JP2020500415A - 欠陥の発生及び位置の検出のための移動式検査システム - Google Patents
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Abstract
Description
1.プロセスツールの秩序性に関する情報を提供し、以下のa及びbを可能にする。
a.実際に発生する前にツールの異常を予測する。
b.プロセス品質の観点において製造歩留まりを最適化するために、プロセスツールの性能に関するより良い情報をツールのオペレータに提供する。
2.この情報は、異常であると識別されたプロセスツール内の粒子の発生源を突き止めるために要する時間を大幅に短縮することを可能にし、それによって「停止時間」を省き、全体的な製造歩留まりを向上させる。
(a)1つ以上の静電容量センサ
(b)1つ以上の光電陰極
(c)1つ以上の光検出センサ
(d)1つ以上の微小電気機械(MEM)デバイス
(e)1つ以上の容量性マイクロマシン超音波トランスデューサ
(f)エネルギー又は質量変化を測定するように構成された1つ以上の発振デバイス
(g)共振電気光学デバイス
(h)1つ以上の圧力センサ
(i)1つ以上の温度センサ
(j)水晶振動子マイクロバランスセンサ
(k)(a)〜(j)の2つ以上の組み合わせ
(a)1つ以上の発光デバイス
(b)1つ以上の電子ビーム源
(c)1つ以上の超音波源
(d)(a)〜(c)の2つ以上の組み合わせ
1つ以上の静電容量センサ(例えば、CMOS静電容量センサ及び/又はRCセンサ)
1つ以上の電気抵抗センサ
1つ以上の光電陰極
1つ以上の光検出センサ(例えば、CCD、CMOS、PN接合センサ等)
1つ以上の容量性マイクロマシン超音波トランスデューサ
エネルギー又は質量変化を測定するように構成された1つ以上の発振デバイス(例えば、微小電気機械式MEMデバイス)
1つ以上の共振電気又は光学デバイス(例えば、リング共振器)
1つ以上のプラズモンデバイス
1つ以上のフォトニック結晶デバイス(例えば、フォトニック結晶導波路)
1つ以上の圧力センサ
1つ以上の温度センサ
Claims (24)
- 製造プロセスツールにおける欠陥の発生及び位置の検出のためのシステムであって、
検査ウエハと処理ユニットとを備え、
前記検査ウエハは、複数のセンサ及び電源を備え、且つ前記製造プロセスツールに挿入され前記製造プロセスツールを検査するように構成され、
前記処理ユニットは、前記センサから入力データを受け取り、前記製造プロセスツールの検査を行っている間の異なる時刻に前記センサの少なくとも1つから受け取ったデータを比較することにより欠陥の位置、発生時刻、及び物理的特性を計算するように構成される、
システム。 - 請求項1に記載のシステムであって、製造プロセス内の粒子の存在を検出するように適合された、システム。
- 請求項2に記載のシステムであって、
誘電体粒子、金属粒子、半導体粒子、プロセスツール内から発生した粒子、プロセスツール内を流れる材料から発生した粒子、及びプロセスツールの外部から発生した粒子を含む群から選ばれる粒子の存在を検出するように適合された、システム。 - 請求項1に記載のシステムであって、
前記検査ウエハは、信号を送信するように構成された1つ以上の送信機をさらに備え、これにより、欠陥の発生により生じる信号の1つ以上の特性の変化を前記センサが検出可能となる、システム。 - 請求項1に記載のシステムであって、
前記検査ウエハは論理デバイス、処理素子、及びメモリデバイスをさらに備え、前記論理デバイスは前記センサの出力をサンプリングし、前記処理素子は、サンプリングされた前記センサの前記出力を処理し、処理したデータを前記メモリデバイスに格納する、システム。 - 請求項1に記載のシステムであって、前記処理ユニットは前記検査ウエハのリモートに存在するコンピュータステーションである、システム。
- 請求項5に記載のシステムであって、前記検査ウエハは、リモートに存在するコンピュータステーションにデータを送信するように構成された通信素子をさらに備える、システム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記センサは以下の(a)〜(k)から選択される、システム。
(a)1つ以上の静電容量センサ
(b)1つ以上の電気抵抗センサ
(c)1つ以上の光電陰極
(d)1つ以上の光検出センサ
(e)1つ以上の微小電気機械(MEM)デバイス
(f)1つ以上の容量性マイクロマシン超音波トランスデューサ
(g)エネルギー又は質量変化を測定するように構成された1つ以上の発振デバイス
(h)共振電気光学デバイス
(i)1つ以上の圧力センサ
(j)1つ以上の温度センサ
(k)前記(a)〜(j)の2つ以上の組み合わせ - 請求項1に記載のシステムであって、前記センサの抵抗率はファンデルポー抵抗率法により測定される、システム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記センサは圧電材料及び圧電部品を備える、システム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記センサのうちの1つ以上は、プラズモン反応の生成に好適な金属層又は金属パターンと接触している誘電体導波路を備える、システム。
- 請求項4に記載のシステムであって、前記1つ以上の送信機は、以下の(a)〜(d)から選択される、システム。
(a)1つ以上の発光デバイス
(b)1つ以上の電子ビーム源
(c)1つ以上の超音波源
(d)前記(a)〜(c)の2つ以上の組み合わせ - 請求項4に記載のシステムであって、前記検査ウエハの表面上の物体及び/又は粒子は、後方散乱技術により検出される、システム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記物理的特性は、サイズ、形状、質量、伝導率、及び静電容量からなる群より選択される、システム。
- 請求項1に記載のシステムであって、ウエハ改質プロセスからウエハを保護するための保護層をさらに備える、システム。
- 請求項1に記載のシステムであって、電源の充電、ウエハの洗浄、ウエハのリコートのためのドッキングステーションをさらに備える、システム。
- 請求項15に記載のシステムであって、前記保護層はプラズモニックメタマテリアルで作られている、システム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記電源は、モノリシック電源、ハイブリッド電源、コンデンサ、及び電池からなる群より選択される、システム。
- 請求項8に記載のシステムであって、光学センサは、光共振器、マイクロリング共振器、及びフォトニック結晶共振器からなる群より選択される、システム。
- 請求項19に記載のシステムであって、共振波長は欠陥の存在の影響を受ける、システム。
- 請求項8に記載のシステムであって、共振波長は波長固有の検出器又は送信機における振幅の変化により検出される、システム。
- 請求項5に記載のシステムであって、処理リソース及びメモリリソースを削減するために複数のセンサセルアレイに対して共通のレシーバを使用する、システム。
- 請求項22に記載のシステムであって、欠陥が存在しない場合、最小エミッタンス信号が通常の条件下で前記レシーバに提供される、システム。
- 請求項23に記載のシステムであって、最小エミッタンスは、プラズモン波及び/又はフォトニック波の相殺的干渉を発生させるために、導波路の上部に存在するプラズモン又は非プラズモン格子構造により達成される、システム。
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