JP2020167333A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の一実施形態は、コンタクト孔の位置ずれ抑制できる半導体装置を提供する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体装置1の一部の領域を拡大して示す断面図である。図2は、図1に示す1つのトレンチを拡大して示す断面図である。図3は、図1に示す領域IIIの拡大図である。
図1〜図3を参照して、半導体装置1は、絶縁ゲート型のトランジスタの一例としてのMISFET(Metal Insulator Semiconductor Field Effect Transistor)を含む半導体スイッチングデバイスである。半導体装置1は、半導体層2を含む。半導体層2は、この形態では、Si(シリコン)からなる。半導体層2は、直方体形状に形成されていてもよい。
半導体層2は、この形態では、n型のドリフト領域5およびn+型のドレイン領域6を含む。ドリフト領域5は、第1主面3側の領域に形成されている。ドリフト領域5は、第1主面3を形成している。ドリフト領域5のn型不純物濃度は、1×1015cm−3以上1×1018cm−3以下であってもよい。
ドリフト領域5は、この形態では、n型のエピタキシャル層によって形成されている。ドレイン領域6は、この形態では、n+型の半導体基板によって形成されている。
ドレイン電極7は、Ti層、Ni層、Au層、Ag層およびAl層のうちの少なくとも1つを含んでいてもよい。ドレイン電極7は、Ti層、Ni層、Au層、Ag層またはAl層を含む単層構造を有していてもよい。ドレイン電極7は、Ti層、Ni層、Au層、Ag層およびAl層のうちの1つまたは2つ以上を任意の態様で積層させた積層構造を有していてもよい。
ボディ領域8の厚さTBは、0.5μm以上1.5μm以下であってもよい。厚さTBは、第1主面3を基準としたときのボディ領域8の法線方向Zの厚さである。厚さTBは、0.5μm以上0.75μm以下、0.75μm以上1μm以下、1μm以上1.25μm以下、または、1.25μm以上1.5μm以下であってもよい。
複数のトレンチ10は、第1トレンチ部11および第2トレンチ部12を含むダブルトレンチ構造をそれぞれ有している。第1トレンチ部11は、第1主面3に形成されている。第1トレンチ部11は、より具体的には、第1主面3を第2主面4に向けて掘り下げることによって形成されている。第1トレンチ部11は、ボディ領域8の底部に対して第1主面3側に間隔を空けて形成されている。
第1幅W1は、0.5μm以上4.5μm以下であってもよい。第1幅W1は、0.5μm以上1μm以下、1μm以上1.5μm以下、1.5μm以上2μm以下、2μm以上2.5μm以下、2.5μm以上3μm以下、3μm以上3.5μm以下、3.5μm以上4μm以下、または、4μm以上4.5μm以下であってもよい。第1幅W1は、1μm以上2.5μm以下であることが好ましい。
第2トレンチ部12は、第1トレンチ部11の第1底壁14の中央部に形成され、第1底壁14の縁部15を露出させている。これにより、第1トレンチ部11は、第1底壁14の縁部15に応じた分だけ、第2トレンチ部12から第1主面3に沿う横方向に張り出した構造を有している。
半導体層2内において第2側壁16が第1主面3との間で成す角度の絶対値は、90°を超えて95°以下(たとえば91°程度)であってもよい。つまり、第2トレンチ部12は、断面視において第1主面3から第2底壁17に向けて先細りになるテーパ形状に形成されていてもよい。
第2トレンチ部12は、第2幅W2および第2深さD2を有している。第2幅W2は、第2トレンチ部12の第1方向Xの開口幅である。第2深さD2は、第1トレンチ部11の第1底壁14を基準としたときの第2トレンチ部12の法線方向Zの深さである。
半導体装置1は、各第2トレンチ部12の内壁に形成された絶縁層21を含む。絶縁層21は、第2トレンチ部12の内壁に沿って膜状に形成されている。絶縁層21は第2トレンチ部12内においてU字状に窪んだU字空間を区画している。
底側絶縁層22は、第1厚さT1を有している。開口側絶縁層23は、第1厚さT1未満の第2厚さT2(T2<T1)を有している。第2厚さT2は、第1厚さT1の1/100以上1/10以下であってもよい。第1厚さT1は、底側絶縁層22において第2トレンチ部12の内壁の法線方向に沿う厚さである。第2厚さT2は、開口側絶縁層23において第2トレンチ部12の内壁の法線方向に沿う厚さである。
底側絶縁層22の第1厚さT1は、0.1μm以上1.5μm以下であってもよい。第1厚さT1は、0.1μm以上0.25μm以下、0.25μm以上0.5μm以下、0.5μm以上0.75μm以下、0.75μm以上1μm以下、1μm以上1.25μm以下、または、1.25μm以上1.5μm以下であってもよい。第1厚さT1は、0.15μm以上1μm以下であることが好ましい。
底側電極25に基準電圧(たとえばグランド電圧)が印加され、開口側電極26にゲート電圧が印加されてもよい。この場合、底側電極25がフィールド電極として機能する一方で、開口側電極26がゲート電極として機能する。これにより、寄生容量を低下させることができるから、スイッチング速度の向上を図ることができる。
底側電極25は、上端部28、下端部29および壁部30を含む。上端部28は、第2トレンチ部12の開口側に位置している。下端部29は、第2トレンチ部12の第2底壁17側に位置している。壁部30は、上端部28および下端部29を接続し、第2トレンチ部12の第2側壁16に沿って壁状に延びている。
開口側電極26は、絶縁層21を挟んで第2トレンチ部12の開口側に埋設されている。開口側電極26は、より具体的には、開口側絶縁層23を挟んで第2トレンチ部12の開口側に埋設されている。開口側電極26は、開口側絶縁層23を挟んでボディ領域8に対向している。開口側電極26の一部は、開口側絶縁層23を挟んでドリフト領域5に対向していてもよい。
開口側電極26は、導電性ポリシリコン、タングステン、アルミニウム、銅、アルミニウム合金および銅合金のうちの少なくとも1種を含んでいてもよい。開口側電極26は、底側電極25と同一種の導電材料を含むことが好ましい。開口側電極26は、この形態では、導電性ポリシリコンを含む。開口側電極26は、n型ポリシリコンまたはp型ポリシリコンを含んでいてもよい。
法線方向Zに関して、露出面32および第1主面3の間の距離DE1は、第1トレンチ部11の第1深さD1未満(DE1<D1)である。距離DE1は、0.1μm以上1.2μm以下であってもよい。距離DE1は、0.1μm以上0.2μm以下、0.2μm以上0.4μm以下、0.4μm以上0.6μm以下、0.6μm以上0.8μm以下、0.8μm以上1μm以下、または、1μm以上1.2μm以下であってもよい。
絶縁体31は、SiO2層、SiN層、Al2O3層、ZrO2層およびTa2O3層のうちの少なくとも1つを含んでいてもよい。絶縁体31は、SiO2層、SiN層、Al2O3層、ZrO2層またはTa2O3層を含む単層構造を有していてもよい。絶縁体31は、SiO2層、SiN層、Al2O3層、ZrO2層およびTa2O3層のうちの1つまたは2つ以上を任意の態様で積層させた積層構造を有していてもよい。
半導体装置1は、複数の第1トレンチ部11の間の領域にそれぞれ形成された複数のコンタクト孔41を含む。複数のコンタクト孔41は、1つの第1トレンチ部11を挟み込む態様で、第1方向Xに沿って複数の第1トレンチ部11と交互に形成されている。複数のコンタクト孔41は、平面視において第2方向Yに沿って延びる帯状にそれぞれ形成されている。
各コンタクト孔41は、第1方向Xに隣り合う複数の絶縁体31(露出面32)を起点に、半導体層2を第2主面4に向けて掘り下げることによって形成されている。各コンタクト孔41は、より具体的には、絶縁体31の延部33を起点に形成されている。
各コンタクト孔41は、ボディ領域8の底部に対して第1主面3側に間隔を空けて形成されている。各コンタクト孔41は、平面視において第2トレンチ部12から間隔を空けて形成されている。これにより、各コンタクト孔41および第2トレンチ部12の間の領域に半導体層2の一部が介在している。
つまり、各コンタクト孔41は、開口側電極26に対して第1主面3側に間隔を空けて形成されていることが好ましい。この場合、コンタクト孔41を開口側電極26から離間させることができるから、開口側電極26およびコンタクト孔41の間で生じる電圧降下を抑制できる。これにより、コンタクト孔41および開口側電極26の間の領域において、不所望な電界集中を抑制できる。
コンタクト側壁42は、第1主面3に対して傾斜していてもよい。半導体層2内においてコンタクト側壁42が第1主面3との間で成す角度の絶対値は、90°を超えて95°以下(たとえば91°程度)であってもよい。つまり、コンタクト孔41は、第1主面3からコンタクト底壁43に向かって先細りになるテーパ形状に形成されていてもよい。
コンタクト孔41は、コンタクト幅WCおよびコンタクト深さDCを有している。コンタクト幅WCは、コンタクト孔41の第1方向Xの幅である。コンタクト深さDCは、絶縁体31の露出面32を基準としたときのコンタクト孔41の法線方向Zの深さである。
コンタクト幅WCは、0.1μm以上1μm以下であってもよい。コンタクト幅WCは、0.1μm以上0.2μm以下、0.2μm以上0.4μm以下、0.4μm以上0.6μm以下、0.6μm以上0.8μm以下、または、0.8μm以上1μm以下であってもよい。コンタクト幅WCは、0.2μm以上0.6μm以下であることが好ましい。
コンタクト深さDCは、0.1μm以上1μm以下であってもよい。コンタクト深さDCは、0.1μm以上0.2μm以下、0.2μm以上0.4μm以下、0.4μm以上0.6μm以下、0.6μm以上0.8μm以下、または、0.8μm以上1μm以下であってもよい。コンタクト深さDCは、0.2μm以上0.5μm以下であることが好ましい。
各コンタクト孔41は、15nm以下の位置ずれ量M(M≦15nm)で形成されていることが好ましい。位置ずれ量Mは、互いに隣り合う2つの第2トレンチ部12の間の中間部を基準(零地点)としたときのコンタクト孔41の第1方向Xの位置ずれ量(絶対値)である。
各ソース領域51は、対応する第1トレンチ部11から露出する絶縁体31を被覆している。各ソース領域51は、さらに、絶縁体31を法線方向Zに沿って横切り、対応する第2トレンチ部12から露出する開口側絶縁層23を被覆している。
各ソース領域51は、対応する第2トレンチ部12およびコンタクト孔41の間の領域に形成されている。各ソース領域51は、コンタクト側壁42を被覆している。各ソース領域51は、コンタクト底壁43を露出させている。これにより、各ソース領域51は、第1トレンチ部11の第1底壁14、第2トレンチ部12の第2側壁16、および、コンタクト孔41のコンタクト側壁42を被覆している。
ソース厚さTSは、ソース幅WS以上(WS≦TS)である。これにより、各ソース領域51は、1以上のアスペクト比TS/WSを有している。アスペクト比TS/WSは、ソース幅WSに対するソース厚さTSの比である。ソース厚さTSは、この形態では、ソース幅WSを超えている(WS<TS)。つまり、アスペクト比TS/WSは、1を超えている。
ソース幅WSは、0.1μm以上0.6μm以下であってもよい。ソース幅WSは、0.1μm以上0.2μm以下、0.2μm以上0.3μm以下、0.3μm以上0.4μm以下、0.4μm以上0.5μm以下、または、0.5μm以上0.6μm以下であってもよい。ソース幅WSは、0.15μm以上0.3μm以下であることが好ましい。
半導体装置1は、ボディ領域8内において複数のコンタクト孔41に沿う領域にそれぞれ形成されたp+型の複数のコンタクト領域52を含む。各コンタクト領域52は、各コンタクト底壁43に沿って形成されている。各コンタクト領域52は、ボディ領域8のp型不純物濃度を超えるp型不純物濃度を有している。各コンタクト領域52のp型不純物濃度は、1×1019cm−3以上1×1021cm−3以下であってもよい。
各コンタクト領域52の底部は、ボディ領域8の底部に対してコンタクト底壁43側の領域に位置している。各コンタクト領域52の底部は、より具体的には、複数のソース領域51の底部に対してコンタクト底壁43側の領域に位置している。
ソース電極53は、複数のトレンチ10(絶縁体31)を被覆し、複数のコンタクト孔41に入り込んでいる。ソース電極53は、複数のコンタクト孔41内においてボディ領域8、複数のソース領域51および複数のコンタクト領域52に電気的に接続されている。
各第1電極部54は、対応するコンタクト孔41内において複数のソース領域51およびコンタクト領域52に電気的に接続されている。また、各第1電極部54は、コンタクト領域52を介してボディ領域8に電気的に接続されている。各第1電極部54は、コンタクト側壁42から露出する絶縁体31に接している。
第1層57は、コンタクト孔41の内壁に沿って膜状に形成されている。第1層57は、コンタクト孔41内においてリセス空間を区画している。第1層57は、Ti(チタン)層およびTiN(窒化チタン)層のうちの少なくとも1つを含む。
第2層58は、第1層57を挟んでコンタクト孔41に埋設されている。第2層58は、より具体的には、第1層57によって区画されたリセス空間に埋設されている。第2層58は、W(タングステン)層を含む。各第1電極部54の電極面56は、第1層57および第2層58によって形成されている。
第2電極部55は、より具体的には、複数の第1電極部54の電極面56および複数の絶縁体31の露出面32を被覆している。これにより、第2電極部55は、第1主面3に対して第2主面4側の領域において、絶縁体31の露出面32に接すると同時に、第1電極部54の電極面56に接続されている。
オン抵抗値は、設計値を基準としたときの変化率を表している。図4では、位置ずれ量Mを正負で表している。位置ずれ量Mが正であるとは、コンタクト孔41が一方側の第2トレンチ部12に近接することを意味する。位置ずれ量Mが負であるとは、コンタクト孔41が他方側の第2トレンチ部12に近接することを意味する。
第2折れ線L2は、比較的小さいコンタクト幅WCを有する寸法小のコンタクト孔41のオン抵抗値を示している。寸法小のコンタクト孔41のコンタクト幅WCは0.1μm以上1μm以下である。
一方、第2折れ線L2を参照して、寸法小のコンタクト孔41の場合、±60nmの位置ずれ範囲内においてオン抵抗値の変化率の最大値が10%未満であった。オン抵抗値の変化率の最大値は、より具体的には、6%であった。
また、寸法小のコンタクト孔41を有する半導体装置1において、位置ずれ量Mを−55nm、−45nm、−30nm、−15nm、0、15nm、30nm、45nmおよび55nmとしたものを12個ずつ用意し、それぞれの耐量を測定した。
一方、寸法小のコンタクト孔41の場合、位置ずれ量Mが15nmを超えると、不適合数が増加することが分かった。また、寸法小のコンタクト孔41の場合、コンタクト孔41の位置ずれ量Mが15nm以下になると、不適合数はゼロとなった。
しかし、図5の結果から、0.1μm以上1μm以下の比較的小さいコンタクト幅WCを有するコンタクト孔41を形成する場合には、位置ずれ量Mの許容範囲が極めて狭くなることが分かった。この場合、15nm以下の位置ずれ量Mでコンタクト孔41を形成する必要があることが分かった。
これにより、コンタクト孔41の形成領域を複数の絶縁体31の間の領域に制限できる。半導体層2において複数の絶縁体31の間の領域は、レジストマスクのアライメント誤差の影響を受けない。これにより、コンタクト孔41の位置ずれを適切に抑制できる。よって、コンタクト孔41の位置ずれに起因する電気的特性の低下を抑制できる。
たとえば、半導体装置1によれば、コンタクト孔41を15nm以下の位置ずれ量Mで複数のトレンチ10の間の領域に適切に形成できる。この場合、複数のトレンチ10のピッチPは、0.5μm以上5μmであることが好ましい。
また、コンタクト幅WCは、0.1μm以上1μm以下であることが好ましい。この場合、コンタクト幅WCは、0.2μm以上0.6μm以下であることがさらに好ましい。また、各コンタクト孔41および第2トレンチ部12の間の距離DCT(縁部15の幅WE)は、コンタクト幅WC以下(DCT≦WC)であることが好ましい。この場合、距離DCTは、0.05μm以上0.6μm以下であってもよい。距離DCTは、0.1μm以上0.3μm以下であることが好ましい。
図6Aを参照して、半導体層2のベースとなるシリコン製の半導体ウエハ層61が用意される。半導体ウエハ層61は、第1ウエハ主面62および第2ウエハ主面63を有している。半導体ウエハ層61の第1ウエハ主面62および第2ウエハ主面63は、半導体層2の第1主面3および第2主面4にそれぞれ対応している。
第1ハードマスク66は、CVD(Chemical Vapor Deposition)法または酸化処理法(たとえば熱酸化処理法)によって形成されてもよい。第1ハードマスク66の開口67は、レジストマスク(図示せず)を介するエッチング法によって形成されてもよい。
次に、図6Bを参照して、絶縁性の第2ハードマスク68が、第1ウエハ主面62の上に形成される。第2ハードマスク68は、第1ハードマスク66および第1トレンチ部11の内壁に沿って膜状に形成される。第2ハードマスク68は、CVD法および/または酸化処理法(たとえば熱酸化処理法)によって形成されてもよい。
次に、図6Lを参照して、第2ベース電極層75の不要な部分が除去される。第2ベース電極層75の不要な部分は、所定パターンを有するレジストマスク(図示せず)を介するエッチング法(エッチバック法)によって除去されてもよい。エッチング法は、ウエットエッチング法および/またはドライエッチング法であってもよい。第2ベース電極層75は、第1トレンチ部11の第1底壁14が露出するまで除去される。第2ベース電極層75は、この形態では、第2トレンチ部12の第2側壁16が露出するまで除去される。
第4ベース絶縁層76において絶縁体31の第1領域34となる部分は、ボディ領域8のp型不純物と同一種のp型不純物を含んでいてもよい。第4ベース絶縁層76において絶縁体31の第1領域34となる部分は、ソース領域51のn型不純物と同一種のn型不純物を含んでいてもよい。
エッチング法は、ウエットエッチング法および/またはドライエッチング法であってもよい。第5ベース絶縁層77は、第1トレンチ部11の第1側壁13が露出するまで除去される。これにより、第2トレンチ部12内に第1領域34を含み、第1トレンチ部11内に第2領域35を含む絶縁体31が形成される。
レジストマスクは、複数のトレンチ10(絶縁体31)を一括して露出させ、それ以外の領域を被覆するように第1ウエハ主面62の上に形成されてもよい。エッチング法は、ウエットエッチング法および/またはドライエッチング法であってもよい。これにより、第1ウエハ主面62において複数の絶縁体31から露出する部分が除去される。
次に、図6Rを参照して、複数のコンタクト孔41のコンタクト底壁43にコンタクト領域52が形成される。コンタクト領域52は、イオン注入マスク(図示せず)を介するイオン注入法によってコンタクト底壁43にp型不純物を導入することによって形成される。
第1層57は、コンタクト孔41の内壁および絶縁体31の露出面32に沿って膜状に形成される。第2層58は、第1層57に沿って膜状に形成される。第1層57および第2層58は、スパッタ法および/またはCVD法によってそれぞれ形成されてもよい。
次に、第4ベース電極層79の不要な部分が除去される。第4ベース電極層79の不要な部分は、所定パターンを有するレジストマスク(図示せず)を介するエッチング法によって除去されてもよい。エッチング法は、ウエットエッチング法および/またはドライエッチング法であってもよい。これにより、所定パターンを有する第2電極部55が形成される。
半導体装置81は、絶縁体31の露出面32および第1電極部54の電極面56が半導体層2の第1主面3と同一平面上に位置している点において、半導体装置1とは異なる。コンタクト孔41は、半導体層2の第1主面3を第2主面4側に向けて掘り下げることによって形成されている。絶縁体31の第2領域35の厚さは、絶縁体31の第1領域34の厚さを超えていてもよい。
以上、半導体装置81によっても、半導体装置1に対して述べた効果と同様の効果を奏することができる。
半導体装置1では、絶縁層21が底側絶縁層22および開口側絶縁層23を含み、埋設電極24が底側電極25、開口側電極26および中間絶縁層27を含む。これに対して、半導体装置91では、絶縁層21が底側絶縁層22を含まず、埋設電極24が底側電極25および中間絶縁層27を含まない。半導体装置91では、絶縁層21が開口側絶縁層23に対応したゲート絶縁層92を含み、埋設電極24が開口側電極26に対応したゲート電極93を含む。
ゲート電極93は、導電性ポリシリコン、タングステン、アルミニウム、銅、アルミニウム合金および銅合金のうちの少なくとも1種を含んでいてもよい。ゲート電極93は、この形態では、導電性ポリシリコンを含む。ゲート電極93は、n型ポリシリコンまたはp型ポリシリコンを含んでいてもよい。
本発明の実施形態について説明したが、本発明はさらに他の形態で実施できる。
前述の各実施形態において、p型の半導体部分がn型の半導体部分とされ、n型の半導体部分がp型の半導体部分とされてもよい。この場合、前述の各実施形態の説明は、「n型」の部分が「p型」と読み替えられ、「p型」の部分が「n型」と読み替えられる。
この場合、前述の各実施形態において、MISFETの「ソース」がIGBTの「エミッタ」に読み替えられ、MISFETの「ドレイン」がIGBTの「コレクタ」に読み替えられる。IGBTを含む半導体装置によっても、前述の半導体装置1に対して述べた効果と同様の効果を奏することができる。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
2 半導体層
3 第1主面
8 ボディ領域
10 トレンチ
11 第1トレンチ部
12 第2トレンチ部
13 第1トレンチ部の第1側壁
14 第1トレンチ部の第1底壁
16 第2トレンチ部の第2側壁
17 第2トレンチ部の第2底壁
21 絶縁層
22 底側絶縁層
23 開口側絶縁層
24 埋設電極
25 底側電極
26 開口側電極
27 中間絶縁層
31 絶縁体
32 露出面
41 コンタクト孔
51 ソース領域
52 コンタクト領域
53 ソース電極
54 第1電極部
55 第2電極部
81 半導体装置
91 半導体装置
W1 第1トレンチ部の第1幅
W2 第2トレンチ部の第2幅
WC コンタクト幅
Claims (20)
- 主面を有する半導体層と、
第1幅を有し、前記主面に形成された第1トレンチ部、および、前記第1幅未満の第2幅を有し、前記第1トレンチ部の底壁に形成された第2トレンチ部をそれぞれ含み、互いに間隔を空けて前記主面に形成された複数のトレンチと、
各前記第2トレンチ部の内壁に形成された絶縁層と、
前記絶縁層を挟んで各前記第2トレンチ部に埋設された第1電極と、
前記第1電極を被覆するように各前記第1トレンチ部に埋設された絶縁体と、
複数の前記絶縁体を露出させるように前記半導体層において複数の前記第1トレンチ部の間の領域に形成されたコンタクト孔と、
前記コンタクト孔に埋設された第2電極と、を含む、半導体装置。 - 前記コンタクト孔は、前記第1トレンチ部に連なっている、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記コンタクト孔は、前記第1幅未満の幅を有している、請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記コンタクト孔の幅は、前記第2幅未満である、請求項3記載の半導体装置。
- 平面視において各前記トレンチにおける前記第1トレンチ部および前記第2トレンチ部の間の距離は、前記コンタクト孔の幅以下である、請求項3または4に記載の半導体装置。
- 前記絶縁体は、前記半導体層の前記主面に対して前記第2トレンチ部側に位置する露出面を有している、請求項1〜5のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記第2電極は、前記絶縁体を被覆する部分、および、前記コンタクト孔に埋設された部分を含む、請求項1〜6のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記半導体層の前記主面の表層部において複数の前記トレンチの間の領域に形成された第1導電型のボディ領域をさらに含み、
前記第2電極は、前記ボディ領域に電気的に接続されている、請求項1〜7のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記ボディ領域内において前記第1トレンチ部の底壁に沿う領域に形成された第2導電型の不純物領域をさらに含み、
前記第2電極は、前記不純物領域に電気的に接続されている、請求項8に記載の半導体装置。 - 前記ボディ領域内において前記コンタクト孔の底壁に沿う領域に形成され、前記ボディ領域の第1導電型不純物濃度を超える第1導電型不純物濃度を有する第1導電型のコンタクト領域をさらに含み、
前記第2電極は、前記コンタクト領域を介して前記ボディ領域に電気的に接続されている、請求項8または9に記載の半導体装置。 - 前記第1電極は、前記絶縁層を挟んで前記第2トレンチ部の底壁側に埋設された底側電極、前記絶縁層を挟んで前記第2トレンチ部の開口側に埋設された開口側電極、ならびに、前記底側電極および前記開口側電極の間に介在する中間絶縁層を含む絶縁分離型の電極構造を有している、請求項1〜10のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記絶縁層は、前記第2トレンチ部の底壁側の領域を被覆し、第1厚さを有する底側絶縁層、および、前記第2トレンチ部の開口側の領域を被覆し、前記第1厚さ未満の第2厚さを有する開口側絶縁層を含み、
前記底側電極は、前記底側絶縁層を挟んで前記第2トレンチ部の底壁側に埋設され、
前記開口側電極は、前記開口側絶縁層を挟んで前記第2トレンチ部の開口側に埋設されている、請求項11に記載の半導体装置。 - 前記底側電極には、基準電圧またはゲート電圧が印加され、
前記開口側電極には、ゲート電圧が印加される、請求項11または12に記載の半導体装置。 - 前記第1電極は、一体物として前記第2トレンチ部に埋設されている、請求項1〜10のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 主面を有する半導体層と、
第1幅を有し、前記主面に形成された第1トレンチ部、および、前記第1幅未満の第2幅を有し、前記第1トレンチ部の底壁に形成された第2トレンチ部をそれぞれ含み、互いに間隔を空けて前記主面に形成された複数のトレンチと、
各前記第2トレンチ部の内壁に形成された絶縁層と、
前記絶縁層を挟んで各前記第2トレンチ部の底壁側に埋設された底側電極と、
前記絶縁層を挟んで各前記第2トレンチ部の開口側に埋設された開口側電極と、
前記底側電極および前記開口側電極の間に介在するように各前記第2トレンチ部内に形成された中間絶縁層と、
前記開口側電極を被覆するように各前記第1トレンチ部に埋設された絶縁体と、
複数の前記絶縁体を露出させるように前記半導体層において複数の前記第1トレンチ部の間の領域に形成されたコンタクト孔と、
前記コンタクト孔に埋設された電極と、を含む、半導体装置。 - 前記コンタクト孔は、前記第1トレンチ部に連なっている、請求項15に記載の半導体装置。
- 前記絶縁層は、前記第2トレンチ部の底壁側の領域を被覆し、第1厚さを有する底側絶縁層、および、前記第2トレンチ部の開口側の領域を被覆し、前記第1厚さ未満の第2厚さを有する開口側絶縁層を含み、
前記底側電極は、前記底側絶縁層を挟んで前記第2トレンチ部の底壁側に埋設され、
前記開口側電極は、前記開口側絶縁層を挟んで前記第2トレンチ部の開口側に埋設されている、請求項15または16に記載の半導体装置。 - 前記半導体層の前記主面の表層部において複数の前記トレンチの間の領域に形成された第1導電型のボディ領域をさらに含み、
前記電極は、前記ボディ領域に電気的に接続されている、請求項15〜17のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記ボディ領域内において前記第1トレンチ部の底壁に沿う領域に形成された第2導電型の不純物領域をさらに含み、
前記電極は、前記不純物領域に電気的に接続されている、請求項18に記載の半導体装置。 - 前記ボディ領域内において前記コンタクト孔の底壁に沿う領域に形成され、前記ボディ領域の第1導電型不純物濃度を超える第1導電型不純物濃度を有する第1導電型のコンタクト領域をさらに含み、
前記電極は、前記コンタクト領域を介して前記ボディ領域に電気的に接続されている、請求項18または19に記載の半導体装置。
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