JP2020515863A - 動的フィルタを備えたlidar装置および方法 - Google Patents

動的フィルタを備えたlidar装置および方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2020515863A
JP2020515863A JP2019554636A JP2019554636A JP2020515863A JP 2020515863 A JP2020515863 A JP 2020515863A JP 2019554636 A JP2019554636 A JP 2019554636A JP 2019554636 A JP2019554636 A JP 2019554636A JP 2020515863 A JP2020515863 A JP 2020515863A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
filter
lidar device
electromagnetic radiation
incident
radiation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019554636A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6941182B2 (ja
Inventor
シュピースベルガー,シュテファン
ホレチェク,アンネマリエ
ホイスナー,ニコ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of JP2020515863A publication Critical patent/JP2020515863A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6941182B2 publication Critical patent/JP6941182B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G01S7/4816Constructional features, e.g. arrangements of optical elements of receivers alone
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01QANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
    • H01Q3/00Arrangements for changing or varying the orientation or the shape of the directional pattern of the waves radiated from an antenna or antenna system
    • H01Q3/12Arrangements for changing or varying the orientation or the shape of the directional pattern of the waves radiated from an antenna or antenna system using mechanical relative movement between primary active elements and secondary devices of antennas or antenna systems
    • H01Q3/14Arrangements for changing or varying the orientation or the shape of the directional pattern of the waves radiated from an antenna or antenna system using mechanical relative movement between primary active elements and secondary devices of antennas or antenna systems for varying the relative position of primary active element and a refracting or diffracting device

Abstract

開示されているのは、走査角度を走査するためのLIDAR装置であって、少なくとも1つの電磁放射線を生成するための少なくとも1つの放射源と、少なくとも1つの電磁放射線を走査角度に沿って偏向するための回転可能なミラーと、少なくとも1つの入射電磁放射線を受信し、少なくとも1つの入射電磁放射線を少なくとも1つの検出器に偏向するための受信ユニットと、少なくとも1つのフィルタとを有する、LIDAR装置において、少なくとも1つのフィルタは、少なくとも1つの入射電磁放射線に適合できる、LIDAR装置である。さらに、このようなLIDAR装置を備えた走査角度を走査するための方法が開示されている。

Description

本発明は、走査角度を走査するためのLIDAR装置、およびLIDAR装置を用いて走査角度を走査するための方法に関する。
従来のLIDAR(Light detection and ranging)装置は、送信装置と受信装置とからなる。送信装置は、連続して、またはパルス化して電磁放射線を生成および放射する。この電磁放射線が移動物体または静止物体に当たると、電磁放射線は物体によって受信装置の方向に反射される。受信装置は、反射された電磁放射線を検出し、これに受信時間を割り当てることができる。これを、「飛行時間」(TOF)分析の範囲で、LIDAR装置までの物体の距離の算出に使用できる。適用範囲によって、信号品質に高い要求が課される。これは特に、LIDAR装置が可能な限り長い射程距離と、同時に広い走査角度とを有する場合に該当する。とりわけ信号品質は、どの距離まで、どの角度で、かつどの精度または確率で物体を検出できるかを決定する。この信号品質は、大部分が受信した反射放射線の光学フィルタリングの品質に起因する。これに対して決定的なのは、使用可能なフィルタのスペクトル帯域幅である。フィルタのスペクトル帯域幅が狭いほど、干渉光または周囲光が検出器に当たりづらくなり、信号品質がますます向上する。この通過帯域は、受信した放射線の入射角が大きくなるにつれて、より小さな波長に推移するため、受信した放射線を大きい角度でもなお透過させ得るようにするためには、フィルタは一定の幅を必要とする。現在、入射角に依存したフィルタの透過窓の推移は、LIDAR装置の物理的限界を表している。
本発明が基礎とする課題は、入射放射線の入射角が変化する場合でも、常に最適な透過特性を有する少なくとも1つのフィルタを有する方法およびLIDAR装置を提供することに見ることができる。
この課題は、独立形式請求項の各主題によって解決される。本発明の有利な形態は、各引用形式請求項の主題である。
本発明の一態様によれば、走査角度を走査するためのLIDAR装置が提供される。LIDAR装置は、少なくとも1つの電磁放射線を生成するための少なくとも1つの放射源と、少なくとも1つの電磁放射線を角度に沿って偏向するための回転可能なミラーとを有する。さらに、LIDAR装置は、少なくとも1つの入射電磁放射線を受信し、少なくとも1つの入射電磁放射線を少なくとも1つの検出器に偏向するための受信ユニットと、少なくとも1つのフィルタとを有し、少なくとも1つのフィルタは、少なくとも1つの入射電磁放射線に適合できる。
このようなLIDAR装置は、入射放射線の入射角に依存した波長シフトを補償できる動的光学フィルタを有する。特に入射角がより大きい場合、特定の波長範囲のフィルタの透過範囲がより小さな波長に推移する可能性がある。より大きな入射角において、入射電磁放射線がフィルタを限定的にのみ通過し得るか、または全く通過し得ないことを防ぐために、フィルタを適合することができる。これは、例えば、フィルタの位置を適合するか、またはフィルタの少なくとも1つの材料特性を適合することで実現できる。これによって、フィルタの透過範囲を動的に、または静的に適合または追従制御できる。代替的、または追加的に、受信ユニット全体が適合可能である。フィルタは、例えば、規定された1つまたは複数の透過範囲を有する誘電体フィルタであってよい。ここで透過範囲とは、電磁放射線の波長または周波数を指す。電磁放射線は、例えば、可視または不可視の波長範囲におけるレーザ光線または光線であってよい。
LIDAR装置の一実施例によれば、少なくとも1つのフィルタは、走査角度に沿って回転可能である。これによって、フィルタは旋回可能または回転可能に支承されるため、配向を変えることができる。特に、この措置によって、フィルタに対する入射放射線の相対的な入射角を最適に調整できる。したがって、入射放射線の波長は常にフィルタの少なくとも1つの透過範囲にあり、可能な限り少ない損失でフィルタを通過できる。最適な入射角は、理想的には0°である。しかしながら、フィルタの透過特性と入射放射線の波長シフトによっては、入射角が0°からずれる場合もある。フィルタの配向変更は、例えば、圧電アクチュエータ、静電モータ、または電磁モータ等によって行うことができる。
LIDAR装置のさらなる一実施例によれば、少なくとも1つのフィルタは、回転可能なミラーに対して角度変位または角度同期して回転可能である。フィルタは、ミラーに依存してその配向を追従制御または適合できる。LIDAR装置の要件プロファイルおよび構造次第で、生成された電磁放射線を偏向するために、フィルタをミラーから独立して回転または旋回させることもできる。この場合、フィルタは、例えば時間依存的に適合することができ、したがって、フィルタとミラーとの間の角度変位を実現することができる。これに対して代替的、または追加的に、受信装置全体または受信装置の一部は、フィルタと平行に回転可能または旋回可能であってもよい。
さらなる一実施例によれば、少なくとも1つのフィルタは、調整可能なファブリペロー共振器である。ここで、フィルタは、従来の光学フィルタまたは光共振器であってよい。ここで、ファブリペロー共振器は、少なくとも2つの部分透過性ミラーからなる光共振器に対応する。2つの部分透過性ミラーの互いの距離または共振器長に依存して、特定の波長を有する入射電磁放射線のみが通過できる。より大きな入射角に対して減結合効率を高めるために、部分透過性ミラーの反射率は低くてもよい。
LIDAR装置のさらなる一実施例によれば、少なくとも1つのフィルタは調整可能な共振器長を有する。2つの部分透過性ミラー間の距離は変更できるため、ファブリペロー共振器の透過波長を適合することができる。例えば、片方または両方の部分透過性ミラーは、ピエゾアクチュエータまたは静電もしくは電磁リニアアクチュエータによって位置調節できる。部分透過性ミラーを位置調節することにより、共振器長、ひいては透過範囲も変更または適合できる。
さらなる一実施例によれば、共振器長は、回転可能なミラーの配向に依存して調整可能である。ここで、生成された放射線を偏向するためのミラーの偏向に応じて、ファブリペロー共振器の共振器長を短縮または延長することができる。反射された電磁放射線は、ミラーの配向と同様の入射角を有する。これによって、透過範囲を入射角に適合させることができる。したがって、入射放射線が常にフィルタを通過できることを保証できる。
さらなる一実施例によれば、少なくとも1つのフィルタは調整可能な屈折率を有する。屈折率の変化は、例えば、電場または磁場による液晶の動的配列によって行うことができる。入射放射線の波長シフトに追加的に、フィルタの透過範囲はその温度に依存できるため、この効果を透過範囲または屈折率の調整に利用できる。特に、屈折率は材料の密度に依存し、ひいては温度にも依存する。したがって、屈折率は、フィルタまたはフィルタの一部の温度によっても調整できる。例えば、ファブリペロー共振器では、部分透過性ミラーはガラスまたは透明な担持材料上に蒸着または載置される。この担持材料は、温度および/または電場もしくは磁場の適用により、屈折率が変化し得る。通常のフィルタでは、屈折率も同様に透過範囲に影響を与える。したがって、フィルタまたはフィルタの少なくとも一部を冷却または加熱して、望ましくない効果を補償し、またはフィルタを適合することができる。温度は、例えば空冷または水冷により下げることができる。同様に、フィルタは温水または温風で加熱できる。代替的に、フィルタの加熱は、導電性層または被膜によって行うことができる。したがって、フィルタの1つまたは複数のガラス要素をジュール熱で加熱できる。
LIDAR装置の別の一実施例によれば、屈折率は、回転可能なミラーの配向に依存して調整可能である。有利には、屈折率は、フィルタの透過範囲が波長シフトまたは入射放射線の入射角に適合するように調整される。このようにして、例えばガラス等のフィルタまたはフィルタの一部の屈折率、透過範囲は、入射放射線が可能な限り完全に、かつ損失なくフィルタを通過できるように追従制御できる。
さらなる一実施例によれば、少なくとも1つの入射電磁放射線をフィルタリングするための少なくとも2つのフィルタが、互いに角度変位されて配置されている。説明された例に代替的、または追加的に、複数のフィルタが使用されてもよく、それらは互いにある角度で配置されている。これにより、入射角がもはや単一の静的フィルタの場合と同じ大きさにはなり得ないため、各フィルタが入射放射線に動的に反応しづらくなる。したがって、フィルタに対する入射放射線の相対的な入射角は、例えば半円形に配列された静的または動的フィルタの数が増加することによってますます減少する。これによって、各フィルタは、入射角または少なくとも1つの隣接フィルタに依存して、またはこれらから独立して、適合可能または変更可能である。代替的、または追加的に、フィルタのすべてまたは一部は、動的適合性を持たない通常の光学フィルタであってもよい。
さらなる一実施例によれば、少なくとも1つの入射電磁放射線をフィルタリングするための少なくとも1つのフィルタは、湾曲を有する。有利には、LIDAR装置の走査角度を少なくとも部分的にカバーし、ひいては入射反射放射線がフィルタに当たることができる角度範囲をカバーする湾曲を有するフィルタを使用することができる。フィルタは、入射放射線の入射角から独立して、入射放射線が常にフィルタに垂直に当たるように配向することができる。ここで追加的に、フィルタは、例えば温度変更により、屈折率を動的に適合できる。そのようなフィルタは、代替的に、変化する曲率半径を有する湾曲を有してもよい。この場合、入射放射線にフィルタを適合させるために、少なくとも1つの長さに沿ってフィルタを移動することが有利であり得る。
本発明の別の一態様によれば、LIDAR装置を用いて走査角度を走査するための方法が提供される。ステップでは、少なくとも1つの電磁放射線が生成され、走査角度に沿って偏向される。少なくとも1つの偏向電磁放射線は、走査角度に配置された物体で反射され得る。少なくとも1つの反射電磁放射線は、少なくとも1つの入射放射線になり、受信され、フィルタリングされる。続いて、少なくとも1つの入射放射線が検出され、少なくとも1つの入射放射線の波長および/または入射角に応じて少なくとも1つのフィルタが適合される。これにより、フィルタを動的に変更できる。特に、フィルタは、入射放射線の入射角に依存して、入射放射線の波長に適合させることができる。したがって、入射放射線がフィルタに対して相対的に可能な限り小さい入射角でフィルタに当たるように、フィルタを移動または回転させることが可能である。代替的、または追加的に、フィルタの材料特性を適合させることができる。フィルタとしての光共振器の場合、入射放射線の波長に適合した透過範囲を提供可能にするために、共振器長を動的に変更できる。ここで、適合は、方法のサンプリングレートに応じて連続的に行うことができる。
以下に、非常に簡略化された概略図に基づいて、本発明の好ましい実施例をより詳しく説明する。
第1の実施例にかかるLIDAR装置の概略図である。 第1の実施例にかかるLIDAR装置の受信ユニットの概略図である。 第2の実施例にかかるLIDAR装置の受信ユニットの概略図である。 第3の実施例にかかるLIDAR装置の受信ユニットの概略図である。 第4の実施例にかかるLIDAR装置の受信ユニットの概略図である。 第4の実施例にかかるLIDAR装置の受信ユニットの概略図である。 第5の実施例にかかるLIDAR装置の受信ユニットの概略図である。 第6の実施例にかかるLIDAR装置の受信ユニットの概略図である。
図において、同じ構成要素はそれぞれ同じ参照番号を有する。
図1は、LIDAR装置1の第1の実施例を示す。LIDAR装置1は、電磁放射線4を生成するための放射源2を有する。実施例によれば、放射源2はレーザ2である。実施例によれば、レーザ2は非可視赤外線の波長を有する放射線4を生成するために機能する。波長は、例えば800nmより大きくすることができる。レーザ2によって生成された放射線4は、回転可能なミラー6によって偏向される。ここで、ミラー6は回転軸Rに沿って旋回可能である。したがって、ミラー6は、定義された水平走査角度Hに沿って生成された放射線4を偏向できる。追加的に、ミラー6は、水平走査角度Hに直交して旋回可能であり、ひいては垂直走査角度Vをカバーする。これにより、LIDAR装置1は立体角V×Hを走査し、この立体角V×Hに位置する考え得る物体8の位置を特定できる。生成された放射線4は、物体8において少なくとも部分的に反射され、反射放射線または入射放射線10になる。入射放射線10は、受信ユニット12によって受信される。
図2は、第1の実施例にかかるLIDAR装置1の受信ユニット12の概略図である。実施例を明示化するために、補助的に物体8も同様に示されている。受信ユニット12は、x−y平面で示されている。x−y平面を回転軸Rは直交して延びている。受信ユニット2は、入射放射線10を有利には通過させ、干渉光または干渉反射を遮断するフィルタ14を有する。そのようなフィルタ14の透過範囲は、入射角の増加とともにより小さい波長に推移するため、透過範囲は大きくなければならないか、考え得る入射角βは小さくなければならないかのいずれかである。ここで、入射角βは、水平走査角度Hの割合と垂直走査角度Vの割合との両方を有する。割合は0°であってもよい。実施例によれば、フィルタ14は回転可能に支承されており、図示されていない圧電アクチュエータによって、ミラー6と同期して、回転軸Rに平行に延びている回転軸に沿って回転または周期的に旋回される。これにより、大きな水平走査角度Hを走査することができる。特に、フィルタ14は、入射放射線10が可能な限り垂直にフィルタ14に当たるように追従制御される。これによって、入射放射線10の角度依存性波長変化が存在しないか、またはわずかにしか存在しないため、フィルタ14の狭い透過範囲を選択することができる。物体8が光軸Aの前方に、または少しずれて配置されている場合、破線で記載されたフィルタ14はその角度の適合性を持たない。光軸Aから遠くにある物体8の場合、入射放射線10はより大きな入射角βを有する。フィルタ14はミラー6と同期して旋回するため、確かに入射角βは光軸Aに対して相対的に大きく、例えば20°より大きいが、追従制御フィルタ14に対して相対的に入射角βは0°である。したがって、入射放射線10は、フィルタ14を透過し、受信光学系16に到達することができる。受信光学系16は、入射放射線10を検出器18に向ける。検出器18は、入射放射線10を記録し、これらに例えば、ミラー6の受信時間および走査角度H、Vを提供する。
図3は、第2の実施例にかかるLIDAR装置1の受信ユニット12の概略図を示す。第1の実施例とは異なり、受信ユニット12は、ファブリペロー共振器20からなる適合可能なフィルタ14を有する。ファブリペロー共振器20は、2つの部分透過性ミラー22、24を有する。部分透過性ミラー22、24のそれぞれは、ガラス基板26および部分透過性被膜28からなる。ここで、第1の部分透過性ミラー22は静止しており、配置転換できない。第2の部分透過性ミラー24は、図示されていないアクチュエータによりスライド可能に配置されている。したがって、第2の部分透過性ミラー24をスライドさせることにより、共振器長30または2つの部分透過性ミラー22、24間の距離を変えることができる。入射光線10が共振器長30に対して相対的に特定の波長を有している場合、入射光線10はファブリペロー共振器20を通過できる。したがって、共振器長30を調整することにより、特定の波長を有する入射放射線10の透過範囲を生成することができる。例えば、より短い波長を有する入射放射線10がファブリペロー共振器20を通過できるようにするには、共振器長30を縮小する必要がある。これは、その元の位置に破線で示されている第2の部分透過性ミラー24によって示されている。
図4には、第3の実施例にかかるLIDAR装置1の受信ユニット12の概略図が示されている。第2の実施形態に追加的に、受信ユニット12は、ファブリペロー共振器20を冷却することができるファン32を有する。さらに、ファン32によって生成された空気流を加熱するための加熱要素34がファン32に後置接続されている。矢印は、ファン32によって生成された空気流を示している。特に、部分透過性ミラー22、24の温度は、ある温度を加えられた空気流によって調整される。追加的に、部分透過性ミラー22、24の間の空気または流体にも、空気流の温度を加えてもよい。これにより、流体または部分透過性ミラー22、24の密度が適合される。ファブリペロー共振器20の構成要素の屈折率は密度に依存するため、屈折率は温度を変更することにより適合できる。したがって、ファブリペロー共振器20の透過範囲は、温度調整によって調節するか、または入射放射線10に適合させることができる。
図5aおよび図5bは、第4の実施例にかかるLIDAR装置1の受信ユニット12の概略図を示す。すでに述べた実施例とは異なり、受信ユニット12は、全体的に回転軸Rに沿って回転可能に支承されており、ミラー6の偏向に対応することができ、ひいては入射放射線10の入射角βに応じて、図示しないアクチュエータによって追従制御され得る。
図6には、第5の実施例にかかるLIDAR装置1の受信ユニット12の概略図が示されている。これまでの実施例とは異なり、受信ユニット12は3つの静止フィルタ14を有する。フィルタ14は、互いに相対的な角度で配置されている。実施例によれば、フィルタ14は、回転軸Rを中心点として略半円形に配置されている。これによって、入射放射線10は、それぞれのフィルタ14に対して相対的な小さい入射角βを有する。ここで、入射放射線10は、光軸Aに対して相対的に大きい入射角βで、光軸Aに対して曲がったフィルタ14に当たる。
図7には、第6の実施例にかかるLIDAR装置1の受信ユニット12の概略図が示されている。第6の実施例とは異なり、受信ユニット12は、湾曲を有するフィルタ14を有する。フィルタ14は一体に構成されており、入射放射線10がフィルタ14に対して相対的に0°の相対入射角βを有するような湾曲を有する。

Claims (11)

  1. 走査角度(H、V)を走査するためのLIDAR装置(1)であって、少なくとも1つの電磁放射線(4)を生成するための少なくとも1つの放射源(2)と、前記少なくとも1つの電磁放射線(4)を前記走査角度(H、V)に沿って偏向するための回転可能なミラー(6)と、少なくとも1つの入射電磁放射線(10)を受信し、前記少なくとも1つの入射電磁放射線(10)を少なくとも1つの検出器(18)に偏向するための受信ユニット(12)と、少なくとも1つのフィルタ(14)とを有する、LIDAR装置において、前記少なくとも1つのフィルタ(14)は、前記少なくとも1つの入射電磁放射線(10)に適合できることを特徴とする、LIDAR装置。
  2. 前記少なくとも1つのフィルタ(14)は、前記走査角度(H、V)に沿って回転可能である、請求項1に記載のLIDAR装置。
  3. 前記少なくとも1つのフィルタ(14)は、前記回転可能なミラー(6)に対して相対的に角度変位または角度同期して回転可能である、請求項1または2に記載のLIDAR装置。
  4. 前記少なくとも1つのフィルタ(14)は、調整可能なファブリペロー共振器(20)である、請求項1〜3のいずれか一項に記載のLIDAR装置。
  5. 前記少なくとも1つのフィルタ(14)は、調整可能な共振器長(30)を有する、請求項4に記載のLIDAR装置。
  6. 前記共振器長(30)は、前記回転可能なミラー(6)の配向に依存して調整可能である、請求項4または5に記載のLIDAR装置。
  7. 前記少なくとも1つのフィルタ(14)は、調整可能な屈折率を有する、請求項1〜6のいずれか一項に記載のLIDAR装置。
  8. 前記屈折率は、前記回転可能なミラー(6)の配向に依存して調整可能である、請求項1〜7のいずれか一項に記載のLIDAR装置。
  9. 前記少なくとも1つの入射電磁放射線(10)をフィルタリングするための少なくとも2つのフィルタ(14)が、互いに角度変位されて配置されている、請求項1〜8のいずれか一項に記載のLIDAR装置。
  10. 前記少なくとも1つの入射電磁放射線(10)をフィルタリングするための前記少なくとも1つのフィルタ(14)は湾曲を有する、請求項1〜9のいずれか一項に記載のLIDAR装置。
  11. 請求項1〜10のいずれか一項に記載のLIDAR装置(1)を用いて走査角度(H、V)を走査するための方法であって、
    − 少なくとも1つの電磁放射線(4)を生成するステップと、
    − 前記少なくとも1つの電磁放射線(4)を、前記走査角度(H、V)に沿って偏向するステップと、
    − 物体(18)で反射した少なくとも1つの入射放射線(10)を受信しフィルタリングするステップと、
    − 前記反射した少なくとも1つの入射放射線(10)を検出するステップと、
    を有する、方法において、
    前記少なくとも1つの入射放射線(10)の波長および/または入射角(β)に応じて少なくとも1つのフィルタ(14)が適合されることを特徴とする、方法。
JP2019554636A 2017-04-04 2018-03-27 動的フィルタを備えたlidar装置および方法 Active JP6941182B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102017205685.1A DE102017205685A1 (de) 2017-04-04 2017-04-04 LIDAR-Vorrichtung mit einem dynamischen Filter und Verfahren
DE102017205685.1 2017-04-04
PCT/EP2018/057777 WO2018184915A1 (de) 2017-04-04 2018-03-27 Lidar-vorrichtung mit einem dynamischen filter und verfahren

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020515863A true JP2020515863A (ja) 2020-05-28
JP6941182B2 JP6941182B2 (ja) 2021-09-29

Family

ID=61801968

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019554636A Active JP6941182B2 (ja) 2017-04-04 2018-03-27 動的フィルタを備えたlidar装置および方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11531091B2 (ja)
EP (1) EP3607342A1 (ja)
JP (1) JP6941182B2 (ja)
CN (1) CN110520752A (ja)
DE (1) DE102017205685A1 (ja)
WO (1) WO2018184915A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021262372A1 (en) * 2020-06-22 2021-12-30 Beijing Voyager Technology Co. Ltd. Systems and methods for designing mems scanning mirrors

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102018208998A1 (de) * 2018-06-07 2019-12-12 Robert Bosch Gmbh LIDAR-Vorrichtung mit hoher Fremdlichtrobustheit und Verfahren
DE102019200163A1 (de) 2019-01-09 2020-07-09 Robert Bosch Gmbh Lidarsystem, Verfahren zum Betreiben eines Lidarsystems und Computerprogramm
US20210373320A1 (en) * 2019-05-02 2021-12-02 Lg Electronics Inc. Autonomous driving apparatus
CN112859047B (zh) * 2021-01-13 2023-10-03 北京理工大学 一种离轴激光雷达及其回波接收方法

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02223815A (ja) * 1989-02-23 1990-09-06 Matsushita Electric Works Ltd 光学式変位センサ
JP2004514945A (ja) * 2000-11-30 2004-05-20 キネテイツク・リミテツド 光学フィルタ
JP2007085832A (ja) * 2005-09-21 2007-04-05 Omron Corp 光学式レーダ装置
JP2009076557A (ja) * 2007-09-19 2009-04-09 Sharp Corp バンドパスフィルタおよび受光モジュール
JP2012242134A (ja) * 2011-05-16 2012-12-10 Jfe Steel Corp 形状測定装置およびこれに用いる光学フィルタ
JP2013019790A (ja) * 2011-07-12 2013-01-31 Ihi Corp レーザレーダ装置
JP2013148446A (ja) * 2012-01-19 2013-08-01 Konica Minolta Inc レーザレーダの製造方法及びレーザレーダ
US20140125990A1 (en) * 2011-07-26 2014-05-08 Hexagon Technology Center Gmbh Optical measuring system with filter unit for extracting electromagnetic radiation
EP3067713A1 (en) * 2015-03-12 2016-09-14 The Boeing Company Ladar systems with dynamic receiver filters
JP2016530503A (ja) * 2013-07-09 2016-09-29 ゼノマティクス・ナムローゼ・フエンノートシャップXenomatix Nv 周辺検知システム
JP2016217971A (ja) * 2015-05-25 2016-12-22 富士通株式会社 レーザ測距装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008286565A (ja) * 2007-05-16 2008-11-27 Omron Corp 物体検知装置
JP2010122183A (ja) * 2008-11-21 2010-06-03 Sanyo Electric Co Ltd 物体検出装置および情報取得装置
DE102009023066A1 (de) * 2009-04-01 2010-10-07 Vorwerk & Co. Interholding Gmbh Selbsttätig verfahrbares Gerät, insbesondere selbsttätig verfahrbares Bodenstaub-Aufsammelgerät
CN103547948A (zh) * 2011-04-20 2014-01-29 密执安州立大学董事会 具有最小角度依赖性的用于可视显示器和成像的光谱滤光
US9528819B2 (en) * 2011-10-14 2016-12-27 Iee International Electronics & Engineering S.A. Spatially selective detection using a dynamic mask in an image plane
DE202012010014U1 (de) * 2012-10-19 2014-01-20 Sick Ag Laserscanner
WO2014180483A1 (en) * 2013-05-06 2014-11-13 Danmarks Tekniske Universitet Coaxial direct-detection lidar-system
JP2017122673A (ja) * 2016-01-08 2017-07-13 富士通株式会社 レーザ距離測定装置、測定方法及び測定プログラム

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02223815A (ja) * 1989-02-23 1990-09-06 Matsushita Electric Works Ltd 光学式変位センサ
JP2004514945A (ja) * 2000-11-30 2004-05-20 キネテイツク・リミテツド 光学フィルタ
JP2007085832A (ja) * 2005-09-21 2007-04-05 Omron Corp 光学式レーダ装置
JP2009076557A (ja) * 2007-09-19 2009-04-09 Sharp Corp バンドパスフィルタおよび受光モジュール
JP2012242134A (ja) * 2011-05-16 2012-12-10 Jfe Steel Corp 形状測定装置およびこれに用いる光学フィルタ
JP2013019790A (ja) * 2011-07-12 2013-01-31 Ihi Corp レーザレーダ装置
US20140125990A1 (en) * 2011-07-26 2014-05-08 Hexagon Technology Center Gmbh Optical measuring system with filter unit for extracting electromagnetic radiation
JP2013148446A (ja) * 2012-01-19 2013-08-01 Konica Minolta Inc レーザレーダの製造方法及びレーザレーダ
JP2016530503A (ja) * 2013-07-09 2016-09-29 ゼノマティクス・ナムローゼ・フエンノートシャップXenomatix Nv 周辺検知システム
EP3067713A1 (en) * 2015-03-12 2016-09-14 The Boeing Company Ladar systems with dynamic receiver filters
JP2016217971A (ja) * 2015-05-25 2016-12-22 富士通株式会社 レーザ測距装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021262372A1 (en) * 2020-06-22 2021-12-30 Beijing Voyager Technology Co. Ltd. Systems and methods for designing mems scanning mirrors
US11263357B2 (en) 2020-06-22 2022-03-01 Beijing Voyoager Technology Co., Ltd. Systems and methods for designing MEMS scanning mirrors involving finite element analysis model

Also Published As

Publication number Publication date
EP3607342A1 (de) 2020-02-12
US20200116831A1 (en) 2020-04-16
CN110520752A (zh) 2019-11-29
JP6941182B2 (ja) 2021-09-29
DE102017205685A1 (de) 2018-10-04
US11531091B2 (en) 2022-12-20
WO2018184915A1 (de) 2018-10-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2020515863A (ja) 動的フィルタを備えたlidar装置および方法
US9618328B2 (en) Optical measuring system with filter unit for extracting electromagnetic radiation
CN109477896B (zh) 用于感测扫描场的光学系统
JP2022503383A (ja) 光ビーム導波器
JP2018535845A (ja) 積層造形製造装置及びこれに用いられる光モジュール
EP1794558B1 (en) Optical delay
US10976544B2 (en) Display device and apparatus
CN108008371B (zh) 用于检测对象的激光雷达传感器
EP3508816B1 (en) Distance measurement instrument with scanning function
JP2012513112A (ja) 周波数調整可能なレーザーデバイス
CN107884079B (zh) 单发次超短激光脉冲宽度测量装置及测量方法
US20170276849A1 (en) Direction-selective interferometric optical filter
US9588252B2 (en) Laser alignment and calibration system for scanning lasers
CN112859325B (zh) Mems微镜、迈克尔逊干涉系统及光学系统
US6147799A (en) Physically compact variable optical delay element having wide adjustment range
JP7297075B2 (ja) 光偏向装置および光学装置
US20220196799A1 (en) Tunable optical filter laser source feedback
US20220146815A1 (en) Mems wavelength selectable switch for adaptive wavelength filtering
JP2002071318A (ja) コーティングの光学的な層厚さを連続的に決定するための方法
FR2945674A1 (fr) Dispositif de depointage du faisceau d'une antenne a balayage de faisceau utilisant le dispositif
JP2016080899A (ja) 光走査装置
Fredell et al. Sub-nanometer band pass coatings for LIDAR and astronomy
US6539159B1 (en) Adaptive support for positioning optical components
US10908383B1 (en) Local control loop for projection system focus adjustment
JP4030763B2 (ja) 透過帯域平坦化された分散補償器

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20191003

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20200220

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200911

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20201117

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210415

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210609

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210901

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210903

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6941182

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150