JP2020191543A - 固体撮像素子、撮像装置、および、固体撮像素子の制御方法 - Google Patents

固体撮像素子、撮像装置、および、固体撮像素子の制御方法 Download PDF

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Abstract

【課題】カラムごとに信号処理を行う固体撮像素子において、画像データの画質を向上させる。【解決手段】複数のアナログ出力部のそれぞれが、一対のアナログ入力信号の差分を所定のゲインにより増減してアナログ出力信号として出力する。アナログデジタル変換部は、複数のアナログ出力部のそれぞれのアナログ出力信号をデジタル信号に変換する。補正処理部は、複数のアナログ出力部のそれぞれのゲインのばらつきによるデジタル信号のノイズを補正する。【選択図】図4

Description

本技術は、固体撮像素子、撮像装置、および、固体撮像素子の制御方法に関する。詳しくは、カラムごとにアナログ信号をデジタル信号に変換する固体撮像素子、撮像装置、および、固体撮像素子の制御方法に関する。
従来より、固定パターンノイズを低減する目的で、受光量に応じた信号電圧と、画素を初期化した際のリセット電圧との差分を求めるCDS(Correlated Double Sampling)処理が固体撮像素子において行われている。例えば、アナログの信号電圧とアナログのリセット電圧とをサンプルホールドし、それらの差分の電圧を電流に変換してアナログデジタル変換器(ADC:Analog-to-Digital Converter)に入力する固体撮像素子が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。この固体撮像素子では、カラムごとにADCを行うために、サンプルホールド回路と、一定のゲインで電圧を電流に信号変換する抵抗素子と、ADCとがカラムごとに配置される。
米国特許第9525837号明細書
上述の従来技術では、CDS処理の実行により、固定パターンノイズの低減を図っている。しかしながら、カラムごとの抵抗素子にばらつきがあると、電圧を電流に変換する際のゲインについてカラムごとにばらつきが生じてしまう。そして、このゲインのばらつきによりAD(Analog-to-Digital)変換後のデジタル信号にノイズが発生し、画像データの画質が低下するという問題がある。
本技術はこのような状況に鑑みて生み出されたものであり、カラムごとに信号処理を行う固体撮像素子において、画像データの画質を向上させることを目的とする。
本技術は、上述の問題点を解消するためになされたものであり、その第1の側面は、一対のアナログ入力信号の差分を所定のゲインにより増減してアナログ出力信号として出力する複数のアナログ出力部と、上記複数のアナログ出力部のぞれぞれの上記アナログ出力信号をデジタル信号に変換するアナログデジタル変換部と、上記複数のアナログ出力部のそれぞれの上記ゲインのばらつきによる上記デジタル信号のノイズを補正する補正処理部とを具備する固体撮像素子、および、その制御方法である。これにより、ノイズが低減したデジタル信号からなる画像データが撮像されるという作用をもたらす。
また、この第1の側面において、受光量に応じた信号電圧と所定のリセット電圧とを順にサンプルして保持し、上記信号電圧および上記リセット電圧を上記一対のアナログ入力信号として一対の出力信号線を介して出力する複数のサンプルホールド回路をさらに具備してもよい。これにより、信号電圧およびリセット電圧の差分がゲインにより増減されるという作用をもたらす。
また、この第1の側面において、上記複数のサンプルホールド回路のそれぞれの上記一対の出力信号線の間の経路を開閉するサンプルホールド横繋ぎ回路をさらに具備してもよい。これにより、サンプルホールド回路のオフセットのばらつきによるノイズが抑制されるという作用をもたらす。
また、この第1の側面において、上記補正処理部は、上記経路が閉状態である場合には上記ゲインのばらつきによるノイズを補正するための補正値をゲイン補正値として算出するゲイン補正値算出回路と、上記経路が開状態である場合には上記複数のサンプルホールド回路のそれぞれのオフセットのばらつきによるノイズを補正するための上記補正値をオフセット補正値として算出するオフセット補正値算出回路と、上記算出されたゲイン補正値と上記算出されたオフセット補正値とを用いて上記ノイズを補正する補正演算回路とを備えてもよい。これにより、オフセットのばらつきによるノイズとゲインのばらつきによるノイズとが低減した画像データが撮像されるという作用をもたらす。
また、この第1の側面において、上記アナログ出力信号は、上記信号電圧と上記リセット電圧との差分を上記ゲインにより増減した電流信号であってもよい。これにより、電流信号がデジタル信号に変換されるという作用をもたらす。
また、この第1の側面において、上記複数のサンプルホールド回路のそれぞれは、一対のリセット電圧サンプルホールド回路と、一対の信号電圧サンプルホールド回路とを備え、上記一対のリセット電圧サンプルホールド回路の一方が上記リセット電圧をサンプルするときに他方が保持し、上記一対の信号電圧サンプルホールド回路の一方が上記信号電圧をサンプルするときに他方が保持してもよい。これにより、一対のサンプルホールド回路の一方が信号のサンプルを行う一方で他方が信号をホールドするという作用をもたらす。
また、この第1の側面において、複数の行を配列した画素アレイ部をさらに具備し、上記複数の行のそれぞれは所定方向に配列された複数の画素からなり、上記複数のサンプルホールド回路の半分は、上記複数の行のうち偶数行に接続され、上記複数のサンプルホールド回路の残りは、上記複数の行のうち奇数行に接続され、上記偶数行に接続されたサンプルホールド回路と、上記奇数行に接続されたサンプルホールド回路とは、上記所定方向に沿って交互に配列されてもよい。これにより、2行が同時にAD変換されるという作用をもたらす。
また、この第1の側面において、複数の行を配列した画素アレイ部をさらに具備し、上記複数のサンプルホールド回路の半分は、上側カラム信号処理回路に配置され、残りは、下側カラム信号処理回路に配置され、上記上側カラム信号処理回路は、上記複数の行内の奇数行および偶数行の一方に接続され、上記下側カラム信号処理回路は、上記奇数行および上記偶数行のうち他方に接続されてもよい。これにより、2行が同時にAD変換されるという作用をもたらす。
また、この第1の側面において、複数の画素を配列した画素アレイ部をさらに具備し、上記画素アレイ部は、所定の受光チップに配置され、上記複数のサンプルホールド回路と上記サンプルホールド横繋ぎ回路と上記複数のアナログ出力部と上記アナログデジタル変換部と上記補正処理部との少なくとも一部は、所定の回路チップに配置されてもよい。これにより、チップ当たりの回路規模が削減されるという作用をもたらす。
また、この第1の側面において、互いに異なる上記サンプルホールド回路に接続された複数の垂直信号線が配線された画素アレイ部と、上記複数の垂直信号線のうち隣接する奇数本目の信号線同士を接続するとともに上記複数の垂直信号線のうち隣接する偶数本目の信号線同士を接続する垂直信号線加算回路とをさらに具備してもよい。これにより、水平方向に画素加算されるという作用をもたらす。
また、この第1の側面において、画素の受光量に応じた信号電圧と所定のリセット電圧とを順にサンプルして保持し、上記信号電圧および上記リセット電圧を一対の出力信号線を介して出力する複数のサンプルホールド回路と、上記複数のサンプルホールド回路のそれぞれの上記一対の出力信号線の一方を選択し、当該選択した信号線の電圧を上記一対のアナログ入力信号の一方として上記アナログデジタル変換部へ出力する選択回路とをさらに具備し、上記一対のアナログ入力信号の他方は、所定の参照電圧であってもよい。これにより、シングルスロープ型ADCにおいてノイズが低減するという作用をもたらす。
また、本技術の第2の側面は、一対のアナログ入力信号の差分を所定のゲインにより増減してアナログ出力信号として出力する複数のアナログ出力部と、上記複数のアナログ出力部のぞれぞれの上記アナログ出力信号をデジタル信号に変換するアナログデジタル変換部と、上記複数のアナログ出力部のそれぞれの上記ゲインのばらつきによる上記デジタル信号のノイズを補正する補正処理部と、上記デジタル信号のそれぞれを含む画像データに対して所定の画像処理を行うデジタル信号処理回路とを具備する撮像装置である。これにより、ノイズが低減したデジタル信号からなる画像データが生成され、画像処理が行われるという作用をもたらす。
本技術の第1の実施の形態における撮像装置の一構成例を示すブロック図である。 本技術の第1の実施の形態における固体撮像素子の一構成例を示すブロック図である。 本技術の第1の実施の形態における画素の一構成例を示す回路図である。 本技術の第1の実施の形態におけるカラム信号処理回路の一構成例を示すブロック図である。 本技術の第1の実施の形態におけるスイッチの一構成例を示す回路図である。 本技術の第1の実施の形態におけるサンプルホールド回路および電圧電流変換部の一構成例を示すブロック図である。 本技術の第1の実施の形態における補正処理部の一構成例を示すブロック図である。 本技術の第1の実施の形態におけるテスト電圧とデジタル信号との関係の一例を示すグラフである。 本技術の第1の実施の形態におけるオフセット補正値およびゲイン補正値の一例を示す図である。 本技術の第1の実施の形態における固体撮像素子の動作の一例を示すタイミングチャートである。 本技術の第1の実施の形態における補正の効果を説明するためのグラフである。 本技術の第1の実施の形態における固体撮像素子の動作の一例を示すフローチャートである。 本技術の第1の実施の形態におけるゲイン補正値算出処理の一例を示すフローチャートである。 本技術の第1の実施の形態におけるオフセット補正値算出処理の一例を示すフローチャートである。 本技術の第1の実施の形態の変形例におけるサンプルホールド回路および電圧電流変換部の一構成例を示すブロック図である。 本技術の第1の実施の形態の変形例におけるリセット電圧サンプルホールド回路の一構成例を示すブロック図である。 本技術の第1の実施の形態の変形例における信号電圧サンプルホールド回路の一構成例を示すブロック図である。 本技術の第2の実施の形態における固体撮像素子の一構成例を示すブロック図である。 本技術の第2の実施の形態におけるカラム信号処理回路の一構成例を示すブロック図である。 本技術の第3の実施の形態における固体撮像素子の一構成例を示すブロック図である。 本技術の第4の実施の形態における固体撮像素子の積層構造の一例を示す図である。 本技術の第4の実施の形態における固体撮像素子の一構成例を示すブロック図である。 本技術の第5の実施の形態におけるカラム信号処理回路の一構成例を示すブロック図である。 本技術の第5の実施の形態におけるVSL(Vertical Signal Line)加算回路およびSH(Sample Hold)横繋ぎ回路の一構成例を示す回路図である。 本技術の第5の実施の形態における垂直信号線を接続する場合のVSL加算回路およびSH横繋ぎ回路の状態を示す回路図である。 本技術の第5の実施の形態における垂直信号線を接続しない場合のVSL加算回路およびSH横繋ぎ回路の状態を示す回路図である。 本技術の第6の実施の形態におけるカラム信号処理回路の一構成例を示すブロック図である。 本技術の第6の実施の形態におけるアナログデジタル変換部の一構成例を示すブロック図である。 車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。 撮像部の設置位置の一例を示す説明図である。
以下、本技術を実施するための形態(以下、実施の形態と称する)について説明する。説明は以下の順序により行う。
1.第1の実施の形態(ゲインばらつきによるノイズを補正する例)
2.第2の実施の形態(ゲインばらつきによるノイズを補正し、2行同時に読み出す例)
3.第3の実施の形態(ゲインばらつきによるノイズを補正し、上下のカラム信号処理回路より読み出す例)
4.第4の実施の形態(積層構造においてゲインばらつきによるノイズを補正する例)
5.第5の実施の形態(画素加算し、ゲインばらつきによるノイズを補正する例)
6.第6の実施の形態(シングルスロープ型ADCのゲインばらつきによるノイズを補正する例)
7.移動体への応用例
<1.第1の実施の形態>
[撮像装置の構成例]
図1は、本技術の第1の実施の形態における撮像装置100の一構成例を示すブロック図である。この撮像装置100は、画像データを撮像するための装置であり、光学部110、固体撮像素子200およびDSP(Digital Signal Processing)回路120を備える。さらに撮像装置100は、表示部130、操作部140、バス150、フレームメモリ160、記憶部170および電源部180を備える。撮像装置100としては、例えば、デジタルスチルカメラなどのデジタルカメラの他、撮像機能を持つスマートフォンやパーソナルコンピュータ、車載カメラ等が想定される。
光学部110は、被写体からの光を集光して固体撮像素子200に導くものである。固体撮像素子200は、垂直同期信号XVSに同期して、光電変換により画像データを生成するものである。ここで、垂直同期信号XVSは、撮像のタイミングを示す所定周波数の周期信号である。固体撮像素子200は、生成した画像データをDSP回路120に信号線209を介して供給する。
DSP回路120は、固体撮像素子200からの画像データに対して所定の画像処理を実行するものである。このDSP回路120は、処理後の画像データをバス150を介してフレームメモリ160などに出力する。なお、DSP回路120は、特許請求の範囲に記載のデジタル信号処理回路の一例である。
表示部130は、画像データを表示するものである。表示部130としては、例えば、液晶パネルや有機EL(Electro Luminescence)パネルが想定される。操作部140は、ユーザの操作に従って操作信号を生成するものである。
バス150は、光学部110、固体撮像素子200、DSP回路120、表示部130、操作部140、フレームメモリ160、記憶部170および電源部180が互いにデータをやりとりするための共通の経路である。
フレームメモリ160は、画像データを保持するものである。記憶部170は、画像データなどの様々なデータを記憶するものである。電源部180は、固体撮像素子200、DSP回路120や表示部130などに電源を供給するものである。
[固体撮像素子の構成例]
図2は、本技術の第1の実施の形態における固体撮像素子200の一構成例を示すブロック図である。この固体撮像素子200は、垂直走査回路210、タイミング制御回路220、画素アレイ部230、カラム信号処理回路300、水平走査回路250、テスト電圧発生部260および補正処理部270を備える。また、これらの回路は、例えば、単一の半導体チップに配置される。
また、画素アレイ部230には、複数の画素240が二次元格子状に配列される。以下、所定の水平方向に配列された画素240の集合を「行」と称し、水平方向に垂直な方向に配列された画素240の集合を「列」と称する。
タイミング制御回路220は、垂直同期信号XVSに同期して垂直走査回路210、カラム信号処理回路300、補正処理部270等の動作タイミングを制御するものである。
垂直走査回路210は、行を順に選択して駆動し、アナログの画素信号を出力させるものである。画素240は、垂直走査回路210の制御に従って、光電変換により画素信号を生成するものである。画素240のそれぞれは、画素信号をカラム信号処理回路300へ出力する。
テスト電圧発生部260は、DSP回路120からのモード信号MODEに従って、所定のテスト電圧を生成し、その電圧の信号をテスト信号としてカラム信号処理回路300に供給するものである。
ここで、モード信号MODEは、固体撮像素子200に対して複数のモードのいずれかを指示する信号である。これらのモードは、キャリブレーションモードと、通常撮像モードとを含む。キャリブレーションモードは、カラム信号処理回路300が、ノイズを補正するための補正値を算出するためのモードである。ノイズの発生原因や、補正値の算出方法については後述する。一方、通常撮像モードは、算出した補正値を用いてノイズを補正しつつ、画像データを撮像するためのモードである。
キャリブレーションモードが設定されるとテスト電圧発生部260は、DA(Digital to Analog)変換などによりテスト信号を生成する。このテスト電圧発生部260として、DAC(Digital to Analog Converter)などが用いられる。また、タイミング制御回路220は、垂直走査回路210を停止させ、補正処理部270は、補正値を演算する。
一方、通常撮像モードが設定されるとテスト電圧発生部260は、テスト信号を生成せず、タイミング制御回路220は、垂直走査回路210に行を駆動させる。また、補正処理部270は、補正値を用いてノイズを補正する。
カラム信号処理回路300は、カラムごとに、画素信号に対してCDS処理やAD変換処理などの信号処理を行うものである。このカラム信号処理回路300は、信号処理後のデジタル信号を補正処理部270に供給する。
補正処理部270は、キャリブレーションモードが設定された場合には補正値を演算し、通常撮像モードが設定された場合には、その補正値を用いてデジタル信号を補正するものである。この補正処理部270は、補正後のデジタル信号を配列した画像データをDSP回路120に信号線209を介して出力する。
[画素の構成例]
図3は、本技術の第1の実施の形態における画素240の一構成例を示す回路図である。この画素240は、光電変換素子241、転送スイッチ242および増幅回路243を備える。
光電変換素子241は、入射光を電荷に変換するものである。
転送スイッチ242は、垂直走査回路210の制御に従って、光電変換素子241から浮遊拡散層(不図示)へ電荷を転送するものである。
増幅回路243は、浮遊拡散層の電荷量に応じた電圧を増幅するものである。この増幅回路243は、増幅した信号を画素信号として垂直信号線249を介してカラム信号処理回路300へ出力する。
垂直信号線249は、画素アレイ部230において、列ごとに垂直方向に配線される。列数がN(Nは、2以上の整数)である場合には、N本の垂直信号線249が配線される。また、列内の画素240のそれぞれは、対応する垂直信号線249に共通に接続される。
[カラム信号処理回路の構成例]
図4は、本技術の第1の実施の形態におけるカラム信号処理回路300の一構成例を示すブロック図である。このカラム信号処理回路300は、複数のマルチプレクサ310と、複数の電流源320と、VSL横繋ぎ回路330とを備える。また、カラム信号処理回路300は、複数のサンプルホールド回路400と、SH横繋ぎ回路350と、複数の電圧電流変換部365と、アナログデジタル変換部370と、出力部375とをさらに備える。マルチプレクサ310、電流源320、サンプルホールド回路400および電圧電流変換部365のそれぞれは、列ごとに配置される。列数がNである場合には、マルチプレクサ310、電流源320、サンプルホールド回路400および電圧電流変換部365は、N個ずつ配置される。
また、VSL横繋ぎ回路330は、複数のスイッチ331を備える。SH横繋ぎ回路350は、複数のスイッチ351と、複数のスイッチ352とを備える。アナログデジタル変換部370は、複数の電流モードADC371を備える。スイッチ331、351および352のそれぞれは、最終列を除き、列ごとに配置される。列数がNである場合には、スイッチ331、351および352は、N−1個ずつ配置される。電流モードADC371とは、列ごとに配置され、列数がNである場合にN個ずつ配置される。
マルチプレクサ310は、タイミング制御回路220からの制御信号SWtに従って、対応する列の垂直信号線249からの画素信号Vvslと、テスト電圧発生部260からのテスト信号Vtestとの一方を選択するものである。タイミング制御回路220は、キャリブレーションモードである場合に、制御信号SWtにより、マルチプレクサ310にテスト信号Vtestを選択させる。一方、通常撮像モードである場合にタイミング制御回路220は、制御信号SWtにより、マルチプレクサ310に画素信号Vvslを選択させる。マルチプレクサ310は、選択した信号を電流源320を介して対応するサンプルホールド回路400に供給する。マルチプレクサ310の出力に接続される信号線も垂直信号線249とする。
電流源320は、一定の定電流を供給するものである。この電流源320として、例えば、MOS(Metal Oxide Semiconductor)トランジスタが用いられる。
VSL横繋ぎ回路330は、タイミング制御回路220からの制御信号SWvcに従ってN本の垂直信号線249を互いに接続するものである。n(nは、1乃至N−1の整数)個目のスイッチ331は、n本目の垂直信号線249と、n+1本目の垂直信号線249との間の経路を開閉する。タイミング制御回路220は、キャリブレーションモードである場合に、制御信号SWvcにより、全列のスイッチ331を閉状態に制御する。これにより、N本の垂直信号線249が横繋ぎされ、電流源320のMOSトランジスタのばらつきによるノイズを抑制することができる。このノイズの抑制により、補正精度を向上させることができる。一方、通常撮像モードである場合にタイミング制御回路220は、制御信号SWvcにより、全列のスイッチ331を開状態に制御する。
サンプルホールド回路400は、対応する列の画素信号Vvslのリセット電圧と信号電圧とを順に保持し、出力信号線408および409を介して、それらの電圧を対応する電圧電流変換部365へ出力するものである。出力信号線408および409のそれぞれは、N本ずつ配線される。ここで、リセット電圧は、画素240内の浮遊拡散層を初期化したときの画素信号Vvslの電圧である。また、信号電圧は、画素240の受光量に応じた画素信号Vvslの電圧である。
SH横繋ぎ回路350は、制御信号SWsに従ってN対の出力信号線408および409を互いに接続するものである。n個目のスイッチ351は、n本目の出力信号線408と、n+1本目の出力信号線408との間の経路を開閉する。n個目のスイッチ352は、n本目の出力信号線409と、n+1本目の出力信号線409との間の経路を開閉する。タイミング制御回路220は、キャリブレーションモードである場合に、制御信号SWsにより、全列のスイッチ351および352を閉状態に制御する。これにより、N対の出力信号線408および409が横繋ぎされる。一方、通常撮像モードである場合にタイミング制御回路220は、制御信号SWsにより、全列のスイッチ351および352を開状態に制御する。
電圧電流変換部365は、一対のアナログ入力信号の差分を所定のゲインにより増幅してアナログ出力信号として出力するものである。この電圧電流変換部365には、対応するサンプルホールド回路400からのリセット電圧および信号電圧が、一対のアナログ入力信号として入力される。電圧電流変換部365は、これらのアナログ入力信号(すなわち、電圧)を、それらの差分を増減した電流信号に変換する。電圧電流変換部365は、生成した電流信号をアナログ出力信号として対応する電流モードADCに供給する。
なお、電圧電流変換部365は、特許請求の範囲に記載のアナログ出力部の一例である。
電流モードADC371は、電圧電流変換部365からのアナログ出力信号(すなわち、電流信号)をデジタル信号Doutに変換するものである。電流モードADC371として、例えば、デルタシグマADCが用いられる。電流モードADC371は、水平走査回路250の制御に従って出力部375にデジタル信号を供給する。
出力部375は、デジタル信号Doutのそれぞれを補正処理部270に供給するものである。
図5は、本技術の第1の実施の形態におけるスイッチ351の一構成例を示す回路図である。同図におけるaは、nMOS(n-channel MOS)トランジスタおよびpMOS(p-channel MOS)トランジスタを用いる場合のスイッチ351の回路図である。同図におけるbは、nMOSトランジスタを用いる場合のスイッチ351の回路図である。同図におけるcは、pMOSトランジスタを用いる場合のスイッチ351の回路図である。
同図におけるaに例示するように、nMOSトランジスタ362およびpMOSトランジスタ363を用いる場合、さらにインバータ361が配置される。nMOSトランジスタ362およびpMOSトランジスタ363は、開閉する対象の経路に並列に挿入される。インバータ361は、制御信号SWsを反転させてpMOSトランジスタ363のゲートに供給するものである。また、nMOSトランジスタ362のゲートには、制御信号SWsが入力される。
また、同図におけるbに例示するように、nMOSトランジスタ362のみを用いることもできる。同図におけるcに例示するように、pMOSトランジスタ363のみを用いることもできる。
スイッチ351以外のスイッチ(スイッチ331や352)についても、スイッチ351と同様に、nMOSトランジスタやpMOSトランジスタを用いて実現することができる。
[サンプルホールド回路および電圧電流変換部の構成例]
図6は、本技術の第1の実施の形態におけるサンプルホールド回路400および電圧電流変換部365の一構成例を示すブロック図である。サンプルホールド回路400は、リセット電圧サンプルホールド回路410および信号電圧サンプルホールド回路420を備える。また、電圧電流変換部365は、電流源366と、抵抗367と、nMOSトランジスタ368および369とを備える。
リセット電圧サンプルホールド回路410は、リセット電圧をサンプルして保持するものである。このリセット電圧サンプルホールド回路410は、スイッチ411、413および414と、コンデンサ412と、アンプ415とを備える。
スイッチ411は、タイミング制御回路220からの制御信号SW11に従って垂直信号線249と、コンデンサ412との間の経路を開閉するものである。
コンデンサ412は、スイッチ411と、アンプ415の反転入力端子(−)との間に挿入される。
スイッチ413は、タイミング制御回路220からの制御信号SW12に従ってスイッチ411およびコンデンサ412の接続点と、電流源366および抵抗367の接続点とを開閉するものである。
スイッチ414は、タイミング制御回路220からの制御信号SW13に従ってアンプ415の反転入力端子(−)と、その出力端子との間の経路を開閉するものである。
アンプ415は、コンデンサ412の一端と、接地電圧との差分を増幅するものである。このアンプ415の出力端子は、nMOSトランジスタ369のゲートに接続されている。スイッチ413および電圧電流変換部365の間の信号線とが出力信号線409に該当し、この信号線が横繋ぎされる。
信号電圧サンプルホールド回路420は、信号電圧をサンプルして保持するものである。この信号電圧サンプルホールド回路420は、スイッチ421、423および424と、コンデンサ422と、アンプ425とを備える。
信号電圧サンプルホールド回路420内の素子の接続構成は、リセット電圧サンプルホールド回路410と同様である。ただし、スイッチ423の一端は、抵抗367およびnMOSトランジスタ368の接続点に接続される。また、アンプ425の出力端子は、nMOSトランジスタ368のゲートに接続される。また、スイッチ423および電圧電流変換部365の間の信号線とが出力信号線408に該当し、この信号線が横繋ぎされる。
電圧電流変換部365において、電流源366、抵抗367およびnMOSトランジスタ368は、電源とアナログデジタル変換部370との間において、直列に接続される。また、nMOSトランジスタ369のドレインは、電流源366および抵抗367の接続点に接続され、ソースは、接地される。
タイミング制御回路220は、リセット電圧のサンプル前に、スイッチ414および424を閉状態に制御してアンプ415および425をオートゼロ状態にする。
そして、タイミング制御回路220は、画素の初期化時にスイッチ411のみを閉状態に、残りのスイッチ群を開状態にする。これにより、リセット電圧がサンプルされる。
次に、タイミング制御回路220は、露光の終了時にスイッチ421のみを閉状態に、残りのスイッチ群を開状態にする。これにより、信号電圧がサンプルされる。
そして、タイミング制御回路220は、AD期間内において、スイッチ413および423を閉状態にし、残りのスイッチ群を開状態にする。これにより、リセット電圧および信号電圧が保持され、アンプ415および425は、それらの電圧を一対のアナログ入力信号として出力する。
電圧電流変換部365は、一対のアナログ入力信号(リセット電圧および信号電圧)を、それらの差分を増減した電流信号Ioutに変換し、アナログ出力信号としてアナログデジタル変換部370へ出力する。すなわち、CDS処理および電圧電流変換処理が行われる。
リセット電圧をVvslp、信号電圧をVvslsとすると、電流信号(すなわち、アナログ出力信号)Ioutは、次の式により表される。
out=G×(Vvslp−Vvsls)+Ofs=G×Vin+Ofs
上式において、Gは、抵抗367の抵抗値の逆数に比例するゲインであり、単位は、例えば、アンペア毎ボルト(A/V)である。Ofsは、サンプルホールド回路400のサンプルおよびホールドにより生じたオフセットであり、単位は例えば、アンペア(A)である。列ごとのゲインGとオフセットOfsには、ばらつきが生じることがある。Vinは、CDS処理後の画素信号であり、単位は、例えば、ボルト(V)である。
[補正処理部の構成例]
図7は、本技術の第1の実施の形態における補正処理部270の一構成例を示すブロック図である。この補正処理部270は、デマルチプレクサ271、補正値算出回路280および補正演算回路290を備える。
デマルチプレクサ271は、モード信号MODEに従って、カラム信号処理回路300からのデジタル信号を補正値算出回路280と補正演算回路290とのいずれかへ出力するものである。キャリブレーションモードが設定された場合にデマルチプレクサ271は、デジタル信号を補正値算出回路280へ出力し、通常撮像モードが設定された場合に補正演算回路290へ出力する。
補正値算出回路280は、ゲインGやオフセットOfsの列ごとのばらつきによるノイズを補正するための補正値を算出するものである。この補正値算出回路280は、デマルチプレクサ281、オフセット補正値算出回路282、ゲイン補正値算出回路283および補正値保持部284を備える。
デマルチプレクサ281は、タイミング制御回路220からの制御信号SWsに従ってデマルチプレクサ271からのデジタル信号を、オフセット補正値算出回路282およびゲイン補正値算出回路283のいずれかへ出力するものである。
オフセット補正値算出回路282は、SH横繋ぎ回路350により横繋ぎされていない場合に、列ごとのオフセットOfsのばらつきによるノイズを補正するための補正値をオフセット補正値として、列のそれぞれについて算出するものである。このオフセットOfsによるノイズは、カラムごとにAD変換を行う場合、画像データにおいて縦筋状のランダムノイズとして現れる。オフセット補正値算出回路282は、算出したオフセット補正値のそれぞれを補正値保持部284に保持させる。
ゲイン補正値算出回路283は、SH横繋ぎ回路350により横繋ぎされた場合に、列ごとのゲインGのばらつきによるノイズを補正するための補正値をゲイン補正値として、列のそれぞれについて算出するものである。このゲインによるノイズは、カラムごとにAD変換を行う場合、画像データにおいて縦筋状のランダムノイズとして現れる。このゲイン補正値算出回路283は、算出したゲイン補正値のそれぞれを補正値保持部284に保持させる。
補正値保持部284は、列ごとのオフセット補正値およびゲイン補正値を保持するものである。列数がNである場合には、オフセット補正値およびゲイン補正値は、N個ずつ保持される。
補正演算回路290は、オフセット補正値およびゲイン補正値を用いて、オフセットおよびゲインのばらつきによるデジタル信号のノイズを補正するものである。この補正演算回路290は、ラインバッファ291、減算器292および乗算器293を備える。
ラインバッファ291は、少なくとも1行分のデジタル信号を保持するものである。このラインバッファ291は、保持した複数のデジタル信号を順に減算器292に供給する。
減算器292は、デジタル信号から、対応する列のオフセット補正値を減算するものである。この減算器292は、減算後のデジタル信号を乗算器293に供給する。乗算器293は、デジタル信号に対して、対応する列のゲイン補正値を乗算するものである。この乗算器293は、乗算後のデジタル信号をDSP回路120に供給する。
キャリブレーションモードにおける固体撮像素子200の動作について説明する。キャリブレーションモードが設定されると、タイミング制御回路220は、カラム信号処理回路300を制御して垂直信号線249と出力信号線408および409とのそれぞれを横繋ぎさせる。また、テスト電圧発生部260は、遮光された際のレベルである黒レベルVLをテスト電圧として供給する。そして、カラム信号処理回路300は、M(Mは、整数)行分の電流信号Ioutを順にAD変換する。また、タイミング制御回路220は、デマルチプレクサ281を制御してデジタル信号をゲイン補正値算出回路283へ出力させる。
黒レベルVLについて全行のAD変換が終了すると、テスト電圧発生部260は、黒レベルと異なる所定レベル(例えば、輝度が最も高いときのレベル)である白レベルVHをテスト電圧として供給する。そして、カラム信号処理回路300は、M行を順にAD変換する。ゲイン補正値算出回路283は、黒レベルVLのときのデジタル信号と、白レベルVHのときのデジタル信号とから、列ごとにゲイン補正値を算出する。
このゲイン補正値の算出方法について説明する。出力信号線408および409の横繋ぎにより、オフセットのばらつきに起因するランダムノイズが抑制される。このため、ゲイン補正値算出回路283は、それらのデジタル信号からゲイン補正値を算出することができる。
黒レベルVL印加時においてN個の列のそれぞれについて、M個のデジタル信号が取得される。このときの第n列の平均値をカラム平均値vlgain-nとする。また、白レベルVH印加時においてN個の列のそれぞれについて、M個のデジタル信号が取得される。このときの第n列の平均値をカラム平均値vhgain-nとする。また、カラム平均値vlgain-1乃至vlgain-Nの平均値をライン平均値vlgain-AVとし、カラム平均値vhgain-1乃至vhgain-Nの平均値をライン平均値vhgain-AVとする。このとき、第n列のゲイン補正値cgain-nは、次の式により算出される。
gain-n=(vhgain-AV−vlgain-AV)/(vhgain-n−vlgain-n)・・・式1
次にタイミング制御回路220は、カラム信号処理回路300を制御して出力信号線408および409とのそれぞれの横繋ぎを解除させる。また、テスト電圧発生部260は、黒レベルVLをテスト電圧として供給する。そして、カラム信号処理回路300は、M行を順にAD変換する。また、タイミング制御回路220は、デマルチプレクサ281を制御してデジタル信号をオフセット補正値算出回路282へ出力させる。オフセット補正値算出回路282は、列ごとにオフセット補正値を算出する。
出力信号線408および409の横繋ぎが解除されている場合、ゲインのばらつきと、オフセットのばらつきとに起因するランダムノイズが生じる。ゲイン補正値は算出済みであるため、ゲイン補正値算出回路283は、そのゲイン補正値によりゲインのばらつきによるランダムノイズの影響を無くし、オフセット補正値を算出することができる。
第n列のサンプルの平均値をカラム平均値vlofs-nとする。また、vlofs-1乃至vlofs-Nの平均値をライン平均値vlofs-AVとする。このとき、第n列のオフセット補正値cofs-nは、次の式により算出される。
ofs-n=vlofs-AV−vlofs-n×cgain-n ・・・式2
図8は、本技術の第1の実施の形態におけるテスト電圧とデジタル信号との関係の一例を示すグラフである。同図における横軸は、テスト電圧であり、同図における縦軸は、そのテスト電圧に応じた電流信号IoutをAD変換したデジタル信号である。また、同図における実線は、テスト電圧と第n列のカラム平均値との間の関係を示す直線であり、点線はテスト電圧と、ライン平均値との間の関係を示す直線である。
同図に例示するように、ある列の直線(実線)は、平均値の直線(点線)と一致しないことがある。黒レベルVL印加時の第n列のカラム平均値をvlgain-nとし、白レベルVH印加時の第n列のカラム平均値をvhgain-nとする。また、黒レベルVL印加時のライン平均値vlgain-AVとし、白レベルVH印加時のライン平均値vhgain-AVとする。この場合、カラム平均値vhgain-nおよびvlgain-nの差分と、ライン平均値vhgain-AVおよびvlgain-AVの差分との比率が、ゲインのばらつきを補正するためのゲイン補正値として式1により算出される。
ここで、仮に補正値算出の際、SH横繋ぎ回路350による横繋ぎを行わなかった場合、ゲインによるランダムノイズと、オフセットによるランダムノイズとを分離することができず、補正値による補正精度が低下するおそれがある。これに対して、SH横繋ぎ回路350による横繋ぎを行う構成では、オフセットによるランダムノイズを抑制することができるため、正確なゲイン補正値を算出することができる。また、SH横繋ぎ回路350による横繋ぎを解除してオフセット補正値も算出するため、オフセット補正値による補正精度を低下させずに、ゲイン補正値による補正精度を向上させることができる。
図9は、本技術の第1の実施の形態におけるオフセット補正値およびゲイン補正値の一例を示す図である。同図に例示するように、補正値保持部284は、列に割り当てられたアドレスである列アドレスごとに、その列のオフセット補正値およびゲイン補正値を保持する。例えば、列アドレスY1に対応付けて、オフセット補正値cofs-1およびゲイン補正値cgain-1が保持される。また、列アドレスY2に対応付けて、オフセット補正値cofs-2およびゲイン補正値cgain-2が保持される。
図10は、本技術の第1の実施の形態における固体撮像素子200の動作の一例を示すタイミングチャートである。固体撮像素子200は、タイミングT0においてキャリブレーションモードに移行したものとする。
タイミング制御回路220は、制御信号SWvcおよびSWsにより対応するスイッチをオン状態に制御し、垂直信号線249と、サンプルホールド回路の400の出力信号線408および409とのそれぞれを横繋ぎさせる。
また、テスト電圧発生部260は、黒レベルVLをテスト電圧として供給する。そして、カラム信号処理回路300は、垂直同期信号XVSに同期してM行を順にAD変換する。
そして、タイミングT1においてテスト電圧発生部260は、白レベルVHをテスト電圧として供給する。カラム信号処理回路300は、垂直同期信号XVSに同期してM行を順にAD変換する。補正処理部270は、黒レベルVLのときのデジタル信号と、白レベルVHのときのデジタル信号とから、列ごとに式1によりゲイン補正値を算出する。
次にタイミングT2において、タイミング制御回路220は、制御信号SWsにより対応するスイッチをオフ状態に制御し、サンプルホールド回路の400の出力信号線408および409の横繋ぎを解除する。テスト電圧発生部260は、黒レベルVLをテスト電圧として供給する。カラム信号処理回路300は、垂直同期信号XVSに同期してM行を順にAD変換する。補正処理部270は、デジタル信号と、ゲイン補正値とから、式2により列ごとにオフセット補正値を算出する。
タイミングT3において固体撮像素子200は、通常撮像モードに移行する。タイミング制御回路220は、制御信号SWvcおよびSWsにより対応するスイッチをオフ状態に制御し、垂直信号線249と、サンプルホールド回路400の出力信号線408および409とのそれぞれの横繋ぎを解除する。補正処理部270は、オフセット補正値およびゲイン補正値を用いてデジタル信号の補正演算を行う。
図11は、本技術の第1の実施の形態における補正の効果を説明するためのグラフである。同図におけるaは、アナログゲインとランダムノイズとの関係の一例を示すグラフである。同図におけるbは、ダイナミックレンジとアナログゲインとの関係の一例を示すグラフである。同図におけるcは、単位ダイナミックレンジ当たりのランダムノイズとアナログゲインとの関係の一例を示すグラフである。
同図におけるaの縦軸は、入力換算のランダムノイズである。横軸は、アナログゲインであり、電圧を電流に変換する際のゲインGに該当する。同図におけるbの縦軸は、ダイナミックレンジであり、横軸はアナログゲインである。同図におけるcの縦軸は、単位ダイナミックレンジ当たりのランダムノイズであり、横軸は、アナログゲインである。また、同図におけるaおよびcの実線は、ゲイン補正値およびオフセット補正値による補正を行った場合の軌跡を示し、一点鎖線は、補正を行わない場合の軌跡を示す。
同図におけるaに例示するように、補正を行うことにより、特にアナログゲインが大きいほど、ランダムノイズの低減の効果が大きくなる。また、同図におけるbに例示するように、一般にアナログゲインが大きいほど、ダイナミックレンジは狭くなる。したがって、同図におけるcに例示するように、特にアナログゲインが大きい場合に、単位ダイナミックレンジ当たりのランダムノイズの低減効果が大きくなる。
[固体撮像素子の動作例]
図12は、本技術の第1の実施の形態における固体撮像素子200の動作の一例を示すフローチャートである。この動作は、例えば、固体撮像素子200に電源が投入されたときに開始される。
固体撮像素子200は、キャリブレーションモードが設定されたか否かを判断する(ステップS901)。キャリブレーションモードが設定された場合に(ステップS901:Yes)、固体撮像素子200内のタイミング制御回路220は、カラム信号処理回路300の入力先を画素240からテスト電圧発生部260に切り替える(ステップS902)。また、タイミング制御回路220は、垂直信号線249の横繋ぎを行い(ステップS903)、ゲイン補正値を算出するためのゲイン補正値算出処理を実行する(ステップS910)。そして、タイミング制御回路220は、オフセット補正値を算出するためのオフセット補正値算出処理を実行する(ステップS920)。
一方、キャリブレーションモードが設定されていない場合(ステップS901:No)、または、ステップS920の後に固体撮像素子200は、通常撮像モードが設定されたか否かを判断する(ステップS904)。通常撮像モードが設定されていない場合に(ステップS904:No)、タイミング制御回路220は、ステップS904以降を繰り返す。
一方、通常撮像モードが設定された場合に(ステップS904:Yes)、タイミング制御回路220は、カラム信号処理回路300の入力先を画素240に切り替える(ステップS905)。また、タイミング制御回路220は、垂直信号線249の横繋ぎを解除し(ステップS906)、カラム信号処理回路300は、デジタル信号からなる画像データを生成する(ステップS907)。補正処理部270は、ゲインおよびオフセットのばらつきによるノイズを補正する(ステップS908)。ステップS908の後に、固体撮像素子200は、ステップS904以降を繰り返し実行する。
図13は、本技術の第1の実施の形態におけるゲイン補正値算出処理の一例を示すフローチャートである。タイミング制御回路220は、サンプルホールド回路400の出力(すなわち、出力信号線408および409)の横繋ぎを行う(ステップS911)。また、テスト電圧発生部260は、黒レベルVLを印加する(ステップS912)。補正処理部270は、列ごとのカラム平均値vlgain-nと、ライン平均値vlgain-AVとを算出する(ステップS913)。
次に、テスト電圧発生部260は、白レベルVHを印加する(ステップS914)。補正処理部270は、列ごとのカラム平均値vhgain-nと、ライン平均値vhgain-AVとを算出する(ステップS915)。補正処理部270は、式1により、ゲイン補正値を列ごとに算出し(ステップS916)、それらを保持する(ステップS917)。タイミング制御回路220は、サンプルホールド回路400の出力の横繋ぎを解除し(ステップS918)、ゲイン補正値算出処理を終了する。
図14は、本技術の第1の実施の形態におけるオフセット補正値算出処理の一例を示すフローチャートである。テスト電圧発生部260は、黒レベルVLを印加し(ステップS921)、補正処理部270は、列ごとのカラム平均値vhofs-nを算出する(ステップS922)。補正処理部270は、式2により、オフセット補正値を列ごとに算出し(ステップS923)、それらを保持する(ステップS924)。ステップS924の後に、固体撮像素子200は、オフセット補正値算出処理を終了する。
このように、本技術の第1の実施の形態によれば、補正処理部270が、列ごとの電圧電流変換部365のゲインのばらつきによるノイズを補正するため、補正しない場合と比較して画像データの画質を向上させることができる。
[変形例]
上述の第1の実施の形態では、リセット電圧サンプルホールド回路および信号電圧サンプルホールド回路を列ごとに1つずつ配置していた。しかし、この構成では、サンプル中に平行してAD変換を行うことができない。この第1の実施の形態の変形例における固体撮像素子は、リセット電圧サンプルホールド回路および信号電圧サンプルホールド回路を列ごとに2つずつ配置し、サンプルおよびAD変換を並列に行う点において第1の実施の形態と異なる。
図15は、本技術の第1の実施の形態の変形例におけるサンプルホールド回路400の一構成例を示す回路図である。この第1の実施の形態変形例のサンプルホールド回路400には、リセット電圧サンプルホールド回路430および信号電圧サンプルホールド回路440がさらに配置される点において第1の実施の形態と異なる。
図16は、本技術の第1の実施の形態の変形例におけるリセット電圧サンプルホールド回路410および430の一構成例を示す回路図である。
第1の実施の形態の変形例のリセット電圧サンプルホールド回路410は、スイッチ416をさらに備える。スイッチ416は、タイミング制御回路220からの制御信号SW14に従って、アンプ415の出力端子と、nMOSトランジスタ369のゲートとの間の経路を開閉するものである。
リセット電圧サンプルホールド回路430は、スイッチ431、433、434および436と、コンデンサ432と、アンプ435とを備える。これらの素子の接続構成は、リセット電圧サンプルホールド回路410と同様である。
タイミング制御回路220は、リセット電圧サンプルホールド回路410のサンプル中にスイッチ416を開状態にし、スイッチ436を閉状態にする。一方、タイミング制御回路220は、リセット電圧サンプルホールド回路410のホールド中にスイッチ416を閉状態にし、スイッチ436を開状態にする。
図17は、本技術の第1の実施の形態の変形例における信号電圧サンプルホールド回路420および440の一構成例を示す回路図である。
第1の実施の形態の変形例の信号電圧サンプルホールド回路420は、スイッチ426をさらに備える。スイッチ426は、タイミング制御回路220からの制御信号SW24に従って、アンプ425の出力端子と、nMOSトランジスタ368のゲートとの間の経路を開閉するものである。
信号電圧サンプルホールド回路440は、スイッチ441、443、444および446と、コンデンサ442と、アンプ445とを備える。これらの素子の接続構成は、信号電圧サンプルホールド回路420と同様である。
タイミング制御回路220は、信号電圧サンプルホールド回路420のサンプル中にスイッチ426を開状態にし、スイッチ446を閉状態にする。一方、タイミング制御回路220は、信号電圧サンプルホールド回路420のホールド中にスイッチ426を閉状態にし、スイッチ446を開状態にする。
上述したように、リセット電圧サンプルホールド回路410および430を設けたため、タイミング制御回路220は、それらの一方のサンプル中に他方をホールドさせることができる。信号電圧についても同様である。これにより、サンプルおよびAD変換が並列に実行される。
例えば、奇数行の読出しの際に、リセット電圧サンプルホールド回路410および信号電圧サンプルホールド回路420は、順にリセット電圧および信号電圧をサンプルする。一方、リセット電圧サンプルホールド回路430および信号電圧サンプルホールド回路440は、サンプルした電圧をホールドし、それらの差分に応じた電流がAD変換される。
また、偶数行の読出しの際に、リセット電圧サンプルホールド回路430および信号電圧サンプルホールド回路440は、順にリセット電圧および信号電圧をサンプルする。一方、リセット電圧サンプルホールド回路410および信号電圧サンプルホールド回路420は、サンプルした電圧をホールドし、それらの差分に応じた電流がAD変換される。
このように、本技術の第1の実施の形態の変形例によれば、リセット電圧サンプルホールド回路410および430の一方がサンプルを行う一方で他方がホールドすることができる。信号電圧サンプルホールド回路420および440の組についても同様である。これにより、第1の実施の形態と比較して読出し速度を2倍にすることができる。
<2.第2の実施の形態>
上述の第1の実施の形態では、列ごとに、1つのサンプルホールド回路400を配置していたが、この構成では、1行ずつしかAD変換を行うことができない。この第2の実施の形態の固体撮像素子200は、列ごとに、2つのサンプルホールド回路400を配置して、2行同時にAD変換を行う点において第1の実施の形態と異なる。
図18は、本技術の第2の実施の形態における固体撮像素子200の一構成例を示すブロック図である。この第2の実施の形態において、画素アレイ部230には、列ごとに垂直信号線248および249が配線される。垂直信号線248は、偶数行に接続される。一方、垂直信号線249は奇数行に接続される。
図19は、本技術の第2の実施の形態におけるカラム信号処理回路300の一構成例を示すブロック図である。この第2の実施の形態のカラム信号処理回路300において、列ごとにサンプルホールド回路400が2つ配置される。列数がNである場合、2N個のサンプルホールド回路400が配置される。同様に、マルチプレクサ310、電流源320、スイッチ331、スイッチ351、スイッチ352、電圧電流変換部365および電流モードADC371も列ごとに2つ配置される。
列に対応する一対のサンプルホールド回路400の一方は、垂直信号線248を介して偶数行に接続され、他方は、垂直信号線249を介して奇数行に接続される。言い換えれば、2N個のサンプルホールド回路400の半分が偶数行に接続され、残りが奇数行に接続される。また、偶数行に接続されたサンプルホールド回路400と、奇数行に接続されたサンプルホールド回路400とは水平方向に沿って交互に配列される。
上述の構成により、カラム信号処理回路300は、奇数行の画素信号と偶数行の画素信号とを同時に保持し、AD変換することができる。これにより、第1の実施の形態と比較して読出し速度を2倍にすることができる。
なお、第2の実施の形態に、第1の実施の形態の変形例を適用することもできる。
このように、本技術の第2の実施の形態によれば、列ごとに、2つのサンプルホールド回路400を配置したため、2行分の画素信号を同時に保持し、それらを読み出すことができる。
<3.第3の実施の形態>
上述の第1の実施の形態では、カラム信号処理回路300のみを配置していたが、この構成では、1行ずつしかAD変換を行うことができない。この第3の実施の形態の固体撮像素子200は、列ごとに、上側カラム信号処理回路および下側カラム信号処理回路を配置して、2行同時にAD変換を行う点において第1の実施の形態と異なる。
図20は、本技術の第3の実施の形態における固体撮像素子200の一構成例を示すブロック図である。この第3の実施の形態の固体撮像素子200は、カラム信号処理回路300の代わりに、上側カラム信号処理回路301および下側カラム信号処理回路302が設けられる点において第1の実施の形態と異なる。また、水平走査回路250の代わりに、上側水平走査回路251および下側水平走査回路252が設けられる。
上側カラム信号処理回路301は、奇数行および偶数行の一方(奇数行など)に接続され、それらの行に対して信号処理をおこなうものである。下側カラム信号処理回路302は、奇数行および偶数行の他方(偶数行など)に接続され、それらの行に対して信号処理をおこなうものである。上側カラム信号処理回路301および下側カラム信号処理回路302のそれぞれの構成は、カラム信号処理回路300と同様である。
上側カラム信号処理回路301および下側カラム信号処理回路302が奇数行および偶数行を同時にAD変換することにより、2行を同時に読み出すことができる。
上側水平走査回路251は、上側カラム信号処理回路301を制御し、下側水平走査回路252は、下側カラム信号処理回路302を制御する。
なお、第3の実施の形態に、第1の実施の形態の変形例を適用することもできる。
このように、本技術の第2の実施の形態によれば、上側カラム信号処理回路301および下側カラム信号処理回路302を配置したため、2行を同時に読み出すことができる。
<4.第4の実施の形態>
上述の第3の実施の形態では、単一のチップに固体撮像素子200内の回路や素子を配置していたが、この構成では、画素数が増大するほど、受光チップ201の回路規模が増大する。この第4の実施の形態の固体撮像素子200は、積層された2枚のチップに、分散して回路等を配置する点において第3の実施の形態と異なる。
図21は、本技術の第4の実施の形態における固体撮像素子200の積層構造の一例を示す図である。この固体撮像素子200は、回路チップ202と、その回路チップ202に積層された受光チップ201とを備える。これらのチップは、ビアなどの接続部を介して電気的に接続される。なお、ビアの他、Cu−Cu接合やバンプにより接続することもできる。
図22は、本技術の第4の実施の形態における固体撮像素子200の一構成例を示すブロック図である。受光チップ201には、画素アレイ部230が配置される。画素アレイ部230以外の回路や素子は、回路チップ202に配置される。
なお、受光チップ201および回路チップ202のそれぞれに配置する回路や素子は、同時に例示した構成に限定されない。例えば、上側カラム信号処理回路301および下側カラム信号処理回路302のそれぞれの一部の回路を受光チップ201に配置し、残りを回路チップ202に配置することもできる。
また、第1、第2および第3の実施の形態のそれぞれの固体撮像素子200を積層構造にすることもできる。第1の実施の形態の変形例の固体撮像素子200を積層構造にすることもできる。
このように、本技術の第4の実施の形態によれば、積層した受光チップ201および回路チップ202に、分散して回路等を配置したため、チップ当たりの回路規模を削減することができる。
<5.第5の実施の形態>
上述の第1の実施の形態では、全ての列を読み出していたが、列数が多くなるほど、AD変換の回数が増大してしまう。この第5の実施の形態の固体撮像素子200は、水平方向において画素加算を行うことにより、AD変換の回数を削減した点において第1の実施の形態と異なる。
図23は、本技術の第5の実施の形態におけるカラム信号処理回路300の一構成例を示すブロック図である。この第5の実施の形態のカラム信号処理回路300は、VSL横繋ぎ回路330とサンプルホールド回路400との間にVSL加算回路340が配置される点において第1の実施の形態と異なる。
VSL加算回路340は、隣接する奇数本目の垂直信号線同士を接続するとともに、隣接する偶数本目の垂直信号線同士を接続するものである。なお、VSL加算回路340は、特許請求の範囲に記載の垂直信号線加算回路の一例である。
図24は、本技術の第5の実施の形態におけるVSL加算回路340およびSH横繋ぎ回路350の一構成例を示す回路図である。VSL加算回路340には、インバータ341と、複数のスイッチ342と、複数のスイッチ343と、複数のスイッチ344と、複数のスイッチ345とが配置される。スイッチ342乃至345のそれぞれは、最後の4列を除き、4列ごとに配置される。列数がNの場合、スイッチ342乃至345は、(N−4)/4ずつ配置される。
インバータ341は、タイミング制御回路220からの制御信号SWaddを反転し、制御信号xSWaddとしてSH横繋ぎ回路350へ出力するものである。
スイッチ342は、制御信号SWaddに従って、対応する4列のうち第1列目の垂直信号線と、第3列目の垂直信号線との間の経路を開閉するものである。スイッチ343は、制御信号SWvslに従って、第2列目の垂直信号線と、第4列目の垂直信号線との間の経路を開閉するものである。スイッチ344は、制御信号xSWaddに従って、第3列の垂直信号線とサンプルホールド回路400との間の経路を開閉するものである。スイッチ345は、制御信号xSWaddに従って、第4列の垂直信号線とサンプルホールド回路400との間の経路を開閉するものである。
また、SH横繋ぎ回路350には、最後の4列を除き、4列ごとにスイッチ351乃至360が配置される。列数がNの場合、スイッチ351乃至360は、(N−4)/4個ずつ配置される。
スイッチ351は、制御信号SWsに従って、対応する4列のうち第1列目の信号電圧を伝送する出力信号線408と、第2列目の信号電圧を伝送する出力信号線408との間の経路を開閉するものである。スイッチ352は、制御信号SWsに従って、第1列目のリセット電圧を伝送する出力信号線409と、第2列目のリセット電圧を伝送する出力信号線409との間の経路を開閉するものである。
スイッチ353は、制御信号xSWaddに従って、第2列目の出力信号線408と第3列目の出力信号線408との間の経路を開閉するものである。スイッチ354は、制御信号xSWaddに従って、第2列目の出力信号線409と第3列目の出力信号線409との間の経路を開閉するものである。
スイッチ355は、制御信号SWsに従って、第3列目の出力信号線408と、第4列目の出力信号線408との間の経路を開閉するものである。スイッチ356は、制御信号SWsに従って、第3列目の出力信号線409と、第4列目の出力信号線409との間の経路を開閉するものである。
スイッチ357は、制御信号xSWaddに従って、第4列目の出力信号線408と、次の4列のうち第1列目の出力信号線408との間の経路を開閉するものである。スイッチ358は、制御信号SWaddに従って、第2列目の出力信号線408と、次の4列のうち第1列目の出力信号線408との間の経路を開閉するものである。
スイッチ359は、制御信号xSWaddに従って、第4列目の出力信号線409と、次の4列のうち第1列目の出力信号線409との間の経路を開閉するものである。スイッチ360は、制御信号SWaddに従って、第2列目の出力信号線409と、次の4列のうち第1列目の出力信号線409との間の経路を開閉するものである。
タイミング制御回路220は、水平方向の画素加算を行う場合に制御信号SWaddにより、スイッチ342乃至345を閉状態にする。これにより、第1列の垂直信号線と第3列の垂直信号線とが接続され、第2列の垂直信号線と第4列の垂直信号線とが接続される。言い換えれば、隣接する奇数本目(第1列および第3列)の垂直信号線が接続され、隣接する偶数本目(第2列および第4列)の垂直信号線が接続される。この結果、第1列および第3列の画素信号が加算され、第2列および第4列の画素信号が加算される。
一方、画素加算を行わない場合にタイミング制御回路220は、スイッチ342乃至345を開状態にする。
図25は、本技術の第5の実施の形態における垂直信号線を接続(すなわち、画素加算)する場合のVSL加算回路340およびSH横繋ぎ回路350の状態を示す回路図である。
ゲイン補正値を算出する場合、第1の実施の形態と同様に制御信号SWsにより、スイッチ351、352、355および356が閉状態に制御され、サンプルホールド回路400の出力が横繋ぎされる。
制御信号SWaddにより、スイッチ342、343、358および360は閉状態に制御される。また、制御信号xSWaddにより、スイッチ344、345、353、354、357および359は開状態に制御される。これにより、第1列および第3列などの垂直信号線が横繋ぎされる。垂直信号線の横繋ぎ(画素加算)により、画素数が半分に間引かれる。この結果、読出し速度が向上し、消費電力が低減する。
オフセット補正値を算出する場合、制御信号SWaddはそのままで、制御信号SWsにより、サンプルホールド回路400の出力の横繋ぎが解除される。
図26は、本技術の第5の実施の形態における垂直信号線を接続(すなわち、画素加算)しない場合のVSL加算回路340およびSH横繋ぎ回路350の状態を示す回路図である。
ゲイン補正値を算出する場合、第1の実施の形態と同様に制御信号SWsにより、スイッチ351、352、355および356が閉状態に制御され、サンプルホールド回路400の出力が横繋ぎされる。
制御信号SWaddにより、スイッチ342、343、358および360は開状態に制御される。また、制御信号xSWaddにより、スイッチ344、345、353、354、357および359は閉状態に制御される。これにより、第1列および第3列などの垂直信号線の横繋ぎが解除される。この場合には、画素が間引かれず、第1の実施の形態と同様の個数の画素信号が読み出される。
オフセット補正値を算出する場合、制御信号SWaddはそのままで、制御信号SWsにより、サンプルホールド回路400の出力の横繋ぎが解除される。
なお、第5の実施の形態に、第2、第3および第4の実施の形態や、第1の実施の形態の変形例を適用することもできる。
このように本技術の第5の実施の形態によれば、VSL加算回路340が、隣接する垂直信号線を接続するため、水平方向に画素加算を行うことができる。これにより、画素数を間引いて、読出し速度を向上させ、消費電力を低減することができる。
<6.第6の実施の形態>
上述の第1の実施の形態では、電流信号を変換対象とする電流モードADC371によりAD変換を行っていたが、この構成では、電流モードADC371の前段に電圧電流変換部365が必要となる。この第6の実施の形態の固体撮像素子200は、電圧を変換対象とするADCによりAD変換を行い、電圧電流変換部365を不要とした点により第1の実施の形態と異なる。
図27は、本技術の第6の実施の形態におけるカラム信号処理回路300の一構成例を示すブロック図である。この第6の実施の形態のカラム信号処理回路300は、電圧電流変換部365およびアナログデジタル変換部370の代わりに、選択回路380および信号処理ブロック385を備える点において第1の実施の形態と異なる。
選択回路380は、出力信号線408および409のいずれかを選択し、その選択した信号線の電圧をアナログ入力信号Ainとして信号処理ブロック385に供給するものである。この選択回路380には、列ごとに、スイッチ381および382が配置される。列数がNである場合、スイッチ381および382は、N個ずつ配置される。
スイッチ381は、タイミング制御回路220からの制御信号SWdに従って、信号電圧を伝送する出力信号線408と、信号処理ブロック385との間の経路を開閉するものである。スイッチ382は、タイミング制御回路220からの制御信号SWpに従って、リセット電圧を伝送する出力信号線409と、信号処理ブロック385との間の経路を開閉するものである。
リセット電圧をAD変換する際に、タイミング制御回路220は、制御信号SWdおよびSWpにより、スイッチ381を開状態に、スイッチ382を閉状態に制御する。これにより、リセット電圧がアナログ入力信号Ainとして信号処理ブロック385に入力される。
一方、信号電圧をAD変換する際に、タイミング制御回路220は、制御信号SWdおよびSWpにより、スイッチ381を閉状態に、スイッチ382を開状態に制御する。これにより、信号電圧がアナログ入力信号Ainとして信号処理ブロック385に入力される。
図28は、本技術の第6の実施の形態における信号処理ブロック385の一構成例を示すブロック図である。この信号処理ブロック385には、列ごとに、比較器386、ラッチ回路387およびスイッチ388が配置される。列数がNである場合、比較器386、ラッチ回路387およびスイッチ388はN個ずつ配置される。
比較器386は、一対のアナログ入力信号の差分を所定のゲインにより増減してアナログ出力信号VCOとして出力するものである。これらの一対のアナログ入力信号の一方は、選択回路380からのアナログ入力信号Vin(すなわち、リセット電圧および信号電圧のいずれか)であり、他方は、DAC(不図示)からのランプ信号RMPである。このランプ信号RMPは、参照電圧を示すスロープ状の信号である。アナログ出力信号VCOは、アナログ入力信号Vinおよびランプ信号RMPの比較結果を示す。
ここで、アナログ出力信号VCOのレベルは、次の式により表される。
VCO=Av×(Ain−RMP)+Ofs=Av×Vin+Ofs
上式において、Avは、アナログ入力信号Ainおよびランプ信号RMPの差分に対するゲインである。
ラッチ回路387は、アナログ出力信号VCOをデジタル信号Doutに変換するものである。このラッチ回路387には、ランプ信号RMPが変化する期間内の相対時刻を示す時刻コードと、対応する列のアナログ出力信号VCOとが入力される。ラッチ回路387は、アナログ出力信号VCOが反転したときの時刻コードを保持し、スイッチ388へデジタル信号Doutとして出力する。
なお、ラッチ回路387の代わりに、アナログ出力信号VCOが反転するまでの期間に亘って計数を行うカウンタを配置することもできる。
比較器386およびラッチ回路387により、アナログ入力信号Ainがデジタル信号Doutに変換される。すなわち、比較器386およびラッチ回路387は、ADCとして機能する。また、ランプ信号RMPのようにスロープ状の信号を用いるADC(比較器386およびラッチ回路387など)は、一般にシングルスロープ型ADCと呼ばれる。なお、各列のラッチ回路387からなる回路は、特許請求の範囲に記載のアナログデジタル変換部の一例である。
スイッチ388は、水平走査回路250の制御に従って、対応する列のデジタル信号Doutを出力部375へ出力するものである。
タイミング制御回路220は、第1の実施の形態と同様に、サンプルホールド回路400の出力を横繋ぎして、ゲインAvのばらつきによるノイズを補正するためのゲイン補正値を算出させる。また、タイミング制御回路220は、サンプルホールド回路400の出力の横繋ぎを解除して、オフセット補正値を算出させる。
なお、第6の実施の形態に、第2、第3および第4の実施の形態のそれぞれを適用することもできる。
このように、本技術の第6の実施の形態によれば、信号処理ブロック385は、リセット電圧および信号電圧のいずれかをデジタル信号に変換するため、電圧電流変換部365を用いずに、AD変換を行うことができる。これにより、電圧電流変換部365を設ける場合と比較して、回路規模を削減することができる。
<7.移動体への応用例>
本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
図29は、本開示に係る技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。
車両制御システム12000は、通信ネットワーク12001を介して接続された複数の電子制御ユニットを備える。図29に示した例では、車両制御システム12000は、駆動系制御ユニット12010、ボディ系制御ユニット12020、車外情報検出ユニット12030、車内情報検出ユニット12040、及び統合制御ユニット12050を備える。また、統合制御ユニット12050の機能構成として、マイクロコンピュータ12051、音声画像出力部12052、及び車載ネットワークI/F(interface)12053が図示されている。
駆動系制御ユニット12010は、各種プログラムにしたがって車両の駆動系に関連する装置の動作を制御する。例えば、駆動系制御ユニット12010は、内燃機関又は駆動用モータ等の車両の駆動力を発生させるための駆動力発生装置、駆動力を車輪に伝達するための駆動力伝達機構、車両の舵角を調節するステアリング機構、及び、車両の制動力を発生させる制動装置等の制御装置として機能する。
ボディ系制御ユニット12020は、各種プログラムにしたがって車体に装備された各種装置の動作を制御する。例えば、ボディ系制御ユニット12020は、キーレスエントリシステム、スマートキーシステム、パワーウィンドウ装置、あるいは、ヘッドランプ、バックランプ、ブレーキランプ、ウィンカー又はフォグランプ等の各種ランプの制御装置として機能する。この場合、ボディ系制御ユニット12020には、鍵を代替する携帯機から発信される電波又は各種スイッチの信号が入力され得る。ボディ系制御ユニット12020は、これらの電波又は信号の入力を受け付け、車両のドアロック装置、パワーウィンドウ装置、ランプ等を制御する。
車外情報検出ユニット12030は、車両制御システム12000を搭載した車両の外部の情報を検出する。例えば、車外情報検出ユニット12030には、撮像部12031が接続される。車外情報検出ユニット12030は、撮像部12031に車外の画像を撮像させるとともに、撮像された画像を受信する。車外情報検出ユニット12030は、受信した画像に基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等の物体検出処理又は距離検出処理を行ってもよい。
撮像部12031は、光を受光し、その光の受光量に応じた電気信号を出力する光センサである。撮像部12031は、電気信号を画像として出力することもできるし、測距の情報として出力することもできる。また、撮像部12031が受光する光は、可視光であっても良いし、赤外線等の非可視光であっても良い。
車内情報検出ユニット12040は、車内の情報を検出する。車内情報検出ユニット12040には、例えば、運転者の状態を検出する運転者状態検出部12041が接続される。運転者状態検出部12041は、例えば運転者を撮像するカメラを含み、車内情報検出ユニット12040は、運転者状態検出部12041から入力される検出情報に基づいて、運転者の疲労度合い又は集中度合いを算出してもよいし、運転者が居眠りをしていないかを判別してもよい。
マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車内外の情報に基づいて、駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置の制御目標値を演算し、駆動系制御ユニット12010に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両の衝突回避あるいは衝撃緩和、車間距離に基づく追従走行、車速維持走行、車両の衝突警告、又は車両のレーン逸脱警告等を含むADAS(Advanced Driver Assistance System)の機能実現を目的とした協調制御を行うことができる。
また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車両の周囲の情報に基づいて駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置等を制御することにより、運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で取得される車外の情報に基づいて、ボディ系制御ユニット12020に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で検知した先行車又は対向車の位置に応じてヘッドランプを制御し、ハイビームをロービームに切り替える等の防眩を図ることを目的とした協調制御を行うことができる。
音声画像出力部12052は、車両の搭乗者又は車外に対して、視覚的又は聴覚的に情報を通知することが可能な出力装置へ音声及び画像のうちの少なくとも一方の出力信号を送信する。図29の例では、出力装置として、オーディオスピーカ12061、表示部12062及びインストルメントパネル12063が例示されている。表示部12062は、例えば、オンボードディスプレイ及びヘッドアップディスプレイの少なくとも一つを含んでいてもよい。
図30は、撮像部12031の設置位置の例を示す図である。
図30では、撮像部12031として、撮像部12101,12102,12103,12104,12105を有する。
撮像部12101,12102,12103,12104,12105は、例えば、車両12100のフロントノーズ、サイドミラー、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部等の位置に設けられる。フロントノーズに備えられる撮像部12101及び車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部12105は、主として車両12100の前方の画像を取得する。サイドミラーに備えられる撮像部12102,12103は、主として車両12100の側方の画像を取得する。リアバンパ又はバックドアに備えられる撮像部12104は、主として車両12100の後方の画像を取得する。車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部12105は、主として先行車両又は、歩行者、障害物、信号機、交通標識又は車線等の検出に用いられる。
なお、図30には、撮像部12101ないし12104の撮影範囲の一例が示されている。撮像範囲12111は、フロントノーズに設けられた撮像部12101の撮像範囲を示し、撮像範囲12112,12113は、それぞれサイドミラーに設けられた撮像部12102,12103の撮像範囲を示し、撮像範囲12114は、リアバンパ又はバックドアに設けられた撮像部12104の撮像範囲を示す。例えば、撮像部12101ないし12104で撮像された画像データが重ね合わせられることにより、車両12100を上方から見た俯瞰画像が得られる。
撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、距離情報を取得する機能を有していてもよい。例えば、撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、複数の撮像素子からなるステレオカメラであってもよいし、位相差検出用の画素を有する撮像素子であってもよい。
例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を基に、撮像範囲12111ないし12114内における各立体物までの距離と、この距離の時間的変化(車両12100に対する相対速度)を求めることにより、特に車両12100の進行路上にある最も近い立体物で、車両12100と略同じ方向に所定の速度(例えば、0km/h以上)で走行する立体物を先行車として抽出することができる。さらに、マイクロコンピュータ12051は、先行車の手前に予め確保すべき車間距離を設定し、自動ブレーキ制御(追従停止制御も含む)や自動加速制御(追従発進制御も含む)等を行うことができる。このように運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を元に、立体物に関する立体物データを、2輪車、普通車両、大型車両、歩行者、電柱等その他の立体物に分類して抽出し、障害物の自動回避に用いることができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両12100の周辺の障害物を、車両12100のドライバが視認可能な障害物と視認困難な障害物とに識別する。そして、マイクロコンピュータ12051は、各障害物との衝突の危険度を示す衝突リスクを判断し、衝突リスクが設定値以上で衝突可能性がある状況であるときには、オーディオスピーカ12061や表示部12062を介してドライバに警報を出力することや、駆動系制御ユニット12010を介して強制減速や回避操舵を行うことで、衝突回避のための運転支援を行うことができる。
撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、赤外線を検出する赤外線カメラであってもよい。例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在するか否かを判定することで歩行者を認識することができる。かかる歩行者の認識は、例えば赤外線カメラとしての撮像部12101ないし12104の撮像画像における特徴点を抽出する手順と、物体の輪郭を示す一連の特徴点にパターンマッチング処理を行って歩行者か否かを判別する手順によって行われる。マイクロコンピュータ12051が、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在すると判定し、歩行者を認識すると、音声画像出力部12052は、当該認識された歩行者に強調のための方形輪郭線を重畳表示するように、表示部12062を制御する。また、音声画像出力部12052は、歩行者を示すアイコン等を所望の位置に表示するように表示部12062を制御してもよい。
以上、本開示に係る技術が適用され得る車両制御システムの一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、撮像部12031に適用され得る。具体的には、図1の撮像装置100は、撮像部12031に適用することができる。撮像部12031に本開示に係る技術を適用することにより、ゲインのばらつきによるランダムノイズを低減し、より見やすい撮影画像を得ることができるため、ドライバの疲労を軽減することが可能になる。
なお、上述の実施の形態は本技術を具現化するための一例を示したものであり、実施の形態における事項と、特許請求の範囲における発明特定事項とはそれぞれ対応関係を有する。同様に、特許請求の範囲における発明特定事項と、これと同一名称を付した本技術の実施の形態における事項とはそれぞれ対応関係を有する。ただし、本技術は実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において実施の形態に種々の変形を施すことにより具現化することができる。
なお、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって、限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。
なお、本技術は以下のような構成もとることができる。
(1)一対のアナログ入力信号の差分を所定のゲインにより増減してアナログ出力信号として出力する複数のアナログ出力部と、
前記複数のアナログ出力部のぞれぞれの前記アナログ出力信号をデジタル信号に変換するアナログデジタル変換部と、
前記複数のアナログ出力部のそれぞれの前記ゲインのばらつきによる前記デジタル信号のノイズを補正する補正処理部と
を具備する固体撮像素子。
(2)受光量に応じた信号電圧と所定のリセット電圧とを順にサンプルして保持し、前記信号電圧および前記リセット電圧を前記一対のアナログ入力信号として一対の出力信号線を介して出力する複数のサンプルホールド回路をさらに具備する
前記(1)記載の固体撮像素子。
(3)前記複数のサンプルホールド回路のそれぞれの前記一対の出力信号線の間の経路を開閉するサンプルホールド横繋ぎ回路をさらに具備する
請求項2記載の固体撮像素子。
(4)前記補正処理部は、
前記経路が閉状態である場合には前記ゲインのばらつきによるノイズを補正するための補正値をゲイン補正値として算出するゲイン補正値算出回路と、
前記経路が開状態である場合には前記複数のサンプルホールド回路のそれぞれのオフセットのばらつきによるノイズを補正するための前記補正値をオフセット補正値として算出するオフセット補正値算出回路と、
前記算出されたゲイン補正値と前記算出されたオフセット補正値とを用いて前記ノイズを補正する補正演算回路と
を備える前記(3)記載の固体撮像素子。
(5)前記アナログ出力信号は、前記信号電圧と前記リセット電圧との差分を前記ゲインにより増減した電流信号である
前記(3)または(4)に記載の固体撮像素子。
(6)前記複数のサンプルホールド回路のそれぞれは、
一対のリセット電圧サンプルホールド回路と、
一対の信号電圧サンプルホールド回路と
を備え、
前記一対のリセット電圧サンプルホールド回路の一方が前記リセット電圧をサンプルするときに他方が保持し、
前記一対の信号電圧サンプルホールド回路の一方が前記信号電圧をサンプルするときに他方が保持する
前記(3)から(5)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(7)複数の行を配列した画素アレイ部をさらに具備し、
前記複数の行のそれぞれは所定方向に配列された複数の画素からなり、
前記複数のサンプルホールド回路の半分は、前記複数の行のうち偶数行に接続され、前記複数のサンプルホールド回路の残りは、前記複数の行のうち奇数行に接続され、
前記偶数行に接続されたサンプルホールド回路と、前記奇数行に接続されたサンプルホールド回路とは、前記所定方向に沿って交互に配列される
前記(3)から(6)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(8)複数の行を配列した画素アレイ部をさらに具備し、
前記複数のサンプルホールド回路の半分は、上側カラム信号処理回路に配置され、残りは、下側カラム信号処理回路に配置され、
前記上側カラム信号処理回路は、前記複数の行内の奇数行および偶数行の一方に接続され、前記下側カラム信号処理回路は、前記奇数行および前記偶数行のうち他方に接続される
前記(3)から(5)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(9)複数の画素を配列した画素アレイ部をさらに具備し、
前記画素アレイ部は、所定の受光チップに配置され、
前記複数のサンプルホールド回路と前記サンプルホールド横繋ぎ回路と前記複数のアナログ出力部と前記アナログデジタル変換部と前記補正処理部との少なくとも一部は、所定の回路チップに配置される
前記(3)から(8)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(10)互いに異なる前記サンプルホールド回路に接続された複数の垂直信号線が配線された画素アレイ部と、
前記複数の垂直信号線のうち隣接する奇数本目の信号線同士を接続するとともに前記複数の垂直信号線のうち隣接する偶数本目の信号線同士を接続する垂直信号線加算回路と
をさらに具備する
前記(3)から(9)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(11)画素の受光量に応じた信号電圧と所定のリセット電圧とを順にサンプルして保持し、前記信号電圧および前記リセット電圧を一対の出力信号線を介して出力する複数のサンプルホールド回路と、
前記複数のサンプルホールド回路のそれぞれの前記一対の出力信号線の一方を選択し、当該選択した信号線の電圧を前記一対のアナログ入力信号の一方として前記アナログデジタル変換部へ出力する選択回路と
をさらに具備し、
前記一対のアナログ入力信号の他方は、所定の参照電圧である
前記(1)に記載の固体撮像素子。
(12)一対のアナログ入力信号の差分を所定のゲインにより増減してアナログ出力信号として出力する複数のアナログ出力部と、
前記複数のアナログ出力部のぞれぞれの前記アナログ出力信号をデジタル信号に変換するアナログデジタル変換部と、
前記複数のアナログ出力部のそれぞれの前記ゲインのばらつきによる前記デジタル信号のノイズを補正する補正処理部と、
前記デジタル信号のそれぞれを含む画像データに対して所定の画像処理を行うデジタル信号処理回路と
を具備する撮像装置。
(13)複数のアナログ出力部のそれぞれが、一対のアナログ入力信号の差分を所定のゲインにより増減してアナログ出力信号として出力するアナログ出力手順と、
前記複数のアナログ出力部のぞれぞれの前記アナログ出力信号をデジタル信号に変換するアナログデジタル変換手順と、
前記複数のアナログ出力部のそれぞれの前記ゲインのばらつきによる前記デジタル信号のノイズを補正する補正処理手順と
を具備する固体撮像素子の制御方法。
100 撮像装置
110 光学部
120 DSP回路
130 表示部
140 操作部
150 バス
160 フレームメモリ
170 記憶部
180 電源部
200 固体撮像素子
201 受光チップ
202 回路チップ
210 垂直走査回路
220 タイミング制御回路
230 画素アレイ部
240 画素
241 光電変換素子
242 転送スイッチ
243 増幅回路
250 水平走査回路
251 上側水平走査回路
252 下側水平走査回路
260 テスト電圧発生部
270 補正処理部
271、281 デマルチプレクサ
280 補正値算出回路
282 オフセット補正値算出回路
283 ゲイン補正値算出回路
284 補正値保持部
290 補正演算回路
291 ラインバッファ
292 減算器
293 乗算器
300 カラム信号処理回路
301 上側カラム信号処理回路
302 下側カラム信号処理回路
310 マルチプレクサ
320、366 電流源
330 VSL横繋ぎ回路
331、342〜345、351〜360、381、382、388、411、413、414、416、421、423、424、426、431、433、434、436、441、443、444、446 スイッチ
340 VSL加算回路
341、361 インバータ
350 SH横繋ぎ回路
362、368、369 nMOSトランジスタ
363 pMOSトランジスタ
365 電圧電流変換部
367 抵抗
370 アナログデジタル変換部
371 電流モードADC
375 出力部
380 選択回路
385 信号処理ブロック
386 比較器
387 ラッチ回路
400 サンプルホールド回路
410、430 リセット電圧サンプルホールド回路
420、440 信号電圧サンプルホールド回路
412、422、432、442 コンデンサ
415、425、435、445 アンプ
12031 撮像部

Claims (13)

  1. 一対のアナログ入力信号の差分を所定のゲインにより増減してアナログ出力信号として出力する複数のアナログ出力部と、
    前記複数のアナログ出力部のぞれぞれの前記アナログ出力信号をデジタル信号に変換するアナログデジタル変換部と、
    前記複数のアナログ出力部のそれぞれの前記ゲインのばらつきによる前記デジタル信号のノイズを補正する補正処理部と
    を具備する固体撮像素子。
  2. 受光量に応じた信号電圧と所定のリセット電圧とを順にサンプルして保持し、前記信号電圧および前記リセット電圧を前記一対のアナログ入力信号として一対の出力信号線を介して出力する複数のサンプルホールド回路をさらに具備する
    請求項1記載の固体撮像素子。
  3. 前記複数のサンプルホールド回路のそれぞれの前記一対の出力信号線の間の経路を開閉するサンプルホールド横繋ぎ回路をさらに具備する
    請求項2記載の固体撮像素子。
  4. 前記補正処理部は、
    前記経路が閉状態である場合には前記ゲインのばらつきによるノイズを補正するための補正値をゲイン補正値として算出するゲイン補正値算出回路と、
    前記経路が開状態である場合には前記複数のサンプルホールド回路のそれぞれのオフセットのばらつきによるノイズを補正するための前記補正値をオフセット補正値として算出するオフセット補正値算出回路と、
    前記算出されたゲイン補正値と前記算出されたオフセット補正値とを用いて前記ノイズを補正する補正演算回路と
    を備える請求項3記載の固体撮像素子。
  5. 前記アナログ出力信号は、前記信号電圧と前記リセット電圧との差分を前記ゲインにより増減した電流信号である
    請求項3記載の固体撮像素子。
  6. 前記複数のサンプルホールド回路のそれぞれは、
    一対のリセット電圧サンプルホールド回路と、
    一対の信号電圧サンプルホールド回路と
    を備え、
    前記一対のリセット電圧サンプルホールド回路の一方が前記リセット電圧をサンプルするときに他方が保持し、
    前記一対の信号電圧サンプルホールド回路の一方が前記信号電圧をサンプルするときに他方が保持する
    請求項3記載の固体撮像素子。
  7. 複数の行を配列した画素アレイ部をさらに具備し、
    前記複数の行のそれぞれは所定方向に配列された複数の画素からなり、
    前記複数のサンプルホールド回路の半分は、前記複数の行のうち偶数行に接続され、前記複数のサンプルホールド回路の残りは、前記複数の行のうち奇数行に接続され、
    前記偶数行に接続されたサンプルホールド回路と、前記奇数行に接続されたサンプルホールド回路とは、前記所定方向に沿って交互に配列される
    請求項3記載の固体撮像素子。
  8. 複数の行を配列した画素アレイ部をさらに具備し、
    前記複数のサンプルホールド回路の半分は、上側カラム信号処理回路に配置され、残りは、下側カラム信号処理回路に配置され、
    前記上側カラム信号処理回路は、前記複数の行内の奇数行および偶数行の一方に接続され、前記下側カラム信号処理回路は、前記奇数行および前記偶数行のうち他方に接続される
    請求項3記載の固体撮像素子。
  9. 複数の画素を配列した画素アレイ部をさらに具備し、
    前記画素アレイ部は、所定の受光チップに配置され、
    前記複数のサンプルホールド回路と前記サンプルホールド横繋ぎ回路と前記複数のアナログ出力部と前記アナログデジタル変換部と前記補正処理部との少なくとも一部は、所定の回路チップに配置される
    請求項3記載の固体撮像素子。
  10. 互いに異なる前記サンプルホールド回路に接続された複数の垂直信号線が配線された画素アレイ部と、
    前記複数の垂直信号線のうち隣接する奇数本目の信号線同士を接続するとともに前記複数の垂直信号線のうち隣接する偶数本目の信号線同士を接続する垂直信号線加算回路と
    をさらに具備する
    請求項3記載の固体撮像素子。
  11. 画素の受光量に応じた信号電圧と所定のリセット電圧とを順にサンプルして保持し、前記信号電圧および前記リセット電圧を一対の出力信号線を介して出力する複数のサンプルホールド回路と、
    前記複数のサンプルホールド回路のそれぞれの前記一対の出力信号線の一方を選択し、当該選択した信号線の電圧を前記一対のアナログ入力信号の一方として前記アナログデジタル変換部へ出力する選択回路と
    をさらに具備し、
    前記一対のアナログ入力信号の他方は、所定の参照電圧である
    請求項1記載の固体撮像素子。
  12. 一対のアナログ入力信号の差分を所定のゲインにより増減してアナログ出力信号として出力する複数のアナログ出力部と、
    前記複数のアナログ出力部のぞれぞれの前記アナログ出力信号をデジタル信号に変換するアナログデジタル変換部と、
    前記複数のアナログ出力部のそれぞれの前記ゲインのばらつきによる前記デジタル信号のノイズを補正する補正処理部と、
    前記デジタル信号のそれぞれを含む画像データに対して所定の画像処理を行うデジタル信号処理回路と
    を具備する撮像装置。
  13. 複数のアナログ出力部のそれぞれが、一対のアナログ入力信号の差分を所定のゲインにより増減してアナログ出力信号として出力するアナログ出力手順と、
    前記複数のアナログ出力部のぞれぞれの前記アナログ出力信号をデジタル信号に変換するアナログデジタル変換手順と、
    前記複数のアナログ出力部のそれぞれの前記ゲインのばらつきによる前記デジタル信号のノイズを補正する補正処理手順と
    を具備する固体撮像素子の制御方法。
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