JP2020202102A5 - - Google Patents

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本発明の第1の態様に係る質量分析装置は、試料にレーザ光を照射するレーザ照射部を含み、レーザ脱離イオン化法を用いて試料中の成分をイオン化するイオン源と、イオンを質量電荷比に応じて分離して検出する分析部と、を具備し、前記イオン源で生成されたイオン又は該イオンに由来する別のイオンを前記分析部まで輸送して分析を行う質量分析装置であって、
前記レーザ照射部によるレーザ光が照射される位置で、且つ、レーザ光の照射により生成されたイオンが収集され得る位置に配置された、レーザ光の照射によりイオン化され得る物質から成るターゲットと、
前記ターゲットにレーザ光を照射し、それにより生成されたイオンを前記分析部で分析することで得られた結果に基づいて、質量較正情報を求める質量較正情報取得部と、
前記質量較正情報を利用して、目的試料を質量分析するときに質量較正を行う質量較正部と、
を備えるものである。
また本発明の第2の態様に係る質量分析装置は、試料にレーザ光を照射するレーザ照射部を含み、レーザ脱離イオン化法を用いて試料中の成分をイオン化するイオン源と、イオンを質量電荷比に応じて分離して検出する分析部と、を具備し、前記イオン源で生成されたイオン又は該イオンに由来する別のイオンを前記分析部まで輸送して分析を行う質量分析装置であって、
前記レーザ照射部によるレーザ光が照射される位置で、且つ、レーザ光の照射により生成されたイオンが収集され得る位置に配置された、レーザ光の照射によりイオン化され得る物質から成るターゲットと、
前記ターゲットにレーザ光を照射し、それにより生成されたイオンを前記分析部で分析することで得られた結果を表示部の画面上に表示する表示処理部と、
を備えるものである。
なお、通常、データ処理部50及び制御部60は、CPURAM等を含むコンピュータにより構成され、予め搭載されたデータ処理・制御用のプログラムをコンピュータが実行することにより、各部の機能が具現化されるものとすることができる。
第1の態様による質量分析装置は、試料にレーザ光を照射するレーザ照射部を含み、レーザ脱離イオン化法を用いて試料中の成分をイオン化するイオン源と、イオンを質量電荷比に応じて分離して検出する分析部と、を具備し、前記イオン源で生成されたイオン又は該イオンに由来する別のイオンを前記分析部まで輸送して分析を行う質量分析装置であって、
前記レーザ照射部によるレーザ光が照射される位置で、且つ、レーザ光の照射により生成されたイオンが収集され得る位置に配置された、レーザ光の照射によりイオン化され得る物質から成るターゲットと、
前記ターゲットにレーザ光を照射し、それにより生成されたイオンを前記分析部で分析することで得られた結果に基づいて、質量較正情報を求める質量較正情報取得部と、
前記質量較正情報を利用して、目的試料を質量分析するときに質量較正を行う質量較正部と、
を備えるものである。
また第2の態様に係る質量分析装置は、試料にレーザ光を照射するレーザ照射部を含み、レーザ脱離イオン化法を用いて試料中の成分をイオン化するイオン源と、イオンを質量電荷比に応じて分離して検出する分析部と、を具備し、前記イオン源で生成されたイオン又は該イオンに由来する別のイオンを前記分析部まで輸送して分析を行う質量分析装置であって、
前記レーザ照射部によるレーザ光が照射される位置で、且つ、レーザ光の照射により生成されたイオンが収集され得る位置に配置された、レーザ光の照射によりイオン化され得る物質から成るターゲットと、
前記ターゲットにレーザ光を照射し、それにより生成されたイオンを前記分析部で分析することで得られた結果を表示部の画面上に表示する表示処理部と、
を備えるものである。
10…チャンバ
11…区画壁
12…内部開口
13…イオン化室
14…分析室
15…外部開口
16…ドア
20…試料ステージ
21…サンプルプレート
22…サンプル
23、253…ターゲット
24…ステージ駆動部
25…ゲートバルブ
251…バルブ本体部
252…シャフト
26…ゲートバルブ駆動部
30…窓
31…レーザ照射部
32…レンズ
33…ミラー
34…撮像部
40…イオン輸送光学系
41…質量分離部
42…検出部
50…データ処理部
51…質量較正データ作成部
52…質量較正データ記憶部
53…質量較正処理部
54…表示処理部
…表示部
60…制御部

Claims (2)

  1. 試料にレーザ光を照射するレーザ照射部を含み、レーザ脱離イオン化法を用いて試料中の成分をイオン化するイオン源と、イオンを質量電荷比に応じて分離して検出する分析部と、を具備し、前記イオン源で生成されたイオン又は該イオンに由来する別のイオンを前記分析部まで輸送して分析を行う質量分析装置であって、
    前記レーザ照射部によるレーザ光が照射される位置で、且つ、レーザ光の照射により生成されたイオンが収集され得る位置に配置された、レーザ光の照射によりイオン化され得る物質から成るターゲットと、
    前記ターゲットにレーザ光を照射し、それにより生成されたイオンを前記分析部で分析することで得られた結果に基づいて、質量較正情報を求める質量較正情報取得部と、
    前記質量較正情報を利用して、目的試料を質量分析するときに質量較正を行う質量較正部と、
    を備える質量分析装置。
  2. 試料にレーザ光を照射するレーザ照射部を含み、レーザ脱離イオン化法を用いて試料中の成分をイオン化するイオン源と、イオンを質量電荷比に応じて分離して検出する分析部と、を具備し、前記イオン源で生成されたイオン又は該イオンに由来する別のイオンを前記分析部まで輸送して分析を行う質量分析装置であって、
    前記レーザ照射部によるレーザ光が照射される位置で、且つ、レーザ光の照射により生成されたイオンが収集され得る位置に配置された、レーザ光の照射によりイオン化され得る物質から成るターゲットと、
    前記ターゲットにレーザ光を照射し、それにより生成されたイオンを前記分析部で分析することで得られた結果を表示部の画面上に表示する表示処理部と、
    を備える質量分析装置。
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