JP2020174128A - 保持部材、転写部材、転写部材の製造方法及び発光基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
基材と、
前記基材の一方の面上に設けられた弾性フィルムと、
前記弾性フィルムの一方の面上に規則的に二次元配列された複数の突出部と、
前記突出部の先端に設けられた粘着性を有する粘着層と、を備える。
上述したいずれかの保持部材と、
各突出部に前記粘着層を介して保持された複数の発光ダイオードチップと、を備える。
ダイシングされた発光ダイオードチップを有するチップ基板を上述したいずれかの保持部材に接触させて、複数の前記発光ダイオードチップを前記保持部材の第1領域内の複数の突出部上に保持させる工程と、
前記チップ基板に対して前記保持部材を相対移動させる工程と、
前記チップ基板を前記保持部材に接触させて、前記複数の前記発光ダイオードチップとは異なる他の複数の前記発光ダイオードチップを前記保持部材の前記第1領域とは異なる第2領域内の複数の突出部上に保持させる工程と、を備える。
上述した転写部材の前記発光ダイオードチップが、回路基板の回路に電気的に接続するように位置決めする工程と、
前記基材を前記弾性フィルムから剥離させる工程と、
前記弾性フィルムを押圧して、複数の前記発光ダイオードチップを前記転写部材の前記保持部材から前記回路基板に一括で転写する工程と、を備える。
5 表示面
7 拡散層
10 発光基板
11 回路基板
13 回路
20 転写部材
30 保持部材
31 基材
32 弾性フィルム
33 突出部
35 粘着層
40 チップ基板
50 マイクロ発光ダイオードチップ
50R 第1発光ダイオードチップ
50G 第2発光ダイオードチップ
50B 第3発光ダイオードチップ
51 電極
R1 第1領域
R2 第2領域
R3 第3領域
M1,M2,M3 位置決めマーク
P1x、P1y、P2x、P2y ピッチ
Claims (11)
- 複数の発光ダイオードチップを保持する保持部材であって、
基材と、
前記基材の一方の面上に設けられた弾性フィルムと、
前記弾性フィルムの一方の面上に規則的に二次元配列された複数の突出部と、
前記突出部の先端に設けられた粘着性を有する粘着層と、を備える、保持部材。 - 前記基材及び前記弾性フィルムの平面視における面積は、176cm2以上である、請求項1に記載の保持部材。
- 前記基材及び前記弾性フィルムは、透明である、請求項1または2に記載の保持部材。
- 前記弾性フィルムの線膨張係数は、10×10−5/K以下である、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の保持部材。
- 前記弾性フィルムのヤング率は、0.1GPa以上10GPa以下である、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の保持部材。
- 前記基材と前記弾性フィルムとの接着強度は、0.1MPa以上100MPa以下である、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の保持部材。
- 前記突出部の前記弾性フィルムの側の面は、前記突出部の前記粘着層の側の面より大きい、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の保持部材。
- 請求項1乃至7のいずれか一項に記載の保持部材と、
各突出部に前記粘着層を介して保持された複数の発光ダイオードチップと、を備える、転写部材。 - ダイシングされた発光ダイオードチップを有するチップ基板を請求項1乃至7のいずれか一項に記載の保持部材に接触させて、複数の前記発光ダイオードチップを前記保持部材の第1領域内の複数の突出部上に保持させる工程と、
前記チップ基板に対して前記保持部材を相対移動させる工程と、
前記チップ基板を前記保持部材に接触させて、前記複数の前記発光ダイオードチップとは異なる他の複数の前記発光ダイオードチップを前記保持部材の前記第1領域とは異なる第2領域内の複数の突出部上に保持させる工程と、を備える、転写部材の製造方法。 - 請求項8に記載の転写部材の前記発光ダイオードチップが、回路基板の回路に電気的に接続するように位置決めする工程と、
前記基材を前記弾性フィルムから剥離させる工程と、
前記弾性フィルムを押圧して、複数の前記発光ダイオードチップを前記転写部材の前記保持部材から前記回路基板に一括で転写する工程と、を備える、発光基板の製造方法。 - 前記基材を前記弾性フィルムから剥離させる工程は、前記基材と前記弾性フィルムとの境界面を焦点としたレーザーを照射する工程を含む、請求項10に記載の発光基板の製造方法。
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