQE対X線線量レベル曲線が、図1、2、および3の従来の手法による曲線の左へどのようにシフトしているかを示す。これは、DQE50%を必要とするX線画像については、達成された線量の減少は82%であり、これは5倍の線量レベル減少に相当する。DQEは、X線画像の、特に低照射レベルでの品質に影響する、原理的な性能指数であるが、変調伝達関数(MTF)などの他のパラメータは本発明によって必ずしも悪影響を受けないことに留意されたい。
図5〜7、10〜11、および13〜14に示す実施形態において、セル2、2’のダイオードセグメント3、3’に直列接続されているアバランシェクエンチング抵抗器8は、ダイオードセグメント3のためのコンタクトとして使用される透明導電層25内にパターニングされている。あるいは、または更に、アバランシェクエンチング抵抗器8は、
更なる高抵抗層としてダイオードメサに集積される、かつ/または
ダイオードセグメント3の下にある金属層21、33に集積されることができる。
更なる高抵抗層としてダイオードメサに集積される、かつ/または
ダイオードセグメント3の下にある金属層21、33に集積されることができる。
ここで図8〜9を参照して、FPD1のダイオードセグメント3(または3’)を実現するための例示の実施形態を開示する。
ダイオードセグメント3はアモルファスシリコン(a−Si)で実現可能である。J.
−W.Hongらによる「The Hydrogenated Amorphous Silicon Reach-Through Avalanc
he Diodes(水素化アモルファスシリコンリーチスルー型アバランシェダイオード)(暫
定訳)」IEEE Journal of Quantum Electronics, IEEE, 1990は、アモルファスシリコンアバランシェフォトダイオードの製造プロセスを記載している。図8(a)は、以下の様々なドープ層を備えた例示のa―Siダイオードセグメント3を示す。すなわち、
金属層21(図5に示すセル2の金属層部分21など)上の高濃度ドープn型層41、
層41上の低濃度ドープn型層40、および
層40の上かつ透明導電層25(図5に示すセル2の層25など)の下にある高濃度ドープp型層42。
−W.Hongらによる「The Hydrogenated Amorphous Silicon Reach-Through Avalanc
he Diodes(水素化アモルファスシリコンリーチスルー型アバランシェダイオード)(暫
定訳)」IEEE Journal of Quantum Electronics, IEEE, 1990は、アモルファスシリコンアバランシェフォトダイオードの製造プロセスを記載している。図8(a)は、以下の様々なドープ層を備えた例示のa―Siダイオードセグメント3を示す。すなわち、
金属層21(図5に示すセル2の金属層部分21など)上の高濃度ドープn型層41、
層41上の低濃度ドープn型層40、および
層40の上かつ透明導電層25(図5に示すセル2の層25など)の下にある高濃度ドープp型層42。
ダイオードセグメント3の層は、イオン注入を用いてドープできる。例えば、パターニングされたイオン注入により連続層のダイオードセグメント3をドープする。
図8(a)の積層の代わりに、図8(b)では、電子―正孔対生成用の誘電サブ層40aが、感光性電子―正孔対生成用の半導体層40bの下に設けられる。
一実施形態では、ダイオードセグメント3は、混合相シリコンを備えることができる。図9を参照して、そのようなダイオードセグメント3は、
金属層21上の高濃度ドープn型層41と、
低濃度ドープのn型混合相シリコン層43と、
層43の上かつ透明導電層25の下にある高濃度ドープp型層42と、
を備える。
金属層21上の高濃度ドープn型層41と、
低濃度ドープのn型混合相シリコン層43と、
層43の上かつ透明導電層25の下にある高濃度ドープp型層42と、
を備える。
混合相シリコン層43は、アモルファスシリコンおよび多結晶またはナノ結晶シリコンなどの結晶シリコンの交互の領域44、45からなる。この混合相シリコン層43は、ダイオードセグメント3の降伏電圧を下げる。P.A. Beck「High Current Density in μc-Si PECVD Diodes for Low Temperature Applications(低温用途のためのμc−Si PECVDダイオードにおける高電流密度)(暫定訳)」(この開示は参照により本明細書に援用される)はμc−Siダイオードの製造方法を開示している。
上記実施形態で示したように、別々の電子―正孔生成およびアバランシェ層を使用することにより薄い絶縁アバランシェ層を使用できることが、理解されるであろう。
また、図8(a)、8(b)、および9に示した高濃度ドープp型層42および高濃度
ドープn型層41の位置は入れ替え可能であることが分かるであろう。
ドープn型層41の位置は入れ替え可能であることが分かるであろう。
上述したように、いくつかの実施形態では、FPD1は、X線/電荷の間接的変換用のシンチレーション物質の層を備える。他の実施形態では、FPD1は、例えば赤外(IR)光を検出する、直接検出器として使用できる。この場合、シンチレーション物質は必要なく、赤外線/電荷の直接変換は、マトリックスセル2のダイオードセグメント3において生じ得る。
これらの実施形態の更なる変形例では、ダイオードセグメント3用の適切な材料を選ぶことによって、FPD1は、シンチレーション物質なしでX線を直接検出するように使用できる。
例えば、ダイオードセグメント3は、ガリウムインジウム亜鉛酸化物(GIZOまたはIGZO)のn型層などの、非相補的半導体の1つ以上の層を備え得る。
X線放射に直接感応する他のダイオードはGaAsまたはSiCを含む。これらは、例えば、R.B. Gomesらによる「GaAs/Al0.8Ga0.2As avalanche photodiodes for soft X-ray spectroscopy(軟X線分光法のためのGaAs/Al0.8Ga0.2Asアバランシェフォトダイオード)(暫定訳)」Journal of Instrumentation, Volume 9, Issue 03, article id. P03014 (2014)、およびhttp://www2.le.ac.uk/departments/physics/research/src/res/bioimaging-unit/silicon-carbide-detectorsに掲載されている。
更なる変形例では、ダイオードセグメント3は、ペンタセンのp型層などの有機半導体の1つ以上の層を備え得る。
上記実施形態をアクティブマトリックスの観点から説明したが、本発明の他の実施形態はまた、マトリックスセル2のダイオードセグメント3がスイッチング装置を使用せずにFPD1のそれぞれの行および列のラインに接続される、受動マトリックス回路によって実現できる。
また、ダイオードとデータ線とは1対1対応である必要はなく、データ線6のグループを組み合わせてセグメント化FPD1を実現できることが、分かるであろう。
本発明の実施形態を実現するために使用した製造技術は、フラットパネルディスプレイを製造するのに使用するものと同様であってよいことが、理解されるであろう。例えば、W. Boer「Active Matrix Liquid Crystal Displays(アクティブマトリックス液晶ディスプレイ(暫定訳)」2005, ISBN-10: 0-7506-7813-5に開示されるようなものであってよい(その開示は参照により本明細書に援用される)。したがって、本発明によるFPDは、フラットパネルマトリックスディスプレイに統合され得る。
したがって、着用者の注視を追跡できるように画像取得装置を使用して着用者の眼の画像を取得するような、バーチャルリアリティ(VR)用途においては、画像取得装置はVRディスプレイに統合され得る。そのような用途では、VRヘッドセットディスプレイからの照明を使用して、画像取得装置を介し、低い光レベルかつ高速度で着用者の眼の高品質画像を提供することができる。
VR以外の用途では、指紋もしくはジェスチャー認識またはディスプレイ統合型放射線モニタリングなどの、ディスプレイ用バックプレーンに本画像取得装置を統合することによりもたらされる改善されたフォームファクタから恩恵を受け得ることが、理解されるであろう。
そのような検出器の製造はCMOSベースであり得る。そのような用途は簡単なエネルギースペクトル測定装置を使用する。あるいは、検出装置を測距用途のための時間―距離変換器(TDC)と組み合わせてもよい。そのような用途においては、本発明のより高感応度な検出装置が有するより短くより鋭い窓内で反射パルスを捕らえる能力は、当該測距装置の精度を高めるのに寄与する。
上記実施形態のより複雑な実施例においては、温度補償回路(図示せず)をセル2または電力供給手段7のいずれかに組み込んで、様々な環境における装置の一貫した動作を確実にできることも、理解されるであろう。
最後に、上記実施形態の原理は、シーンの深さマップを生成するために飛行時間(ToF)画像の生成に応用できる、ということが分かるであろう。ここで、図17および18を参照して、マトリックスは、各装置行の読み出しと比較して既知の時間にパルス出力されてシーンに照明をあてる光(放射線)源(図示せず)に、動作可能に結合されている。一旦開始されると、ダイオードセグメント3’’’のアノードに接続されたトランジスタ14がリニアモードで開き、キャパシタ19と並列で抵抗素子として機能する。そして、キャパシタ19のRC時間が、画素の電荷が時間とともに変動しTOF検出器の所望の範囲に対応する時間内で放電するように、選ばれる。典型的なインドア用途では、最大範囲10mが適用され、総ラウンドトリップタイム67nsに匹敵するRC時間が選ばれ得る。照らされたシーンからの反射光子が検出器画素に到達すると、アバランシェダイオードセグメント3’’’が作動し、トランジスタ14を閉じて画素キャパシタ19のVddヘの放電を停止させる。そして、画素に残る電荷は、光の飛行時間に一意的に関連付けられ、画素アレイは従来通りに読みだされ、焦点面アレイを形成するマトリックス内の位置ごとに距離のマップが生成できるようになる。
図19は、図17の飛行時間撮像回路の例示のタイミング図である。初期化の間、Vresetが図15の例におけるようにアサートされると、ダイオードセグメント3’’’はリセットされる。Vresetがまだアサートされている間に、行ドライバ信号(Vrow)がアサートされて、Vpixelと表示されている既知の電圧にキャパシタ19が充電できるようになる。一旦行ドライバ信号Vrowがディアサートされると、キャパシタ19は既知のレートで放電を開始し、受け取った光子に応じてダイオードセグメント3’’’がオンとなるまで、放電を続ける。わずかなリークとは別に、行ドライバ信号が再アサートされるまで、電荷はキャパシタ19に維持される。その段階で、Vrow信号がアサートされている間に、キャパシタ19のアナログ電荷値(VTOF)を読み出すことができる。図20は、例えば50nsなどのより長い飛行時間を示す。一方、図21は、例えば10nsなどのより短い飛行時間を示す。
図17のマトリックスは、各行を順次読み取らせながら、放射線の単一のパルスに反応できる。この場合、行ごとに異なるリークを考慮する何らかの較正が必要となり得る。
あるいは、そのような較正をしなくてすむように、放射線の単一のパルスに応じて画像の各行を構成してもよい。
上記実施形態は、飛行時間を求めるためにキャパシタ19の放電の程度を測定することに基づくものであるが、図17の回路の代替実施例において、キャパシタは、放電状態で始めてもよく、飛行時間はダイオードセグメント3’’’が作動したときの電荷状態に従って決定されてもよいことが、理解されるであろう。
Claims (11)
- 放射線検出装置(1)であって、
少なくともマトリックス領域の一部を有する基板(20)にわたって設けられる複数の層を有し、
該マトリックス領域は、複数M列に分割された複数N行のセル(2)を有し、各セルは、複数のダイオードセグメント(3)を備え、
各ダイオードセグメント(3)は、
アバランシェ増倍ガイガーモードで動作するように、アバランシェクエンチング抵抗器(8)を介して駆動電圧に直列接続されており、
放射線検出装置(1)は、前記駆動電圧から前記マトリックス領域の各セルへの第1の接続セットを備え、
各ダイオードセグメント(3)は、
前記金属層上に形成される第1の半導体型の第1ドープ層(41)と、
前記第1ドープ層上に形成されるアモルファス半導体及び結晶半導体の交互領域(44,45)からなる混合相半導体層(43)と、
前記混合相半導体層上に形成される半導体材料からなる第2ドープ層(42)と、
セル内の前記ダイオードセグメントは、それぞれ、誘電材料によって互いから離間されていること、
前記第2層上に形成され、電子スイッチング装置(10)から前記マトリックス領域の各セルへの第2の接続セットを備えた、少なくとも1つの透明導電層(25)と、
を有する
放射線検出装置(1)。 - 前記混合相半導体層はシリコンからなる
請求項1に記載の装置。 - 半導体材料の前記第2の層は、前記第1ドープ層と逆の型を有する
請求項1に記載の装置。 - 前記セル(2)の前記ダイオードセグメント(3)にわたるシンチレーション物質の少なくとも1つの層を更に備える、請求項1に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの透明導電層(25)は、前記ダイオードセグメント(3)と前記シンチレーション物質の少なくとも1つの層との間に配置される、請求項4に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの透明導電層(25)は、入射電磁放射線を前記セル(2)の前記ダイオードセグメント(3)へ収束されるように成形される、請求項1に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの透明導電層(25)は、ダイオードセグメント(3)ごとに、前記ダイオードセグメント(3)上に位置づけられたドーム形部分(27)を備える、
請求項6に記載の装置。 - 前記少なくとも1つの透明導電層(25)は導電性酸化物を含む、
請求項1に記載の装置。 - 前記ダイオードセグメント(3)は、互いに対向かつ離間している側壁(22)を有し、前記誘電材料は、前記ダイオードセグメント(3)の前記側壁(22)を覆っている、請求項1に記載の装置。
- 前記複数のダイオードセグメント(3)は、少なくとも、互いに空間をあけて配置された第1のダイオードセグメント(3b)の上側アレイと、第2のダイオードセグメント(3a)の下側アレイとを備え、
前記第2のダイオードセグメント(3a)は、前記第1のダイオードセグメント(3b)と基板(20)との間で、前記第1のダイオードセグメント(3b)同士の間の前記空間の下に配置されるように前記第1のダイオードセグメント(3b)に対して横方向にオフセットしている、請求項1に記載の装置。 - 各セルは、更に、前記ダイオードセグメントによって生成された電荷を蓄えるためのストレージキャパシタを備える、請求項1に記載の装置。
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US10636929B2 (en) * | 2009-04-30 | 2020-04-28 | Massachusetts Institute Of Technology | Cross-talk suppression in Geiger-mode avalanche photodiodes |
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US8476571B2 (en) * | 2009-12-22 | 2013-07-02 | Siemens Aktiengesellschaft | SiPM photosensor with early signal digitization |
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DE102012101393A1 (de) * | 2012-02-21 | 2013-08-22 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterbauteils und optoelektronisches Halbleiterbauteil |
US20160300973A1 (en) * | 2013-05-24 | 2016-10-13 | U.S. Army Research Laboratory Attn: Rdrl-Loc-I | Variable range photodetector with enhanced high photon energy response and method thereof |
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WO2016046685A1 (en) * | 2014-09-26 | 2016-03-31 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Imaging device |
AU2016290889B2 (en) * | 2015-07-08 | 2021-03-04 | The Commonwealth Of Australia | SPAD array structures and methods of operation |
US11024725B2 (en) * | 2015-07-24 | 2021-06-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device including metal oxide film |
FR3046495B1 (fr) * | 2015-12-30 | 2018-02-16 | Stmicroelectronics (Crolles 2) Sas | Pixel de detection de temps de vol |
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