JP2020205349A - 静電チャックおよびその運転方法 - Google Patents
静電チャックおよびその運転方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020205349A JP2020205349A JP2019112401A JP2019112401A JP2020205349A JP 2020205349 A JP2020205349 A JP 2020205349A JP 2019112401 A JP2019112401 A JP 2019112401A JP 2019112401 A JP2019112401 A JP 2019112401A JP 2020205349 A JP2020205349 A JP 2020205349A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrostatic chuck
- main body
- substrate
- mounting surface
- deformed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000011017 operating method Methods 0.000 title 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 120
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 28
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 claims description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 24
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 27
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 24
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 24
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 20
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 14
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 13
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 11
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
基板を静電吸着するための静電チャック本体と、
前記静電チャック本体が載置される載置面を含む支持部材と、
前記静電チャック本体の第1の部分に対して、前記載置面に垂直な方向への変位を拘束するための拘束手段と、
前記静電チャック本体の第2の部分を、前記載置面に対して、前記載置面に垂直な方向に変位させるための駆動手段と、を備えたことを特徴とする。
前記拘束手段は、前記載置面から離間する方向への前記第1の部分の変位を拘束するように構成されており、
前記駆動手段は、前記第1の部分が前記拘束手段によって拘束された状態において、前記第2の部分に外力を付与して前記載置面から離間する方向に前記第2の部分を変位させるように構成されていることが好ましい。
前記拘束手段は、前記第1の部分を前記載置面から離間させると共に、前記載置面に接近する方向への前記第1の部分の変位を拘束するように構成されており、
前記駆動手段は、前記第1の部分を前記拘束手段によって前記載置面から離間させた状態において、前記第2の部分に外力を付与して前記載置面に接近する方向に前記第2の部分を変位させるように構成されていることが好ましい。
前記拘束手段は、前記第1の部分を前記載置面から離間させた際に前記静電チャック本体の下面と前記載置面との間に密閉空間を形成するように構成されており、
前記駆動手段は、前記密閉空間の内部を排気するための排気手段を有することが好ましい。
前記拘束手段は、拘束すべき前記第1の部分の位置を変更できるように構成されていることが好ましい。
前記駆動手段は、駆動すべき前記第2の部分の位置を変更できるように構成されていることが好ましい。
前記拘束手段によって、前記静電チャック本体の前記第1の部分に対して、前記載置面に垂直な方向への変位を拘束する拘束工程と、
前記駆動手段によって、前記静電チャック本体の前記第2の部分を、前記載置面に対して、前記載置面に垂直な方向に変位させる変位工程と、
前記拘束工程及び前記変位工程によって変形された前記静電チャック本体によって、変形した前記基板を静電吸着する吸着工程と、
前記駆動手段による前記第2の部分の変位を解除することにより、前記基板を前記静電チャック本体と一体に平坦化する平坦化工程と、を備えたことを特徴とする。
次に、本発明の他の実施形態による静電チャック1Eおよびその運転方法について、図16乃至図19を参照して説明する。
2 静電チャック本体
2a 静電チャック本体の吸着面
2b 静電チャック本体の周縁部(第1の部分または第2の部分)
2c 静電チャック本体の中央部(第2の部分または第1の部分)
2d 静電チャック本体のセラミックス焼結体
2e 静電チャック本体の電極
2f 静電チャック本体の端子孔
2g 静電チャック本体の端子
2h 静電チャック本体の突起部
3 支持部材
3a 支持部材の載置面
3b 支持部材の貫通孔
3c 支持部材の細長貫通部
3d 支持部材の環状貫通部
4、4A、4B、4C 拘束部材(拘束手段)
4a 拘束部材の環状の段部
4b 拘束部材の頭部
4c 拘束部材の把持部
5 駆動部材(駆動手段)
5a 駆動部材の先端部
6 環状のシール部材
7 排気口(排気手段)
8 密閉空間
S 基板
Claims (7)
- 基板を静電吸着するための静電チャック本体と、
前記静電チャック本体が載置される載置面を含む支持部材と、
前記静電チャック本体の第1の部分に対して、前記載置面に垂直な方向への変位を拘束するための拘束手段と、
前記静電チャック本体の第2の部分を、前記載置面に対して、前記載置面に垂直な方向に変位させるための駆動手段と、を備えたことを特徴とする静電チャック。 - 前記拘束手段は、前記載置面から離間する方向への前記第1の部分の変位を拘束するように構成されており、
前記駆動手段は、前記第1の部分が前記拘束手段によって拘束された状態において、前記第2の部分に外力を付与して前記載置面から離間する方向に前記第2の部分を変位させるように構成されていることを特徴とする請求項1記載の静電チャック。 - 前記拘束手段は、前記第1の部分を前記載置面から離間させると共に、前記載置面に接近する方向への前記第1の部分の変位を拘束するように構成されており、
前記駆動手段は、前記第1の部分を前記拘束手段によって前記載置面から離間させた状態において、前記第2の部分に外力を付与して前記載置面に接近する方向に前記第2の部分を変位させるように構成されていることを特徴とする請求項1記載の静電チャック。 - 前記拘束手段は、前記第1の部分を前記載置面から離間させた際に前記静電チャック本体の下面と前記載置面との間に密閉空間を形成するように構成されており、
前記駆動手段は、前記密閉空間の内部を排気するための排気手段を有することを特徴とする請求項3記載の静電チャック。 - 前記拘束手段は、拘束すべき前記第1の部分の位置を変更できるように構成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の静電チャック。
- 前記駆動手段は、駆動すべき前記第2の部分の位置を変更できるように構成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の静電チャック。
- 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の静電チャックの運転方法であって、
前記拘束手段によって、前記静電チャック本体の前記第1の部分に対して、前記載置面に垂直な方向への変位を拘束する拘束工程と、
前記駆動手段によって、前記静電チャック本体の前記第2の部分を、前記載置面に対して、前記載置面に垂直な方向に変位させる変位工程と、
前記拘束工程及び前記変位工程によって変形された前記静電チャック本体によって、変形した前記基板を静電吸着する吸着工程と、
前記駆動手段による前記第2の部分の変位を解除することにより、前記基板を前記静電チャック本体と一体に平坦化する平坦化工程と、を備えたことを特徴とする静電チャックの運転方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019112401A JP2020205349A (ja) | 2019-06-17 | 2019-06-17 | 静電チャックおよびその運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019112401A JP2020205349A (ja) | 2019-06-17 | 2019-06-17 | 静電チャックおよびその運転方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020205349A true JP2020205349A (ja) | 2020-12-24 |
Family
ID=73837602
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019112401A Pending JP2020205349A (ja) | 2019-06-17 | 2019-06-17 | 静電チャックおよびその運転方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2020205349A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113562091A (zh) * | 2021-06-08 | 2021-10-29 | 浙江大学 | 柔性静电吸盘 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000124299A (ja) * | 1998-10-16 | 2000-04-28 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法および半導体製造装置 |
JP2007242826A (ja) * | 2006-03-08 | 2007-09-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
WO2009125867A1 (ja) * | 2008-04-11 | 2009-10-15 | 株式会社ニコン | ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
JP2010189257A (ja) * | 2009-02-12 | 2010-09-02 | Commissariat A L'energie Atomique & Aux Energies Alternatives | 結晶粒の方位を制御する結晶化法 |
JP2011101581A (ja) * | 2009-10-09 | 2011-05-19 | Tokyo Electron Ltd | アクチュエータ素子およびシート状アクチュエータ |
US9281252B1 (en) * | 2014-10-24 | 2016-03-08 | Globalfoundries Inc. | Method comprising applying an external mechanical stress to a semiconductor structure and semiconductor processing tool |
JP2018064055A (ja) * | 2016-10-14 | 2018-04-19 | 日本碍子株式会社 | 半導体製造装置用部材及びその製法 |
-
2019
- 2019-06-17 JP JP2019112401A patent/JP2020205349A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000124299A (ja) * | 1998-10-16 | 2000-04-28 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法および半導体製造装置 |
JP2007242826A (ja) * | 2006-03-08 | 2007-09-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
WO2009125867A1 (ja) * | 2008-04-11 | 2009-10-15 | 株式会社ニコン | ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
JP2010189257A (ja) * | 2009-02-12 | 2010-09-02 | Commissariat A L'energie Atomique & Aux Energies Alternatives | 結晶粒の方位を制御する結晶化法 |
JP2011101581A (ja) * | 2009-10-09 | 2011-05-19 | Tokyo Electron Ltd | アクチュエータ素子およびシート状アクチュエータ |
US9281252B1 (en) * | 2014-10-24 | 2016-03-08 | Globalfoundries Inc. | Method comprising applying an external mechanical stress to a semiconductor structure and semiconductor processing tool |
JP2018064055A (ja) * | 2016-10-14 | 2018-04-19 | 日本碍子株式会社 | 半導体製造装置用部材及びその製法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113562091A (zh) * | 2021-06-08 | 2021-10-29 | 浙江大学 | 柔性静电吸盘 |
CN113562091B (zh) * | 2021-06-08 | 2022-08-26 | 浙江大学 | 柔性静电吸盘 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI600110B (zh) | 用於較小晶圓及晶圓片之晶圓載具 | |
TWI654713B (zh) | 靜電夾具與半導體液晶製造設備 | |
JP6526795B2 (ja) | 基板の保持方法 | |
JP2018517054A (ja) | アライナ構造及びアライン方法 | |
JP4839294B2 (ja) | 半導体ウエハ保持装置 | |
WO2021111732A1 (ja) | 吸着保持装置及び対象物表面加工方法 | |
JP2017506429A (ja) | 静電力による半導体ボンディング強化用のデバイス、システムおよび方法 | |
JPH09283608A (ja) | 静電チャック | |
JP2020205349A (ja) | 静電チャックおよびその運転方法 | |
JP2006253352A (ja) | 吸着装置 | |
TWI640060B (zh) | Separation method and manufacturing method of holding device | |
JP7312031B2 (ja) | 静電チャックおよびその運転方法 | |
JP4539981B2 (ja) | 基板保持装置 | |
KR20200075502A (ko) | 웨이퍼 크기 확장 장치 및 이를 포함하는 웨이퍼 정렬 장치 | |
JP5881686B2 (ja) | 高温において機械的な固定する能力を備えている、加熱される静電チャック | |
JPS63141313A (ja) | 薄板変形装置 | |
TWI655711B (zh) | 夾持裝置以及夾持方法 | |
JP2016001641A (ja) | 半導体装置の製造方法および半導体装置の製造装置 | |
JP7122174B2 (ja) | 静電チャック、および、静電チャックの製造方法 | |
JP7329997B2 (ja) | 静電チャック装置 | |
JP2000021963A (ja) | 静電吸着装置 | |
CN210575889U (zh) | 静电吸盘 | |
KR20200074544A (ko) | 웨이퍼 크기 확장 장치 및 이를 포함하는 웨이퍼 정렬 장치 | |
JP2005191338A (ja) | 基板の保持装置および方法 | |
JPH10261697A (ja) | 静電チャック |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220309 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230718 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230908 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20231205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240301 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20240313 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240702 |