JP2020514143A - レイイングダイ - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (13)
- 加圧されたガスによって基板をピックアップおよびレイイングするためのレイイングダイであって、
上側および下側を有しかつ正に加圧されたガスを受け取るための入口ポート(168a)と、出口ポートとを有する、取付けエレメント(16)と、
弾性的に変形可能な材料から形成されかつ前記取付けエレメント(16)の前記下側に取り付けられたキャリヤボディ(18)と、を備え、
該キャリヤボディ(18)は、前記取付けエレメント(16)と、該取付けエレメント(16)と反対側の前記キャリヤボディ(18)の下側との間のガス流を可能にする複数の通路(18a)を有する、加圧されたガスによって基板をピックアップおよびレイイングするためのレイイングダイにおいて、
前記取付けエレメント(16)は、前記入口ポート(168a)から加圧ガスを受け入れるために配置された流路(168)と、前記取付けエレメント(16)の下側から該取付けエレメント(16)の上側に向かって延びる長手方向通路(172)とを有し、
前記流路(168)は、接合セクション(170)において前記長手方向通路(172)へ通じており、
前記接合セクション(170)は、前記長手方向通路(172)内へ排出される加圧ガスが、前記取付けエレメント(16)の前記下側において前記長手方向通路に負圧を発生させるように配設されており、前記取付けエレメント(16)の上側に向かって湾曲した、湾曲した逸らせ面(170a)を有することを特徴とする、
加圧されたガスによって基板をピックアップおよびレイイングするためのレイイングダイ。 - 前記長手方向通路(172)の周壁における唯一のオリフィスを構成する1つの接合セクション(170)が設けられていることを特徴とする、請求項1記載のレイイングダイ。
- 前記取付けエレメント(16)は、シールされるように接合された上側部分(162)および下側部分(164)を有し、前記流路(168)および/または前記長手方向通路(172)および/または前記接合セクション(170)は、少なくとも部分的に、前記上側および下側部分(162,164)における凹所を適合させることによって形成されていることを特徴とする、請求項1または2記載のレイイングダイ。
- 前記長手方向通路(172)の前記周壁は、少なくともセクションにおいて、実質的に円形の横断面を有することを特徴とする、請求項1から3までのいずれか1項記載のレイイングダイ。
- 前記逸らせ面(170a)は、実質的に前記長手方向通路(172)の全周にわたって延びていることを特徴とする、請求項1から4までのいずれか1項記載のレイイングダイ。
- 前記入口ポート(168a)および前記出口ポートの両方が、前記取付けエレメント(16)の前記上側に配置されていることを特徴とする、請求項1から5までのいずれか1項記載のレイイングダイ。
- 前記取付けエレメント(16)は、さらに、該取付けエレメント(16)の前記下側に正に加圧されたガスを供給することができるように配置された第2の長手方向通路(174)を有することを特徴とする、請求項1から6までのいずれか1項記載のレイイングダイ。
- 少なくとも1つの制御される弁アセンブリを有し、前記流路および前記第2の長手方向通路は、前記弁アセンブリを使用して1つの入口ポートから加圧ガスが選択的に供給されるように配置されていることを特徴とする、請求項7記載のレイイングダイ。
- 前記取付けエレメントは、少なくとも2つのモジュール(176,178)を有し、各モジュールは、少なくとも1つの流路(168)と、少なくとも1つの長手方向通路(172)と、適用可能であるならば、少なくとも1つの第2の長手方向通路(174)とを有し、各モジュールは個々にシールされていることを特徴とする、請求項1から8までのいずれか1項記載のレイイングダイ。
- 前記キャリヤボディ(18)の少なくとも1つの外面(18b)および/または前記通路(18a)の少なくとも1つの壁面は、気密形式でコーティングされていることを特徴とする、請求項1から9までのいずれか1項記載のレイイングダイ。
- 前記取付けエレメント(16)の前記下側は、該下側の周囲を規定しておりかつ前記下側への前記キャリヤボディ(18)の気密な取付けを可能にするように配置されている外側セクション(180)と、前記取付けエレメント(16)の前記上側に向かって凹まされた中央セクション(182)とを有することを特徴とする、請求項1から10までのいずれか1項記載のレイイングダイ。
- 請求項1から11までのいずれか1項記載のレイイングダイ(10)と、正に加圧されたガスを供給するためのガス供給手段とを備える、基板のピックアップおよびレイイングのためのレイイングアセンブリ。
- 請求項12記載のレイイングアセンブリと、レイイングダイを並進および回転させるための作動アセンブリと、該作動アセンブリおよびガス供給手段を制御するための制御ユニットとを備える、基板のピックアップおよびレイイングのためのレイイング装置。
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