WO2014064815A1 - サーボ制御装置 - Google Patents

サーボ制御装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2014064815A1
WO2014064815A1 PCT/JP2012/077653 JP2012077653W WO2014064815A1 WO 2014064815 A1 WO2014064815 A1 WO 2014064815A1 JP 2012077653 W JP2012077653 W JP 2012077653W WO 2014064815 A1 WO2014064815 A1 WO 2014064815A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
command
phase
function
motor
derivative
Prior art date
Application number
PCT/JP2012/077653
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
英俊 池田
貴弘 丸下
功次 馬原
澄 長谷川
英優 尾木
Original Assignee
三菱電機株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 三菱電機株式会社 filed Critical 三菱電機株式会社
Priority to DE112012007053.4T priority Critical patent/DE112012007053B4/de
Priority to PCT/JP2012/077653 priority patent/WO2014064815A1/ja
Priority to KR1020137024575A priority patent/KR101347921B1/ko
Priority to JP2013512282A priority patent/JP5283804B1/ja
Priority to US13/980,984 priority patent/US8890460B2/en
Priority to CN201280014728.9A priority patent/CN103907070B/zh
Priority to TW102115394A priority patent/TWI516888B/zh
Publication of WO2014064815A1 publication Critical patent/WO2014064815A1/ja

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B5/00—Anti-hunting arrangements
    • G05B5/01—Anti-hunting arrangements electric
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B6/00—Internal feedback arrangements for obtaining particular characteristics, e.g. proportional, integral or differential
    • G05B6/02—Internal feedback arrangements for obtaining particular characteristics, e.g. proportional, integral or differential electric

Definitions

  • the present invention relates to a servo control device that drives and controls a controlled object.
  • Servo control devices that drive and control industrial machines such as industrial robots, press devices, and line automation devices generate commands related to the motion (position and speed) of motors that drive the mechanical system. Control to follow.
  • the rigidity of the mechanical system is low (when the driven mechanical system is an arm or when the load machine is driven via a low-rigidity shaft or speed reducer), the low-rigidity part bends and the machine tip The movement of the motor is different from the movement of the motor.
  • vibration is generated after a command change such as a stop. Due to these causes, the motion of the machine tip has an error with respect to the command, and the control accuracy deteriorates.
  • Patent Document 1 obtains a second-order differential value related to time for the position command value generated by the position command block, and multiplies it by a gain constant to obtain a correction value. Seeking. The motor is controlled to follow a corrected position command value obtained by adding this correction value to the original position command value.
  • the servo control device may cause the industrial machine to periodically perform a specific pattern operation at a cycle that is not always constant.
  • a method including a command function unit, such as an electronic cam is used.
  • a phase signal that represents a phase within a cycle and increases or decreases with the passage of time is used.
  • the command function unit generates a periodic position command using a mathematical formula based on the phase signal and a data table reference.
  • a position command having the same shape with respect to the phase is repeatedly generated, and the motor position is caused to follow the position command.
  • Patent Document 2 As a technique for improving the control accuracy by further correcting the position command by a servo control device using such a command function unit, there is a technique described in Patent Document 2.
  • Patent Document 2 corrects a command for the purpose of improving the control accuracy of a servo control device that periodically performs the operation of the same pattern.
  • a periodic position command (position pattern) is generated using a command function unit (position pattern generator) with a phase signal (phase command value) as an input.
  • the command function unit uses the position command with advanced phase, and a coefficient for the second-order differential value or the third-order differential value with respect to the time of the position command. Is used to calculate the correction value.
  • noise is generated by switching whether or not to add the above-described correction value according to the magnitude of the absolute value of the second-order differential value or the third-order differential value of the position command.
  • the present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to obtain a servo control device capable of controlling a periodic operation with high accuracy even when a control object has low rigidity.
  • the present invention provides a motor motion corresponding to a motor position or a motor speed of the motor with respect to a control target composed of a motor and a mechanical system driven by the motor.
  • the tracking control unit that controls the motor to follow the motor motion command and a phase signal that represents the phase of the periodic operation to be performed by the control target are input, and the phase signal is converted into the phase signal by a preset first function.
  • FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of the servo control apparatus according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a configuration example of a control target.
  • FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of the servo control apparatus according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of the servo control apparatus according to the first embodiment of the present invention.
  • the servo control device 100A according to the first embodiment is a device that drives and controls a motor (a motor 11 to be described later) and a controlled object 1 that includes a mechanical system that is driven by the motor 11.
  • the control target 1 is an industrial machine such as an industrial robot, a press device, or a line automation device, and includes a motor 11 and a mechanical system connected to the motor 11.
  • the servo control device 100A drives and controls the control target 1 using an actuator such as a servo motor.
  • the servo control device 100A causes the control target 1 to perform a desired operation by causing the motor of the control target 1 to generate the motor torque ⁇ m.
  • the servo control device 100A sequentially changes the motor torque ⁇ m based on the motor position ym detected by a detector (not shown) so that the control object 1 performs a desired operation. Control the operating position.
  • the servo control device 100A includes a phase generation unit 3A, a command generation unit 5A, and a follow-up control unit 2.
  • 3 A of phase generation parts generate
  • the command generation unit 5A calculates a motor position command yr by a calculation described later, and outputs the calculated motor position command yr to the tracking control unit 2.
  • the follow-up control unit 2 inputs the motor position command yr output from the command generation unit 5A and the motor position ym detected by the control target 1, and sets the motor torque ⁇ m so that the motor position ym follows the motor position command yr. Generate. That is, the follow-up control unit 2 generates and controls the motor torque ⁇ m so that the motor motion represented by the motor position ym follows the motor position command yr, that is, the motor motion command.
  • the phase generation unit 3A is inside the servo control device 100A.
  • the phase generation unit 3A may not be provided inside the servo control device 100A.
  • the servo control device 100A may be configured to input a signal such as a rotation position of an external device that performs a rotation operation from the outside so as to synchronize with the operation of the external device.
  • the phase generation unit 3A for example, generates a phase signal ⁇ by integrating the phase velocity ⁇ designated from the outside over time, and outputs the phase velocity ⁇ and the phase signal ⁇ to the command generation unit 5A.
  • the phase generation unit 3A outputs an externally input phase signal ⁇ that increases or decreases with time to the command generation unit 5A, and outputs a phase velocity ⁇ corresponding to time differentiation of the phase signal ⁇ to the command generation unit 5A. It may be output.
  • the phase generation unit 3A calculates the phase velocity ⁇ using a filter having a sufficiently large noise removal effect so that the noise component due to quantization or the like included in the phase signal ⁇ does not increase due to the differential operation. To do.
  • the phase generation unit 3A outputs the phase signal ⁇ and the phase velocity ⁇ generated so as not to include the noise component to the command generation unit 5A.
  • the command generation unit 5A receives the phase signal ⁇ and the phase velocity ⁇ output from the phase generation unit 3A, calculates a motor position command yr, and outputs the motor position command yr to the follow-up control unit 2.
  • the command generation unit 5A includes a command function unit 51, a second derivative unit 52, a correction value calculation unit 53, and a correction value addition unit 54A.
  • the phase signal ⁇ output from the phase generation unit 3A is input to the command function unit 51 and the second derivative unit 52, and the phase velocity ⁇ output from the phase generation unit 3A to the correction value calculation unit 53. Is entered.
  • the command function unit 51 calculates a machine position command yr0 for the controlled object 1 based on the phase signal ⁇ . At this time, the command function unit 51 calculates the machine position command yr0 using a command function f ( ⁇ ) set in advance. In other words, the command function unit 51 calculates a mechanical motion command corresponding to the phase signal ⁇ using a command function f ( ⁇ ) (first function) set in advance.
  • the command function f ( ⁇ ) is, for example, a mathematical formula or a data table.
  • the command function f ( ⁇ ) is a data table
  • the correspondence between the point (value) of the phase signal ⁇ and the point (value) of the machine position command yr0 is set in the data table in advance.
  • a predetermined number of correspondence relationships are set in the data table.
  • the command function unit 51 calculates the machine position command yr0 by interpolating the data table reference value with respect to the input phase signal ⁇ having an arbitrary value. At this time, the command function unit 51 can easily calculate the machine position command yr0 by using linear interpolation. Note that the command function unit 51 may use complicated spline interpolation or the like.
  • the command function unit 51 outputs the calculated machine position command yr0 to the correction value adding unit 54A.
  • a function (second function) corresponding to the second derivative f ′′ ( ⁇ ) of the command function f ( ⁇ ) is set in advance.
  • the second derivative f ′′ ( ⁇ ) is a second-order derivative of the command function f ( ⁇ ) with respect to the phase signal ⁇ .
  • the second derivative unit 52 calculates the value of the function corresponding to the input phase signal ⁇ as the second-order differential basic signal xb and outputs it to the correction value calculation unit 53.
  • the second function of the second derivative unit 52 is, for example, a mathematical formula or a data table, like the command function f ( ⁇ ). In some cases, the second function approximates the second derivative f ′′ ( ⁇ ) of the command function f ( ⁇ ). However, if it is not necessary to describe it strictly below, The second function and the second derivative f ′′ ( ⁇ ) are written without distinction.
  • the correspondence between the point (value) of the signal ⁇ and the point (value) of the second-order differential basic signal xb is set in advance in the data table.
  • the second derivative unit 52 calculates the second-order differential basic signal xb by interpolating the data table reference value with respect to the input phase signal ⁇ having an arbitrary value.
  • the second derivative unit 52 outputs the calculated second-order differential basic signal xb to the correction value calculation unit 53.
  • the correction value calculation unit 53 inputs the second-order differential basic signal xb and the phase velocity ⁇ , and calculates the square of the phase velocity ⁇ , a predetermined constant (first constant), and the second-order differential basic signal xb.
  • a command correction value yh for correcting the machine position command yr0 is calculated using the product.
  • the correction value calculator 53 outputs the calculated command correction value yh to the correction value adder 54A.
  • the predetermined constant is set in accordance with a mechanical constant related to the rigidity or vibration of the controlled object 1 and is set to be a reciprocal of the square of the anti-resonance frequency of the controlled object 1 described later. .
  • the correction value calculation unit 53 includes a square calculation unit 53a, a constant multiplication unit 53b, and a second-order differential multiplication unit 53c.
  • the square calculation unit 53a calculates the square of the phase velocity ⁇ and outputs it to the constant multiplication unit 53b.
  • constant multiplication section 53b to the output from the square calculation unit 53a, multiplied by a predetermined constant (e.g., a value based on the square of the reciprocal of the anti-resonance frequency omega z of the controlled object 1).
  • the constant multiplier 53b outputs the multiplied value to the second-order differential multiplier 53c.
  • the second-order differential multiplier 53c multiplies the output from the constant multiplier 53b and the second-order differential basic signal xb to calculate the command correction value yh. Then, the second-order differential multiplication unit 53c outputs the command correction value yh to the correction value addition unit 54A.
  • the correction value calculation unit 53 calculates the command correction value yh to be the product of the square of the phase velocity ⁇ , the reciprocal of the square of the antiresonance frequency ⁇ z , and the second derivative basic signal xb. That's fine.
  • the correction value adding unit 54A adds the command correction value yh output from the correction value calculating unit 53 to the machine position command yr0 output from the command function unit 51, and uses the result (added value) as a motor position command yr as a follow-up control unit. Output to 2.
  • the command generation unit 5A calculates the motor position command yr based on the phase signal ⁇ and the phase velocity ⁇ and outputs the motor position command yr to the follow-up control unit 2 by the above operation.
  • the follow-up control unit 2 inputs the motor position command yr output from the command generation unit 5A and the motor position ym detected from the control target 1.
  • the follow-up control unit 2 generates a motor torque ⁇ m while controlling the current of the motor 11 in the control target 1 so that the motor position ym follows and matches the motor position command yr.
  • the follow-up control unit 2 uses, for example, cascade control including motor position control, motor speed control, and motor current control.
  • FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a configuration example of a control target.
  • Control object 1 includes a motor 11 and a mechanical load 13 coupled by an elastic portion 12 such as a shaft.
  • the motor 11 is driven by the motor torque ⁇ m generated by the servo control device 100 ⁇ / b> A, and the mechanical load 13 is driven via the elastic portion 12.
  • the load inertia of the mechanical load 13 is JL
  • the load position which is the position of the operating mechanical load 13 is yL
  • the spring constant of the elastic portion 12 is Kg
  • the viscosity constant of the elastic portion 12 is Cg
  • the motor 11 motor inertia is JM.
  • ⁇ z is the anti-resonance frequency of the controlled object 1
  • ⁇ is the attenuation coefficient, which are represented by the following equations (2) and (3), respectively.
  • ⁇ z (Kg / JL) (1/2) (2)
  • ⁇ Cg / ⁇ 2 (JL ⁇ Kg) (1/2) ⁇ (3)
  • the transfer function from the motor position command yr to the motor position ym as a result of being controlled by the action of the tracking control unit 2 is represented as G (s). That is, when the following equation (4) holds, the transfer function from the motor position command yr to the load position yL is expressed by the following equation (5).
  • ym / yr G (s) (4)
  • yL / yr G (s) ⁇ 1 / (s 2 / ⁇ z 2 + 2 ⁇ ⁇ s / ⁇ z +1) ⁇ (5)
  • the equation (6) includes the secondary resonance characteristic. For this reason, it can be seen that the response of the load position yL has an error and behaves at an anti-resonance frequency ⁇ z with respect to a change in the motor position command yr.
  • the anti-resonance frequency ⁇ z corresponds to the vibration frequency of the mechanical system.
  • the command generation unit 5A calculates the command correction value yh expressed by the following equation (7) with respect to the input of the phase signal ⁇ by performing the above-described operation.
  • yh f ′′ ( ⁇ ) ⁇ ⁇ 2 / ⁇ z 2 (7)
  • the first-order differential value and the second-order differential value of the machine position command yr0 are expressed by the following expressions (8) and (9).
  • df ( ⁇ ) / dt ⁇ df ( ⁇ ) / d ⁇ (d ⁇ / dt)
  • d 2 f ( ⁇ ) / dt 2 ⁇ d 2 f ( ⁇ ) / d ⁇ 2 ⁇ (d ⁇ / dt) 2 + ⁇ df ( ⁇ ) / d ⁇ (d 2 ⁇ / dt 2 ) (9)
  • Equation (10) d 2 f ( ⁇ ) / d ⁇ 2 is rewritten to f ′′ ( ⁇ ), d ⁇ / dt is rewritten to ⁇ , f ( ⁇ ) is rewritten to yr0, and time derivative is rewritten to operator s. , (10) can be rewritten as the following expression (11).
  • the command is equivalently obtained by multiplying the second-order differential value related to the time of the machine position command yr0 by a predetermined constant.
  • the correction value yh can be calculated.
  • the load position yL can be transferred to the machine position command yr0 with high speed and high accuracy. It becomes possible to control to follow.
  • the characteristic of the command generation unit 5A is set by using a predetermined constant set in the constant multiplication unit 53b by using an anti-resonance frequency ⁇ z that is a mechanical characteristic of the control target 1 (for example, a mechanical characteristic related to rigidity or vibration frequency). It is obtained by doing.
  • a mechanical characteristic of the control target 1 for example, a mechanical characteristic related to rigidity or vibration frequency.
  • the anti-resonance frequency ⁇ z corresponds to the vibration frequency of the controlled object 1.
  • it may be constituted by servo controller 100A so as to set the anti-resonance frequency omega z are measured automatically oscillation frequency servo control device 100A in the command generating unit 5A.
  • one of the features of the servo control apparatus 100A according to the present embodiment is that the second derivative basic signal xb is calculated using the second derivative unit 52 in which a function for the phase signal ⁇ is set, and the phase velocity ⁇
  • the command correction value yh is calculated as the product of the square of 2 and the second-order differential basic signal xb and a predetermined constant. As described above, the servo control device 100A calculates the command correction value yh represented by the equation (12) without directly performing the second-order time differentiation.
  • the command correction value yh is calculated based on the reference value of the second derivative unit 52 in which a function or data table for the phase signal ⁇ is set, numerical value quantization and time An increase in noise components due to differentiation can be suppressed. As a result, highly accurate control can be easily realized without adding a filter or the like.
  • the servo control apparatus 100A calculates the second-order differential basic signal xb corresponding to the second-order differential value related to the phase signal ⁇ of the machine position command yr0 by the second derivative unit 52. Then, the servo control device 100A multiplies the second-order differential basic signal xb, the square of the phase velocity ⁇ generated by the phase generation unit 3A so as not to include a noise component, and a predetermined constant to obtain a command correction value yh. Is calculated. As a result, it is possible to realize control characteristics equivalent to using the second-order time differentiation of the machine position command yr0 corresponding to the change of the phase velocity ⁇ (change of the period of the periodic operation to be performed by the control target 1). Further, since the time differentiation is not performed in the actual calculation, the motor position command yr in which the noise component of the signal is suppressed can be calculated.
  • the servo control device 100A can remove the adverse effects of noise without deteriorating the control accuracy.
  • the command function f ( ⁇ ) of the command function unit 51 and the second derivative f ′′ ( ⁇ ) of the second derivative unit 52 are calculated by a preset data table and interpolation calculation.
  • the method for creating this data table is not particularly limited.
  • the command function f ( ⁇ ) and the second derivative f ′′ ( ⁇ ) can be calculated as mathematical formulas for the phase signal ⁇ , even a very complicated calculation can be calculated in real time by making a table. Problems due to time can be avoided.
  • a data table corresponding to the second derivative f ′′ ( ⁇ ) is created in advance, if the data table is calculated using a high-precision floating point calculation, noise errors may be mixed. Data tables can be created without Therefore, high-precision control can be realized without causing a problem of high-frequency noise.
  • a numerical table for a finite number of phase signal ⁇ points may be set without being based on a mathematical expression. In this case, it is possible to easily set a periodic operation of an arbitrary pattern that is difficult to express by a mathematical expression. In such a case, as a simple method based on the data table of the command function f ( ⁇ ) of the command function unit 51, the second derivative is obtained by performing the difference calculation regarding the point of the adjacent phase signal ⁇ temporarily. When a data table corresponding to f ′′ ( ⁇ ) is obtained, the high frequency component in the region of the phase signal ⁇ may be excessively increased.
  • the high frequency component is too large, a smoothing operation using a filter is necessary. However, since it is only necessary to perform the smoothing operation offline in advance instead of real-time calculation, the high frequency component is not generated without causing a phase error. It becomes possible to suppress.
  • a technique called a zero phase filter is used in the filter calculation that operates in the region of the phase signal ⁇ . That is, the filter operation having the characteristic of suppressing the high frequency component related to the phase signal ⁇ is applied twice in the forward direction and the reverse direction of the phase signal ⁇ .
  • a function corresponding to the second derivative f ′′ ( ⁇ ) in the second derivative unit 52 can be created while suppressing high frequency components without causing a phase error.
  • the high frequency noise of the output signal is not increased, and the control object 1 is not affected by vibration or control error.
  • the frequency characteristics near the anti-resonance frequency ⁇ z that has a large influence high-precision real-time calculation can be performed. Therefore, highly accurate control can be realized.
  • functions corresponding to the function f ( ⁇ ) of the command function unit 51 and the f ′′ ( ⁇ ) of the second derivative unit 52 are used as a data table for a predetermined number of points of the phase signal ⁇ .
  • mathematical calculation may be set as the command function f ( ⁇ ) or the second derivative f ′′ ( ⁇ ).
  • the command function f ( ⁇ ) or the second derivative f ′′ ( ⁇ ) can be realized by a function capable of real-time calculation, it is not necessary to set a data table, and mathematical calculation is performed on the phase signal ⁇ . May be.
  • the command function unit 51 having the phase signal ⁇ as an input calculates the machine position command yr0
  • the correction value calculation unit 53 having the phase signal ⁇ and the phase velocity ⁇ as inputs calculates the command correction value yh
  • the correction value adding unit 54A calculates the motor position command yr.
  • the follow-up control unit 2 controls the control object 1 so that the motor position ym follows the motor position command yr.
  • the servo control device 100A can be operated in the speed dimension with the same configuration, and in this case, the same effect as the position control can be obtained.
  • the command function unit 51 using the phase signal ⁇ as an input calculates a machine speed command as a machine motion command
  • the correction value calculation unit 53 using the phase signal ⁇ and the phase speed ⁇ as inputs calculates a speed command correction value.
  • the correction value adding unit 54A calculates a motor speed command as a motor motion command.
  • the follow-up control unit 2 controls the control target 1 so that the motor speed that is the motor motion follows the motor speed command.
  • the command signal quantization is performed while suppressing the vibration and the control error due to the low rigidity of the controlled object 1 that performs the periodic operation, and corresponding to the period change.
  • High-precision control can be realized without causing the noise problem. Therefore, even if the control object 1 has low rigidity, it is possible to control the periodic operation with high accuracy.
  • FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of the servo control apparatus according to the second embodiment of the present invention.
  • constituent elements in FIG. 3 constituent elements that achieve the same functions as those of the servo control device 100 ⁇ / b> A of the first embodiment shown in FIG. 1 are given the same numbers, and redundant descriptions are omitted.
  • the servo control device 100B according to the second embodiment realizes control with higher accuracy than the servo control device 100A by performing more complicated settings and calculations than the servo control device 100A.
  • the servo control device 100B according to the present embodiment includes the first derivative unit 62 and the acceleration correction value calculation unit 63, thereby improving the control accuracy even when the phase velocity ⁇ representing the change rate of the phase signal ⁇ is not constant. . Further, by providing the first derivative unit 62 and the attenuation correction value calculation unit 64, the control accuracy can be improved even when the attenuation in the vibration characteristics of the controlled object 1 is large.
  • the servo control device 100B includes a phase generation unit 3B, a command generation unit 5B, and a follow-up control unit 2.
  • the phase generation unit 3B outputs the phase signal ⁇ and the phase velocity ⁇ to the command generation unit 5B, similarly to the phase generation unit 3A in the first embodiment. Further, the phase generator 3B outputs a phase acceleration ⁇ corresponding to the time differentiation of the phase velocity ⁇ to the command generator 5B.
  • the phase acceleration ⁇ can be output without including noise components by a method of setting it as a time-series pattern in advance.
  • the command generation unit 5B receives the phase signal ⁇ , the phase velocity ⁇ , and the phase acceleration ⁇ to calculate the motor position command yr, and outputs the calculated motor position command yr to the tracking control unit 2.
  • the command generation unit 5B includes a command function unit 51, a second derivative unit 52, a correction value calculation unit 53, a correction value addition unit 54B, a first derivative unit 62, and an acceleration correction value calculation unit 63. And an attenuation correction value calculation unit 64.
  • the phase signal ⁇ output from the phase generation unit 3B is input to the command function unit 51, the second derivative unit 52, and the first derivative unit 62. Further, the phase velocity ⁇ output from the phase generator 3B is input to the correction value calculator 53 and the attenuation correction value calculator 64. Further, the phase acceleration ⁇ output from the phase generator 3B is input to the acceleration correction value calculator 63.
  • a third function corresponding to the first derivative f ′ ( ⁇ ) of the command function f ( ⁇ ) in the command function unit 51 is set in advance.
  • the third function corresponding to the first derivative f ′ ( ⁇ ) is a function corresponding to a first-order differentiation of the command function f ( ⁇ ) with the phase signal ⁇ .
  • the first derivative unit 62 outputs the value of the third function corresponding to the input phase signal ⁇ to the acceleration correction value calculation unit 63 and the attenuation correction value calculation unit 64 as the first-order differential basic signal xb1.
  • the third function corresponding to the first derivative f ′ ( ⁇ ) is, for example, an equation or a data table, like the command function f ( ⁇ ) and the second derivative f ′′ ( ⁇ ).
  • the correspondence between the point (value) of the phase signal ⁇ and the point (value) of the first-order differential basic signal xb1 is expressed as follows: A predetermined number is set in advance in the data table.
  • the first derivative unit 62 calculates the first-order differential basic signal xb1 by interpolating the data table reference value with respect to the input arbitrary phase signal ⁇ .
  • the first derivative unit 62 outputs the calculated first-order differential basic signal xb1 to the acceleration correction value calculation unit 63 and the attenuation correction value calculation unit 64.
  • the acceleration correction value calculation unit 63 receives the first-order differential basic signal xb1 and the phase acceleration ⁇ , and accelerates the product of the first-order differential basic signal xb1, the phase acceleration ⁇ , and a predetermined constant (second constant). Calculated as hour correction value yha.
  • the acceleration correction value calculation unit 63 outputs the calculated acceleration correction value yha to the correction value addition unit 54B.
  • the predetermined constant used in the correction value calculation unit 63 at the time of acceleration is set according to the machine constant related to the rigidity or vibration of the controlled object 1, similarly to the predetermined constant used in the correction value calculation unit 53 in the first embodiment.
  • the second-order differential value related to the time of the machine position command yr0 (that is, f ( ⁇ )) is expressed by Expression (9) as described in the first embodiment.
  • Expression (9) is rewritten as Expression (16) below.
  • the sum of the command correction value yh and the acceleration correction value yha is expressed by the following equation (17).
  • the attenuation correction value calculation unit 64 inputs the first-order differential basic signal xb1 and the phase velocity ⁇ described above, and calculates the product of the first-order differential basic signal xb1, the phase velocity ⁇ , and a predetermined constant (third constant), Calculated as an attenuation correction value yhz.
  • the attenuation correction value calculation unit 64 outputs the calculated attenuation correction value yhz to the correction value addition unit 54B.
  • Predetermined constant in the attenuation correction value calculation unit 64 is twice the value based on the value obtained by multiplying the reciprocal of the anti-resonance frequency omega z of the damping coefficient ⁇ of the control object 1.
  • the calculated attenuation correction value yhz is represented by the following formula (19).
  • the correction value addition unit 54B adds the command correction value yh output from the correction value calculation unit 53 to the machine position command yr0 output from the command function unit 51, and the acceleration correction value yha output from the acceleration correction value calculation unit 63.
  • the result of adding the attenuation correction value yhz is output to the tracking control unit 2 as a motor position command yr.
  • the machine position can be obtained by combining the equations (6) and (20).
  • the transfer function from the command yr0 to the load position yL can be expressed by Expression (14) as in the first embodiment.
  • control object 1 is controlled so that the load position yL follows the machine position command yr0 with high speed and high accuracy by making the response of the tracking control unit 2 high speed and high accuracy and bringing the transfer function G (s) close to 1. It becomes possible to do.
  • the motor position command yr is calculated by adding all of the command correction value yh, the acceleration correction value yha, and the attenuation correction value yhz to the machine position command yr0.
  • the method for calculating the motor position command yr is not limited to this method.
  • the command generator 5B may calculate the motor position command yr by adding at least one of the acceleration correction value yha and the attenuation correction value yhz to the addition value of the machine position command yr0 and the command correction value yh.
  • the acceleration correction value calculator 63 is not required. Further, when the attenuation correction value yhz is not added when calculating the motor position command yr, the attenuation correction value calculation unit 64 becomes unnecessary.
  • the control object 1 that performs periodic operation can be reduced.
  • High-precision control can be realized without causing a problem of noise due to command signal quantization while suppressing vibrations and control errors due to rigidity and also responding to cycle changes.
  • the servo control device is suitable for controlling a controlled object that drives a mechanical system with a motor.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)
  • Control Of Electric Motors In General (AREA)

Abstract

　サーボ制御装置が、モータで機械系を駆動する制御対象１に対し、モータ位置またはモータ速度に対応するモータ運動がモータ運動指令に追従するよう制御する追従制御部２と、制御対象１に行わせる周期的動作の位相を表す位相信号θを入力し、予め設定した第１の関数により、位相信号θに応じた機械運動指令を算出する指令関数部５１と、第１の関数を位相信号で２階微分した関数である２次導関数として予め設定した第２の関数を用い、位相信号に応じた第２の関数の値を２階微分基礎信号として算出する２次導関数部５２と、位相速度の２乗値と、２階微分基礎信号と、第１の定数と、の積を用いて、モータ運動指令を補正する第１の指令補正値を演算する補正値演算部５３と、第１の指令補正値と機械運動指令との加算値に基づいてモータ運動指令を算出する補正値加算部５４Ａと、を備える。

Description

サーボ制御装置
　本発明は、制御対象を駆動制御するサーボ制御装置に関する。
　産業用ロボット、プレス装置、ライン自動化装置などの産業用機械を駆動制御するサーボ制御装置は、機械系を駆動するモータの運動（位置や速度）に関する指令を生成し、その指令にモータの運動が、追従するよう制御する。機械系の剛性が低い場合（駆動する機械系がアーム状の場合や、低剛性なシャフトや減速器を介して負荷機械を駆動する場合など）には、低剛性部が撓むことで機械先端の運動がモータの運動と違いを生じる。また、機械系の剛性が低い場合には、停止などの指令の変化の後に振動を生じる。これらの原因により、機械先端の運動が指令に対して誤差を持ち、制御精度が劣化する。
　このような低剛性に起因した問題に対し、特許文献１に記載の技術では、位置指令ブロックが生成した位置指令値に対して時間に関する２階微分値を求め、それにゲイン定数を乗じて補正値を求めている。そして、この補正値を元の位置指令値に加算した補正位置指令値にモータが追従するよう制御している。
　また、特許文献１に記載の技術では、純粋微分でなく擬似微分を用いてもよいことが記載されている。さらに、指令速度のパターンが台形になるような場合には、指令の加速度が変化する時点を抽出し、予め設定した時系列の補正パターンを用いて補正値を生成することが記載されている。
　また、サーボ制御装置は、一定とは限らない周期で、特定パターンの動作を産業用機械に周期的に行わせる場合がある。このような場合には、例えば電子カムと呼ばれるような、指令関数部を備える方式が用いられる。この方式では、周期内の位相を表すとともに時間経過にしたがって増加あるいは減少する位相信号を用いる。そして、指令関数部が、位相信号に基づく数式やデータテーブル参照を用いて周期的な位置指令を生成する。これにより、位相に対して同一形状の位置指令を繰返し生成し、その位置指令にモータ位置を追従させる。このような指令関数部を用いたサーボ制御装置によって位置指令を更に補正することで制御精度を高める技術として、特許文献２に記載の技術がある。
　この特許文献２に記載の技術は、同一パターンの動作を周期的に行うサーボ制御装置の制御精度の向上を目的に、指令の補正を行うものである。この技術では、位相信号（位相指令値）を入力として指令関数部（位置パターン発生器）を用いて周期的な位置指令（位置パターン）を生成している。そして、追従制御部（位置制御系）の遅れを補正するために、指令関数部が、位相を進めた位置指令を使用するとともに、位置指令の時間に関する２階微分値や３階微分値に係数を乗じて補正値を算出している。
　また、特許文献２に記載の技術では、位置指令の２階微分値や３階微分値の絶対値の大きさに応じて、上述した補正値を加算するか否かを切り替えることで、ノイズが位置指令に重畳することを抑制する技術が記載されている。
特開２００３－７６４２６号公報 特開２０１１－６７０１６号公報
　しかしながら、上記前者の従来技術では、位置指令の２階微分を行うと信号がノイズ的になるので、高精度な制御が困難になるという問題があった。また、ノイズ問題への対策として、純粋微分の代わりに擬似微分を用いると、位相遅れにより高精度な制御が困難になるという問題があった。また、指令の加速度が変化する時点を抽出して所定のパターンにより補正値を求めるような方法では、特定の指令形状にしか対応できないという問題があった。
　また、上記後者の従来技術では、指令関数部が出力した位置指令の時間に関する２階微分や３階微分を用いて補正値を演算するので、指令ノイズが大きくなり、高精度な制御が困難になるという問題があった。また、位置指令の２階微分値や３階微分値の大きさに応じて補正を行うか否かを切換えることでノイズの問題に対応しているが、結局補正を行う場合にノイズの影響を受けるので、高精度な制御が困難になるという問題があった。
　本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、制御対象が低剛性であっても、周期的な動作を高精度に制御できるサーボ制御装置を得ることを目的とする。
　上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、モータおよび前記モータで駆動する機械系から構成される制御対象に対し、前記モータのモータ位置あるいはモータ速度に対応するモータ運動が、モータ運動指令に追従するよう前記モータを制御する追従制御部と、前記制御対象に行わせる周期的動作の位相を表す位相信号を入力し、予め設定した第１の関数により、前記位相信号に応じた機械運動指令を算出する指令関数部と、前記位相信号を入力し、前記第１の関数を前記位相信号で２階微分した関数である２次導関数として予め設定した第２の関数を用い、前記位相信号に応じた前記第２の関数の値を２階微分基礎信号として算出する２次導関数部と、前記位相信号の時間微分値を表す位相速度と、前記２階微分基礎信号と、を入力し、前記位相速度の２乗値と、前記２階微分基礎信号と、第１の定数と、の積を用いて、前記モータ運動指令を補正する第１の指令補正値を演算する補正値演算部と、前記第１の指令補正値と前記機械運動指令との加算値に基づいて前記モータ運動指令を算出する補正加算部と、を備えることを特徴とする。
　本発明によれば、制御対象が低剛性であっても、周期的な動作を高精度に制御できるという効果を奏する。
図１は、本発明の実施の形態１に係るサーボ制御装置の構成を示すブロック図である。 図２は、制御対象の構成例を示す模式図である。 図３は、本発明の実施の形態２に係るサーボ制御装置の構成を示すブロック図である。
　以下に、本発明の実施の形態に係るサーボ制御装置を図面に基づいて詳細に説明する。なお、これらの実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
実施の形態１．
　図１は、本発明の実施の形態１に係るサーボ制御装置の構成を示すブロック図である。実施の形態１に係るサーボ制御装置１００Ａは、モータ（後述するモータ１１）と、モータ１１で駆動する機械系から構成される制御対象１と、を駆動制御する装置である。
　制御対象１は、例えば、産業用ロボット、プレス装置、ライン自動化装置などの産業用機械であり、モータ１１と、モータ１１に接続された機械系と、を備えている。サーボ制御装置１００Ａは、サーボモータなどのアクチュエータを用いて、制御対象１を駆動制御する。サーボ制御装置１００Ａは、モータトルクτｍを制御対象１のモータに発生させることで、制御対象１に所望の動作をさせる。具体的には、サーボ制御装置１００Ａは、検出器（図示せず）で検出したモータ位置ｙｍに基づいてモータトルクτｍを逐次変更することにより、制御対象１が所望の動作を行うようモータ１１の動作位置を制御する。
　サーボ制御装置１００Ａは、位相発生部３Ａと、指令生成部５Ａと、追従制御部２と、を含んで構成されている。位相発生部３Ａは、制御対象１に行わせる周期的動作の位相を表す位相信号θと、位相信号θの変化速度を表す位相速度ωとを発生させて、指令生成部５Ａに出力する。指令生成部５Ａは、後述する演算によってモータ位置指令ｙｒを算出し、算出したモータ位置指令ｙｒを追従制御部２に出力する。
　追従制御部２は、指令生成部５Ａから出力されたモータ位置指令ｙｒと制御対象１で検出されたモータ位置ｙｍとを入力し、モータ位置ｙｍをモータ位置指令ｙｒに追従させるようモータトルクτｍを生成する。すなわち、追従制御部２は、モータ位置ｙｍで表されるモータ運動が、モータ位置指令ｙｒすなわちモータ運動指令に追従するよう、モータトルクτｍを生成して制御する。
　なお、本実施の形態では、位相発生部３Ａがサーボ制御装置１００Ａの内部にある場合について説明するが、サーボ制御装置１００Ａの内部に位相発生部３Ａがなくてもよい。サーボ制御装置１００Ａは、例えば、外部装置の動作に同期させるよう、例えば回転動作をする外部装置の回転位置などの信号を外部から入力する構成でもよい。
　位相発生部３Ａは、例えば外部から指定された位相速度ωを時間経過に従って積分することで位相信号θを生成し、位相速度ωと位相信号θとを指令生成部５Ａに出力する。あるいは、位相発生部３Ａは、外部から入力した時間的に増大または減少する位相信号θを指令生成部５Ａに出力するとともに、位相信号θの時間微分に相当する位相速度ωを指令生成部５Ａに出力してもよい。この場合、位相発生部３Ａは、位相信号θに含まれる量子化等に起因したノイズ成分が微分演算に起因して大きくならないよう、ノイズ除去効果が十分に大きいフィルタを用いて位相速度ωを演算する。このように、位相発生部３Ａは、位相信号θと、ノイズ成分を含まないように生成した位相速度ωとを、指令生成部５Ａに出力する。
　次に、指令生成部５Ａの構成と動作について説明する。指令生成部５Ａは、位相発生部３Ａから出力された位相信号θと位相速度ωとを入力して、モータ位置指令ｙｒを算出し追従制御部２に出力する。指令生成部５Ａは、指令関数部５１と、２次導関数部５２と、補正値演算部５３と、補正値加算部５４Ａと、を含んで構成されている。
　指令生成部５Ａでは、指令関数部５１および２次導関数部５２に位相発生部３Ａから出力された位相信号θが入力され、補正値演算部５３に位相発生部３Ａから出力された位相速度ωが入力される。
　指令関数部５１は、位相信号θに基づいて、制御対象１に対する機械位置指令ｙｒ０を算出する。このとき、指令関数部５１は、予め設定しておいた指令関数ｆ（θ）を用いて機械位置指令ｙｒ０を算出する。換言すると、指令関数部５１は、予め設定しておいた指令関数ｆ（θ）（第１の関数）により、位相信号θに応じた機械運動指令を算出する。指令関数ｆ（θ）は、例えば数式やデータテーブルである。
　指令関数ｆ（θ）がデータテーブルの場合、位相信号θの点（値）と機械位置指令ｙｒ０の点（値）との対応関係を、予めデータテーブルに設定しておく。データテーブルには、前記対応関係を所定数設定しておく。指令関数部５１は、入力された任意の値の位相信号θに対してデータテーブル参照値を補間することで機械位置指令ｙｒ０を算出する。このとき、指令関数部５１は、直線補間を用いれば容易に機械位置指令ｙｒ０を算出することができる。なお、指令関数部５１は、複雑なスプライン補間などを用いてもよい。指令関数部５１は、算出した機械位置指令ｙｒ０を補正値加算部５４Ａに出力する。
　２次導関数部５２には、指令関数ｆ（θ）の２次導関数ｆ’’（θ）に相当する関数（第２の関数）が、予め設定されている。ここで２次導関数ｆ’’（θ）とは、指令関数ｆ（θ）を位相信号θによって２階微分したものである。２次導関数部５２は、入力した位相信号θに対応した関数の値を２階微分基礎信号ｘｂとして算出し、補正値演算部５３に出力する。ここで２次導関数部５２の第２の関数は、指令関数ｆ（θ）と同様に、例えば数式やデータテーブルである。また第２の関数は、場合によっては指令関数ｆ（θ）の２次導関数ｆ’’（θ）を近似的に表すものであるが、以下で厳密性に記述する必要がない場合は、第２の関数と２次導関数ｆ’’（θ）を区別せずに書く。
　２次導関数部５２における第２の関数がデータテーブルの場合、位相信号θの点（値）と２次導関数ｆ’’（θ）に相当する点（値）との対応関係、すなわち位相信号θの点（値）と２階微分基礎信号ｘｂの点（値）との対応関係を、予めデータテーブルに設定しておく。２次導関数部５２は、入力された任意の値の位相信号θに対してデータテーブル参照値を補間することで２階微分基礎信号ｘｂを算出する。２次導関数部５２は、算出した２階微分基礎信号ｘｂを補正値演算部５３に出力する。
　補正値演算部５３は、２階微分基礎信号ｘｂと位相速度ωとを入力し、位相速度ωの２乗と、所定の定数（第１の定数）と、２階微分基礎信号ｘｂと、の積を用いて、機械位置指令ｙｒ０を補正する指令補正値ｙｈを算出する。補正値演算部５３は、算出した指令補正値ｙｈを補正値加算部５４Ａに出力する。ここで、所定の定数は、制御対象１の剛性あるいは振動に関係した機械定数に応じて設定されるものであり、後述する制御対象１の反共振周波数の２乗の逆数になるよう設定される。
　補正値演算部５３は、２乗演算部５３ａと、定数乗算部５３ｂと、２階微分乗算部５３ｃと、を有している。補正値演算部５３では、２乗演算部５３ａが位相速度ωの２乗を算出して定数乗算部５３ｂに出力する。そして、定数乗算部５３ｂは、２乗演算部５３ａからの出力に対して、所定の定数（例えば、制御対象１の反共振周波数ωzの２乗の逆数に基づく値）を乗じる。定数乗算部５３ｂは、乗算した値を２階微分乗算部５３ｃに出力する。さらに、２階微分乗算部５３ｃは、定数乗算部５３ｂからの出力と２階微分基礎信号ｘｂとの乗算を行って指令補正値ｙｈを算出する。そして、２階微分乗算部５３ｃは、指令補正値ｙｈを補正値加算部５４Ａに出力する。
　ここで、補正値演算部５３内の各部における乗算の順序は特に上述した手順に限定されるものではない。補正値演算部５３は、指令補正値ｙｈが、位相速度ωの２乗と、反共振周波数ωzを２乗した値の逆数と、２階微分基礎信号ｘｂと、の積になるよう計算すればよい。
　補正値加算部５４Ａは、指令関数部５１が出力した機械位置指令ｙｒ０に、補正値演算部５３が出力した指令補正値ｙｈを加算した結果（加算値）を、モータ位置指令ｙｒとして追従制御部２に出力する。このように、指令生成部５Ａは、上記の動作によって、位相信号θと位相速度ωに基づいてモータ位置指令ｙｒを算出し追従制御部２に出力する。
　追従制御部２は、指令生成部５Ａが出力したモータ位置指令ｙｒと制御対象１から検出したモータ位置ｙｍとを入力する。追従制御部２は、モータ位置ｙｍがモータ位置指令ｙｒに追従して一致するように制御対象１におけるモータ１１の電流を制御しながらモータトルクτｍを発生させる。追従制御部２は、例えばモータ位置制御、モータ速度制御、モータ電流制御とから構成されたカスケード制御などを用いる。
　次に、本実施の形態により得られる効果を説明するために、まず、本実施の形態で考慮する制御対象１の特性について説明する。図２は、制御対象の構成例を示す模式図である。
　制御対象１は、モータ１１と機械負荷１３とがシャフトなどの弾性部１２で結合されている。そして、制御対象１では、サーボ制御装置１００Ａが生成するモータトルクτｍによってモータ１１が駆動され、弾性部１２を介して機械負荷１３が駆動される。
　機械負荷１３の負荷イナーシャがＪＬであり、動作する機械負荷１３の位置である負荷位置がｙＬであり、弾性部１２のバネ定数がＫｇであり、弾性部１２の粘性定数がＣｇであり、モータ１１のモータイナーシャがＪＭである。
　モータトルクτｍによって制御対象１を駆動した場合の負荷位置ｙＬとモータ位置ｙｍとの関係は以下の式（１）で表される。なお、以下において、記号のｓはラプラス演算子であり、等価的に時間微分を意味する演算子である。
　ｙＬ／ｙｍ＝１／（ｓ2／ωz 2＋２ζ・ｓ／ωz＋１）・・・（１）
　式（１）のωzは制御対象１の反共振周波数であり、ζは減衰係数であり、それぞれ以下の式（２）と式（３）で表される。
　ωz＝（Ｋｇ／ＪＬ）(1/2)・・・（２）
　ζ＝Ｃｇ／｛２（ＪＬ・Ｋｇ）(1/2)｝・・・（３）
　ここで、追従制御部２の作用によって制御された結果としての、モータ位置指令ｙｒからモータ位置ｙｍまでの伝達関数をＧ（ｓ）と表す。すなわち、以下の式（４）が成り立つとき、モータ位置指令ｙｒから負荷位置ｙＬまでの伝達関数は以下の式（５）となる。
　ｙｍ／ｙｒ＝Ｇ（ｓ）・・・（４）
　ｙＬ／ｙｒ＝Ｇ（ｓ）｛１／（ｓ2／ωz 2＋２ζ・ｓ／ωz＋１）｝・・・（５）
　制御対象１における機械系の剛性が低い場合、通常は減衰係数ζが１よりもかなり小さくなるので、減衰係数ζは十分に小さいものとして無視すると、式（５）は、以下の式（６）で近似できる。
　ｙＬ／ｙｒ＝Ｇ（ｓ）｛１／（ｓ2／ωz 2＋１）｝・・・（６）
　したがって、追従制御部２の応答を高速高精度にしても（伝達関数Ｇ（ｓ）を１に近づけても）、式（６）は２次共振特性を含む。このため、負荷位置ｙＬの応答は誤差を持ち、またモータ位置指令ｙｒの変化に対して反共振周波数ωzで振動的な挙動をすることが分かる。このように、反共振周波数ωzは、機械系の振動周波数に対応する。
　次に、指令生成部５Ａの詳細な特性について説明する。指令生成部５Ａは、上述した動作をすることで、位相信号θの入力に対して以下の式（７）で表される指令補正値ｙｈを計算する。
　ｙｈ＝ｆ’’（θ）・ω2／ωz 2・・・（７）
　ここで、機械位置指令ｙｒ０（すなわちｆ（θ））の時間微分を考える。機械位置指令ｙｒ０の１階微分値および２階微分値は、以下の式（８）および式（９）で表される。
　ｄｆ（θ）／ｄｔ＝｛ｄｆ（θ）／ｄθ｝（ｄθ／ｄｔ）・・・（８）
　ｄ2ｆ（θ）／ｄｔ2＝　｛ｄ2ｆ（θ）／ｄθ2｝（ｄθ／ｄｔ）2＋｛ｄｆ（θ）／ｄθ｝（ｄ2θ／ｄｔ2）・・・（９）
　ここで、位相信号θの時間微分である位相速度ωが、考慮する期間において一定あるいは変化が十分に小さいとすると、式（９）は以下の式（１０）となる。
　ｄ2ｆ（θ）／ｄｔ2＝　｛ｄ2ｆ（θ）／ｄθ2｝（ｄθ／ｄｔ）2・・・（１０）
　式（１０）においてｄ2ｆ（θ）／ｄθ2をｆ’’（θ）に書き換え、ｄθ／ｄｔをωに書換え、ｆ（θ）をｙｒ０に書き換え、時間微分を演算子ｓに書き換えると、式（１０）は以下の式（１１）に書き換えられる。そして、指令補正値ｙｈを表す式（７）は、以下の式（１２）で表される。
　ｓ2ｙｒ０＝ｆ’’（θ）ω2・・・（１１）
　ｙｈ＝（ｓ2／ωz 2）ｙｒ０・・・（１２）
　このように、実装上は機械位置指令ｙｒ０に対する時間微分の演算を行わないにも関わらず、等価的には機械位置指令ｙｒ０の時間に関する２階微分値に所定の定数を乗じた信号として、指令補正値ｙｈを演算することができる。
　また、モータ位置指令ｙｒは、ｙｒ０とｙｈとの和なので、機械位置指令ｙｒ０からモータ位置指令ｙｒまでの伝達関数は以下の式（１３）となる。その結果、機械位置指令ｙｒ０から負荷位置ｙＬまでの伝達関数は、式（６）と式（１３）とを併せることで以下の式（１４）となる。
　ｙｒ／ｙｒ０＝（ｓ2／ωz 2＋１）・・・（１３）
　ｙＬ／ｙｒ０＝Ｇ（ｓ）・・・（１４）
　したがって、追従制御部２の応答を高速高精度にし、伝達関数Ｇ（ｓ）を１に近づけることで、制御対象１の剛性が低くても、負荷位置ｙＬが機械位置指令ｙｒ０に高速高精度で追従するよう、制御することが可能になる。
　指令生成部５Ａの特性は、定数乗算部５３ｂに設定した所定の定数を、制御対象１の機械特性（例えば、剛性や振動周波数に関係した機械特性）である反共振周波数ωzを用いて設定することで得られるものである。指令生成部５Ａの特性を、例えば、制御対象１の機械特性に応じて外部から設定することで、制御対象１への高精度制御が実現できる。
　また、反共振周波数ωzは、制御対象１の振動周波数に対応している。このため、例えばサーボ制御装置１００Ａ内で自動的に振動周波数を測定して指令生成部５Ａに反共振周波数ωzを設定するようにサーボ制御装置１００Ａを構成してもよい。
　上述した高速高精度制御が得られる効果は、原理的には、機械位置指令ｙｒ０からモータ位置指令ｙｒまでの伝達関数を式（１３）のようにすれば得ることができる。この性質は、特許文献１に記載の方法と原理的に同じである。
　一方、本実施の形態に係るサーボ制御装置１００Ａの特徴の１つは、位相信号θに対する関数が設定された２次導関数部５２を用いて２階微分基礎信号ｘｂを算出し、位相速度ωの２乗と２階微分基礎信号ｘｂと所定の定数との積として指令補正値ｙｈを演算することである。このように、サーボ制御装置１００Ａでは、式（１２）で表される指令補正値ｙｈを、２階の時間微分を直接的に行うことなく演算する。
　従来の技術とサーボ制御装置１００Ａとの比較として、仮に式（１２）に示すような２階時間微分を、実際に実時間で演算する場合を考える。実際のサーボ制御装置１００Ａでの演算においては、有効桁数が有限長の数値演算を用いる。その場合、位相発生部３Ａにおける位相信号θの演算時に、理想値に対して量子化ノイズが混入する。また、指令関数部５１において、位相信号θから機械位置指令ｙｒ０を出力する過程（データテーブル参照に基づいた補間演算を行う過程）の各四則演算において、丸め誤差や打ち切り誤差に起因した量子化ノイズが混入する。
　このような量子化ノイズが混入した機械位置指令ｙｒ０に対して、時間微分を２重に行うような２階微分演算を行うと、量子化ノイズの成分が非常に大きくなり、そのまま指令補正値ｙｈの演算に用いることができなくなる。また、量子化ノイズを抑制するために、実時間演算でフィルタを作用させると、フィルタによる遅れが発生するので、高精度な制御の実現が困難になる。
　これに対し、本実施の形態では、位相信号θに対する関数あるいはデータテーブルが設定された２次導関数部５２の参照値に基づいて指令補正値ｙｈの計算を行うので、数値の量子化と時間微分とに起因したノイズ成分の増大を抑制できる。その結果、フィルタ等を追加することなく高精度な制御を容易に実現できる。
　このように、サーボ制御装置１００Ａは、機械位置指令ｙｒ０の位相信号θに関する２階微分値に相当する２階微分基礎信号ｘｂを２次導関数部５２で算出している。そして、サーボ制御装置１００Ａは、２階微分基礎信号ｘｂと、位相発生部３Ａでノイズ成分を含まないように生成した位相速度ωの２乗と、所定の定数と、を乗じて指令補正値ｙｈを算出している。これにより、位相速度ωの変更（制御対象１に行わせる周期的動作の周期の変更）にも対応して、機械位置指令ｙｒ０の２階時間微分を用いるのと同等な制御特性を実現できる。また、実際の演算では時間微分を行わないため、信号のノイズ成分が抑制されたモータ位置指令ｙｒを算出することができる。
　また、位相発生部３Ａにおける位相速度ωの演算において、ノイズを除去するための遅いローパスフィルタを用いたとしても、位相速度ωの変化が緩やかならば、ローパスフィルタによる遅れが指令補正値ｙｈの演算に与える影響は微小となる。このため、サーボ制御装置１００Ａは、制御精度を悪化させることなく、ノイズの悪影響を除去できる。
　本実施の形態では、指令関数部５１の指令関数ｆ（θ）および２次導関数部５２の２次導関数ｆ’’（θ）を、予め設定しておいたデータテーブルと補間演算によって算出する場合について説明した。このデータテーブルの作成方法は、特に限定されるものではない。指令関数ｆ（θ）および２次導関数ｆ’’（θ）を位相信号θに対する数式として演算できる場合は、非常に複雑な演算であっても、テーブル化しておくことで実時間動作において計算時間に起因する問題を回避できる。また、２次導関数ｆ’’（θ）に相当するデータテーブルを予め作成しておく際に高精度な浮動小数点演算などを用いてデータテーブルを演算しておけば、ノイズ誤差が混入することなくデータテーブルを作成できる。したがって、高周波数のノイズの問題が生じることなく高精度な制御を実現できる。
　また、指令関数部５１に設定しておく関数ｆ（θ）として、数式に基づかずに有限個の位相信号θの点に対する数値テーブルを設定してもよい。この場合、数式では表すことが困難な任意のパターンの周期的動作を容易に設定できる。このような場合に、指令関数部５１の指令関数ｆ（θ）のデータテーブルに基づいた単純な方式として、仮に隣接する位相信号θの点に関する差分演算を２重に行うことにより２次導関数ｆ’’（θ）に相当するデータテーブルを求めると、位相信号θの領域における高周波数成分を大きくし過ぎる場合がある。
　高周波数成分を大きくし過ぎる場合には、フィルタによる平滑化操作が必要になるが、実時間演算でなく事前にオフラインで平滑化操作をすればよいので、位相誤差を生じることなく高周波数成分を抑制することが可能となる。
　具体的には、位相信号θの領域で作用させるフィルタ演算においてゼロ位相フィルタと呼ばれる手法を用いる。すなわち、位相信号θに関する高周波数成分を抑制する特性のフィルタ演算を、位相信号θの正方向と逆方向とに二重に適用する。これにより、位相誤差を生じさせずに高周波数成分を抑制しながら、２次導関数部５２における２次導関数ｆ’’（θ）に相当する関数を作成できる。その結果、２次導関数部５２でデータテーブル参照と補間演算とを行う実時間動作の演算の際に、出力信号の高周波数ノイズを大きくすることなく、制御対象１の振動や制御誤差への影響が大きい反共振周波数ωz付近の周波数特性については高精度な実時間演算をできる。したがって、高精度な制御を実現することが可能となる。
　また、本実施の形態では、指令関数部５１の関数ｆ（θ）および２次導関数部５２のｆ’’（θ）に相当する関数が、所定数の位相信号θの点に対するデータテーブルとして設定される場合について説明したが、指令関数ｆ（θ）や２次導関数ｆ’’（θ）として数式演算を設定しておいてもよい。例えば、実時間演算が可能な関数で指令関数ｆ（θ）や２次導関数ｆ’’（θ）を実現できる場合は、データテーブルを設定する必要はなく、位相信号θに対する数式演算を行ってもよい。
　このように、本実施の形態では、サーボ制御装置１００Ａが位置制御を行う場合について説明した。具体的には、位相信号θを入力とした指令関数部５１が機械位置指令ｙｒ０を算出し、位相信号θと位相速度ωを入力とした補正値演算部５３が指令補正値ｙｈを算出し、補正値加算部５４Ａがモータ位置指令ｙｒを算出している。そして、追従制御部２が、モータ位置指令ｙｒにモータ位置ｙｍが追従するよう制御対象１を制御している。
　なお、サーボ制御装置１００Ａは、同様な構成で速度の次元で動作させることも可能であり、その場合も位置制御と全く同様な効果が得られる。この場合、位相信号θを入力とした指令関数部５１が機械運動指令として機械速度指令を算出し、位相信号θと位相速度ωを入力とした補正値演算部５３が速度の指令補正値を算出し、補正値加算部５４Ａがモータ運動指令としてモータ速度指令を算出する。そして、追従制御部２がモータ速度指令にモータ運動であるモータ速度が追従するよう制御対象１を制御する。
　このように、実施の形態１によれば、周期的な動作をさせる制御対象１の低剛性に起因した振動や制御誤差を抑制しつつ、周期変更にも対応しながら、指令の信号量子化に起因したノイズの問題を生じることなく、高精度な制御を実現できる。したがって、制御対象１が低剛性であっても、周期的な動作を高精度に制御することが可能となる。
実施の形態２．
　つぎに、図３を用いてこの発明の実施の形態２について説明する。図３は、本発明の実施の形態２に係るサーボ制御装置の構成を示すブロック図である。図３の各構成要素のうち図１に示す実施の形態１のサーボ制御装置１００Ａと同一機能を達成する構成要素については同一番号を付しており、重複する説明は省略する。
　実施の形態２に係るサーボ制御装置１００Ｂは、サーボ制御装置１００Ａよりも複雑な設定や演算を行うことで、サーボ制御装置１００Ａよりも高精度な制御を実現する。本実施の形態のサーボ制御装置１００Ｂは、一次導関数部６２および加速時補正値演算部６３を備えることで位相信号θの変化速度を表す位相速度ωが一定でない場合にも制御精度を向上させる。また一次導関数部６２および減衰補正値演算部６４を備えることで制御対象１の振動特性における減衰が大きい場合にも制御精度を向上させる。
　サーボ制御装置１００Ｂは、位相発生部３Ｂと、指令生成部５Ｂと、追従制御部２と、を含んで構成されている。位相発生部３Ｂは、実施の形態１における位相発生部３Ａと同様に、位相信号θと位相速度ωを指令生成部５Ｂに出力する。また、位相発生部３Ｂは、位相速度ωの時間微分に相当する位相加速度αを指令生成部５Ｂに出力する。この位相加速度αは、予め時系列パターンとして設定しておくなどの方法により、ノイズ的な成分を含まずに出力させることが可能である。
　指令生成部５Ｂは、位相信号θ、位相速度ω、位相加速度αを入力してモータ位置指令ｙｒを算出し、算出したモータ位置指令ｙｒを追従制御部２に出力する。指令生成部５Ｂは、指令関数部５１と、２次導関数部５２と、補正値演算部５３と、補正値加算部５４Ｂと、１次導関数部６２と、加速時補正値演算部６３と、減衰補正値演算部６４と、を含んで構成されている。
　指令生成部５Ｂでは、指令関数部５１、２次導関数部５２および１次導関数部６２に位相発生部３Ｂから出力された位相信号θが入力される。また、補正値演算部５３および減衰補正値演算部６４に位相発生部３Ｂから出力された位相速度ωが入力される。さらに、加速時補正値演算部６３に位相発生部３Ｂから出力された位相加速度αが入力される。
　１次導関数部６２には、指令関数部５１における指令関数ｆ（θ）の１次導関数ｆ’（θ）に相当する第３の関数が、予め設定されている。１次導関数ｆ’（θ）に相当する第３の関数は、指令関数ｆ（θ）を位相信号θによって１階微分したものに相当する関数である。１次導関数部６２は、入力した位相信号θに対応した第３の関数の値を１階微分基礎信号ｘｂ１として、加速時補正値演算部６３および減衰補正値演算部６４に出力する。この１次導関数ｆ’（θ）に相当する第３の関数は、指令関数ｆ（θ）や２次導関数ｆ’’（θ）と同様に、例えば数式やデータテーブルである。
　１次導関数ｆ’（θ）に相当する第３の関数がデータテーブルの場合、位相信号θの点（値）と１階微分基礎信号ｘｂ１の点（値）との間の対応関係を、予めデータテーブルに所定数設定しておく。１次導関数部６２は、入力された任意の値の位相信号θに対してデータテーブル参照値を補間することで１階微分基礎信号ｘｂ１を算出する。１次導関数部６２は、算出した１階微分基礎信号ｘｂ１を加速時補正値演算部６３および減衰補正値演算部６４に出力する。
　加速時補正値演算部６３は、１階微分基礎信号ｘｂ１と位相加速度αとを入力し、１階微分基礎信号ｘｂ１と位相加速度αと所定の定数（第２の定数）との積を、加速時補正値ｙｈａとして算出する。加速時補正値演算部６３は、算出した加速時補正値ｙｈａを、補正値加算部５４Ｂに出力する。
　加速時補正値演算部６３で用いる所定の定数は、実施の形態１における補正値演算部５３で用いる所定の定数と同様に、制御対象１の剛性あるいは振動に関係した機械定数に応じて設定されるものである。例えば、加速時補正値演算部６３で用いる所定の定数は、制御対象１の反共振周波数ωzの２乗の逆数になるよう設定される。したがって、加速時補正値ｙｈａは、以下の式（１５）を用いて演算される。
　ｙｈａ＝ｆ’（θ）・α／ωz・・・（１５）
　ここで、機械位置指令ｙｒ０（すなわちｆ（θ））の時間に関する２階微分値は、実施の形態１で説明したように、式（９）で表される。実施の形態１で仮定した位相速度ωの変化が十分に小さいとした条件が成り立たない場合、式（９）は以下の式（１６）に書き換えられる。また、式（７）と式（１５）より、指令補正値ｙｈと加速時補正値ｙｈａとの和は、以下の式（１７）で表される。
　ｓ2ｙｒ０＝ｆ’’（θ）ω2＋ｆ’（θ）α・・・（１６）
　ｙｈ＋ｙｈａ＝（ｓ2／ωz 2）ｙｒ０・・・（１７）
　減衰補正値演算部６４は、上述した１階微分基礎信号ｘｂ１と位相速度ωとを入力し、１階微分基礎信号ｘｂ１と位相速度ωと所定の定数（第３の定数）との積を、減衰補正値ｙｈｚとして算出する。減衰補正値演算部６４は、算出した減衰補正値ｙｈｚを、補正値加算部５４Ｂに出力する。
　減衰補正値演算部６４における所定の定数は、例えば、制御対象１の減衰係数ζの２倍と反共振周波数ωzの逆数とを乗じた値に基づく値である。また、実施の形態１における式（８）より、以下の式（１８）が成り立つので、演算する減衰補正値ｙｈｚは以下の式（１９）で表される。
　ｓ・ｙｒ０＝ｆ’（θ）ω・・・（１８）
　ｙｈｚ＝（２ζ・ｓ／ωz）ｙｒ０・・・（１９）
　補正値加算部５４Ｂは、指令関数部５１が出力した機械位置指令ｙｒ０に、補正値演算部５３が出力した指令補正値ｙｈと、加速時補正値演算部６３が出力した加速時補正値ｙｈａと、減衰補正値ｙｈｚと、を加算した結果を、モータ位置指令ｙｒとして追従制御部２に出力する。式（１７）と式（１９）に基づいて、機械位置指令ｙｒ０からモータ位置指令ｙｒまでの伝達関数を算出すると、以下の式（２０）となる。
　ｙｒ／ｙｒ０＝（ｓ2／ωz 2＋２ζｓ／ωz＋１）・・・（２０）
　したがって、位相速度ωの変化を表す位相加速度αを無視できない場合や、制御対象１の減衰係数ζを無視できない場合であっても、式（６）と式（２０）を併せることで、機械位置指令ｙｒ０から負荷位置ｙＬまでの伝達関数を、実施の形態１と同様に式（１４）で表すことができる。
　その結果、追従制御部２の応答を高速高精度にし、伝達関数Ｇ（ｓ）を１に近づけることで、負荷位置ｙＬが機械位置指令ｙｒ０に高速高精度で追従するよう、制御対象１を制御することが可能になる。
　なお、本実施の形態では、機械位置指令ｙｒ０に、指令補正値ｙｈ、加速時補正値ｙｈａおよび減衰補正値ｙｈｚの全てを加算することによって、モータ位置指令ｙｒを算出する場合について説明したが、モータ位置指令ｙｒの算出方法は、この方法に限らない。指令生成部５Ｂは、機械位置指令ｙｒ０と指令補正値ｙｈの加算値に、加速時補正値ｙｈａおよび、減衰補正値ｙｈｚの少なくとも１つを加算することによってモータ位置指令ｙｒを算出すればよい。
　例えば、モータ位置指令ｙｒを算出する際に加速時補正値ｙｈａを加算しない場合には、加速時補正値演算部６３は不要となる。また、モータ位置指令ｙｒを算出する際に減衰補正値ｙｈｚを加算しない場合には、減衰補正値演算部６４は不要となる。
　このように、実施の形態２によれば、位相速度ωの変化が無視できない場合や制御対象１の振動特性の減衰係数ζが無視できない場合においても、周期的な動作をさせる制御対象１の低剛性に起因した振動や制御誤差を抑制しつつ、周期変更にも対応しながら、指令の信号量子化に起因したノイズの問題を生じることなく、高精度な制御を実現できる。
　以上のように、本発明に係るサーボ制御装置は、モータで機械系を駆動する制御対象の制御に適している。
　１　制御対象、２　追従制御部、３Ａ，３Ｂ　位相発生部、５Ａ，５Ｂ　指令生成部、１１　モータ、１２　弾性部、１３　機械負荷、５１　指令関数部、５２　２次導関数部、５３　補正値演算部、５３ａ　２乗演算部、５３ｂ　定数乗算部、５３ｃ　２階微分乗算部、５４Ａ，５４Ｂ　補正値加算部、６２　１次導関数部、６３　加速時補正値演算部、６４　減衰補正値演算部、１００Ａ，１００Ｂ　サーボ制御装置。
 

Claims (8)

  1. 　モータおよび前記モータで駆動する機械系から構成される制御対象に対し、前記モータのモータ位置あるいはモータ速度に対応するモータ運動が、モータ運動指令に追従するよう前記モータを制御する追従制御部と、
    　前記制御対象に行わせる周期的動作の位相を表す位相信号を入力し、予め設定した第１の関数により、前記位相信号に応じた機械運動指令を算出する指令関数部と、
    　前記位相信号を入力し、前記第１の関数を前記位相信号で２階微分した関数である２次導関数として予め設定した第２の関数を用い、前記位相信号に応じた前記第２の関数の値を２階微分基礎信号として算出する２次導関数部と、
    　前記位相信号の時間微分値を表す位相速度と、前記２階微分基礎信号と、を入力し、前記位相速度の２乗値と、前記２階微分基礎信号と、第１の定数と、の積を用いて、前記モータ運動指令を補正する第１の指令補正値を演算する補正値演算部と、
    　前記第１の指令補正値と前記機械運動指令との加算値に基づいて前記モータ運動指令を算出する補正加算部と、
    　を備えることを特徴とするサーボ制御装置。
  2. 　前記第１の定数を、前記制御対象の機械特性に応じて外部から設定するよう構成したことを特徴とする請求項１に記載のサーボ制御装置。
  3. 　前記第１の定数は、前記制御対象の振動周波数に対応する反共振周波数を２乗した値の逆数に基づく値であることを特徴とする請求項１に記載のサーボ制御装置。
  4. 　前記第２の関数は、前記位相信号と前記２階微分基礎信号との対応関係を示す第１のデータテーブルであり、
    　前記２次導関数部は、前記第１のデータテーブルを用いて、前記２階微分基礎信号として算出することを特徴とする請求項１に記載のサーボ制御装置。
  5. 　前記位相信号を入力し、前記第１の関数を前記位相信号で微分した関数である１次導関数として予め設定した第３の関数を用い、前記位相信号に応じた前記第３の関数の値を１階微分基礎信号として算出する１次導関数部と、
    　前記位相速度の時間微分値を表す位相加速度と、前記１階微分基礎信号と、を入力し、前記１階微分基礎信号と、前記位相加速度と、第２の定数と、の積を用いて、前記モータ運動指令を補正する第２の指令補正値を算出する加速時補正値演算部と、
    　をさらに備え、
    　前記補正加算部は、前記第１および第２の指令補正値と前記機械運動指令との加算値に基づいて前記モータ運動指令を算出することを特徴とする請求項１～３のいずれか１つに記載のサーボ制御装置。
  6. 　前記第２の定数は、前記制御対象の振動周波数に対応する反共振周波数を２乗した値の逆数に基づく値であることを特徴とする請求項５に記載のサーボ制御装置。
  7. 　前記位相信号を入力し、前記第１の関数を前記位相信号で微分した関数である１次導関数として予め設定した第３の関数を用い、前記位相信号に応じた前記第３の関数の値を１階微分基礎信号として算出する１次導関数部と、
    　前記１階微分基礎信号と、前記位相速度と、を入力し、前記１階微分基礎信号と、前記位相速度と、第３の定数と、の積を用いて、前記モータ運動指令を補正する第３の指令補正値を算出する減衰補正値演算部と、
    　を備え、
    　前記補正加算部は、前記第１および第３の指令補正値と前記機械運動指令との加算値に基づいて前記モータ運動指令を算出することを特徴とする請求項１～３のいずれか１つに記載のサーボ制御装置。
  8. 　前記第３の定数は、前記制御対象の減衰係数と、前記制御対象の振動周波数に対応する反共振周波数の逆数との積に基づく値であることを特徴とする請求項７に記載のサーボ制御装置。
     
PCT/JP2012/077653 2012-10-25 2012-10-25 サーボ制御装置 WO2014064815A1 (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE112012007053.4T DE112012007053B4 (de) 2012-10-25 2012-10-25 Servosteuerungsvorrichtung
PCT/JP2012/077653 WO2014064815A1 (ja) 2012-10-25 2012-10-25 サーボ制御装置
KR1020137024575A KR101347921B1 (ko) 2012-10-25 2012-10-25 서보 제어 장치
JP2013512282A JP5283804B1 (ja) 2012-10-25 2012-10-25 サーボ制御装置
US13/980,984 US8890460B2 (en) 2012-10-25 2012-10-25 Servo control device
CN201280014728.9A CN103907070B (zh) 2012-10-25 2012-10-25 伺服控制装置
TW102115394A TWI516888B (zh) 2012-10-25 2013-04-30 伺服控制裝置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2012/077653 WO2014064815A1 (ja) 2012-10-25 2012-10-25 サーボ制御装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2014064815A1 true WO2014064815A1 (ja) 2014-05-01

Family

ID=49274020

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2012/077653 WO2014064815A1 (ja) 2012-10-25 2012-10-25 サーボ制御装置

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8890460B2 (ja)
JP (1) JP5283804B1 (ja)
KR (1) KR101347921B1 (ja)
CN (1) CN103907070B (ja)
DE (1) DE112012007053B4 (ja)
TW (1) TWI516888B (ja)
WO (1) WO2014064815A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019093246A1 (ja) * 2017-11-09 2019-05-16 オムロン株式会社 指令値補間装置及びサーボドライバ

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3283264A1 (en) 2015-04-16 2018-02-21 Bohnert Equipment Company, Inc. Barrel hoop driving apparatus and electric drive
JP6923587B2 (ja) * 2019-03-28 2021-08-18 ファナック株式会社 サーボモータ制御装置
EP3753682B1 (de) * 2019-06-17 2021-12-29 Schneider Electric Industries SAS Verfahren zur steuerung eines antriebsmotors
KR102523097B1 (ko) * 2020-03-04 2023-04-19 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 면진 제어 장치 및 면진 제어 방법

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04201189A (ja) * 1990-11-30 1992-07-22 Hitachi Ltd 脚歩行機構の制御装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2657561B2 (ja) 1990-02-09 1997-09-24 富士通株式会社 位置決め制御方式
JP3750633B2 (ja) 2001-06-22 2006-03-01 富士電機機器制御株式会社 機械制御装置
US6844693B2 (en) * 2002-03-29 2005-01-18 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Position control apparatus for motor
US6936990B2 (en) * 2002-03-29 2005-08-30 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for controlling electric motor and apparatus for controlling the same
JP4258262B2 (ja) * 2003-04-22 2009-04-30 株式会社安川電機 ツイン同期制御方法及び装置
JP4673326B2 (ja) * 2007-01-11 2011-04-20 オークマ株式会社 回転軸の位置制御装置
US8214415B2 (en) * 2008-04-18 2012-07-03 Motion Engineering Incorporated Interpolator for a networked motion control system
US8120303B2 (en) 2008-09-29 2012-02-21 Oriental Motor Co., Ltd. Method and apparatus for controlling inertial system
JP5532784B2 (ja) 2009-09-17 2014-06-25 富士電機株式会社 サーボ制御装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04201189A (ja) * 1990-11-30 1992-07-22 Hitachi Ltd 脚歩行機構の制御装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019093246A1 (ja) * 2017-11-09 2019-05-16 オムロン株式会社 指令値補間装置及びサーボドライバ
US11494465B2 (en) 2017-11-09 2022-11-08 Omron Corporation Command value interpolation apparatus and servo driver

Also Published As

Publication number Publication date
US20140117919A1 (en) 2014-05-01
JP5283804B1 (ja) 2013-09-04
KR101347921B1 (ko) 2014-01-07
DE112012007053T5 (de) 2015-09-10
TWI516888B (zh) 2016-01-11
TW201416812A (zh) 2014-05-01
DE112012007053B4 (de) 2017-08-31
US8890460B2 (en) 2014-11-18
CN103907070B (zh) 2015-10-21
CN103907070A (zh) 2014-07-02
JPWO2014064815A1 (ja) 2016-09-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10108177B2 (en) Control parameter adjustment device
KR101674282B1 (ko) 다관절 로봇의 궤적 제어 장치 및 제어 방법
JP5283804B1 (ja) サーボ制御装置
JP5762625B2 (ja) 軌跡制御装置
JP6017595B2 (ja) 振動を抑制するモータ制御装置
JP2013055751A (ja) 電動機制御装置
JP2014136260A (ja) 制御装置
JP6491497B2 (ja) モータ制御装置
JP5366840B2 (ja) 軌跡制御装置
JP2009110492A (ja) 位置制御装置
JP6412071B2 (ja) モータ制御装置、モータ制御方法及びモータ制御用プログラム
JP2013118817A (ja) 電動機制御装置
JP4867105B2 (ja) 数値制御装置
JP5441944B2 (ja) モータ制御装置
CN110955192A (zh) 伺服控制装置、机器人及伺服控制方法
JP3955217B2 (ja) 産業用ロボットの制御方法及び制御装置
JP6899099B2 (ja) 機械制御システム、機械制御装置、及び制振指令生成方法
JP3943061B2 (ja) サーボ制御装置
JP2004070790A (ja) 機械の位置制御装置および機械の位置制御システム
JP5836206B2 (ja) サーボ制御装置
JP6735452B2 (ja) モータ制御装置
JP6544851B2 (ja) 位置決め装置のパラメータ設定方法、及びパラメータ設定装置、並びにこのパラメータ設定装置を備えた位置決め装置
WO2018168229A1 (ja) 制御システム
JP5710367B2 (ja) 制御装置および制御方法、並びにプログラム
JP5805016B2 (ja) モータ制御装置

Legal Events

Date Code Title Description
ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2013512282

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 13980984

Country of ref document: US

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20137024575

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 12887307

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 112012007053

Country of ref document: DE

Ref document number: 1120120070534

Country of ref document: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 12887307

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1