JP2020516017A - 自動エミッター尖端清掃機 - Google Patents

自動エミッター尖端清掃機 Download PDF

Info

Publication number
JP2020516017A
JP2020516017A JP2019552579A JP2019552579A JP2020516017A JP 2020516017 A JP2020516017 A JP 2020516017A JP 2019552579 A JP2019552579 A JP 2019552579A JP 2019552579 A JP2019552579 A JP 2019552579A JP 2020516017 A JP2020516017 A JP 2020516017A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gear
sharpened
emitters
brush
motor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019552579A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2020516017A5 (ja
JP7136799B2 (ja
Inventor
バーナード ヘイマン スティーブン
バーナード ヘイマン スティーブン
クロチコフ アレクセイ
クロチコフ アレクセイ
ゲレロ フアン
ゲレロ フアン
アンソニー オルディンスキ エドワード
アンソニー オルディンスキ エドワード
クエン チョン キ
クエン チョン キ
Original Assignee
イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド
イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド, イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド filed Critical イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド
Publication of JP2020516017A publication Critical patent/JP2020516017A/ja
Publication of JP2020516017A5 publication Critical patent/JP2020516017A5/ja
Priority to JP2022138192A priority Critical patent/JP7338019B2/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7136799B2 publication Critical patent/JP7136799B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B1/00Cleaning by methods involving the use of tools
    • B08B1/30Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
    • B08B1/32Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/02Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B1/00Cleaning by methods involving the use of tools
    • B08B1/10Cleaning by methods involving the use of tools characterised by the type of cleaning tool
    • B08B1/12Brushes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01TSPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
    • H01T19/00Devices providing for corona discharge
    • H01T19/04Devices providing for corona discharge having pointed electrodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01TSPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
    • H01T23/00Apparatus for generating ions to be introduced into non-enclosed gases, e.g. into the atmosphere
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05FSTATIC ELECTRICITY; NATURALLY-OCCURRING ELECTRICITY
    • H05F3/00Carrying-off electrostatic charges
    • H05F3/04Carrying-off electrostatic charges by means of spark gaps or other discharge devices
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05FSTATIC ELECTRICITY; NATURALLY-OCCURRING ELECTRICITY
    • H05F3/00Carrying-off electrostatic charges
    • H05F3/06Carrying-off electrostatic charges by means of ionising radiation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Nozzles For Electric Vacuum Cleaners (AREA)
  • Elimination Of Static Electricity (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)
  • Amplifiers (AREA)
  • Networks Using Active Elements (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Abstract

自動エミッター尖端清掃機が開示される。自動エミッター尖端清掃システム204は、空気通路を通じて空気流を送るように構成されるファン202と、空気通路内に、或いは、空気通路に近接して陽イオンと陰イオンの少なくとも一方を生成するように構成される先鋭エミッター304と、ブラシ404と、ブラシに結合され、このブラシを先鋭エミッターに接触するように動かす第1のギヤ308と、第1のギヤに係合する第2のギヤ306と、第2のギヤが第1のギヤを作動させて、先鋭エミッターを通過するようにブラシを移動させるように、第2のギヤを作動させるモーター206とを備える。

Description

本開示は、包括的にはイオナイザーに関し、より具体的には自動エミッター尖端清掃機に関する。
[関連出願の相互参照]
本国際出願は、2017年3月24日出願の米国仮特許出願第62/476,144号「自動エミッター尖端清掃機(Automatic Emitter Point Cleaners)」および2018年3月22日出願の米国特許出願第15/928,261号「自動エミッター尖端清掃機(Automatic Emitter Point Cleaners)」の優先権を主張する。米国仮特許出願第62/476,144号および米国特許出願第15/489,321号を本願と一体をなすものとして全体を引用する。
静電除去装置または中和装置として機能するイオン化デバイスは、逆極性に帯電した表面に結合し、中和する双方の極性のイオンを生成することができる。そのようなデバイスは、一般に電子デバイス、特に半導体の製造に関連する静電気的な中性状態を維持することに役立つ。これらのイオナイザーは、電界を生成する放電電極を使用するので、それらのエミッター尖端またはエッジにおいて異物粒子を蓄積する傾向がある。この粒子の蓄積は、一方の極性またはもう一方の極性のイオンの過度な放出、すなわちイオン不均衡を引き起こし得る。それによって双方の極性のイオンが集中する場所は、静電気的な中性ではなく帯電する傾向にある。
実質的に図面のうちの少なくとも1つによって示されるとともに、この図面のうちの少なくとも1つに関連して説明され、特許請求の範囲においてより完全に記載されるように、自動エミッター尖端清掃機が開示される。
本開示の態様に係る一例示のDCコロナイオナイザーの図である。 図1の例示のDCコロナイオナイザーの内部の図である。 本開示の態様に係る自動エミッター尖端清掃機に取り付けられたDCコロナイオナイザーの例示のファンの図である。 図3の例示のファンおよび自動エミッター尖端清掃機の別の図である。 図3の例示のファンおよび自動エミッター尖端清掃機の別の図である。 図3〜図5の自動エミッター尖端清掃機の例示の実施態様の図である。
図面は必ずしも一定縮尺ではない。適切である場合、同様のまたは同一の参照符号は、同様のまたは同一の構成要素を参照するのに用いられる。
イオン化送風機の従来のエミッター尖端清掃デバイスは、ファンの回転軸に接続され、ファンの速度は、エミッター清掃を可能にするために動作中の速度から減速させなければならない。結果として、従来のエミッター尖端清掃デバイスは、エミッター尖端の清掃を実行するためにイオン化送風機の性能の低下、または更に停止を必要とする。イオン化送風機の性能の低下または停止は、電荷蓄積が精密デバイスを損傷させる可能性がより高くなる窓を提供する場合がある。
開示される例示のシステムは、イオン化デバイスが清掃中、機能(例えば、空気を清掃する、電荷を中和する等)し続けることができるように、イオン化デバイスのエミッター尖端清掃を可能にする。開示される例示のシステムは、ブラシと、このブラシに結合された第1のリングと、第1のリングに係合する第2のリングと、第2のリングが第1のリングを作動させるように第2のリングを作動させるモーターとを備える。
開示される例示の自動エミッター尖端清掃システムは、空気通路を通じて空気流を送るように構成されるファンと、前記空気通路内に、または該空気通路に近接して陽イオンまたは陰イオンのうちの少なくとも一方を生み出すように構成される先鋭エミッターと、ブラシと、前記ブラシに結合され、該ブラシを前記先鋭エミッターに接触するように動かすように構成される第1のギヤと、前記第1のギヤに係合する第2のギヤと、前記第2のギヤが前記第1のギヤを作動させて、前記ブラシを、前記先鋭エミッターを通過するように動かすように、前記第2のギヤを作動させるモーターとを備える。
いくつかの例示のシステムは、複数の先鋭エミッターを更に備え、前記第1のギヤは、前記ブラシを前記複数の先鋭エミッターのうちの先鋭エミッターに接触するように動かすように構成される。いくつかの例において、前記複数の先鋭エミッターは、実質的に円形または多角形の配置で配置される。いくつかの例において、前記複数の先鋭エミッターは、前記第1のギヤの内周縁部の周上に沿って配置される。いくつかの例において、前記実質的に円形または多角形の配置は、実質的に前記ファンと同軸である。
いくつかの例示のシステムは、前記ブラシが所定の位置場合にこれを判断するように構成される位置検出器を更に備える。いくつかの例において、前記モーターは、双方向モーターである。いくつかの例示のシステムは、前記第1のギヤと、前記第2のギヤと、前記モーターと、前記ファンとを結合するように構成されるハウジングを更に備える。いくつかの例において、前記先鋭エミッターは、双極性イオンを生成するように構成される。いくつかの例において、前記モーターは、処理回路による判断または外部の信号のうちの少なくとも一方に基づき前記第2のギヤを作動させる。いくつかの例において、前記モーターは、前記複数の先鋭エミッターが前記陽イオンまたは前記陰イオンを生成している間、前記先鋭エミッターを清掃するように、前記第2のギヤを作動させる。いくつかの例示のシステムにおいて、前記第2のギヤおよび前記モーターは、前記空気通路の外側にある。
開示される例示の自動エミッター尖端清掃システムは、空気通路を通じて空気流を送るように構成されるファンと、円形または多角形の配置で配置され、前記空気通路内に、または該空気通路に近接して陽イオンまたは陰イオンのうちの少なくとも一方を生成するように構成される複数の先鋭エミッターと、前記複数の先鋭エミッターを物理的に清掃するように構成されるブラシと、前記ブラシに、1つ以上のギヤを備えるギヤシステムを介して前記複数の先鋭エミッターを清掃させるように構成されるモーターとを備える。
いくつかの例において、前記複数の先鋭エミッターは、前記ギヤシステムの第1のギヤの内周縁部の周上に配置される。いくつかの例において、前記実質的に円形または多角形の配置は、実質的に前記ファンと同軸である。いくつかの例において、前記モーターは、前記ブラシをいずれの方向にも動かすように前記ギヤシステムを駆動するように構成される。
いくつかの例示のシステムは、前記ギヤシステムと、前記複数の先鋭エミッターと、前記モーターと、前記ファンとを結合するように構成されるハウジングを更に備える。いくつかの例において、前記先鋭エミッターは、双極性イオンを生成するように構成される。いくつかの例において、前記ギヤシステムは、3つ以上のギヤを備える。いくつかの例において、前記モーターは、前記複数の先鋭エミッターが前記陽イオンまたは前記陰イオンを生成している間、前記ブラシに、前記複数の先鋭エミッターを清掃させるように構成される。
図1は、一例示のDCコロナイオナイザー100の図である。イオナイザー100は、ハウジング102を備え、ハウジング102は、空気通路を通じて空気流を送風するように構成されるファンを保持する。以下でより詳細に説明するように、イオナイザー100は、陽イオンおよび/または陰イオンを放出するイオンエミッターを備え、このイオンエミッターを介してファンは空気流を送風し、これにより、結果として空気流に存在する場合がある電荷の中和が生じる。
以下に開示される例は、DCコロナイオナイザーに関連して説明されるが、本開示の態様は、さらにまたは代替的に、ACコロナイオナイザーおよび/またはAC/DCコロナイオナイザーの組み合わせとともに、用いることができる。
図2は、図1の例示のDCコロナイオナイザー100の内部の図である。図2は、例示のファン202および自動エミッター尖端清掃機204を示す。自動エミッター尖端清掃機204は、一方向または双方向DCモーター206を備える。DCモーター206は、自動エミッター尖端清掃機204を作動させる駆動信号および/またはDC電流を受信することができる。例示のファン202は、ハウジング208を備え、ハウジング208を用いて、ファン202をハウジング102に搭載しおよび/または自動エミッター尖端清掃機204をファン202に取り付けることができる。
例示のDCモーター206は、ブラシレスDCモーターまたは任意の他のタイプのAC若しくはDCモーターとすることができる。
図3は、自動エミッター尖端清掃機204に取り付けられた、DCコロナイオナイザー100の例示のファン202の図である。例示のイオナイザー100は、エミッターフレーム302を備え、エミッターフレーム302は、ファン202の空気通路内に、エミッターフレーム302の内周縁部の周上に沿って適所に複数のイオンエミッター304を保持する。
例示の自動エミッター尖端清掃機204は、ピニオンギヤ306および平歯車308を備える。平歯車308は、エミッター尖端ブラシを保持する。ピニオンギヤ306は、図2のDCモーター206によって駆動され、平歯車308を駆動するために平歯車308と噛合する。例示の平歯車308およびエミッターフレーム302は、平歯車308が実質的にファンと同軸であり、イオンエミッター304と同一面内にエミッター尖端ブラシを保持するように、ファン202のハウジング208に取り付けられる。
図4は、図3の例示のファン202および自動エミッター尖端清掃機204の別の図である。図4は、ファン202と、ハウジング208と、例示のエミッターフレーム302と、エミッター304と、ピニオンギヤ306と、平歯車308とを示す。エミッター尖端ブラシ402は、図4において可視である。
図5は、図3の例示のファン202および自動エミッター尖端清掃機204の別の図である。図4を見ると、エミッター尖端ブラシ402は、既知の初期設定位置、すなわちホーム位置に示されている。自動エミッター尖端清掃機204は、エミッター尖端ブラシ402が初期設定位置にある場合にこれを識別する(例えば、信号を生成する)位置検出器を備えることができる。例示のエミッターフレーム302は、検出窓502を備え、この検出窓502を通じて、視覚型の位置検出器(例えば、レーザー検出器)が、エミッター尖端ブラシ402が検出窓502に近接している場合にこれを識別することができる。他の位置検出器は、例えば、ホール効果センサー、スイッチおよび/または任意の他のタイプの近接センサーおよび/または回路を含む。
図4および図5に示すように、平歯車308およびブラシ402は、単一方向504、506または両方向で、エミッターフレーム302の内周縁部の周上に沿って、全回転および/または部分回転を行うことができる。例えば、図2のモーター206は、単一方向または両方向で、ピニオンギヤ306を駆動し、これにより、エミッターフレーム302の内周縁部の周上に沿って、平歯車308が回転し、ブラシ402が運動する。例示のイオナイザー100は、ブラシ402が運動し、エミッター304を清掃する間、ファン202を稼働し、エミッター304を介してイオンを生成し続けることができる。
図6は、図3〜図5の自動エミッター尖端清掃機204の例示の実施態様の図である。例示のピニオンギヤ306、例示の平歯車308および例示のエミッター尖端ブラシ402の構造が図6に示される。
図2〜図6の例示の自動エミッター尖端清掃機204は、モーター駆動である(すなわち、従来のシステムのように遠心性ではない)。結果として、自動エミッター尖端清掃機204は、ファン202とは独立して清掃を実行するように作動することができる。例えば、自動エミッター尖端清掃機204は、(例えば、ファン202を制御する、および/または、エミッター304からのイオンの放出を制御するマイクロプロセッサ内の)内部タイマーを用いて、および/または、I/Oコネクタを介して外部信号から、作動することができる。
図2〜図6の例は、2つのギヤの実施態様を示しているが、他の例は、3つ以上のギヤの実施態様、および/または、エミッター尖端ブラシを保持するギヤがモーターによって直接駆動される単一のギヤの実施態様を含む。
例示の自動エミッター尖端清掃機204は、単一方向で(例えば、時計回りまたは反時計回りで)動作することができ、および/または、両方向でエミッター304を清掃するために、時計回りおよび反時計回りの両方で動作することができる。
例示の自動エミッター尖端清掃機204は、全回転および/または部分回転の任意の組み合わせで清掃することができる。例えば、モーター206を制御するプロセッサは、全回転および/または部分回転を含む、特定用途向けの清掃手順を実行して、特定のタイプの清掃を実行することができる。
例示の自動エミッター尖端清掃機204は、エミッター尖端ブラシ404の位置を監視する位置検知機能(position sensing)を含むことができる。例えば、自動エミッター尖端清掃機204は、清掃プロセスの開始時および/または終了時にブラシ組立体が初期設定位置にある場合にこれを判断することができる。他の例では、モーター206を制御するプロセッサは、センサー(例えば、ジャイロスコープ、ピニオンギヤ306または平歯車308に結合されたトラベルセンサー)を用いて、および/またはモーター206の動作の速度および方向を追跡することによって、エミッターフレーム302の内周縁部に沿ったエミッター尖端ブラシ404の位置を追跡することができる。
本明細書において使用される場合、「および/または」は、「および/または」によって加えられる、リスト内の項目のうちの任意の1つ以上を意味する。例として、「xおよび/またはy」は、3つの要素の組{(x),(y),(x,y)}のうちの任意の要素を意味する。言い換えると、「xおよび/またはy」は、「xおよびyのうちの一方または両方」を意味する。別の例として、「x、yおよび/またはz」は、7つの要素の組{(x),(y),(z),(x,y),(x,z),(y,z),(x,y,z)}のうちの任意の要素を意味する。言い換えると、「x、yおよび/またはz」は、「x、yおよびzのうちの1つ以上」を意味する。本明細書において使用される場合、「例示の」という用語は、非限定的な例、例証または例示として役割を果たすことを意味する。本明細書において使用される場合、「例えば("e.g.," and "for example")」という用語は、1つ以上の非限定的な例、例証または例示のリストを強調する(set off)。
本方法および/またはシステムを、或る特定の実施態様を参照して記載してきたが、当業者であれば、本方法および/またはシステムの範囲から逸脱することなく、種々の変更を行うことができることおよび均等物に置き換えることができることを理解するであろう。加えて、本開示の範囲から逸脱することなく、本開示の教示に対して特定の状況または材料を適合させるように多くの改変を行うことができる。例えば、開示されている例のブロックおよび/または構成要素は、組み合わせ、分割し、再構成し、および/または、別の方法で改変することができる。したがって、本方法および/またはシステムは、開示されている特定の実施態様に限定されない。代わりに、本方法および/またはシステムは、字義どおりにでも均等論のもとにおいても、添付の特許請求の範囲内に入る全ての実施態様を含む。
100 イオナイザー
102 ハウジング
202 ファン
204 自動エミッター尖端清掃機
206 DCモーター
208 ハウジング
302 エミッターフレーム
304 エミッター
306 ピニオンギヤ
308 平歯車
402 エミッター尖端ブラシ
404 エミッター尖端ブラシ
502 検出窓
504 単一方向
506 単一方向

Claims (20)

  1. 空気通路を通じて空気流を送るファンと、
    前記空気通路内に、または該空気通路に近接して陽イオンと陰イオンの少なくとも一方を生成する先鋭エミッターと、
    ブラシと、
    前記ブラシに結合され、該ブラシを前記先鋭エミッターに接触するように移動させる第1のギヤと、
    前記第1のギヤに係合する第2のギヤと、
    前記第2のギヤにより前記第1のギヤを作動させて、前記先鋭エミッターを通過して前記ブラシが移動するように、前記第2のギヤを作動させるモーターとを備える自動エミッター尖端清掃システム。
  2. 前記システムは複数の先鋭エミッターを更に備え、前記第1のギヤは、前記ブラシを前記複数の先鋭エミッターの各1つずつに接触するように移動させる請求項1に記載のシステム。
  3. 前記複数の先鋭エミッターは実質的に円形配置または多角形配置で配置される請求項2に記載のシステム。
  4. 前記複数の先鋭エミッターは前記第1のギヤの内周縁部の周上に沿って配置される請求項3に記載のシステム。
  5. 前記実質的に円形配置または多角形配置は前記ファンと実質的に同軸である請求項3に記載のシステム。
  6. 前記ブラシが所定の位置にあるとき、これを判断する位置検出器を更に備える請求項1に記載のシステム。
  7. 前記モーターは双方向モーターである請求項1に記載のシステム。
  8. 前記第1のギヤと、前記第2のギヤと、前記モーターと、前記ファンとを結合するハウジングを更に備える請求項1に記載のシステム。
  9. 前記先鋭エミッターは双極性イオンを生成する請求項1に記載のシステム。
  10. 前記モーターは、処理回路による判断または外部信号のうちの少なくとも一方に基づき前記第2のギヤを作動させる請求項1に記載のシステム。
  11. 前記モーターは、前記複数の先鋭エミッターが前記陽イオンまたは前記陰イオンを生成している間、前記先鋭エミッターを清掃するように、前記第2のギヤを作動させる請求項1に記載のシステム。
  12. 前記第2のギヤおよび前記モーターは前記空気通路の外側にある請求項1に記載のシステム。
  13. 空気通路を通じて空気流を送るファンと、
    円形配置または多角形配置で配置され、前記空気通路内に、或いは、該空気通路に近接して陽イオンと陰イオンの少なくとも一方を生成する複数の先鋭エミッターと、
    前記複数の先鋭エミッターを物理的に清掃するブラシと、
    1または複数のギヤを備えるギヤシステムを介して前記複数の先鋭エミッターを前記ブラシによって清掃させるモーターとを備える自動エミッター尖端清掃システム。
  14. 前記複数の先鋭エミッターは、前記ギヤシステムの第1のギヤの内周縁部の周上に沿って配置される請求項13に記載のシステム。
  15. 前記実質的に円形配置または多角形配置は前記ファンと実質的に同軸である請求項13に記載のシステム。
  16. 前記モーターは、前記ブラシをいずれの方向にも移動させるように前記ギヤシステムを駆動する請求項13に記載のシステム。
  17. 前記ギヤシステムと、前記複数の先鋭エミッターと、前記モーターと、前記ファンとを結合するハウジングを更に備える請求項13に記載のシステム。
  18. 前記先鋭エミッターは双極性イオンを生成する請求項13に記載のシステム。
  19. 前記ギヤシステムは3つ以上のギヤを備える請求項13に記載のシステム。
  20. 前記モーターは、前記複数の先鋭エミッターが前記陽イオンまたは前記陰イオンを生成している間、前記複数の先鋭エミッターを前記ブラシにより清掃させる請求項13に記載のシステム。
JP2019552579A 2017-03-24 2018-03-23 自動エミッター尖端清掃機 Active JP7136799B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022138192A JP7338019B2 (ja) 2017-03-24 2022-08-31 自動エミッター尖端清掃システム

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201762476144P 2017-03-24 2017-03-24
US62/476,144 2017-03-24
US15/928,261 US10758947B2 (en) 2017-03-24 2018-03-22 Automatic emitter point cleaners
US15/928,261 2018-03-22
PCT/US2018/023920 WO2018175828A1 (en) 2017-03-24 2018-03-23 Automatic emitter point cleaners

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022138192A Division JP7338019B2 (ja) 2017-03-24 2022-08-31 自動エミッター尖端清掃システム

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2020516017A true JP2020516017A (ja) 2020-05-28
JP2020516017A5 JP2020516017A5 (ja) 2021-06-10
JP7136799B2 JP7136799B2 (ja) 2022-09-13

Family

ID=63581446

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019552579A Active JP7136799B2 (ja) 2017-03-24 2018-03-23 自動エミッター尖端清掃機
JP2022138192A Active JP7338019B2 (ja) 2017-03-24 2022-08-31 自動エミッター尖端清掃システム

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022138192A Active JP7338019B2 (ja) 2017-03-24 2022-08-31 自動エミッター尖端清掃システム

Country Status (7)

Country Link
US (3) US10758947B2 (ja)
EP (1) EP3602706B1 (ja)
JP (2) JP7136799B2 (ja)
KR (1) KR102549255B1 (ja)
CN (2) CN110462949A (ja)
TW (2) TWI766970B (ja)
WO (1) WO2018175828A1 (ja)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10980911B2 (en) 2016-01-21 2021-04-20 Global Plasma Solutions, Inc. Flexible ion generator device
US11695259B2 (en) 2016-08-08 2023-07-04 Global Plasma Solutions, Inc. Modular ion generator device
US11283245B2 (en) 2016-08-08 2022-03-22 Global Plasma Solutions, Inc. Modular ion generator device
CA3091418A1 (en) 2018-02-12 2019-08-15 Global Plasma Solutions, Inc Self cleaning ion generator device
DE102018219696A1 (de) * 2018-11-16 2020-05-20 Ejot Gmbh & Co. Kg Berührungsfreie Reinigungsvorrichtung mit Wirbelstrom
TWI684013B (zh) * 2018-12-11 2020-02-01 鴻勁精密股份有限公司 作業分類設備之電荷偵測裝置
US11581709B2 (en) 2019-06-07 2023-02-14 Global Plasma Solutions, Inc. Self-cleaning ion generator device
CN110847570B (zh) * 2019-11-27 2021-05-18 广东博智林机器人有限公司 一种自清洁导航仪、移动底盘及喷涂机器人
CN112090856A (zh) * 2020-08-10 2020-12-18 福达合金材料股份有限公司 一种带有负离子发生器的吹气装置、铆接设备及铆接方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003163097A (ja) * 2001-11-26 2003-06-06 Sunx Ltd 放電針清掃装置
JP2008288072A (ja) * 2007-05-18 2008-11-27 Midori Anzen Co Ltd 除電装置
JP2009054315A (ja) * 2007-08-23 2009-03-12 Three M Innovative Properties Co クリーニング機構を備えたイオン発生器
JP2010040446A (ja) * 2008-08-07 2010-02-18 Smc Corp 放電電極清掃機構付きイオナイザ
KR20150072063A (ko) * 2013-12-19 2015-06-29 (주)동일기연 제전기 구조체

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5493383A (en) 1994-11-18 1996-02-20 Xerox Corporation Sequenced cleaner retraction method and apparatus
US5768087A (en) * 1996-11-05 1998-06-16 Ion Systems, Inc. Method and apparatus for automatically cleaning ionizing electrodes
JP5292820B2 (ja) * 2008-01-15 2013-09-18 オムロン株式会社 静電気除去装置
US8405951B2 (en) * 2010-06-21 2013-03-26 Tessera, Inc. Cleaning mechanism with tandem movement over emitter and collector surfaces
JP5761424B2 (ja) * 2013-12-27 2015-08-12 ダイキン工業株式会社 放電装置及び空気処理装置
CN204030272U (zh) * 2014-08-15 2014-12-17 铠点科技有限公司 自动清洁针尖放电装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003163097A (ja) * 2001-11-26 2003-06-06 Sunx Ltd 放電針清掃装置
JP2008288072A (ja) * 2007-05-18 2008-11-27 Midori Anzen Co Ltd 除電装置
JP2009054315A (ja) * 2007-08-23 2009-03-12 Three M Innovative Properties Co クリーニング機構を備えたイオン発生器
JP2010040446A (ja) * 2008-08-07 2010-02-18 Smc Corp 放電電極清掃機構付きイオナイザ
KR20150072063A (ko) * 2013-12-19 2015-06-29 (주)동일기연 제전기 구조체

Also Published As

Publication number Publication date
EP3602706A1 (en) 2020-02-05
TWI766970B (zh) 2022-06-11
JP7338019B2 (ja) 2023-09-04
WO2018175828A1 (en) 2018-09-27
US20210114066A1 (en) 2021-04-22
JP7136799B2 (ja) 2022-09-13
US10758947B2 (en) 2020-09-01
US20180272384A1 (en) 2018-09-27
US11548039B2 (en) 2023-01-10
TW202233317A (zh) 2022-09-01
KR20190131540A (ko) 2019-11-26
JP2022184853A (ja) 2022-12-13
US20230173549A1 (en) 2023-06-08
TW201838730A (zh) 2018-11-01
TWI816392B (zh) 2023-09-21
EP3602706B1 (en) 2021-09-08
CN110462949A (zh) 2019-11-15
CN118040479A (zh) 2024-05-14
KR102549255B1 (ko) 2023-06-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7338019B2 (ja) 自動エミッター尖端清掃システム
JP5341330B2 (ja) クリーニング機構を備えたイオン発生器
RU2279244C2 (ru) Робот-чиститель, оснащенный генератором отрицательных ионов
US20120047676A1 (en) Cleaner and control method thereof
KR100776572B1 (ko) 송풍형 이오나이저의 자동 침 청소장치
JP2009301851A (ja) クリーニング機構を備えた除電器
KR20160138931A (ko) 세정유닛을 갖춘 송풍형 이오나이저
JP2018130678A (ja) 空気ダクト清掃用ロボット
JP4262488B2 (ja) 送風式イオン生成装置
US20150255961A1 (en) Ionizer with needle cleaning device
WO2019087378A1 (ja) 自走式掃除機
JP2009158413A (ja) 放電電極の清掃装置及び放電電極の清掃方法
CN110685937B (zh) 一种转动自洁风机
WO2013021378A1 (en) Bipolar ion generator with cleaning of ionizing electrodes
KR101917631B1 (ko) 파티클 클리닝 포집 장치
JP4910527B2 (ja) 空気調和機
JP5947119B2 (ja) 掃除装置
KR101700218B1 (ko) 코로나 방전 이오나이저의 방전침을 청소하는 방법
JP2012004007A (ja) イオン発生装置

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210323

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210323

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210423

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20220324

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220405

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220705

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220802

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220901

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7136799

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150