JP2020171934A - レーザービーム調整機構 - Google Patents
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Abstract
Description
一対のガイドレール23は、Y軸方向に平行に、基台11の上面に配置されている。Y軸テーブル24は、一対のガイドレール23上に、これらのガイドレール23に沿ってスライド可能に設置されている。Y軸テーブル24上には、加工送り部30および保持テーブル部40が載置されている。
図2に示すように、レーザー加工ユニット12は、アーム部17内に、レーザービームBを発振するレーザー発振器61、レーザービームBを調整するビームエキスパンダ62、ならびに、第1の遮蔽板63および第2の遮蔽板64を備えている。
一方、レーザービームBの調整時には、図2に示すように、レーザービームBは、パワーメータ80に照射される。
一方、凸レンズ72および第2の凹レンズ73は、レーザービームBの光軸B1の延びる方向(光軸方向)に移動可能に構成されている。
このために、ビームエキスパンダ62は、凸レンズ移動手段74および第2の凹レンズ移動手段75を備えている。
凸レンズ移動手段74は、レーザービームBの光軸B1の延びる方向に、凸レンズ72を移動させる。第2の凹レンズ移動手段75は、光軸B1の延びる方向に、第2の凹レンズ73を移動させる。
なお、平行度調整後の凸レンズ72と第2の凹レンズ73との間隔をL3とする。
なお、凸レンズ72を移動させる際には、平行度調整後の間隔L3を維持するとよい。
なお、図2に示した光軸B1上の位置SP0は、互いに一致している凸レンズ72の焦点位置および第2の凹レンズ73の焦点位置を示している。
第1の遮蔽板63は、レーザービームBの光軸B1におけるビームエキスパンダ62の下流に配置され、第1移動機構631により、光軸B1における位置SP1において、光軸B1に直交する方向(Z軸方向)に沿って移動される。第1の遮蔽板63は、Z軸方向に移動されることにより、レーザービームBの一部を遮るように構成されている。
さらに、制御手段51は、保持テーブル移動機構14を制御して、加工ヘッド18における集光レンズ66の真下に、パワーメータ80を配置する。
すなわち、制御手段51は、まず、図2に示した第1移動機構631を制御して、位置SP1において第1の遮蔽板63をZ軸方向に移動させて、図4(a)に示すように、レーザービームBの一部を遮る。
そして、制御手段51は、第1の遮蔽板63の10%位置と90%位置との間の距離である第1の距離を求める。制御手段51は、求めた第1の距離を、図2に示す第1の記憶部53に記憶する。
したがって、この場合、判断部52は、レーザービームBが高い平行度を有する平行光であると判断し、コリメートは不要であると判断する(S4でYes)。
したがって、この場合、判断部52は、レーザービームBが平行光でないと判断し、コリメートが必要であると判断する(S4でNo)。この場合、判断部52が平行光であると判断できるように、制御手段51のレンズ調整部55が、第2の凹レンズ移動手段75を制御して、第2の凹レンズ73を光軸B1の延びる方向に移動させる(S6)。
このようにして、第1の距離と第2の距離との距離差が予め設定された許容値以内となり、判断部52が、レーザービームBが平行光であると判断するまで、S2〜S4の処理が繰り返される。
したがって、本実施形態では、作業者による作業をほとんど介在させることなく、レーザービームBのビーム径をも、適切な値に容易に設定することができる。
レーザービームBのエネルギー分布は、以下の(1)式によって示される、図6に示すようなガウシアンン分布となる。
Dmeasureは、測定された透過パワー(Φ=αP)に対応する、第1の遮蔽板63あるいは第2の遮蔽板64の位置(たとえば、第1の遮蔽板63の10%位置)と、同じく測定された透過パワー(1−α)Pに対応する、第1の遮蔽板63あるいは第2の遮蔽板64の位置(たとえば、第1の遮蔽板63の90%位置)との差、すなわち、第1の距離あるいは第2の距離である。
D10%=1.561*D90−10
D20%=2.381*D80−20
10:レーザー加工装置、20:割り出し送り部、30:加工送り部、
40:保持テーブル部、43:保持テーブル、
12:レーザー加工ユニット、17:アーム部、18:加工ヘッド、
61:レーザー発振器、62:ビームエキスパンダ、80:パワーメータ、
63:第1の遮蔽板、64:第2の遮蔽板、65:反射ミラー、66:集光レンズ、
631:第1移動機構、641:第2移動機構、
71:第1の凹レンズ、72:凸レンズ、73:第2の凹レンズ、
74:凸レンズ移動手段、75:第2の凹レンズ移動手段、
51:制御手段、52:判断部、53:第1の記憶部、54:第2の記憶部、
55:レンズ調整部、56:ビーム径算出部、
B:レーザービーム、B1:光軸
Claims (2)
- レーザー発振器から発振されたレーザービームを平行光に調整するレーザービーム調整機構であって、
該レーザービームの光軸に配置された、複数のレンズからなるビーム調整手段と、
該レーザービームの光軸における該ビーム調整手段の下流に配置され、該光軸に直交する方向に移動されて該レーザービームを遮る第1の遮蔽板と、
該レーザービームの光軸における該第1の遮蔽板の下流に配置され、該光軸に直交する方向に移動されて該レーザービームを遮る第2の遮蔽板と、
該レーザービームの光軸における該第2の遮蔽板の下流に配置され、該レーザービームのエネルギー量を測定するパワーメータと、
制御手段と、を備え、
該制御手段は、
該レーザービームが該第1の遮蔽板に遮られることによって、該レーザービームのエネルギー量が、予め設定された第1の割合になるような該第1の遮蔽板の位置と、該エネルギー量が予め設定された第2の割合になるような該第1の遮蔽板の位置との間の距離である第1の距離を記憶する第1の記憶部と、
該レーザービームが該第2の遮蔽板に遮られることによって、該レーザービームのエネルギー量が該第1の割合になるような該第2の遮蔽板の位置と、該エネルギー量が該第2の割合になるような該第2の遮蔽板の位置との間の距離である第2の距離を記憶する第2の記憶部と、
該第1の距離と該第2の距離との差である距離差を算出し、該距離差が予め設定された許容値以内である場合に該レーザービームが平行光であると判断する一方、該距離差が該許容値よりも大きい場合に該レーザービームが平行光でないと判断する判断部と、
該判断部が平行光であると判断できるように、該ビーム調整手段の該レンズを、該レーザービームの光軸方向に移動させるレンズ調整部と、を備えている、
レーザービーム調整機構。 - 該制御手段は、
該第1の距離もしくは該第2の距離を用いてレーザービームのビーム径を算出するビーム径算出部をさらに含み、
該レンズ調整部は、該ビーム径算出部によって算出された該ビーム径が予め設定された所定の範囲内の値になるように、該ビーム調整手段の該レンズを該レーザービームの光軸方向に移動させる、
請求項1記載のレーザービーム調整機構。
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- 2019-04-09 JP JP2019074060A patent/JP7283954B2/ja active Active
Patent Citations (6)
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