JP2002071318A - コーティングの光学的な層厚さを連続的に決定するための方法 - Google Patents

コーティングの光学的な層厚さを連続的に決定するための方法

Info

Publication number
JP2002071318A
JP2002071318A JP2000250235A JP2000250235A JP2002071318A JP 2002071318 A JP2002071318 A JP 2002071318A JP 2000250235 A JP2000250235 A JP 2000250235A JP 2000250235 A JP2000250235 A JP 2000250235A JP 2002071318 A JP2002071318 A JP 2002071318A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light beam
convex
light
optical layer
spherical surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2000250235A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4732569B2 (ja
Inventor
Torsten Dieter
ディーター トルステン
Alfons Zoeller
ツェラー アルフォンス
Rudolf Beckmann
ベックマン ルドルフ
Harro Hagedorn
ハーゲドルン ハッロ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balzers Leybold Optics GmbH
Original Assignee
Balzers Leybold Optics GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to DE19928171A priority Critical patent/DE19928171B4/de
Priority to ES00116919T priority patent/ES2261129T3/es
Priority to DE50012927T priority patent/DE50012927D1/de
Priority to EP00116919A priority patent/EP1178281B1/de
Application filed by Balzers Leybold Optics GmbH filed Critical Balzers Leybold Optics GmbH
Priority to JP2000250235A priority patent/JP4732569B2/ja
Priority to US09/655,222 priority patent/US6549291B1/en
Publication of JP2002071318A publication Critical patent/JP2002071318A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4732569B2 publication Critical patent/JP4732569B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
    • G01B11/0625—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection
    • G01B11/0633—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection using one or more discrete wavelengths

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 異なる球半径を有するコンカーブコンベック
スレンズの両側の球面に施されるコーティングの光学的
な層厚さを決定する、比較的に簡単に実施できる方法を
提供すること。 【解決手段】 コーティングプロセスの間、コンカーブ
コンベックスレンズを偏心的に光線ビームで負荷し、コ
ンベックスな球面とコンカーブな球面とにおける反射又
は透過をフォトダイオードで測定しかつ反射又は透過と
光学的な層厚さとの間の機能的な関係からそのつどの光
学的な層厚さを求めること。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、異なる球半径Ｒ１
とＲ２とを有するコンカーブコンベックスレンズの両側
の球面に施されたコーティングの光学的な層厚さを連続
的に決定する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガラス板又はそれに類似したものに蒸着
された層の厚さを測定するフォトグラフィックな方法は
公知である。ＤＥ−ＯＳ３６２７２３２号明細書には、
チョッパによって測定位相、反射位相及び暗位相が生ぜ
しめられ、これらの異なる位相が時間的にずらされてお
り、すべての位相のために唯一の検出器を設けることの
できるフォトメータが記載されている。この場合には第
１と第２の光導装置が設けられ、これらの光導装置の各
一端の間に、測定しようとする対象物が配置される。さ
らに、一端で検出器に向き合って位置しかつ他端でチョ
ッパと結合された第３の光導装置が設けられている。前
記チョッパは第１の光導装置の他端とも結合されてい
る。この場合の欠点は複数の光源が配置されなければな
らないことである。
【０００３】J. Roland Jacobsson: PROCEEDINGS, 巻６
５２，Thin film technolo-gies ＩＩ、１９８６、２４
頁には、反射と光学的な層厚さとの間の機能的な関係が
記載されている。この場合、実験はなかんづく、ＴｉO2
とＭｇＦ2との複数の層が交互に基板に施される成層シ
ステムにおいて説明されている。この機能的な関連性は
種々異なる層材料のために、一般的に公知である光学的
な法則性にしたがって理論的に算出することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明はコンカーブコ
ンベックスレンズの両側に施されたコーティングの光学
的な層厚さを連続的に決定する方法を、比較的に簡単に
実施可能でかつ比較基板における比較測定を省略できる
ように改良することである。さらに本発明の方法はコン
カーブコンベックスレンズの上に複数の層からなる成層
系が配置されるときにも使用できるようにしたい。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の課題は、異なる
球半径Ｒ１とＲ２とを有するコンカーブコンベックスレ
ンズの両側の球面に施されたコーティングの光学的な層
厚さを連続的に決定する方法において、各コンカーブコ
ンベックスレンズをコーティングプロセスの間、偏心的
に光線ビームで負荷し、コンベックスな球面とコンカー
ブな球面とにおける反射又は透過をフォトダイオードを
用いて連続的に測定し、そのつどの光学的な層厚さを、
反射又は透過と光学的な層厚さとの間の機能的な関係か
ら求めることによって解決された。光学的な層厚さとは
幾何学的な層厚さとそのつど選ばれた波長に関するその
つどの屈曲指数とから求められる。成層系としては単層
又は多層の層系を使用することができる。この方法では
幅０．1ｍｍから５ｍｍまでの幅を有する光線ビームが
使用される。反射又は透過と各光学的な層厚さとの間の
機能的な関係は一般的に公知であるか又はあらかじめ算
出され得るので、反射又は透過の求められた値から光学
的な層厚さを求めることができる。さらに驚くべきこと
にはコンカーブコンベックスレンズの両側における光学
的な層厚さはコーティングプロセスの間、連続的に決定
されかつ監視され得ることが判明した。この場合には１
つの光源しか必要でなく、比較基板における比較測定は
有利な形式で省略することができる。これは、コンベッ
クスな球面とコンカーブな球面とに異なる層厚さを有す
る異なる層が層系として設けられておりかつ両側のコー
ティングが同時に行われる場合に特に有利である。
【０００６】本発明の有利な実施例の特徴は、コンカー
ブコンベックスレンズが縁部領域において光線ビームで
負荷されることである。縁部領域とは、コンカーブコン
ベックスレンズの外縁からその中心へ向かって幅１〜１
２ｍｍで延在する外側領域のことである。このような形
式で反射は特に有利な形式で求めることができる。何故
ならばコンベックスな球面における反射角とコンカーブ
な面における反射角は、コンカーブコンベックスレンズ
の縁部領域ではコンカーブコンベックスレンズの中心の
直ぐ近くの領域よりも大きいからである。このような形
式でコンカーブコンベックスレンズの両方の球面におけ
る反射は２つの別個のフォトダイオードによって個別に
決定されることができる。これから両方の球面の上の光
学的な層厚さが直接的に得られる。これに対し、本発明
では行われないように光線ビームがコンカーブコンベッ
クスレンズの中心に正確に入射させられると、コンカー
ブコンベックスレンズの両方の球面における反射は同じ
方向を持ち、反射の別々の決定はたとえ可能ではあって
もきわめて困難である。しかしながら反射の別々の決定
はコーティングプロセスの効果的な監視にとって不可欠
な条件である。したがって両方の球面の曲率半径が異な
っていると、反射の別個の検出はコンカーブコンベック
スレンズの縁部領域を片側から光線で負荷した場合に特
に有利な形式で可能である。
【０００７】本発明の別の有利な構成によれば、光線ビ
ームはチョッパによって分割されるか又はフォトダイオ
ードに達成する前に狭幅バンドフィルタを通して導かれ
る。チョッパとしては例えばチョッパ円板を使用するこ
とができる。これでコンカーブコンベックスレンズを光
線ビームで連続的にパルス化して負荷することが可能に
なる。この結果、コーティングプロセスによって、非連
続的な強いバックグラウンド照明が存在し、このバック
グラウンド照明が強い妨害ファクタとして、光線ビーム
の反射の他に同様にフォトダイオードにより捉えられる
限り、測定結果の評価が簡易化される。バックグラウン
ド照明は通常は、光線ビームがチョッピングされること
なくコンカーブコンベックスレンズの上へ導かれる限
り、測定結果の正確な評価に不都合な影響を及ぼす。し
たがって本発明によりバックグラウンド照明の不利な作
用が回避される。
【０００８】本発明の別の有利な構成によれば、光線ビ
ームはコンカーブコンベックスレンズに当たる前に、ビ
ームスプリッタを通して導かれ、光線ビームの一部分の
強度が別のフォトダイオードによって決定されるように
なっている。このような形式で測定結果に誤差をもたら
す、光源からの光放射変動を監視することができるよう
になる。
【０００９】本発明の別の有利な実施例の特徴は、光線
ビームがビームスプリッタとして使用された変向鏡を通
して導かれることである。変向鏡を使用することにより
光線ビームは所望の強さで特に有利に分割することがで
きるようになる。
【００１０】本発明の別の実施例によれば、光線ビーム
として白光が使用される。白光は可視範囲で３９０ｎｍ
と７７０ｎｍとの間の領域のすべての波長を含む。この
場合には、反射又は透過の測定を、測定技術的に特に有
利に検出できる特別な波長に合わせて行うことができる
という利点がある。
【００１１】本発明の別の有利な構成は光線ビームがコ
ンベックスな球面に垂直に導かれることを特徴としてい
る。このような形式で反射は、特に例えばコーティング
室として小さな真空室しか存在せず、反射角がスペース
の関係から検出することが困難である場合に、特に簡単
に検出できるようになる。これは特にわずかな数のコン
カーブコンベックスレンズしか同時にコーティングされ
ないコーティング設備の場合である。
【００１２】本発明の別の構成の特徴は、直径が０．１
ｍｍから２ｍｍまでの光線ビームが使用されることであ
る。この領域にて反射又は透過の測定はほぼ誤差なく実
施される。
【００１３】本発明の別の有利な構成によれば、コンカ
ーブコンベックスレンズとしてメガネレンズが使用され
ている。このメガネレンズはガラス又はプラスチックか
ら成っていることができる。メガネレンズをコーティン
グする場合にはコーティングの各光学的な層厚さはきわ
めて正確に調節されなければならないので、メガネレン
ズは提案されている方法でコーティングされるコンカー
ブコンベックスレンズとして特に有利な形式で適する。
【００１４】本発明の別の有利な構成によれば、光線ビ
ームは調節可能な鏡を介しフォトダイオードに導かれて
いる。調節可能な鏡を用いることによりフォトダイオー
ドは良好に位置決めされて光線ビームで負荷されるよう
になる。この結果、測定結果の質は高められる。
【００１５】本発明の有利な別の構成の特徴はコンベッ
クスな球面又はコンカーブな球面における反射又は透過
がフォトダイオードとして配置された位置感応性の検出
器で連続的に測定されることである。フォトダイオード
としての位置感応性の検出器は同様に有利な形式で当該
方法の測定精度を高める。
【００１６】本発明の別の構成によれば、コンベックス
な球面にて反射された光線ビームの方向の変化が連続的
に測定されかつ調整系を介して補償されるようになって
いる。コーティング室における処理しようとするコンカ
ーブコンベックスレンズに対する熱的な作用によってコ
ンベックスな球面又はコンカーブな球面における曲率半
径がわずかに変化する可能性がある。これは同時にその
つど反射される光線ビームの方向の変化をもたらす。こ
の方向の変化は反射又は透過の測定に不都合に作用す
る。したがってこの方向の変化を連続的に監視すること
が有利である。この監視は簡単な調整回路で行うことが
できる。この場合には前記方向の変化はただちに修正さ
れることができる。このためには調整装置と直接的に結
合された測定兼調整装置を使用することができる。これ
は光学的な層厚さを連続的に決定する当該方法の精度を
高める。
【００１７】本発明の有利な別の構成の特徴は、光線ビ
ームが光源として配置された１つのレーザダイオードか
ら放射されることである。このような形式で構成部材を
節減することができる。したがって例えばチョッパの配
置を省略することができる。さらにレーザダイオードを
配置するための所要スペースはきわめてわずかであり、
これも同様にきわめて有利である。
【００１８】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施例を図１から図
３を用いて詳細に説明する。
【００１９】図１にはコンカーブコンベックスレンズが
簡易化されて横断面図で略示されている。この場合には
ハッチングは図面を見やすくするために省略した。コン
カーブコンベックスレンズは球半径Ｒ１のコンベックス
な球面１を有している。反対側ではコンカーブコンベッ
クスレンズは球半径Ｒ２を有するコンカーブな球面２で
制限されている。異なる球半径Ｒ１とＲ２を有するコン
カーブコンベックスレンズの球面に両側で施されたコー
ティングの光学的な層厚さを連続的に決定する方法にお
いては、コンカーブコンベックスレンズはコーティング
プロセスの間、コンカーブコンベックスレンズの中心と
合致しない、特に有利な形式ではコンカーブコンベック
スレンズの縁範囲に選ばれた測定点３にて、光源４から
光線ビームでビームスプリッタ８を介して負荷される。
ビームスプリッタ８によって光線ビームは２つのビーム
部分に分けられる。第１のビーム部分は光源４を監視す
るために役立つ別のフォトダイオード９に導かれる。第
２のビーム部分はコンカーブコンベックスレンズの縁部
範囲にある測定点３に垂直にあたり、まずコンベックス
な球面１にて反射させられる。反射したこの光線ビーム
は方向を変えない。コンベックスな球面１を通過した光
線ビームはコンカーブな球面２の上に達し、この球面２
にて反射させられる。この場合、反射させられた光線ビ
ーム（破線で図示）は反射角度ωで示したように方向が
変化させられる。コンカーブな球面２にて反射させられ
た光線ビームはフォトダイオード１３に導かれる。コン
ベックスな球面１にて反射させられた光線ビームはフォ
トダイオード５へ導かれる。コンベックスな球面１とコ
ンカーブな球面２とにおける反射もしくは透過の測定値
には直接的に、球面の上におけるコーティングの光学的
なそのつどの層厚さのための値を関係付けることができ
る。この場合には公知の機能的な関係を応用することが
できる。このような形式で光学的な層厚さはコーティン
グプロセスの間、コンベックスな球面１とコンカーブな
球面２との上で同時に連続的に決定することができるの
で、本来のコーティングプロセスを比較的に簡単な形式
で監視しかつ場合によっては適正化することができる。
反射した光線ビームはフォトダイオード５，１３に達す
る前に場合によってはラインフィルタを通して導かれる
か又は位相選択的に増強されることができる（図示せ
ず）。
【００２０】図２にはコンカーブコンベックスなレンズ
が配置されている真空室１２が横断面図で示されてい
る。真空室１２内ではコンカーブコンベックスレンズの
両面コーティングが行なわれる。真空室１２の外側には
光源４が配置されている。光線ビームは光線源４から発
してチョッパディスクとして配置されたチョッパ７へ導
かれる。チョッピングされた光線ビームはビームスプリ
ッタ８へ達する。このビームスプリッタ８によって光線
ビームは２つのビーム部分に分けられる。第１のビーム
部分は、時折り放射光線の強度が変動することのある光
源４を監視するために役立つ。第２のビーム部分は変向
鏡１０とのぞきガラス１１とを介して真空室１２内に達
し、コンカーブコンベックスレンズの縁範囲に位置する
測定点３にて、まずコンベックスな球面１にあたる。コ
ンベックスな球面１にて反射させられた光線はのぞきガ
ラス１１と変向鏡１０とビームスプリッタ８とを介し
て、反射を決定するフォトダイオード５に直接的に達す
る。フォトダイオード５において検出された測定値は公
知の機能的な関係に従って層厚さに関係付けられてい
る。同様の形式でコンカーブな球面２にて反射された光
線ビーム（破線で図示）の反射光線も決定される。この
場合には反射するこの光線ビームはフォトダイオード１
３に供給される。方法技術的な変動に基づき、運転の間
に、コンベックスな球面１にて反射された光線ビームの
方向が変化することがあるので、この方向の変化を連続
的に測定しかつ調整系１４，１５を介して補償すること
が有利である。フォトダイオード５において、反射する
光線ビームが当たる点は連続的に監視される。この場
合、測定された値は測定兼調整装置１５に供給される。
方向の変化が生じると、適当な信号が測定兼調整装置か
ら調節装置１４へ導かれる。この調節装置は自動的に変
向鏡１０の位置を、方向の変化が補償されるように変化
させる。これは唯一の調整回路を用いて行なうことがで
きる。変向鏡１０と調節装置１４は統合した装置部分に
配置されていることができる。これは図２において、両
方の部分を囲む４角形で示されている。フォトダイオー
ド５としては有利な形式で、位置感応性の検出器が配置
されていることができる。この場合、位置感応性の検出
器とは、フォトダイオードのように光強度を測定するた
めに役立ち、同時に光過敏性の面における光線ビームの
位置を測定することのできる光学的な構成部分である。
方向の変化の補償により、有利な形式で、反射させられ
た光線ビームの総量を実質的にフォトダイオード５によ
って検出することができるようになる。一般的には光線
ビームの方向付けは本来のコーティング時相の前に真空
室１２内で行なわれる。このような形式でコンカーブコ
ンベックスレンズを比較的に接近しにくい真空室１２に
おいてコーティングするコーティング方法を比較的に簡
単な形式で監視するか又は最適化することができる。こ
の場合、コンカーブコンベックスレンズとしては有利な
形式でメガネレンズを使用することができる。
【００２１】図３には真空室１２が、その内部に配置さ
れたコンカーブコンベックスレンズと真空室１２の外に
位置する、１つの構成部分内に統合された光源４と共に
横断面図で示されている。この場合には光源４はレーザ
ダイオードとして構成されている。レーザダイオードは
通常は、放射する光線ビームの強度の変動がわずかであ
るので、チョッパと変向鏡との配置は省略することがで
きる。コンベックスな球面１において反射させられた光
源ビームの反射を測定するために配置されたフォトダイ
オード５は光源４，調節装置１４及びビームスプリッタ
８と共に１つの構成ユニットにまとめられている。これ
はこれらの部分をほぼ完全に取囲む４角形で図３に簡略
化して示してある。測定兼調節装置１５とコンカーブな
球面２において反射した光線ビームを測定するために設
けられたフォトダイオード１３は前記構成ユニットの外
に位置している。
【図面の簡単な説明】
【図１】コンベックスな球面とコンカーブな球面とを有
するコンカーブコンベックスレンズを横断面で示した
図。
【図２】真空室を、その中に配置されたコンカーブコン
ベックスレンズと真空室の外側に配置された光源と共に
示した横断面図。
【図３】真空室を、１つの構成ユニットに統合された、
その中に配置されたコンカーブコンベックスレンズと該
真空室の外に配置された光源と共に示した横断面図。
【符号の説明】
１ コンベックスな球面、 ２ コンカーブな球面、
３ 測定室、 ４ 光源、 ５ フォトダイオード、
６ 中心、 ７ チョッパ、 ８ ビームスプリッタ、
９ フォトダイオード、 １０ 変向鏡、 １１ の
ぞきガラス、１２ 真空室、 １３ フォトダイオー
ド、 １４ 調節装置、 １５ 調整装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アルフォンス ツェラー ドイツ連邦共和国 バート ゾーデン／ザ ルミュンスター ケッテラー シュトラー セ 24 (72)発明者 ルドルフ ベックマン ドイツ連邦共和国 ハーナウ プランシュ トラーセ 37 (72)発明者 ハッロ ハーゲドルン ドイツ連邦共和国 フランクフルト アン デア ヴォルフスヴァイデ 24 Ｆターム(参考） 2F065 AA30 BB05 CC22 CC31 EE00 FF51 GG06 GG08 GG12 GG22 GG24 HH04 HH15 JJ01 JJ05 JJ18 LL13 LL22 LL30 LL46 NN16

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 異なる球半径Ｒ１とＲ２とを有するコン
    カーブコンベックスレンズの両側の球面に施されたコー
    ティングの光学的な層厚さを連続的に決定する方法であ
    って、各コンカーブコンベックスレンズをコーティング
    プロセスの間、偏心的に光線ビームで負荷し、コンベッ
    クスな球面（１）とコンカーブな球面（２）とにおける
    反射又は透過をフォトダイオード（５，１３）を用いて
    連続的に測定し、そのつどの光学的な層厚さを、反射又
    は透過と光学的な層厚さとの間の機能的な関係から求め
    ることを特徴とする、コーティングの光学的な層厚さを
    連続的に決定する方法。
  2. 【請求項２】 コンカーブコンベックスレンズを縁部領
    域にて光線ビームで負荷する、請求項１記載の方法。
  3. 【請求項３】 前記光線ビームをチョッパ（７）でチョ
    ッピングするか又はフォトダイオード（５，１３）に達
    する前に狭幅ベルトフィルタを通して導く、請求項１又
    は２記載の方法。
  4. 【請求項４】 光線ビームがコンカーブコンベックスレ
    ンズに当たる前に、ビームスプリッタ（８）を通して導
    き、光線ビームの１部の強さを別のフォトダイオード
    （９）で決定する、請求項１から３までのいずれか１項
    記載の方法。
  5. 【請求項５】 光線ビームをビームスプリッタ（８）と
    して使用された変向鏡を通して導く、請求項４記載の方
    法。
  6. 【請求項６】 光線ビームとして白光を使用する、請求
    項４記載の方法。
  7. 【請求項７】 光線ビームをコンカーブな球面（１）に
    垂直に導く、請求項１から６までのいずれか１項記載の
    方法。
  8. 【請求項８】 直径が０．１ｍｍから２ｍｍの光線ビー
    ムを使用する、請求項１から７までのいずれか１項記載
    の方法。
  9. 【請求項９】 コンカーブコンベックスレンズとしてメ
    ガネレンズを使用する、請求項１から６までのいずれか
    １項記載の方法。
  10. 【請求項１０】 光線ビームを、調節可能な変向鏡（１
    ０）を介してフォトダイオード（５）へ導く、請求項１
    から９までのいずれか１項記載の方法。
  11. 【請求項１１】 コンベックスな球面（１）又はコンカ
    ーブな球面（２）における反射又は透過をフォトダイオ
    ード（５，１３）として配置された位置感応性の検出器
    によって連続的に測定する、請求項１から１０までのい
    ずれか１項記載の方法。
  12. 【請求項１２】 コンベックスな球面（１）にて反射す
    る光線ビームの方向の変化を連続的に測定しかつ調整系
    （１４，１５）を介して補償する、請求項１から１１ま
    でのいずれか１項記載の方法。
  13. 【請求項１３】 光線ビームを光源として配置されたレ
    ーザーダイオードから放射する、請求項１から５及び７
    から１２までのいずれか１項記載の方法。
JP2000250235A 1999-06-19 2000-08-21 コーティングの光学的な層厚さを連続的に決定するための方法 Expired - Fee Related JP4732569B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19928171A DE19928171B4 (de) 1999-06-19 1999-06-19 Verfahren zur kontinuierlichen Bestimmung der optischen Schichtdicke von Beschichtungen
ES00116919T ES2261129T3 (es) 1999-06-19 2000-08-05 Procedimiento para la determinacion continua del espesor de capa optico de revestimientos.
DE50012927T DE50012927D1 (de) 1999-06-19 2000-08-05 Verfahren zur kontinuierlichen Bestimmung der optischen Schichtdicke von Beschichtungen
EP00116919A EP1178281B1 (de) 1999-06-19 2000-08-05 Verfahren zur kontinuierlichen Bestimmung der optischen Schichtdicke von Beschichtungen
JP2000250235A JP4732569B2 (ja) 1999-06-19 2000-08-21 コーティングの光学的な層厚さを連続的に決定するための方法
US09/655,222 US6549291B1 (en) 1999-06-19 2000-09-05 Process for continuous determination of the optical layer thickness of coatings

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19928171A DE19928171B4 (de) 1999-06-19 1999-06-19 Verfahren zur kontinuierlichen Bestimmung der optischen Schichtdicke von Beschichtungen
EP00116919A EP1178281B1 (de) 1999-06-19 2000-08-05 Verfahren zur kontinuierlichen Bestimmung der optischen Schichtdicke von Beschichtungen
JP2000250235A JP4732569B2 (ja) 1999-06-19 2000-08-21 コーティングの光学的な層厚さを連続的に決定するための方法
US09/655,222 US6549291B1 (en) 1999-06-19 2000-09-05 Process for continuous determination of the optical layer thickness of coatings

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002071318A true JP2002071318A (ja) 2002-03-08
JP4732569B2 JP4732569B2 (ja) 2011-07-27

Family

ID=27438967

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000250235A Expired - Fee Related JP4732569B2 (ja) 1999-06-19 2000-08-21 コーティングの光学的な層厚さを連続的に決定するための方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6549291B1 (ja)
EP (1) EP1178281B1 (ja)
JP (1) JP4732569B2 (ja)
DE (2) DE19928171B4 (ja)
ES (1) ES2261129T3 (ja)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6731380B2 (en) * 2001-06-18 2004-05-04 Applied Optics Center Of Delaware, Inc. Method and apparatus for simultaneous measurement of the refractive index and thickness of thin films
US20030115214A1 (en) * 2001-12-17 2003-06-19 Nir Essar Medical reporting system and method
US6860947B2 (en) * 2002-07-08 2005-03-01 Dimension Bond Corporation Apparatus for simultaneously coating and measuring parts
US6998147B2 (en) * 2002-07-08 2006-02-14 Dimension Bond Corporation Method for simultaneously coating and measuring parts
US6832577B2 (en) * 2002-07-08 2004-12-21 Dimension Bond Corporation Apparatus and method for simultaneously coating and measuring parts
EP1598660B1 (de) * 2004-05-22 2006-12-13 Applied Materials GmbH & Co. KG Beschichtungsanlage mit einer Messvorrichtung für die Messung von optischen Eigenschaften von beschichteten Substraten
DE102005008889B4 (de) * 2005-02-26 2016-07-07 Leybold Optics Gmbh Optisches Monitoringsystem für Beschichtungsprozesse
US7573586B1 (en) 2008-06-02 2009-08-11 United Technologies Corporation Method and system for measuring a coating thickness
WO2011119414A1 (en) * 2010-03-22 2011-09-29 Luxottica Us Holdings Corporation Ion beam assisted deposition of ophthalmic lens coatings

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3807870A (en) * 1972-05-22 1974-04-30 G Kalman Apparatus for measuring the distance between surfaces of transparent material
US3953652A (en) * 1973-04-05 1976-04-27 Itek Corporation Process for coating glass onto polymeric substrates
US3994586A (en) * 1975-10-30 1976-11-30 Aluminum Company Of America Simultaneous determination of film uniformity and thickness
US4293224A (en) * 1978-12-04 1981-10-06 International Business Machines Corporation Optical system and technique for unambiguous film thickness monitoring
GB2046432B (en) * 1979-04-09 1983-05-11 Infrared Eng Ltd Apparatus for determining the thickness moisture content or other parameter of a film or coating
DE3406645A1 (de) * 1984-02-24 1985-08-29 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Spektralfotometeranordnung
FR2589578B1 (fr) * 1985-11-05 1988-02-05 Univ Reims Champagne Ardenne Procede et dispositif de controle optique par reflexion d'un materiau ou composant semi-transparent
DE3627232C2 (de) * 1986-08-11 1995-11-16 Leybold Ag Fotometer
US5355083A (en) * 1988-11-16 1994-10-11 Measurex Corporation Non-contact sensor and method using inductance and laser distance measurements for measuring the thickness of a layer of material overlaying a substrate
US5289266A (en) * 1989-08-14 1994-02-22 Hughes Aircraft Company Noncontact, on-line determination of phosphate layer thickness and composition of a phosphate coated surface
CA2034162A1 (en) * 1990-02-23 1991-08-24 Akira Inoue Method and apparatus for measuring the thickness of a coating
JPH04355986A (ja) * 1990-06-26 1992-12-09 Canon Inc 光源駆動装置及びこの光源駆動装置を使用する装置
US5416574A (en) * 1991-03-29 1995-05-16 Optikos Corporation Automated optical measurement apparatus
TW257898B (ja) * 1991-04-11 1995-09-21 Sumitomo Electric Industries
US5564830A (en) * 1993-06-03 1996-10-15 Fraunhofer Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. Method and arrangement for determining the layer-thickness and the substrate temperature during coating
FR2716531B1 (fr) * 1994-02-18 1996-05-03 Saint Gobain Cinematique Contr Procédé de mesure d'épaisseur d'un matériau transparent.
US5846649A (en) * 1994-03-03 1998-12-08 Monsanto Company Highly durable and abrasion-resistant dielectric coatings for lenses
KR960018523A (ko) * 1994-11-16 1996-06-17 배순훈 드럼의 다이아몬드상 카본 코팅두께 측정방법
SE503513C2 (sv) * 1994-11-17 1996-07-01 Ericsson Telefon Ab L M Förfarande och anordning för bestämning av tjocklek och koncentricitet hos ett skikt pålagt på en cylindrisk kropp
US5772861A (en) * 1995-10-16 1998-06-30 Viratec Thin Films, Inc. System for evaluating thin film coatings
DE19548036C2 (de) * 1995-12-21 1999-09-09 Wagner Gmbh J Verfahren und Vorrichtung zum zerstörungsfreien Prüfen von Werkstücken
DE19814056A1 (de) * 1998-03-30 1999-11-04 Alexander W Koch Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung optischer Parameter von optischen Schichten

Also Published As

Publication number Publication date
DE19928171B4 (de) 2011-01-05
EP1178281B1 (de) 2006-06-07
DE50012927D1 (de) 2006-07-20
ES2261129T3 (es) 2006-11-16
DE19928171A1 (de) 2000-12-21
JP4732569B2 (ja) 2011-07-27
US6549291B1 (en) 2003-04-15
EP1178281A1 (de) 2002-02-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7528967B2 (en) Optical characteristic measuring apparatus and measuring method using light reflected from object to be measured
EP0419320B1 (fr) Dispositif d'harmonisation automatique pour un système optronique
US7532414B2 (en) Reflective optical system
US20180364024A1 (en) Beam-shaping elements for optical coherence tomography probes
JP2008233088A (ja) 表面高さ検出方法および装置
EP1896892A2 (en) Reflective optical system
JP2011013145A5 (ja)
JP2002071318A (ja) コーティングの光学的な層厚さを連続的に決定するための方法
US5636027A (en) Apparatus for making contactless measurements of the thickness of an object made of transparent material
JP6843746B2 (ja) レーザ加工機のための加工ヘッドおよびレーザ加工機
US6570661B2 (en) Optical system for oblique incidence interferometer and apparatus using the same
JP2017534463A5 (ja)
JP3248445B2 (ja) 多心テープ光ファイバの表面異状検出方法および表面状態測定装置
EP3663031A1 (en) Laser processing apparatus
US7423758B1 (en) Gloss sensor for a paper machine
JPS6228707A (ja) 無接触測定用のｆ−シ−タ補正されたテレセントリツク系対物鏡を有する装置
US5650851A (en) Speckle interference method for remote thickness measurement of a sheet and layer and an apparatus therefor
US4716284A (en) Photographic optical system having enhanced spectral transmittance characteristics
US5486953A (en) Hyperhemispherical field of view optical sensor head
KR20120071764A (ko) 오토포커싱장치
TWI850781B (zh) 光學對位方法及光學對位裝置
JPH10158834A (ja) 膜厚計測光学系および該光学系を備えた成膜装置
TW202414013A (zh) 光學對位方法及光學對位裝置
JPS632087B2 (ja)
JPS60211304A (ja) 平行度測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070618

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091211

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20100311

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20100316

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20100412

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20100415

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100422

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20100903

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101227

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20101228

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110210

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20110304

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110323

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110421

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140428

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees