JP2020505792A5 - - Google Patents

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  1. パワー半導体モジュール(10)であって、
    基部プレート(12)と、
    Si基板を備えるSiチップ(16a)と、を備え、前記Siチップ(16a)は、前記基部プレート(12)に取り付けられ、前記パワー半導体モジュールはさらに、
    前記Siチップ(16a)の面に対して第1プレスピン(24a)で押し付けられる第1金属プリフォーム(22a)と、
    広バンドギャップ基板および前記広バンドギャップ基板に設けられる半導体スイッチ(28b)を備える広バンドギャップ材料チップ(16b)と、を備え、前記広バンドギャップ材料チップ(16b)は、前記基部プレート(12)に取り付けられ、前記パワー半導体モジュールはさらに、
    前記広バンドギャップ材料チップ(16b)の面に対して第2プレスピン(24b)で押し付けられる第2金属プリフォーム(22b)を備え、
    前記Siチップ(16a)および前記広バンドギャップ材料チップ(16b)は、前記基部プレート(12)を介して、ならびに、前記第1プレスピン(24a)および前記第2プレスピン(24b)を介して、並列接続され、
    前記第1金属プリフォーム(22a)は、過電流によって加熱されるとき、前記Si基板とともに合金を形成することによって前記Siチップ(16a)を通る伝導経路を形成するように適合され、
    前記第1金属プリフォーム(22a)よりも高い融点を有する材料で作製される、前記第2金属プリフォーム(22b)は、過電流によって加熱されるとき、前記広バンドギャップ材料チップ(16b)を通る少なくとも一時的な伝導経路を形成するように適合される、パワー半導体モジュール(10)。
  2. 前記第2金属プリフォーム(22b)は、前記過電流によって少なくとも部分的に融解されることによって、前記広バンドギャップ材料チップ(16b)を通る少なくとも一時的な伝導経路を形成するように適合される、請求項1に記載のパワー半導体モジュール(10)。
  3. 前記第1金属プリフォーム(22a)は、Al、Cu、Ag、Mgまたはその合金で作製される、請求項1または請求項2に記載のパワー半導体モジュール(10)。
  4. 前記第2金属プリフォーム(22b)は、Mo、Wまたはその合金で作製される、請求項1〜3のいずれか1項に記載のパワー半導体モジュール(10)。
  5. 前記基部プレート(12)は、Moで作製される、請求項1〜4のいずれか1項に記載のパワー半導体モジュール(10)。
  6. 前記広バンドギャップ材料チップ(16b)の広バンドギャップ材料は、SiCである、請求項1〜5のいずれか1項に記載のパワー半導体モジュール(10)。
  7. 前記Siチップ(16a)は、前記Si基板に設けられる半導体スイッチ(28a)を備える、請求項1〜6のいずれか1項に記載のパワー半導体モジュール(10)。
  8. 前記Siチップ(16a)の前記半導体スイッチ(28a)のゲート(30a)が、前記広バンドギャップ材料チップ(16b)の前記半導体スイッチ(28b)のゲート(30b)とともに前記半導体モジュール(10)に電気的に接続される、請求項7に記載のパワー半導体モジュール(10)。
  9. 前記Siチップ(16a)の前記半導体スイッチ(28a)のゲート(30a)が、前記半導体モジュール(10)の第1ゲート端子(34a)に電気的に接続され、前記広バンドギャップ材料チップ(16b)の前記半導体スイッチ(28b)のゲート(30b)が、前記半導体モジュール(10)の第2ゲート端子(34b)に電気的に接続され、前記Siチップ(16a)の前記半導体スイッチ(28a)が前記広バンドギャップ材料チップ(16b)の前記半導体スイッチ(28b)とは独立して切替可能である、請求項7に記載のパワー半導体モジュール(10)。
  10. 前記Siチップ(16a)の前記半導体スイッチ(28a)のゲート(30a)が、前記半導体モジュール(10)によって提供されるゲート端子に接続されていない、請求項7に記載のパワー半導体モジュール(10)。
  11. 前記Siチップ(16a)が、アクティブな切替可能スイッチを備えていない、請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のパワー半導体モジュール(10)。
  12. 前記Siチップ(16a)が、不活性Si層である、請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のパワー半導体モジュール(10)。
  13. 前記パワー半導体モジュール(10)は、前記Siチップ(16a)と並列接続される少なくとも2つの広バンドギャップ材料チップ(16b)を備える、請求項1〜12のいずれか1項に記載のパワー半導体モジュール(10)。
  14. 前記第1プレスピン(24a)および前記第2プレスピン(24b)に接続される導電性頂部プレート(14)をさらに備える、請求項1〜13のいずれか1項に記載のパワー半導体モジュール(10)。
  15. 前記第1プレスピン(24a)および前記第2プレスピン(24b)の少なくとも1つが、ばね要素(26a,26b)を備える、請求項1〜14のいずれか1項に記載のパワー半導体モジュール(10)。
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