JP2020161028A

JP2020161028A - サーボモータ制御装置

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Publication number: JP2020161028A
Application number: JP2019062383A
Authority: JP
Inventors: 登廣瀬; Noboru Hirose; 敬介辻川; Keisuke Tsujikawa
Original assignee: Fanuc Corp
Current assignee: Fanuc Corp
Priority date: 2019-03-28
Filing date: 2019-03-28
Publication date: 2020-10-01
Anticipated expiration: 2039-03-28
Also published as: US20200310378A1; CN111756309A; DE102020203599A1; US11256226B2; JP6923587B2

Abstract

【課題】被駆動体の位置及び被駆動体が受ける反力を正確に制御できるサーボモータ制御装置を提供すること。【解決手段】サーボモータにより駆動される被駆動体の目標位置を特定する位置指令を作成する位置指令作成部と、被駆動体が受けるべき目標反力を特定する反力指令を作成する反力指令作成部と、被駆動体の実際の位置を取得する位置取得部と、この位置を目標位置に近付けるよう位置基準駆動信号を生成する位置基準駆動制御部と、被駆動体が受けている反力を取得する反力取得部と、この反力を目標反力に近付けるよう反力基準駆動信号を生成する反力基準駆動制御部と、位置基準駆動信号及び反力基準駆動信号のいずれかを選択する駆動信号選択部と、を備え、位置指令作成部は、目標位置が時間に対して二次以上の関係となるよう位置指令を作成し、反力指令作成部は、目標反力と目標位置との関係が略線形となるよう反力指令を作成する。【選択図】図２

Description

本発明は、サーボモータ制御装置に関する。

例えばプレス加工におけるダイ等の被駆動体の時間毎の位置及び圧力（被駆動体が受ける反力）を正確に制御したい場合がある。被駆動体に作用する圧力は、例えばワークのばらつき等のわずかな条件の違いにより大きく変化するおそれがある。そこで、詳細なフィードバック制御が可能なサーボモータを用いて被駆動体を駆動し、被駆動体の位置及び力を制御する技術が提案されている。

例として、特許文献１には、「サーボモータによって駆動される被駆動体が外部より受ける力を検出する力検出手段と、前記被駆動体の位置を指令する位置指令を作成する位置指令作成手段と、前記被駆動体の位置を検出する位置検出手段と、前記被駆動体の受けるべき力を指令する力指令を作成する力指令作成手段と、前記位置指令作成手段によって作成された位置指令と前記位置検出手段によって検出された位置とから求めた位置偏差に基づいてモータ動作指令を作成する位置制御処理手段と、前記力指令作成手段によって作成された力指令と前記力検出手段によって検出された力とから求めた力偏差に基づいてモータ動作指令を作成する力制御処理手段と、前記位置制御処理手段によって作成されたモータ動作指令と前記力制御処理手段によって作成されたモータ動作指令とを比較することにより、前記位置制御処理手段のモータ動作指令に従って前記サーボモータの動作を制御する位置制御と前記力制御処理手段のモータ動作指令に従って前記サーボモータの動作を制御する力制御とを選択的に切り換える制御方式選択手段と備え、前記被駆動体に外部より力を加えたときに、前記被駆動体が予め定められた力を受けるようにサーボモータの動作を制御するサーボモータの制御装置において、前記制御方式選択手段が位置制御と力制御とを切り換えるタイミングを変更するために、前記力指令作成手段によって作成された力指令又は前記位置指令作成手段によって作成された位置指令を補正して、前記力制御処理手段又は前記位置制御処理手段に送る指令補正手段をさらに備えることを特徴とするサーボモータの制御装置」が記載されている。

特開２００６−１３０５３３号公報

特許文献１に記載の制御装置は、被駆動体に外部から力が加わっている状態では力が所望の値になるよう制御し、被駆動体に外部から力が加わっていない状態では位置が所望の値になるよう制御するものであり、被駆動体に外部から力が加わっている状態で被駆動体の位置を制御するものではない。具体的には、特許文献１に記載の技術では、被駆動体の力を指令値に合わせるよう駆動することで、被駆動体の移動速度が過大となってしまう可能性がある。特に、加工効率を向上するため、速度をオーバーライドする場合、被駆動体の位置又は力が適切な値から外れる危険性が大きくなる。

このため、被駆動体の位置及び被駆動体が受ける反力を正確に制御できるサーボモータ制御装置が望まれている。

本開示の一態様に係るサーボモータ制御装置は、サーボモータにより駆動される被駆動体のあるべき目標位置を時間毎に特定する位置指令を作成する位置指令作成部と、前記サーボモータの駆動により前記被駆動体が受けるべき目標反力を時間毎に特定する反力指令を作成する反力指令作成部と、前記被駆動体の実際の位置を取得する位置取得部と、前記位置取得部によって取得される位置を前記目標位置に近付けるよう前記サーボモータを駆動する位置基準駆動信号を生成する位置基準駆動制御部と、前記被駆動体が実際に受けている反力を取得する反力取得部と、前記反力取得部によって取得される反力を前記目標反力に近付けるよう前記サーボモータを駆動する反力基準駆動信号を生成する反力基準駆動制御部と、前記位置基準駆動信号及び前記反力基準駆動信号のいずれかを選択する駆動信号選択部と、を備え、前記位置指令作成部は、前記目標位置が時間に対して二次以上の関係となるよう前記位置指令を作成し、前記反力指令作成部は、前記目標反力と前記目標位置との関係が略線形となるよう前記反力指令を作成する。

本開示によれば、被駆動体の位置及び被駆動体が受ける反力を正確に制御できるサーボモータ制御装置を提供することができる。

本開示の一実施形態のサーボモータ制御装置を備える工作機械の構成を示すブロック図である。図１のサーボモータ制御装置において作成される位置指令及び反力指令を示す図である。図１のサーボモータ制御装置における位置指令及び反力指令の制御を示すブロック図である。図１のサーボモータ制御装置において作成される位置指令及び反力指令の代案を示す図である。図１のサーボモータ制御装置における制御の手順を示すフローチャートである。

以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら説明する。図１は、本開示の一実施形態のサーボモータ制御装置１を備える構成を備える工作機械１００の構成を示すブロック図である。

図１の工作機械１００は、被駆動体（例えばプレス型）Ｗと、被駆動体Ｗを駆動するサーボモータＭと、サーボモータＭに駆動電流を供給するサーボドライバＳと、サーボドライバＳに動作指令を入力するサーボモータ制御装置１とを備え、被駆動体Ｗの位置をサーボモータＭの回転位置として検出する位置検出部Ｐと、被駆動体Ｗが外部から受ける反力を検出する反力検出部Ｆと、を有する。

サーボモータ制御装置１は、サーボモータＭにより駆動される被駆動体Ｗの初期位置及び初期反力並びに到達位置及び到達反力を取得する基礎情報取得部１０と、被駆動体Ｗのあるべき目標位置を時間毎に特定する位置指令を作成する位置指令作成部２０と、サーボモータＭの駆動により被駆動体Ｗが受けるべき目標反力を時間毎に特定する反力指令を作成する反力指令作成部３０と、被駆動体Ｗの実際の位置を取得する位置取得部４０と、位置取得部４０によって取得される位置を目標位置に近付けるようサーボモータＭを駆動する位置基準駆動信号を生成する位置基準駆動制御部５０と、被駆動体Ｗが実際に受けている反力を取得する反力取得部６０と、反力取得部６０によって取得される反力を目標反力に近付けるようサーボモータＭを駆動する反力基準駆動信号を生成する反力基準駆動制御部７０と、位置基準駆動信号及び反力基準駆動信号のいずれかを選択する駆動信号選択部８０と、を備える。

サーボモータ制御装置１は、ＣＰＵ、メモリ等を有するコンピュータ装置に適切なプログラムをインストールすることよって構成することができる。サーボモータ制御装置１の基礎情報取得部１０、位置指令作成部２０、反力指令作成部３０、位置取得部４０、位置基準駆動制御部５０、反力取得部６０、反力基準駆動制御部７０及び駆動信号選択部８０は、機能的に区別されるものであって、物理的な構造及びプログラムの構造において明確に区分可能なものでなくてもよい。

基礎情報取得部１０は、例えば加工プログラムを解析して、加工プログラムの各指令における被駆動体Ｗの初期位置及び初期反力（１つ前の指令の到達位置及び到達圧力の位置及び反力）並びに到達位置及び到達反力を取得する構成とすることができる。

位置指令作成部２０は、基礎情報取得部１０が取得した被駆動体Ｗの初期位置及び到達位置、並びに加工プログラムにおいて指定又はサーボモータ制御装置１内部に予めされるパラメータに基づいて、被駆動体Ｗの時間毎の目標位置が時間に対して二次以上の関係となるような位置指令を作成する。つまり、位置指令作成部２０は、目標位置ｘを二次以上の時間関数ｘ（ｔ）＝Ａ_ｎ・ｔ^ｎ＋Ａ_ｎ−１・ｔ^ｎ−１＋・・・＋Ａ_０・ｔ^０として算出するよう構成することができる。なお、ｎは２以上の整数であり、Ａ_ｎは各次の係数である。

具体例として、位置指令作成部２０は、図２に示すように目標位置を二次の時間関数ｘ（ｔ）＝Ａ_２・ｔ^２＋Ａ_１・ｔ＋Ａ_０として経時変化させる位置指令を作成するよう構成することができる。この場合、位置指令は、最初の目標位置を初期位置と等しい値とし、且つ目標位置の二階微分値（加速度）を一定とする第１位置変化時間Ｑ１と、第１位置変化時間Ｑ１後に目標位置の一階微分値（速度）を一定（Ａ_２＝０）とする第２位置変化時間Ｑ２と、第２位置変化時間Ｑ２後に目標位置の二階微分値を第１位置変化時間Ｑ１と正負が逆の値とし、且つ最後の目標位置を到達位置と等しい値とする第３位置変化時間Ｑ３と、を有することができる。なお、図２に破線で示す部分は、前工程及び後工程との間で指令値を保持する状態を示す。

位置指令における目標位置の二階微分値及び一階微分値の値には、工作機械１００の装置構成や加工対象物等に応じて適切な値が存在する。このため、これらの値は、加工プログラムにおいて指定される値又はサーボモータ制御装置１に予め記憶された値とすることが好ましい。

反力指令作成部３０は、目標反力と目標位置との関係が略線形となるよう反力指令を作成する。目標位置となる時間と目標反力となる時間との相関係数は、図３に示すように位置基準駆動制御部５０のゲインと反力基準駆動制御部７０のゲインとの比率以上であることが好ましい。位置指令と反力指令との相関係数を前記比率以上とすることによって、位置基準駆動信号によってサーボモータＭを駆動する場合の反力と目標反力との偏差、及び反力基準駆動信号によってサーボモータＭを駆動する場合の位置と目標位置との偏差を抑制することができる。これによって、工作機械１００におけるプレス圧力とプレス速度との両方を適切な範囲内に保持して、加工品質を向上することができる。位置指令と反力指令との相関係数の具体的な数値の下限としては、０．９０が好ましく、０．９５がより好ましい。

このため、反力指令作成部３０は、位置指令作成部２０と同様に、基礎情報取得部１０が取得した被駆動体Ｗの初期反力及び到達反力、並びに加工プログラムにおいて指定又はサーボモータ制御装置１内部に予めされるパラメータに基づいて、被駆動体Ｗの時間毎の目標反力が時間に対して二次以上の関係となるような反力指令を作成する。つまり、反力指令作成部３０は、目標反力ｙを目標位置ｘの時間関数ｘ（ｔ）と同じ次数の時間関数ｙ（ｔ）＝Ｂ_ｎ・ｔ^ｎ＋Ｂ_ｎ−１・ｔ^ｎ−１＋・・・＋Ｂ_０・ｔ^０として算出するよう構成することができる。

具体例として、反力指令作成部３０は、図２に示すように目標反力を二次の時間関数ｙ（ｔ）＝Ｂ_２・ｔ^２＋Ｂ_１・ｔ＋Ｂ_０として経時変化させる反力指令を作成するよう構成することができる。この場合、反力指令Ｓｙは、最初の目標反力を初期反力と等しい値とし、且つ目標反力の二階微分値（加速度）を一定とする第１反力変化時間Ｒ１と、第１反力変化時間Ｒ１後に目標反力の一階微分値（速度）を一定（Ｂ_２＝０）とする第２反力変化時間Ｒ２と、第２反力変化時間Ｒ２後に目標反力の二階微分値を第１反力変化時間Ｒ１と正負が逆の値とし、且つ最後の目標反力を到達反力と等しい値とする第３反力変化時間Ｒ３と、を有することができる。

この反力指令における第１反力変化時間Ｒ１、第２反力変化時間Ｒ２及び第３反力変化時間Ｒ３は、位置指令における第１位置変化時間Ｑ１、第２位置変化時間Ｑ２及び第３位置変化時間Ｑ３とそれぞれ略等しいことが好ましく、特に、反力指令における第２反力変化時間Ｒ２が位置指令における第２位置変化時間Ｑ２と略等しいことが好ましい。これにより、目標反力と目標位置との関係を略線形とすることができる。

第２位置変化時間Ｑ２に対する第２反力変化時間Ｒ２の比に下限としては０．９５が好ましく、０．９８がより好ましい。一方、第２位置変化時間Ｑ２に対する第２反力変化時間Ｒ２の比に上限としては１．０５が好ましく、１．０２がより好ましい。第２位置変化時間Ｑ２に対する第２反力変化時間Ｒ２の比を前記下限以上、上限以下とすることによって、位置指令と圧力指令との関係を略線形にして、実際の位置及び反力の目標位置及び目標反力に対するずれを抑制することができる。

また、反力指令作成部３０は、図４に示すように、目標反力が位置指令における目標位置が到達位置に達するよりも先に到達反力に達し、一定値となるような反力指令を作成してもよい。つまり、反力指令作成部３０は、反力指令における第１反力変化時間Ｒ１及び第３反力変化時間Ｒ３を、位置指令における第１位置変化時間Ｑ１及び第３位置変化時間Ｑ３よりもわずかに短くしてもよい。このため、反力指令は、全体の時間の長さを位置指令に一致させるために、第３反力変化時間Ｒ３後に、目標反力を到達反力に保持する反力保持時間Ｒ４を有してもよい。

このような反力指令を生成するために、加工プログラムに、第１反力変化時間Ｒ１及び第３反力変化時間Ｒ３の値又は第１位置変化時間Ｑ１及び第３位置変化時間Ｑ３に対する比を記述するようにしてもよい。この場合、加工プログラムの指令は、本実施形態を適用する指令であることを示すコード番号と、到達位置と、第２反力変化時間Ｒ２における速度と、到達反力と、第１反力変化時間Ｒ１の長さと、含むものであってもよい。

また、反力指令作成部３０は、反力指令における第２反力変化時間Ｒ２を位置指令における第２位置変化時間Ｑ２よりもわずかに短くすることにより、目標反力が位置指令における目標位置が到達位置に達するよりも先に到達反力に達して一定値となるような反力指令を作成してもよい。この場合、加工プログラムに第２反力変化時間Ｒ２の値又は第２位置変化時間Ｑ２に対する比を記述するようにしてもよい。

被駆動体Ｗの位置のフィードバック制御に比べて、被駆動体Ｗの反力のフィードバック制御は、応答が遅い。このため、反力指令における目標反力が位置指令における目標位置よりも先に到達反力に達することによって、反力の制御の応答の遅れを補償して、被駆動体Ｗの実際の位置と実際の反力とをより線形に近付けることができるので、目標位置及び目標反力に対する実際の位置及び反力の偏差をより小さくすることができる。

位置取得部４０は、位置検出部Ｐの検出値を取得する。なお、位置検出部Ｐは、例えばサーボモータＭに設けられるロータリエンコーダ等とすることができる。

位置基準駆動制御部５０は、位置指令における現在の目標位置と位置取得部４０が取得した被駆動体Ｗの実際の位置との偏差に基づいて、サーボモータＭの出力、例えば速度、トルク等を指定する位置基準駆動信号を生成する。つまり、位置基準駆動制御部５０は、被駆動体Ｗの位置を目標位置に近付けるよう位置基準駆動信号の値を変化させるフィードバック制御を行う。

反力取得部６０は、反力検出部Ｆの検出値を取得する。なお、反力検出部Ｆは、例えばひずみゲージ等を有する構成とすることができる。

反力基準駆動制御部７０は、反力指令における現在の目標反力と反力取得部６０が取得した被駆動体Ｗの実際の反力との偏差に基づいて、サーボモータＭの出力、例えば速度、トルク等を指定する反力基準駆動信号を生成する。つまり、反力基準駆動制御部７０は、被駆動体Ｗの反力を目標反力に近付けるよう反力基準駆動信号の値を変化させるフィードバック制御を行う。

駆動信号選択部８０は、位置基準駆動信号の値と反力基準駆動信号の値とを考慮して、位置基準駆動信号及び反力基準駆動信号のいずれか一方を選択してサーボドライバＳに入力する。具体的には、駆動信号選択部８０は、位置基準駆動信号及び反力基準駆動信号の値が小さい方をサーボドライバＳに入力する構成とすることができる。また、駆動信号選択部８０は、位置基準駆動信号と反力基準駆動信号とのいずれを選択するかを決定するために、位置基準駆動信号及び反力基準駆動信号の過去の値や、これら以外の他の情報を参酌してもよい。

図５に、サーボモータ制御装置１における、工作機械１００の一工程の制御の手順を示す。サーボモータ制御装置１は、被駆動体Ｗの初期位置及び初期反力並びに到達位置及び到達反力を含む基礎情報を取得する工程（ステップＳ１１：基礎情報取得工程）と、被駆動体Ｗの目標位置を時間毎に特定する位置指令を作成する工程（ステップＳ１２：位置指令作成工程）と、Ｗが受けるべき目標反力を時間毎に特定する反力指令を作成する工程（ステップＳ１３：反力指令作成工程）と、被駆動体Ｗの実際の位置を取得する工程（ステップＳ１４：位置取得工程）と、被駆動体Ｗの実際の位置を目標位置に近付けるようサーボモータＭを駆動する位置基準駆動信号を生成する工程（ステップＳ１５：位置基準駆動信号生成工程）と、被駆動体Ｗが実際に受けている反力を取得する工程（ステップＳ１６：反力検出工程）と、被駆動体Ｗの実際の反力を目標反力に近付けるようサーボモータＭを駆動する反力基準駆動信号を生成する工程（ステップＳ１７：反力基準駆動信号生成工程）と、位置基準駆動信号と反力基準駆動信号とを比較する工程（ステップＳ１８：駆動信号比較工程）と、サーボドライバＳに対して位置基準駆動信号を出力する工程（ステップＳ１９：位置基準駆動信号出力工程）と、サーボドライバＳに対して反力基準駆動信号を出力する工程（ステップＳ２０：反力基準駆動信号出力工程）と、本制御を適用する工程が終了したか否かを確認する工程（ステップＳ２１：終了確認工程）と、を備える。

ステップＳ１１の基礎情報取得工程では、基礎情報取得部１０により、被駆動体Ｗの初期位置、初期反力、到達位置及び到達反力、並びに位置指令及び反力指令を作成するために必要な情報を取得する。

ステップＳ１２の位置指令作成工程では、位置指令作成部２０により、基礎情報取得工程で取得した情報に基づいて、目標位置を時間とともに変化させる位置指令を作成する。

ステップＳ１３の反力指令作成工程では、反力指令作成部３０により、基礎情報取得工程で取得した情報に基づいて、目標位置との関係が略線形となるように目標反力を時間とともに変化させる反力指令を作成する。

ステップＳ１４の位置取得工程では、位置取得部４０により、被駆動体Ｗの現在の位置を確認する。

ステップＳ１５の位置基準駆動信号生成工程では、位置基準駆動制御部５０により、位置指令作成工程で作成された位置指令における現在の目標位置と位置取得工程で確認した被駆動体Ｗの位置との偏差を小さくするよう、サーボモータＭを駆動する位置基準駆動信号を生成する。

ステップＳ１６の反力検出工程では、反力取得部６０により、被駆動体Ｗに作用するの現在の反力を確認する。

ステップＳ１７の反力基準駆動信号生成工程では、反力基準駆動制御部７０により、反力指令作成工程で作成された反力指令における現在の目標反力と位置取得工程で確認した被駆動体Ｗの反力との偏差を小さくするよう、サーボモータＭを駆動する反力基準駆動信号を生成する。

ステップＳ１８の駆動信号比較工程では、位置基準駆動信号生成工程で生成した位置基準駆動信号の値が、反力基準駆動信号生成工程で生成した反力基準駆動信号の値以下であるか否かを確認する。この駆動信号比較工程において、位置基準駆動信号が反力基準駆動信号以下であった場合はステップＳ１９の位置基準駆動信号出力工程に進み、位置基準駆動信号が反力基準駆動信号超であった場合はステップＳ２０の反力基準駆動信号出力工程に進む。

ステップＳ１９の位置基準駆動信号出力工程では、位置基準駆動信号生成工程で生成した位置基準駆動信号を出力する。一方、ステップＳ２０の反力基準駆動信号出力工程では、反力基準駆動信号生成工程で生成した反力基準駆動信号を出力する。つまり、ステップＳ１８からＳ２０では、位置基準駆動信号と反力基準駆動信号とのうちで小さい方を選択してサーボドライバＳに対して出力する。

ステップＳ２１の終了確認工程では、本制御を適用する工程が終了したか、つまり、位置指令及び反力指令の時間の最後に達したかどうかを確認する。本制御を適用する工程が終了していない場合、つまり、位置基準駆動信号生成工程で利用していない目標位置及び反力基準駆動信号生成工程で利用していない目標反力が残っている場合には、ステップＳ１４に戻って以降の工程を繰り返す。

以上のように、サーボモータ制御装置１は、位置指令作成部２０において、時間に対して二次以上の関係となるような位置指令を作成し、反力指令作成部３０において、位置指令に対する関係が略線形となるような反力指令を作成する。これにより、サーボモータ制御装置１は、位置基準駆動制御部５０を用いて被駆動体Ｗの実際の位置を位置指令における目標位置に近付けるフィードバック制御を行った場合に、被駆動体Ｗに作用する実際の反力と反力指令における目標反力との差が大きくなることを抑制することができる。また、サーボモータ制御装置１は、反力基準駆動制御部７０を用いて被駆動体Ｗに作用する反力を反力指令における目標反力に近付けるフィードバック制御を行った場合にも、被駆動体Ｗの実際の位置と位置指令における目標位置との差が大きくなることを抑制することができる。この効果は、工作機械１００の動作速度を増加させるオーバーライドを行う場合に特に顕著となる。

以上、本開示に係るサーボモータ制御装置の実施形態について説明したが、本開示に係るサーボモータ制御装置は前述した実施形態に限るものではない。また、本実施形態に記載された効果は、本開示から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本開示に係るサーボモータ制御装置による効果は、本実施形態に記載されたものに限定されるものではない。

本開示に係るサーボモータ制御装置において、位置指令及び反力指令は、例えば指数関数、三角関数等の任意の関数として算出されてもよく、複数の一次関数を接続して算出されてもよく、任意の基準波形を参照して算出されてもよい。

１サーボモータ制御装置
１０基礎情報取得部
２０位置指令作成部
３０反力指令作成部
４０位置取得部
５０位置基準駆動制御部
６０反力取得部
７０反力基準駆動制御部
８０駆動信号選択部
Ｍサーボモータ
Ｗ被駆動体

Claims

サーボモータにより駆動される被駆動体のあるべき目標位置を時間毎に特定する位置指令を作成する位置指令作成部と、
前記サーボモータの駆動により前記被駆動体が受けるべき目標反力を時間毎に特定する反力指令を作成する反力指令作成部と、
前記被駆動体の実際の位置を取得する位置取得部と、
前記位置取得部によって取得される位置を前記目標位置に近付けるよう前記サーボモータを駆動する位置基準駆動信号を生成する位置基準駆動制御部と、
前記被駆動体が実際に受けている反力を取得する反力取得部と、
前記反力取得部によって取得される反力を前記目標反力に近付けるよう前記サーボモータを駆動する反力基準駆動信号を生成する反力基準駆動制御部と、
前記位置基準駆動信号及び前記反力基準駆動信号のいずれかを選択する駆動信号選択部と、
を備え、
前記位置指令作成部は、前記目標位置が時間に対して二次以上の関係となるよう前記位置指令を作成し、
前記反力指令作成部は、前記目標反力と前記目標位置との関係が略線形となるよう前記反力指令を作成する、サーボモータ制御装置。
前記目標位置となる時間と前記目標反力となる時間との相関係数が位置基準駆動制御部のゲインと反力基準駆動制御部のゲインとの比率以上である、請求項１に記載のサーボモータ制御装置。
前記位置指令作成部は、前記目標位置を二次以上の時間関数として算出し、
前記反力指令作成部は、前記目標反力を前記目標位置の時間関数と同じ次数の時間関数として算出する、請求項１又は２に記載のサーボモータ制御装置。
前記反力指令作成部は、前記目標反力が前記位置指令における前記目標位置よりも先に一定値となるよう前記反力指令を作成する、請求項１から３のいずれかに記載のサーボモータ制御装置。
前記被駆動体の初期位置及び初期反力並びに到達位置及び到達反力を取得する基礎情報取得部をさらに備え、
前記位置指令作成部は、最初の前記目標位置を前記初期位置と等しい値とし、且つ前記目標位置の二階微分値を一定とする第１位置変化時間と、前記第１位置変化時間後に前記目標位置の一階微分値を一定とする第２位置変化時間と、前記第２位置変化時間後に前記目標位置の二階微分値を前記第１位置変化時間と正負が逆の値とし、且つ最後の前記目標位置を前記到達位置と等しい値とする第３位置変化時間と、を有するよう、前記目標位置を経時変化させる前記位置指令を作成し、
前記反力指令作成部は、最初の前記目標反力を前記初期反力と等しい値とし、且つ前記目標反力の二階微分値を一定とする第１反力変化時間と、前記第１反力変化時間後に前記目標反力の一階微分値を一定とし、且つ前記第２位置変化時間と略等しい長さの第２反力変化時間と、前記第２反力変化時間後に前記目標反力の二階微分値が前記第１反力変化時間と正負が逆の値とし、且つ最後の前記目標反力を前記到達反力と等しい値とする第３反力変化時間と、を有するよう、前記目標反力を経時変化させる前記反力指令を作成する、請求項１から４のいずれかに記載のサーボモータ制御装置。
前記反力指令作成部は、前記第１反力変化時間又は前記第２反力変化時間をプログラムにより指定される時間とする請求項５に記載のサーボモータ制御装置。